本發(fā)明涉及電子工業(yè)生產(chǎn)，尤其涉及一種潔凈廠房配套的空氣質(zhì)量管理系統(tǒng)。

背景技術：

1、電子工業(yè)廠房產(chǎn)生工藝廢氣種類較多、且產(chǎn)量普遍較大，尤其特殊廢氣處理模組對于支持區(qū)寬度及面積需求非常大，已成為行業(yè)內(nèi)的普遍現(xiàn)象。同時，生產(chǎn)廠房又需要潔凈的環(huán)境和空氣，由此需要設置空氣質(zhì)量管理系統(tǒng)。工藝廢氣系統(tǒng)包含一般廢氣處理模組、特殊廢氣處理模組(含酸性、堿性、cvd粉塵、有機、特種廢氣等)。工藝廢氣系統(tǒng)設施一般布置在生產(chǎn)廠房支持區(qū)的混凝土屋面，工藝廢氣系統(tǒng)設施包含：一般廢氣風機、特殊廢氣噴淋洗滌塔及風機、沸石轉輪機組+蓄熱/直燃式焚燒爐、屋面工藝廢氣管道、高大空間鋼結構管架、煙囪及鋼結構支撐架、填料清洗池、日用加藥桶槽等、檢修通道，檢測平臺、廢氣電氣間等。

2、現(xiàn)有技術方案中，工藝廢氣系統(tǒng)設施一般布置在生產(chǎn)廠房的支持區(qū)屋面，一般廢氣處理模組與特殊廢氣處理模組分別布置在生產(chǎn)廠房不同的兩側支持區(qū)屋面。例如，新型顯示器件項目的典型工藝廢氣系統(tǒng)設計技術方案，如圖1-圖3所示，為典型的電子工業(yè)雙層核心區(qū)潔凈廠房空氣質(zhì)量管理系統(tǒng)的結構示意圖，兩層核心潔凈生產(chǎn)廠房與雙側支持區(qū)組合的典型潔凈廠房構造。其中特殊廢氣處理模組布置在生產(chǎn)廠房的北側支持區(qū)屋面(圖5為圖4的北側支持區(qū)部分)，一般廢氣處理模組布置在生產(chǎn)廠房的南側支持區(qū)屋面(圖6為圖4的南側支持區(qū)部分)。

3、特殊廢氣處理模組全部布置在北側支持區(qū)屋面，同時支持區(qū)屋面還要布置大量的事故排風機，防排煙風機及機房、通風管道；另外支持區(qū)屋面還要留出四層核心潔凈生產(chǎn)區(qū)的工藝設備搬運動線位置；支持區(qū)屋面擁擠緊張，整體支持區(qū)屋面設施的空間管理與施工難度相當復雜。同時支持區(qū)屋面因設施眾多，設施空間擁擠，還影響雨季期間支持區(qū)屋面的排水。生產(chǎn)廠房支持區(qū)面積及寬度要求較大，勢必減小核心潔凈生產(chǎn)區(qū)的面積及寬度，影響工藝生產(chǎn)產(chǎn)能，浪費較大空間。例如高世代新型顯示器件項目及半導體類項目，特殊廢氣處理模組布置的支持區(qū)屋面普遍需要在24m-30m。

4、為保證不進一步擴大支持區(qū)的面積及寬度，行業(yè)內(nèi)目前是將原本低位鋪設在屋面的特殊廢氣風管改成架設在高大空間鋼結構管架上方，管架正下方為特殊廢氣處理模組。此方式需要增設高大空間鋼結構管架，增加造價，同時也增加高大空間鋼結構管架、高位廢氣風管的抗臺風風險。最后項目施工完成后往往支持區(qū)屋面設備及管道安裝空間非常擁擠，檢修通道基本沒設置空間，后期運維檢修非常困難。

5、如圖1-圖4所示，一層、三層潔凈室的下技術夾層的所有特殊廢氣管道，全部需要從靠近特殊廢氣主系統(tǒng)的一側回風夾道穿越至支持區(qū)屋面接至特殊廢氣處理模組，導致有1/2的廢氣管道橫跨了整個核心生產(chǎn)區(qū)，造成管道路徑非常長，廢氣管道及支吊架增加造價，增加特殊廢氣處理模組的管道阻力，增加了特殊廢氣處理模組的風機能耗，同時增加了下技術夾層的空間管理難度，下技術夾層的層高要求更高，增加下技術夾層的土建造價。一般廢氣管道的設置方式存在相同的問題。

6、特殊廢氣處理模組排氣煙囪空氣含有酸性、堿性、有機、cvd粉塵、有毒等污染物成分，為以免廠區(qū)室外空氣因風向因素導致煙囪排氣，通過新風防雨百葉窗吸入潔凈新風機組(mau)，再通過新風管進入潔凈室，從而污染潔凈室，影響潔凈室生產(chǎn)，影響產(chǎn)品良率。

7、為解決這一問題，建設項目生產(chǎn)廠房在有條件的情況下，通常將潔凈新風空調(diào)機房與一般廢氣處理模組設置在同一側支持區(qū)，特殊廢氣處理模組設置在另一側支持區(qū)。對于大型電子工業(yè)廠房項目，現(xiàn)在普遍生產(chǎn)廠房的體量都大，潔凈室面積大，集中一側支持區(qū)設置潔凈新風空調(diào)機組(mau)，導致新風管送入大面積潔凈的路徑過長，增加新風管道的阻力，增加潔凈新風空調(diào)機組(mau)的風機能耗，同時潔凈室內(nèi)各工藝分區(qū)的新風量平衡調(diào)節(jié)難度增加。

8、當生產(chǎn)廠房面積受限，無條件設置兩側支持區(qū)，只能設置一側支持區(qū)的情況下，特殊廢氣處理模組與潔凈新風空調(diào)機房勢必在同一側支持區(qū)，特殊廢氣煙囪排氣的污染物成分，有非常高的風險，會通過新風防雨百葉窗吸入潔凈新風機組(mau)，再通過新風管進入潔凈室，從而污染潔凈室，影響潔凈室生產(chǎn)，影響產(chǎn)品良率。

9、現(xiàn)有技術中，為減少甚至是為能找到安裝空間，往往將同一種類型的廢氣煙囪進行集中合并成1個，合并煙囪的直徑非常大；因排氣煙囪的顆粒物或氣態(tài)污染物監(jiān)測的采樣點位置應滿足規(guī)范要求應選擇設置在垂直管道，且應設置在距彎頭、閥門、變徑管下游方向不小于6倍直徑和距上述部件上游方向不小于3倍直徑處，造成合并煙囪的安裝高度必須滿足合并煙囪直徑的9倍以上，導致煙囪的安裝高度非常高，導致煙囪的鋼結構支撐架的設計難度較大且抗臺風風險非常高。

10、此外，特殊廢氣處理模組應避開生產(chǎn)廠房的建筑主立面?zhèn)?、主要市政道路側、科學產(chǎn)業(yè)園、生活配套區(qū)、臨近居民小區(qū)側對應的支持區(qū)屋面布置，部分項目根本無條件滿足此條件設置，最終導致整體建設形象，同時引來附近居民投訴。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于上述的分析，本發(fā)明實施例旨在提供一種潔凈廠房配套的空氣質(zhì)量管理系統(tǒng)，用以解決特殊廢氣處理模組安裝空間相當擁擠緊張、檢修困難，工藝設備搬運通道設置空間困難，支持區(qū)雨天排水困難等的問題。

2、一方面，本發(fā)明提供了一種潔凈廠房配套的空氣質(zhì)量管理系統(tǒng)，包括特殊廢氣處理模組、一般廢氣處理模組、第一搬運動線、第二搬運動線以及潔凈空調(diào)模組；其中，所述特殊廢氣處理模組和所述一般廢氣處理模組固定設置于所述潔凈廠房的核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面的頂部，以中央回風夾道的屋面位置為界線，所述特殊廢氣處理模組和所述一般廢氣處理模組分別位于所述中央回風夾道的屋面位置的兩側；所述第一搬運動線設置在所述特殊廢氣處理模組旁邊，所述第二搬運動線設置在靠近所述中央回風夾道的屋面位置或所述中央回風夾道的屋面位置；所述潔凈空調(diào)模組的潔凈新風機組設置在所述潔凈廠房的支持區(qū)的空調(diào)機房內(nèi)。

3、進一步地，所述特殊廢氣處理模組包括多個特殊廢氣處理裝置、特殊廢氣風機、屋面特殊廢氣處理前集風管、屋面特殊廢氣處理前支管、特殊廢氣煙囪、屋面特殊廢氣處理后支管、特殊廢氣煙囪鋼構支撐架、填料清洗池、日用加藥桶槽、檢修通道以及廢氣電氣間。

4、進一步地，所述一般廢氣處理模組包括多個一般廢氣風機、一般廢氣集風管、一般廢氣支管、一般廢氣煙囪、一般廢氣煙囪鋼構支架、檢測平臺以及廢氣電氣間。

5、進一步地，還包括工藝廢氣管道，所述工藝廢氣管道設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)下方的下技術夾層內(nèi)，并穿過中央回風夾道以及上方屋頂，將工藝廢氣輸對應送至所述特殊廢氣處理模組和所述一般廢氣處理模組內(nèi)。

6、進一步地，所述工藝廢氣管道包括一般廢氣管道和特殊廢氣管道。

7、進一步地，所述工藝廢氣管道集中穿過一側中央回風夾道，所述第二搬運動線設置在沒有穿越工藝廢氣管道的中央回風夾道的屋面位置。

8、進一步地，所述一般廢氣管道和特殊廢氣管道分別穿過兩側中央回風夾道，所述第二搬運動線設置在所述中央回風夾道與所述特殊廢氣處理模組之間的屋面位置。

9、進一步地，所述第一搬運動線的承重范圍為20-25kn。

10、進一步地，所述第二搬運動線的承重范圍為大于等于20kn。

11、進一步地，在所述中央回風夾道屋面穿管處設置狗屋，在所述狗屋不穿廢氣風管的側面安裝滿足消防規(guī)范要求的應急排煙窗。

12、進一步地，布置特殊廢氣處理模組的屋面采用鋼桁架+deck板屋面。

13、進一步地，所述潔凈空調(diào)模組新風機組設置在所述潔凈廠房的一側或兩側支持區(qū)空調(diào)機房內(nèi)

14、與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明至少可實現(xiàn)如下有益效果之一：

15、(1)特殊廢氣處理模組布置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，潔凈核心區(qū)屋面面積大，眾多的廢氣處理裝置、廢氣集風管及連接支管、煙囪及鋼結構支撐架、填料清洗池、日用加藥桶槽等、搬運通道、廢氣電氣間等設施的安裝空間都相當富裕，檢修空間寬敞，日后運維保養(yǎng)方便。

16、(2)特殊廢氣處理模組設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，不但不占有任何生產(chǎn)廠房的支持區(qū)面積，而且還可以節(jié)省出原傳統(tǒng)技術方案為滿足特殊廢氣處理模組的安裝空間需要滿足一定的支持區(qū)寬度及面積；本發(fā)明技術方案只需要考慮支持區(qū)輔助用房需要的寬度與面積，根據(jù)以往多個項目經(jīng)驗，至少能壓縮支持區(qū)寬度4m-8m。擴大潔凈室的面積，增加潔凈室工藝設備的數(shù)量，提高潔凈室的利用率，增加項目的生產(chǎn)產(chǎn)能。

17、(3)支持區(qū)屋面減少了特殊廢氣處理模組的空間，有利于雨季期間支持區(qū)屋面的排水，有利于支持區(qū)屋面為四層潔凈室工藝設備搬運通道空間的預留。

18、(4)核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面有足夠的空間，完全可以將特殊廢氣集風管全部低位鋪設在核心區(qū)屋面上，節(jié)省傳統(tǒng)技術方案的高大空間鋼結構管架，無高大空間鋼結構管架的建設成本，同時無高大空間鋼結構管架及高位廢氣風管的設計難度與抗臺風風險。

19、(5)核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面有足夠的空間，完全可以將特殊廢氣處理模組的煙囪對應每套廢氣處理設備獨立設置，解決傳統(tǒng)技術方案因合并煙囪導致煙囪高度過高且無安裝空間的問題。同時降低集中煙囪及鋼結構支撐架的設計難度及抗臺風風險。

20、(6)特殊廢氣處理模組設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，特殊廢氣管道從中央回風夾道上至核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面的特殊廢氣處理模組，節(jié)省傳統(tǒng)技術方案近1/3特殊廢氣管道及其支吊架，減少特殊廢氣處理模組阻力及風機能耗。

21、(7)一般廢氣處理模組設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，一般廢氣管道從中央回風夾道上至核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面一般廢氣處理模組，節(jié)省傳統(tǒng)技術方案近1/3特殊廢氣管道及其支吊架，減少一般廢氣處理模組阻力及風機能耗。

22、(8)所有特殊廢氣、一般廢氣的管道全部由潔凈室下技術夾層通過穿越中央回風夾道上至核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面接至相應的廢氣處理模組，在中央回風夾道屋面穿管處設置狗屋，狗屋不穿廢氣風管的側面(或其他位置)可以安裝滿足消防規(guī)范要求的應急排煙窗，可以避免為了在屋頂設置應急排煙窗，而特意在鋼結構屋頂?shù)纳a(chǎn)廠房局部設置凸起屋面或者另設狗屋。

23、(9)針對有雙側支持區(qū)的電子工業(yè)廠房，特殊廢氣處理模組設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，排氣煙囪遠離生產(chǎn)廠房的兩側支持區(qū)，可以根據(jù)潔凈室工藝分區(qū)的特點結合新風系統(tǒng)風管路徑的距離，選擇在雙側支持區(qū)設置潔凈新風空調(diào)機房，完全可以避免排氣煙囪對潔凈新風空調(diào)機組的污染，從而完全避免污染潔凈室生產(chǎn)；同時減少新風管道路徑，降低造價，潔凈新風系統(tǒng)風量平衡調(diào)節(jié)簡單，且減少潔凈新風空調(diào)系統(tǒng)的管道阻力，降低風機能耗。

24、(10)針對生產(chǎn)廠房面積受限，僅有一側支持區(qū)的電子工業(yè)廠房，特殊廢氣的煙囪排氣遠離生產(chǎn)廠房的支持區(qū)，遠離潔凈新風空調(diào)機房，完全可以避免污染潔凈新風空調(diào)機組，從而完全避免污染潔凈室生產(chǎn)。

25、(11)工藝廢氣系統(tǒng)設施設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，遠離建筑主立面?zhèn)取⒅饕姓缆穫?、科學產(chǎn)業(yè)園、生活配套區(qū)、附近居民小區(qū)，提升項目廠區(qū)建設形象，減少居民投訴隱患。

26、(12)工藝廢氣系統(tǒng)設施設置在核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面，核心潔凈生產(chǎn)區(qū)屋面需要設置大量工藝廢氣設備的基礎、廢氣電氣機房、廢氣風管條形基礎或支墩；此類土建設施可起到與防滑支墩相同的實際效果，能解決屋面面層側滑現(xiàn)象。

27、本發(fā)明中，上述各技術方案之間還可以相互組合，以實現(xiàn)更多的優(yōu)選組合方案。本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分優(yōu)點可從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點可通過說明書以及附圖中所特別指出的內(nèi)容中來實現(xiàn)和獲得。