平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，屬于平板玻璃和半導(dǎo)體硅片表面濕化學(xué)加工技術(shù)領(lǐng)域，該裝置在工件的上、下均有設(shè)置，其包括端口、入風(fēng)口、風(fēng)道和出風(fēng)口；端口的一端與空氣壓縮泵相連，在端口的另一端設(shè)有入風(fēng)口，入風(fēng)口與風(fēng)道的一端相連，在風(fēng)道的另一端設(shè)有出風(fēng)口；出風(fēng)口、風(fēng)道和入風(fēng)口相連通。本實(shí)用新型能很好地將玻璃片等工件表面的液體去除，可提高蝕刻液等反應(yīng)溶液的使用壽命；能減少高純水的消耗，減少清洗污水的產(chǎn)生；出風(fēng)溫度與環(huán)境溫度之差不大于5℃，即去除了玻璃片表面的化學(xué)液體，又不至于由于風(fēng)溫明顯升高，干擾表面的化學(xué)反應(yīng)，造成工藝控制的困難，影響制品的質(zhì)量。
【專利說明】
平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于平板玻璃和半導(dǎo)體硅片表面濕化學(xué)加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]表面濕化學(xué)加工是生產(chǎn)顯示屏玻璃，包括蝕刻玻璃、AG玻璃、化學(xué)切割玻璃、光伏玻璃以及半導(dǎo)體硅片等多種產(chǎn)品常用的加工方法，其過程涉及到:酸堿、表面活性劑清洗，減薄，減反射，拋光，刻蝕，制絨等一系列工序，玻璃片和半導(dǎo)體硅片需要與不同的化學(xué)液體進(jìn)行適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)反應(yīng)。利用水平生產(chǎn)線，在這些工序間水平移動(dòng)的玻璃片和半導(dǎo)體硅片等表面往往都帶有大量上道工序的化學(xué)殘液或清洗水。
[0003]為了防止上道工序的化學(xué)殘液或清洗水進(jìn)入下道工序，影響下道工序的正常進(jìn)行，常規(guī)的方法是在工序之間對被加工的玻璃片和半導(dǎo)體硅片等進(jìn)行水清洗，即先用水沖洗化學(xué)殘液并運(yùn)用風(fēng)刀的高壓強(qiáng)氣流吹掃其表面，使其表面快速干燥，再進(jìn)入下道工序。
[0004]由此，頻繁的工序之間的清洗會(huì)產(chǎn)生大量的污水，不僅增加了高純水的消耗，而且這些污水需要經(jīng)過復(fù)雜的處置才能排放，否則會(huì)嚴(yán)重影響污染環(huán)境。同時(shí)，所用的高壓強(qiáng)氣流風(fēng)刀，雖然干燥快速，但不適合用于吹掃表面的殘液。因?yàn)槌Ｒ?guī)的高壓強(qiáng)氣流風(fēng)刀的結(jié)構(gòu)特征是，總出風(fēng)面積小于入風(fēng)口面積，風(fēng)在寬的進(jìn)風(fēng)口與窄的出風(fēng)口之間的風(fēng)道腔室中被劇烈壓縮、回旋摩擦，而溫度升高，形成的是高強(qiáng)度的熱風(fēng)，一般風(fēng)溫可達(dá)到45°C，甚至更高。用這種熱風(fēng)吹掃表面的化學(xué)殘液，會(huì)嚴(yán)重干擾表面化學(xué)反應(yīng)，造成工藝控制困難，甚至影響產(chǎn)品質(zhì)量，如厚薄偏差，光澤度、霧度、粗糙度，等一系列性能，產(chǎn)生條紋、波紋、亮點(diǎn)等嚴(yán)重質(zhì)量缺陷。隨著被加工制品越來越薄，單件尺寸越來越小，使用高壓強(qiáng)氣流的風(fēng)刀還會(huì)干擾被加工制品的輸送和排列，甚至發(fā)生追片及撞碎等異?，F(xiàn)象。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的在于提供平板顯示屏玻璃和半導(dǎo)體硅片濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，既能將被加工制品表面的化學(xué)殘液吹凈，減少化學(xué)殘液對下道工序的干擾，減少清洗用高純水的消耗，又不會(huì)由于吹掃而干擾工件表面的化學(xué)加工，影響產(chǎn)品的加工質(zhì)量。
[0006]平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，該低風(fēng)速吹掃殘液的裝置在工件的上、下均有設(shè)置，其包括端口、入風(fēng)口、風(fēng)道和出風(fēng)口；所述的端口的一端與空氣壓縮栗相連，在端口的另一端設(shè)有入風(fēng)口，入風(fēng)口與風(fēng)道的一端相連，在風(fēng)道的另一端設(shè)有出風(fēng)口；所述的出風(fēng)口、風(fēng)道和入風(fēng)口相連通。
[0007]在所述的風(fēng)道外部設(shè)有螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)，螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)對稱設(shè)置在風(fēng)道的兩側(cè)，用于固定吹掃殘液的裝置，并且調(diào)整吹掃的方向。
[0008]通過螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整，出風(fēng)口邊緣與工件之間的距離不超過25mm。
[0009]該裝置與工件的夾角為15?45°。
[0010]所述的風(fēng)道為中空的扁平狀內(nèi)風(fēng)道。
[0011]所述的低風(fēng)速吹掃是出風(fēng)口的風(fēng)速彡8m/s。
[0012]所述的出風(fēng)口的長度大于出風(fēng)口的寬度，出風(fēng)口的的寬度彡Imm且彡10mm。
[0013]所述的入風(fēng)口的截面面積與出風(fēng)口的截面面積之比<6。
[0014]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0015]I)通過在不同工序之間設(shè)計(jì)吹掃工藝和設(shè)置低風(fēng)速吹掃器，當(dāng)玻璃片和半導(dǎo)體硅片等工件在輸送滾輪帶動(dòng)下經(jīng)過上、下吹掃器時(shí)，從吹掃器出風(fēng)口吹出的風(fēng)能很好地將玻璃片等工件表面的液體去除，可提高蝕刻液等反應(yīng)溶液的使用壽命；
[0016]2)用吹掃器去除玻璃片表面的液體，代替?zhèn)鹘y(tǒng)工藝頻繁的中間清洗操作，能減少高純水的消耗，減少清洗污水的產(chǎn)生；
[0017]3)由于設(shè)計(jì)扁平狀、小壓縮比的吹掃器，使得風(fēng)從上吹掃器入風(fēng)口向出風(fēng)口吹出的過程中，在內(nèi)風(fēng)道中不被顯著壓縮，出風(fēng)溫度與環(huán)境溫度之差不大于5°C，即去除了玻璃片表面的化學(xué)液體，又不至于由于風(fēng)溫明顯升高，干擾玻璃表面的化學(xué)反應(yīng)，造成工藝控制的困難，影響制品的質(zhì)量；
[0018]4)由于小壓縮比、扁平狀的吹掃器，出風(fēng)速度比傳統(tǒng)風(fēng)刀的明顯減小，不至于由于風(fēng)壓過大而干擾玻璃片的輸送，甚至造成薄玻璃片的破碎。
【附圖說明】

[0019]圖1為平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置的主視圖；
[0020]圖2為平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置的側(cè)視圖；
[0021 ]圖3為低風(fēng)速吹掃殘液的裝置的工藝過程示意圖；
[0022]圖4為工藝過程放大后示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本實(shí)用新型。
[0024]如圖1-2所示，平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置(以下簡稱低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4)，包括端口 41、入風(fēng)口 42、風(fēng)道43、螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)44和出風(fēng)口 45。端口 41的一端與空氣壓縮栗相連，在端口 41的另一端設(shè)有入風(fēng)口 42，入風(fēng)口 42與風(fēng)道43的一端相連，在風(fēng)道43的另一端設(shè)有出風(fēng)口45;出風(fēng)口45、風(fēng)道43和入風(fēng)口42相連通。
[0025]在風(fēng)道43外部設(shè)有螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)44，螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)44對稱設(shè)置在風(fēng)道43的兩側(cè)，用于固定吹掃殘液的裝置，并且調(diào)整吹掃的方向。風(fēng)道43為中空的扁平狀內(nèi)風(fēng)道。
[0026]該低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4為耐腐蝕材料，尤其是耐氟腐蝕的，機(jī)械強(qiáng)度高，且剛性好的材料;低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4在工件的上、下均有設(shè)置，通過螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)44調(diào)整，出風(fēng)口 45邊緣與工件之間的距離不超過25mm;低風(fēng)速吹掃殘液的裝置與工件的夾角為15?45° ;出風(fēng)口45的風(fēng)速彡8m/s。出風(fēng)口45的長度大于出風(fēng)口45的寬度，出風(fēng)口的45的寬度彡Imm但< 10mm。入風(fēng)口 43的截面面積與出風(fēng)口 45的截面面積之比<6。
[0027]通過向風(fēng)道43中通入凈化的空氣，在空氣壓縮栗的作用下形成吹掃風(fēng)，經(jīng)出風(fēng)口45向逆向傾斜方向分別吹出，低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4的傾斜角度和與玻璃片等工件之間的距離可獨(dú)立調(diào)整，以將在低風(fēng)速吹掃殘液的裝置之間通過的玻璃片等工件表面的化學(xué)殘液或清洗水吹掃掉。
[0028]低風(fēng)速吹掃殘液的裝置的工藝，工件每進(jìn)行一次濕化學(xué)加工后就采用所述的低風(fēng)速吹掃殘液的裝置進(jìn)行一次低風(fēng)速吹掃，低風(fēng)速吹掃是出風(fēng)口 45的風(fēng)速<8m/s;可以包括如下步驟:
[0029]I)工件進(jìn)行前端清洗后進(jìn)入下一步驟2);
[0030]2)工件前端清洗后，先進(jìn)行低風(fēng)速吹掃，然后在輸送輪的輸送下進(jìn)行一次濕化學(xué)加工，結(jié)束后進(jìn)行低風(fēng)速吹掃，然后在輸送輪的輸送下再次進(jìn)行一次濕化學(xué)加工，結(jié)束后進(jìn)行低風(fēng)速吹掃;低風(fēng)速吹掃是出風(fēng)口 45的風(fēng)速<8m/s;
[0031]3)后段清洗，風(fēng)刀干燥。
[0032]如圖3-4所示，低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4在工件的上、下兩面對稱設(shè)置，低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4與工件通過方向的夾角為15?45°;工件為顯示屏用玻璃基板I，在顯示屏用玻璃基板I通過路線的下方等間距設(shè)有輸送輪5，便于輸送顯示屏用玻璃基板I。在經(jīng)過第一次反應(yīng)液2的沖洗反應(yīng)后，在顯示屏用玻璃基板I上留有第一次殘液3，顯示屏用玻璃基板I進(jìn)入兩個(gè)對稱設(shè)置的低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4之間，進(jìn)行第一次的吹掃工序;結(jié)束后，顯示屏用玻璃基板I經(jīng)過輸送輪5的輸送，經(jīng)過第二次反應(yīng)液6的反應(yīng)后，在顯示屏用玻璃基板I上留有第二次殘液7，顯示屏用玻璃基板I進(jìn)入兩個(gè)對稱設(shè)置的低風(fēng)速吹掃殘液的裝置4之間，進(jìn)行第二次的吹掃工序。在第一次吹掃工序和第二次吹掃工序的下方均設(shè)有用于回收反應(yīng)液的收集池8。
[0033]實(shí)例I
[0034]對傳統(tǒng)工藝丨(前段清洗—風(fēng)刀干燥4AG液蝕刻—?dú)浞嵛g刻—后段清洗—風(fēng)刀干燥)的AG玻璃生產(chǎn)線，用本實(shí)用新型專利的技術(shù)路線，改進(jìn)后的工藝2(前段清洗—風(fēng)刀干燥—AG液蝕刻—低風(fēng)速吹掃—?dú)浞嵛g刻—低風(fēng)速吹掃—后段清洗—風(fēng)刀干燥)進(jìn)行改進(jìn)，即在AG液蝕刻與氫氟酸蝕刻工序之間增加低風(fēng)速吹掃操作，在上述工序之間安裝上本實(shí)用新型專利的上、下低風(fēng)速吹掃器，高氟廢水量降低50%，廢水含氟濃度由1000mg/L下降為400mg/L，但是AG玻璃表面還頻繁出現(xiàn)云狀隱紋的缺陷，不合格。
[0035]本實(shí)用新型的工藝，對工藝2做進(jìn)一步改進(jìn):前段清洗—低風(fēng)速吹掃—AG液蝕刻—低風(fēng)速吹掃—?dú)浞嵛g刻—低風(fēng)速吹掃—后段清洗—風(fēng)刀干燥；即在前段清洗后改風(fēng)刀干燥為低風(fēng)速吹掃操作、在AG液蝕刻與氫氟酸蝕刻工序設(shè)置低風(fēng)速吹掃操作，在氫氟酸蝕刻后設(shè)置低風(fēng)速吹掃器，云狀隱紋缺陷被消除，AG液蝕刻液與氫氟酸蝕刻液的使用周期延長一倍，消耗下降30%，高氟廢水量降低40%，廢水含氟濃度由1000mg/L下降為300mg/L.。
[0036]本實(shí)用新型的裝置對半導(dǎo)體太陽能電池硅片進(jìn)行制絨或濕法刻蝕加工，出現(xiàn)的現(xiàn)象和產(chǎn)生的有益效果相似。
[0037]實(shí)例2
[0038]OGS(One Glass Solut1n)玻璃是指一塊能同時(shí)起到保護(hù)面板和觸摸傳感器雙重作用的顯示屏玻璃，經(jīng)過切割后，玻璃切割面容易存在裂痕，會(huì)造成OGS觸摸屏產(chǎn)品的機(jī)械抗壓力下降。為此，對其切割面進(jìn)行濕化學(xué)處理，用氫氟酸/鹽酸、硫酸或硝酸的混合酸液進(jìn)行蝕刻，修復(fù)玻璃切割處的微裂紋，提高其強(qiáng)度，俗稱二次強(qiáng)化。
[0039]對二次強(qiáng)化的OGS手機(jī)玻璃片，先采用傳統(tǒng)工藝，在氫氟酸/鹽酸、硫酸或硝酸的混合酸液蝕刻后進(jìn)行水清洗，生產(chǎn)I平方米的OGS手機(jī)玻璃片需要產(chǎn)生大約5kg的高氟廢水，由于用高速風(fēng)刀吹出的熱風(fēng)快速干燥，且輸送中容易發(fā)生玻璃片追片及撞碎等異?，F(xiàn)象。
[0040]改用本實(shí)用新型的裝置，對氫氟酸/鹽酸、硫酸或硝酸的混合酸液蝕刻后的OGS手機(jī)玻璃片，先通過在線低壓風(fēng)吹掃器去除玻璃片表面的混合酸液，然后再進(jìn)行水清洗，生產(chǎn)I平方米的OGS手機(jī)玻璃片，僅產(chǎn)生大約0.5_2kg相同濃度的含氟廢水，而且混合酸液的消耗下降18%，也沒有了玻璃片追片及撞碎等異?，F(xiàn)象。
[0041]本實(shí)用新型的裝置對半導(dǎo)體太陽能電池硅片進(jìn)行制絨或濕法刻蝕加工，出現(xiàn)的現(xiàn)象和產(chǎn)生的有益效果相似。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，該低風(fēng)速吹掃殘液的裝置在工件的上、下均有設(shè)置，其特征在于:其包括端口(41)、入風(fēng)口(42)、風(fēng)道(43)和出風(fēng)口(45);所述的端口(41)的一端與空氣壓縮栗相連，在端口(41)的另一端設(shè)有入風(fēng)口(42)，入風(fēng)口(42)與風(fēng)道(43)的一端相連，在風(fēng)道(43)的另一端設(shè)有出風(fēng)口(45);所述的出風(fēng)口(45)、風(fēng)道(43)和入風(fēng)口(42)相連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:在所述的風(fēng)道(43)外部設(shè)有螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)(44)，螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)(44)對稱設(shè)置在風(fēng)道(43)的兩側(cè)，用于固定吹掃殘液的裝置，并且調(diào)整吹掃的方向。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:通過螺栓調(diào)整機(jī)構(gòu)(44)調(diào)整，出風(fēng)口( 45)邊緣與工件之間的距離不超過25mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:該裝置與工件的夾角為15?45°。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:所述的風(fēng)道(43)為中空的扁平狀內(nèi)風(fēng)道。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:所述的低風(fēng)速吹掃是出風(fēng)口(45)的風(fēng)速<8m/s。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:所述的出風(fēng)口(45)的長度大于出風(fēng)口(45)的寬度，出風(fēng)口的(45)的寬度多Imm且<1 Omnin8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏玻璃濕化學(xué)加工低風(fēng)速吹掃殘液的裝置，其特征在于:所述的入風(fēng)口(43)的截面面積與出風(fēng)口(45)的截面面積之比<6。
【文檔編號(hào)】F26B21/00GK205718344SQ201620618970
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月21日
【發(fā)明人】程俊華, 吳哲, 王丹
【申請人】鹽城工學(xué)院, 蘇州新吳光電科技有限公司