一種靶材真空干燥機的載物裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種靶材真空干燥機的載物裝置,其設(shè)置在真空干燥機干燥室的開口側(cè),所述載物裝置包括支撐架,所述支撐架的頂部設(shè)有支撐臺,支撐臺的臺面與真空干燥機干燥室的底面齊平;所述支撐臺的上方設(shè)有載物臺,所述載物臺的底部設(shè)有滾輪,滾輪設(shè)在支撐臺上,并帶動載物臺在支撐臺上滑動。采用以上結(jié)構(gòu),大型靶材在進入真空干燥機的干燥室內(nèi)前,先將大型靶材放置在載物臺上,然后再將載物臺推入真空干燥機的干燥室內(nèi),這樣的方式,可以大大提高生產(chǎn)效率,而且不會造成靶材的損壞,而且操作方便。另外,本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單,制造成本低,維護方便。
【專利說明】一種靶材真空干燥機的載物裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種靶材真空干燥機的載物裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]靶材在生產(chǎn)過程中需要進行干燥,現(xiàn)有的靶材一般都是放在真空干燥機中進行干燥,在干燥開始時,需將靶材放入真空干燥機的干燥室中,然而隨著靶材的體積越做越大,采用人工將靶材放入真空干燥機的干燥室,就帶來了很多弊端,如大型的靶材放入干燥室內(nèi)時,容易產(chǎn)生碰撞,損壞靶材,而且操作非常不方便,因而生產(chǎn)效率較低。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足,本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、生產(chǎn)效率高、操作方便的靶材真空干燥機的載物裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種靶材真空干燥機的載物裝置,其設(shè)置在真空干燥機干燥室的開口側(cè),所述載物裝置包括支撐架,所述支撐架的頂部設(shè)有支撐臺,支撐臺的臺面與真空干燥機干燥室的底面齊平;所述支撐臺的上方設(shè)有載物臺,所述載物臺的底部設(shè)有滾輪,滾輪設(shè)在支撐臺上,并帶動載物臺在支撐臺和真空干燥機干燥室的底面上來回滑動。
[0006]所述支撐臺的兩端分別設(shè)有限制載物臺滑動的側(cè)欄板,所述側(cè)欄板靠近真空干燥機的一端鉸接有可打開或閉合的前欄板。所述側(cè)欄板遠離真空干燥機的一端設(shè)有后欄板。
[0007]所述支撐架的底部也設(shè)有滾輪。
[0008]所述支撐臺的臺面的四個頂角處分別設(shè)有手推桿。
[0009]本實用新型采用以上技術(shù)方案,大型靶材在進入真空干燥機的干燥室內(nèi)前,先將大型靶材放置在載物臺上,然后再將載物臺推入真空干燥機的干燥室內(nèi),這樣的方式,可以大大提高生產(chǎn)效率,而且不會造成靶材的損壞,而且操作方便。另外,本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單,制造成本低,維護方便。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]以下結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步詳細說明:
[0011]圖1為本實用新型一種靶材真空干燥機的載物裝置的主視圖;
[0012]圖2為圖1中A處的放大圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1或圖2所示,本實用新型一種靶材真空干燥機的載物裝置,其設(shè)置在真空干燥機10干燥室101的開口側(cè),所述載物裝置包括支撐架1,所述支撐架I的頂部設(shè)有支撐臺2,支撐臺2的臺面與真空干燥機10干燥室101的底面齊平;所述支撐臺2的上方設(shè)有載物臺3,所述載物臺3的底部設(shè)有滾輪4,滾輪4設(shè)在支撐臺2上,并帶動載物臺3在支撐臺2和真空干燥機10干燥室101的底面上來回滑動。
[0014]所述支撐臺2的兩端分別設(shè)有限制載物臺3滑動的側(cè)欄板5,所述側(cè)欄板5靠近真空干燥機10的一端鉸接有可打開或閉合的前欄板6。所述側(cè)欄板5遠離真空干燥機10的一端設(shè)有后欄板7。側(cè)欄板5、前欄板6和后欄板7用于限制載物臺3底部滾輪4的運動,側(cè)欄板5可以避免載物臺3進出真空干燥機10運動時載物臺3跑偏,后欄板7可以防止載物臺3從真空干燥機10退回支撐臺2上時掉離支撐臺2。另外,前欄板6可打開或關(guān)閉,關(guān)閉時通過銷釘11鎖死。
[0015]所述支撐架I的底部也設(shè)有滾輪8。支撐架I底部的滾輪8方便整體移位。
[0016]所述支撐臺2的臺面的四個頂角處分別設(shè)有手推桿9。手推桿9方便推動載物臺3。
[0017]本實用新型的工作原理:大型靶材在進入真空干燥機10的干燥室101內(nèi)前,先將大型靶材放置在載物臺3上,然后再將載物臺3推入真空干燥機10的干燥室101內(nèi)即可。干燥完成后,也只要將整個載物臺3退回支撐臺2上,操作非常方便。
【權(quán)利要求】
1.一種靶材真空干燥機的載物裝置,其設(shè)置在真空干燥機干燥室的開口側(cè),所述載物裝置包括支撐架,其特征在于:所述支撐架的頂部設(shè)有支撐臺,支撐臺的臺面與真空干燥機干燥室的底面齊平;所述支撐臺的上方設(shè)有載物臺,所述載物臺的底部設(shè)有滾輪,滾輪設(shè)在支撐臺上,并帶動載物臺在支撐臺和真空干燥機干燥室的底面上來回滑動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材真空干燥機的載物裝置,其特征在于:所述支撐臺的兩端分別設(shè)有限制載物臺滑動的側(cè)欄板,所述側(cè)欄板靠近真空干燥機的一端鉸接有可打開或閉合的前欄板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種靶材真空干燥機的載物裝置,其特征在于:所述側(cè)欄板遠離真空干燥機的一端設(shè)有后欄板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材真空干燥機的載物裝置,其特征在于:所述支撐架的底部也設(shè)有滾輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材真空干燥機的載物裝置,其特征在于:所述支撐臺的臺面的四個頂角處分別設(shè)有手推桿。
【文檔編號】F26B25/00GK204100765SQ201420559423
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月26日
【發(fā)明者】林杰, 王維綱, 侯則良 申請人:福建省諾希新材料科技有限公司