本技術(shù)涉及轉(zhuǎn)運機構(gòu),尤其是涉及一種石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu)及其烘干裝置。
背景技術(shù):
1、硅片在清洗過后需要將其表面的水烘干,傳動通常通過人工進行搬運,人工搬運效率低,且勞動強度大,不適用于大規(guī)模生產(chǎn),而為解決勞動強度的問題,現(xiàn)有采用agv小車,通過agv小車將石墨舟搬磚至指定工位,而agv小車在搬運石墨舟時容易出現(xiàn)撞舟,同時agv小車本身成本比較高,不適用于在生產(chǎn)規(guī)模不大的情況。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型要解決的技術(shù)問題是:為了解決現(xiàn)有通過agv小車將石墨舟搬磚至指定工位,而agv小車在搬運石墨舟時容易出現(xiàn)撞舟,同時agv小車本身成本比較高的問題,現(xiàn)提供了一種石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu)及其烘干裝置。
2、本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),包括機架和承載板,所述承載板沿石墨舟輸送方向滑動設(shè)置在機架上,所述機架上設(shè)置有用于驅(qū)動承載板沿石墨舟輸送方向位移的第一驅(qū)動機構(gòu),所述承載板上設(shè)置有用于限制石墨舟沿其轉(zhuǎn)運方向位移的限位機構(gòu)。相比于現(xiàn)有技術(shù),機架上通過驅(qū)動機構(gòu)帶動承載板位移,實現(xiàn)將承載板上的石墨舟轉(zhuǎn)運至所需工位,降低了勞動強度,提高了工作效率,避免了撞舟的風(fēng)險,也降低了使用成本。
3、為了實現(xiàn)限位機構(gòu),優(yōu)選地一些實施方式,所述限位機構(gòu)包括安裝在承載板上的限位塊,所述限位塊與石墨舟下方相匹配。在承載板上設(shè)置限位塊,石墨舟設(shè)置在限位塊上,并限制了石墨舟沿承載板位移方向的位移,保證石墨舟位移穩(wěn)定可靠。
4、為了滿足不同型號的石墨舟,優(yōu)選地一些實施方式,所述限位塊有兩組,兩組所述限位塊間隔設(shè)置在承載板位移方向的兩側(cè),每組所述限位塊包括至少一個相互間隔設(shè)置的限位塊。通過在承載板的兩側(cè)均設(shè)置限位塊,每組限位孔包括至少一組,根據(jù)石墨舟的型號安裝所需限位塊,提高設(shè)備的適用性,滿足更多石墨舟型號的使用。
5、為了實現(xiàn)第一驅(qū)動機構(gòu),優(yōu)選地一些實施方式,所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括伺服電機,所述機架上設(shè)置有同步帶輪機構(gòu),所述同步帶輪機構(gòu)沿承載板位移方向設(shè)置,所述伺服電機固定安裝在機架上,所述伺服電機的輸出端與同步帶輪機構(gòu)傳動連接,所述承載板固定在同步帶輪機構(gòu)的同步帶上。通過伺服電機帶動同步帶輪機構(gòu),并使同步帶輪機構(gòu)帶動承載板在機架上位移,實現(xiàn)第一驅(qū)動機構(gòu)。
6、為了實現(xiàn)承載板在機架上滑動,優(yōu)選地一些實施方式,所述機架上安裝有導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌沿承載板位移方向設(shè)置,所述承載板上安裝有與導(dǎo)軌相匹配的滑塊,所述滑塊滑動安裝在導(dǎo)軌上。通過承載板上的滑塊與機架上的導(dǎo)軌配合,實現(xiàn)承載板在機架上滑動。
7、為了降低承載板的重量,優(yōu)選地一些實施方式,所述承載板上開設(shè)有減重孔。通過在承載板上開設(shè)減重孔,減重孔降低了承載板的重量。
8、為了防止承載板位移過頭導(dǎo)致石墨舟傾倒,優(yōu)選地一些實施方式,所述機架上沿承載板位移方向的兩端均設(shè)置有擋塊,所述承載板位于機架兩端的擋塊之間。通過在機架上位于承載板的兩端設(shè)置擋板,將承載板限制在擋塊之間。
9、為了防止石墨舟出現(xiàn)偏載,優(yōu)選地一些實施方式,所述機架沿承載板位移方向的兩側(cè)均設(shè)置有限位開關(guān)。通過在機架上沿承載板的兩側(cè)安裝限位開關(guān),限位開關(guān)限制了石墨舟的位移范圍,保證了承載板位移穩(wěn)定可靠。
10、一種烘干裝置,包括烘箱,所述烘箱的一端安裝有如上述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),所述烘箱上設(shè)置有用于抓取石墨舟的抓取機構(gòu),所述烘箱上設(shè)置有用于驅(qū)動抓取機構(gòu)在轉(zhuǎn)運機構(gòu)和烘箱之間位移的第二驅(qū)動機構(gòu)。
11、優(yōu)選地一些實施方式,還包括外殼體,所述烘箱及抓取機構(gòu)均設(shè)置在外殼體內(nèi),所述外殼體上開設(shè)有槽口,所述機架的一端通過槽口設(shè)置在外殼體內(nèi)。
12、本實用新型的有益效果是:本實用新型石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu)及其烘干裝置在使用時,通過驅(qū)動機構(gòu)帶動承載板位移,實現(xiàn)將承載板上的石墨舟轉(zhuǎn)運至所需工位,降低了勞動強度,提高了工作效率,避免了撞舟的風(fēng)險,也降低了使用成本,避免了現(xiàn)有通過agv小車將石墨舟搬磚至指定工位,而agv小車在搬運石墨舟時容易出現(xiàn)撞舟,同時agv小車本身成本比較高的問題。
1.一種石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:包括機架(1)和承載板(2),所述承載板(2)沿石墨舟輸送方向滑動設(shè)置在機架(1)上,所述機架(1)上設(shè)置有用于驅(qū)動承載板(2)沿石墨舟輸送方向位移的第一驅(qū)動機構(gòu)(3),所述承載板(2)上設(shè)置有用于限制石墨舟沿其轉(zhuǎn)運方向位移的限位機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述限位機構(gòu)包括安裝在承載板(2)上的限位塊(4),所述限位塊(4)與石墨舟下方相匹配。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述限位塊(4)有兩組,兩組所述限位塊(4)間隔設(shè)置在承載板(2)位移方向的兩側(cè),每組所述限位塊(4)包括至少一個相互間隔設(shè)置的限位塊(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述第一驅(qū)動機構(gòu)(3)包括伺服電機,所述機架(1)上設(shè)置有同步帶輪機構(gòu)(5),所述同步帶輪機構(gòu)(5)沿承載板(2)位移方向設(shè)置,所述伺服電機固定安裝在機架(1)上,所述伺服電機的輸出端與同步帶輪機構(gòu)(5)傳動連接,所述承載板(2)固定在同步帶輪機構(gòu)(5)的同步帶上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述機架(1)上安裝有導(dǎo)軌(6),所述導(dǎo)軌(6)沿承載板(2)位移方向設(shè)置,所述承載板(2)上安裝有與導(dǎo)軌(6)相匹配的滑塊(7),所述滑塊(7)滑動安裝在導(dǎo)軌(6)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述承載板(2)上開設(shè)有減重孔(8)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述機架(1)上沿承載板(2)位移方向的兩端均設(shè)置有擋塊(9),所述承載板(2)位于機架(1)兩端的擋塊(9)之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),其特征在于:所述機架(1)沿承載板(2)位移方向的兩側(cè)均設(shè)置有限位開關(guān)(10)。
9.一種烘干裝置,其特征在于:包括烘箱(11),所述烘箱(11)的一端安裝有如權(quán)利要求1-8任一項所述的石墨舟轉(zhuǎn)運機構(gòu),所述烘箱(11)上設(shè)置有用于抓取石墨舟的抓取機構(gòu)(12),所述烘箱(11)上設(shè)置有用于驅(qū)動抓取機構(gòu)(12)在轉(zhuǎn)運機構(gòu)和烘箱(11)之間位移的第二驅(qū)動機構(gòu)(13)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的烘干裝置,其特征在于:還包括外殼體(14),所述烘箱(11)及抓取機構(gòu)(12)均設(shè)置在外殼體(14)內(nèi),所述外殼體(14)上開設(shè)有槽口(15),所述機架(1)的一端通過槽口(15)設(shè)置在外殼體(14)內(nèi)。