一種用于直拉爐的水冷套裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及直拉爐的附屬設(shè)備，尤其涉及一種用于直拉爐的水冷套裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多年來，用于多晶硅轉(zhuǎn)化成單晶硅生產(chǎn)過程中的直拉爐沒有配套的水冷卻裝置，由于在高溫環(huán)境下熔融狀態(tài)的單晶硅的溫度較高，不能加快提拉速度，以致影響產(chǎn)品生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)狀況，本實用新型設(shè)計一種用于直拉爐的水冷套裝置。通過使用水冷套裝置，可快速降低熔融狀態(tài)的單晶硅的溫度，加快提拉速度，以達到單位時間內(nèi)提高產(chǎn)量的目的。
[0004]本實用新型采取的技術(shù)方案是:一種用于直拉爐的水冷套裝置，其特征在于:該水冷套裝置分為上下兩部分，包括上部法蘭和下部水冷套，上部法蘭和下部水冷套通過進水管和出水管焊接連接在一起；其中，上部法蘭上設(shè)有法蘭進水口、法蘭出水口和螺栓孔，上部法蘭通過螺栓孔與直拉爐體固定連接；下部水冷套包括水冷套外筒、水冷套內(nèi)筒、水冷套上端座和水冷套下端座，水冷套上端座和水冷套下端座分別與水冷套外筒和水冷套內(nèi)筒焊接，水冷套上端座上設(shè)有水冷套進水口和水冷套出水口，進水管和出水管的上端分別與法蘭進水口和法蘭出水口焊接，進水管和出水管的下端分別與水冷套進水口和水冷套出水口焊接，所述水冷套外筒和水冷套內(nèi)筒之間設(shè)置有環(huán)形水道，該環(huán)形水道分別與水冷套進水口和水冷套出水口相連通。
[0005]本實用新型所產(chǎn)生的有益效果是:本裝置結(jié)構(gòu)由于在水冷套外筒和內(nèi)筒之間設(shè)置有環(huán)形水道，既不影響水冷套內(nèi)的水的流動，又避免了內(nèi)套與外套的熱變形問題。本裝置與直拉爐通過法蘭與直拉爐連接，拆裝方便快捷，產(chǎn)品冷卻效果好。由于提高了提拉速度，最終提尚了廣品的生廣效率提尚。
【附圖說明】
[0006]圖1為本裝置的主視圖；
[0007]圖2為本裝置的俯視圖；
[0008]圖3為圖1中水冷套上端座的俯視圖。
【具體實施方式】
[0009]以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0010]參照圖1至圖3，用于直拉爐的水冷套裝置分為上下兩部分，包括上部法蘭1和下部水冷套2，上部法蘭1和下部水冷套2通過進水管3和出水管4焊接連接在一起；其中，上部法蘭1上設(shè)有法蘭進水口 1-1、法蘭出水口 1-2和螺栓孔1-3，上部法蘭1通過螺栓孔1-3與直拉爐體固定連接；下部水冷套2包括水冷套外筒2-1、水冷套內(nèi)筒2-2、水冷套上端座2-3和水冷套下端座2-4，水冷套上端座2-3和水冷套下端座2-4分別與水冷套外筒2_1和水冷套內(nèi)筒2-2焊接，水冷套上端座2-3上設(shè)有水冷套進水口 2-5和水冷套出水口 2-6，進水管3和出水管4的上端分別與法蘭進水口 1-1和法蘭出水口 1-2焊接，進水管3和出水管4的下端分別與水冷套進水口 2-5和水冷套出水口 2-6焊接，水冷套外筒2-1和水冷套內(nèi)筒2-2之間設(shè)置有環(huán)形水道2-7，該環(huán)形水道2-7分別與水冷套進水口 2-5和水冷套出水口 2-6相連通。
[0011]水冷套裝置的工作原理:本實用新型針對實際使用需求進行設(shè)計，冷卻水通過法蘭進水口 1-1進入水冷套，并通過環(huán)形水道2-7在第一時間對單晶硅棒長軸進行循環(huán)冷卻，水冷套可長期在真空、高溫環(huán)境中正常工作，由于其冷卻水可先直接到達產(chǎn)品最熱部位進行冷卻，使得產(chǎn)品冷卻效果好，提拉速度提高。
【主權(quán)項】
1.一種用于直拉爐的水冷套裝置，其特征在于:該水冷套裝置分為上下兩部分，包括上部法蘭(1)和下部水冷套(2)，上部法蘭(1)和下部水冷套(2)通過進水管(3)和出水管(4)焊接連接在一起；其中，上部法蘭(1)上設(shè)有法蘭進水口( 1-1)、法蘭出水口( 1-2 )和螺栓孔(1-3)，上部法蘭(1)通過螺栓孔(1-3)與直拉爐體固定連接；下部水冷套(2)包括水冷套外筒(2-1 )、水冷套內(nèi)筒(2-2)、水冷套上端座(2-3)和水冷套下端座(2-4)，水冷套上端座(2-3)和水冷套下端座(2-4)分別與水冷套外筒(2-1)和水冷套內(nèi)筒(2-2)焊接，水冷套上端座(2-3)上設(shè)有水冷套進水口(2-5)和水冷套出水口(2-6)，進水管(3)和出水管(4)的上端分別與法蘭進水口(1-1)和法蘭出水口(1-2)焊接，進水管(3)和出水管(4)的下端分別與水冷套進水口( 2-5 )和水冷套出水口( 2-6 )焊接，所述水冷套外筒(2-1)和水冷套內(nèi)筒(2-2)之間設(shè)置有環(huán)形水道(2-7)，該環(huán)形水道(2-7)分別與水冷套進水口(2-5)和水冷套出水口(2-6)相連通。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于直拉爐的水冷套裝置。該裝置的上部法蘭和下部水冷套通過進、出水管焊接；法蘭上設(shè)有法蘭進、出水口和螺栓孔，法蘭通過螺栓孔與直拉爐體固定連接；水冷套包括外筒、內(nèi)筒、上端座和下端座，上端座和下端座分別與外筒和內(nèi)筒焊接，上端座上設(shè)有水冷套進、出水口，進水管和出水管的上端分別與法蘭進、出水口焊接，下端分別與水冷套進、出水口焊接，外筒和內(nèi)筒之間設(shè)有環(huán)形水道，該環(huán)形水道分別與水冷套進、出水口相連通。由于在水冷套外筒和內(nèi)筒之間設(shè)置有環(huán)形水道，既不影響水冷套內(nèi)的水的流動，又避免了內(nèi)套與外套的熱變形問題。本裝置拆裝方便快捷，產(chǎn)品冷卻效果好。由于提高了提拉速度，最終提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率提高。
【IPC分類】F27D9/00
【公開號】CN204963582
【申請?zhí)枴緾N201520755832
【發(fā)明人】姚長娟, 靳立輝, 白聰軒, 張學(xué)強, 高樹良
【申請人】天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年9月28日