專利名稱：壓電泵及斯特林制冷庫的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電泵以及斯特林制冷庫(StirlingRefrigerator/Freezer)，特別是涉及能在負(fù)壓/正壓狀態(tài)下使流體高效地循環(huán)的壓電泵及備有該壓電泵的斯特林制冷庫。
背景技術(shù)：
作為使介質(zhì)循環(huán)的泵，長期以來使用壓電泵，該壓電泵使用石英或鈮酸鋰等的壓電元件。
圖6是表示現(xiàn)有壓電泵一個(gè)例子的剖視圖。參照?qǐng)D6，壓電泵106如圖6所示，備有殼體132、以及該殼體132內(nèi)的工作空間134與背壓空間135。這里，工作空間134與背壓空間135通過壓電元件136隔開。另外，在工作空間134側(cè)的殼體上，設(shè)置有吸引介質(zhì)的入口部137和排出該介質(zhì)的出口部138。在背壓空間135側(cè)的殼體上，設(shè)置有用于調(diào)整背壓空間135的壓力的背壓孔135A。此外，在入口部137與出口部138上，分別設(shè)置有使介質(zhì)不產(chǎn)生逆流的單向閥139、140。
上述壓電泵106工作時(shí)，將電信號(hào)施加給壓電元件136。由此，壓電元件136沿著圖6中的虛線箭頭的方向進(jìn)行振動(dòng)運(yùn)動(dòng)。此外，這時(shí)，壓電元件136的端部固定在殼體132上，壓電元件136一邊變形成凸面形狀一邊進(jìn)行振動(dòng)運(yùn)動(dòng)。其結(jié)果是，工作空間134的體積變動(dòng)，工作空間134內(nèi)的壓力對(duì)應(yīng)于壓電元件136的變形狀態(tài)變動(dòng)，吸入/排出介質(zhì)。
在這里，通過上述壓電元件136的變形，背壓空間135的體積也發(fā)生變化，其結(jié)果是，當(dāng)背壓空間135的壓力變動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生與壓電元件136的運(yùn)動(dòng)方向相反方向的力，結(jié)果，降低了壓電泵106的工作效率。與此相對(duì)，為了使背壓空間135的壓力與壓電元件136的變形狀態(tài)無關(guān)地保持一定，在殼體132的背壓空間135側(cè)設(shè)置有背壓孔135A。
另外，作為將基于逆斯特林循環(huán)的熱交換用于制冷庫的例子，有例如記載在特開2003-50073號(hào)公報(bào)(現(xiàn)有技術(shù)例1)中的技術(shù)等。
在現(xiàn)有技術(shù)例1中，公開了一種斯特林冷凍系統(tǒng)，其特征在于，包括將基于逆斯特林循環(huán)的工作氣體的壓縮熱散出到外部用的高溫部；從外部吸收基于逆斯特林循環(huán)的工作氣體的膨脹熱用的低溫部；以及由閉合回路構(gòu)成的低溫側(cè)循環(huán)回路，該閉合回路以構(gòu)成熱虹吸的方式，將與低溫部熱結(jié)合的低溫側(cè)冷凝器和多個(gè)低溫側(cè)蒸發(fā)器連結(jié)在一起，該系統(tǒng)將輸送低溫部低溫?zé)崮艿牡蜏責(zé)崮茌斔徒橘|(zhì)封入低溫側(cè)循環(huán)回路內(nèi)。在這里，高溫部的熱量通過高溫側(cè)熱交換循環(huán)(散熱系統(tǒng))散出。高溫側(cè)熱交換循環(huán)包括通過配管連接的高溫側(cè)蒸發(fā)器和高溫側(cè)冷凝器，根據(jù)熱虹吸原理輸送、散出熱。
此外，在注冊(cè)實(shí)用新型第2505727號(hào)公報(bào)(現(xiàn)有技術(shù)例2)中，公開了一種壓電泵，該壓電泵包括殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)部的壓電振動(dòng)器以及設(shè)置在壓電振動(dòng)器的單側(cè)泵室中的吸入用、排出用的單向閥。在該壓電泵中，泵室和相對(duì)壓電振動(dòng)器位于上述泵室相反側(cè)的反泵室連通。
專利文獻(xiàn)1特開2003-50073號(hào)公報(bào)。
專利文獻(xiàn)2注冊(cè)實(shí)用新型第2505727號(hào)公報(bào)。
但是，在上述壓電泵中，存在著以下問題。
在圖6所示的壓電泵中，使用以在內(nèi)部形成空間的方式對(duì)置的多個(gè)部件構(gòu)成殼體。這里，多個(gè)部件間的密封一般情況下用O形環(huán)等實(shí)現(xiàn)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于工作介質(zhì)會(huì)慢慢地泄漏，所以，在回路內(nèi)壓力低于大氣壓或高于大氣壓的狀態(tài)(在本申請(qǐng)說明書中，稱作負(fù)壓狀態(tài)或正壓狀態(tài))的密閉系統(tǒng)中長期使用是不可能的。這樣的問題也不能通過現(xiàn)有技術(shù)例2的壓電泵得以解決。
另外，用于壓電泵的壓電元件耐熱性低，所以，在為了提高密封性而通過熔接將上述多個(gè)部件接合在一起的情況下，怎樣才能使得該熔接熱難以傳遞給壓電元件就成了課題。通過降低傳遞到壓電元件上的熱量，該壓電元件的性能提高，其結(jié)果，流體的循環(huán)效率將得以提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問題提出的，本發(fā)明的目的是提供一種在負(fù)壓/正壓狀態(tài)下使流體高效地循環(huán)的壓電泵及斯特林制冷庫。
本發(fā)明的壓電泵包括將多個(gè)金屬制部件接合形成的殼體；將殼體內(nèi)的空間分隔為第1及第2內(nèi)部空間的壓電元件；以及設(shè)置在殼體與壓電元件之間，并保持壓電元件的非金屬制第1及第2內(nèi)部部件。
構(gòu)成殼體的多個(gè)金屬制部件，優(yōu)選通過熔接接合在一起。由于該部件通過熔接接合在一起，所以可提高對(duì)工作介質(zhì)泄漏的耐久性。其結(jié)果是，可提供一種在以低于或高于大氣壓的壓力運(yùn)轉(zhuǎn)的密閉系統(tǒng)中能長期使用的壓電泵。另外，通過在金屬制殼體與壓電元件之間設(shè)置非金屬制內(nèi)部部件，將殼體與壓電元件隔離，可抑制熔接熱向壓電元件的傳遞。
在這里，優(yōu)選地，第1及第2內(nèi)部部件由樹脂制成，第1及第2內(nèi)部部件分別界定第1及第2內(nèi)部空間的外周，在第1及第2內(nèi)部部件之間以夾持壓電元件的方式保持該壓電元件。
由于使用容易成型的樹脂，并且用簡單的結(jié)構(gòu)保持壓電元件，所以，能以低成本制造壓電泵。
上述壓電泵，在一個(gè)方面中，還包括形成在第1內(nèi)部部件上、且從殼體外部的吸入管朝向作為工作空間的第1內(nèi)部空間的工作介質(zhì)通過其中的入口部；形成在第1內(nèi)部部件上、且從第1內(nèi)部空間朝向殼體外部的排出管的工作介質(zhì)通過其中的出口部；設(shè)置在入口部與第1內(nèi)部空間之間的第1單向閥；設(shè)置在出口部與第1內(nèi)部空間之間的第2單向閥；以及分別對(duì)第1及第2內(nèi)部空間與壓電元件之間的間隙、和入口部及出口部與殼體之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)。在這里，優(yōu)選地，在第1內(nèi)部部件上設(shè)置分別設(shè)置第1及第2單向閥的第1及第2單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置多個(gè)O形環(huán)的多個(gè)槽部。
在本方案中，通過在樹脂制內(nèi)部部件上設(shè)置凹部或槽，可簡單地形成設(shè)置單向閥及O形環(huán)的設(shè)置臺(tái)或槽。
在這里，優(yōu)選地，還包括將作為背壓空間的第2內(nèi)部空間和入口部或出口部連通的連通部，連通部由形成在第1及第2內(nèi)部部件上的孔或槽構(gòu)成。
通過形成連通部，可將工作空間(第1內(nèi)部空間)與背壓空間(第2內(nèi)部空間)的壓力保持大致相等。另外，通過在樹脂構(gòu)成的內(nèi)部部件上設(shè)置槽或孔，不需要在殼體的外部設(shè)置連通管，便能簡單地形成連通部。其結(jié)果是，能以低成本形成使流體高效地循環(huán)的緊湊的壓電泵。
進(jìn)一步，優(yōu)選地，上述連通部與殼體中的多個(gè)金屬制部件的接合部位連通。由此，可將連通部作為殼體的泄漏檢查孔利用。
上述壓電泵，在另一方面，還包括形成在第1內(nèi)部部件上、且從殼體外部的第1吸入管朝向作為工作空間的第1內(nèi)部空間的工作介質(zhì)通過其中的第1入口部；形成在第2內(nèi)部部件上、且從殼體外部的第2吸入管朝向作為工作空間的第2內(nèi)部空間的工作介質(zhì)通過其中的第2入口部；形成在第1內(nèi)部部件上、且從第1內(nèi)部空間朝向殼體外部的第1排出管的工作介質(zhì)通過其中的第1出口部；形成在第2內(nèi)部部件上、且從第2內(nèi)部空間朝向殼體外部的第2排出管的工作介質(zhì)通過其中的第2出口部；分別設(shè)置在第1及第2入口部和第1及第2內(nèi)部空間之間的第1及第2單向閥；分別設(shè)置在第1及第2出口部和第1及第2內(nèi)部空間之間的第3及第4單向閥；以及分別對(duì)第1及第2內(nèi)部空間與壓電元件之間的間隙、和第1及第2入口部及第1及第2出口部與殼體之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)。在這里，優(yōu)選地，在第1及第2內(nèi)部部件上，設(shè)置分別設(shè)置第1至第4單向閥的第1至第4單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置多個(gè)O形環(huán)的多個(gè)槽部。
在本方案中，可將壓電元件的兩側(cè)作為工作空間加以利用。另外，通過在樹脂構(gòu)成的內(nèi)部部件上設(shè)置凹部或槽，可簡單地形成設(shè)置單向閥及O形環(huán)的設(shè)置臺(tái)或槽。其結(jié)果是，能以低成本提供使流體高效地循環(huán)的壓電泵。
優(yōu)選地，設(shè)置將第1或第2入口部或者第1或第2出口部與金屬制部件的接合部位連通的連通孔。
該貫通孔可作為殼體的泄漏檢查孔利用。
上述壓電泵，在另一方面中，還包括，形成在第1內(nèi)部部件上、且從殼體外部的吸入管朝向作為工作空間的第1內(nèi)部空間的工作介質(zhì)通過其中的第1入口部；形成在第2內(nèi)部部件上、且從第1入口部朝向第2內(nèi)部空間的工作介質(zhì)通過其中的第2入口部；形成在第1內(nèi)部部件上、且從第1內(nèi)部空間朝向殼體外部的排出管的工作介質(zhì)通過其中的第1出口部；形成在第2內(nèi)部部件上、且從第2內(nèi)部空間朝向第1出口部的工作介質(zhì)通過其中的第2出口部；由形成在第1及第2內(nèi)部部件上的孔或槽構(gòu)成，將第1及第2入口部連通的第1連通部；由形成在第1及第2內(nèi)部部件上的孔或槽構(gòu)成，將第1及第2出口部連通的第2連通部；分別設(shè)置在第1及第2入口部和第1及第2內(nèi)部空間之間的第1及第2單向閥；分別設(shè)置在第1及第2出口部和第1及第2內(nèi)部空間之間的第3及第4單向閥；以及分別對(duì)第1及第2內(nèi)部空間與壓電元件之間的間隙、和第1及第2入口部及第1及第2出口部與殼體之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)。在這里，優(yōu)選地，在第1及第2內(nèi)部部件上，設(shè)置分別設(shè)置第1至第4單向閥的第1至第4單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置多個(gè)O形環(huán)的多個(gè)槽部。
在本方案中，可將壓電元件的兩側(cè)作為工作空間加以利用。另外，不需要在殼體的外部設(shè)置連通管，便能簡單地形成第1及第2連通部。進(jìn)一步，通過在樹脂構(gòu)成的內(nèi)部部件上設(shè)置凹部或槽，可簡單地形成設(shè)置單向閥及O形環(huán)的設(shè)置臺(tái)或槽。其結(jié)果是，能以低成本提供一種使流體高效地循環(huán)的結(jié)構(gòu)緊湊的壓電泵。
在這里，也可以使第1及第2連通部的一者與殼體中的金屬制部件的接合部位連通。由此，可將連通部作為殼體的泄漏檢查孔利用。
另外，也可以在第1內(nèi)部部件與第2內(nèi)部部件的接合面上，進(jìn)一步設(shè)置對(duì)第1連通部或第2連通部進(jìn)行密封的其他O形環(huán)。由此，可確保作為工作介質(zhì)通路的第1及第2連通部的密閉性。
此外，構(gòu)成殼體的多個(gè)金屬制部件，也可以分別設(shè)置有凸緣部，通過將凸緣部的末端部彼此熔接在一起，形成殼體。由此，可使熔接部位和壓電元件遠(yuǎn)離，因而，可進(jìn)一步提高抑制向壓電元件傳入熱量的效果。
在本發(fā)明的斯特林制冷庫中，將上述壓電泵設(shè)置在高溫側(cè)的工作介質(zhì)循環(huán)回路中。
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種即使在負(fù)壓/正壓的密閉系統(tǒng)中長期使用，也不會(huì)發(fā)生緩慢泄漏的壓電泵。


圖1是斯特林制冷庫的配管系統(tǒng)圖的一個(gè)例子。
圖2是本發(fā)明實(shí)施方式1的壓電泵的剖視圖。
圖3是本發(fā)明實(shí)施方式2的壓電泵的剖視圖。
圖4是本發(fā)明實(shí)施方式3的壓電泵的剖視圖。
圖5是表示斯特林制冷庫中的斯特林冷凍機(jī)的側(cè)剖視圖的一個(gè)例子。
圖6是現(xiàn)有壓電泵的剖視圖。
附圖標(biāo)記說明1-斯特林制冷庫，2-散熱部，2A～2F-管(高溫側(cè)循環(huán)回路)，3-吸熱部，3A、3B-管(低溫側(cè)循環(huán)回路)，4-斯特林冷凍機(jī)，5-高溫側(cè)蒸發(fā)器，6-循環(huán)泵，7-高溫側(cè)冷凝器，8-風(fēng)扇，9-結(jié)露防止管，10-低溫側(cè)冷凝器，11-低溫側(cè)蒸發(fā)器，12-風(fēng)扇，13-壓力缸，14-活塞，15-置換器(displacer)，16-再生器，17-工作空間，17A-壓縮空間，17B-膨脹空間，18、19-熱交換器，18A-管道，20-內(nèi)部磁軛，21-可動(dòng)磁體，22-外部磁軛，23-線性馬達(dá)，24-活塞彈簧，25-置換器彈簧，26-置換器桿，27-背壓空間，28-板簧，29-平衡重，30、32-殼體，33A、33B-內(nèi)部部件，34、34A、34B-工作空間，35-背壓空間，36-壓電元件，37、37A、37B-入口部，38、38A、38B-出口部，39、39A、39B、40、40A、40B-單向閥，41、41A、41B-入口管，42、42A、42B-出口管，43-O形環(huán)，44-連通部，44A-泄漏檢查孔，44B-入口連通部，44C-出口連通部，45-電源端子，46-凸緣部。
具體實(shí)施例方式
下面，對(duì)基于本發(fā)明的壓電泵及斯特林制冷庫的實(shí)施方式，用圖1至圖5進(jìn)行說明。
此外，在本申請(qǐng)說明書中，所謂“制冷庫”是指包含“冷藏庫”、“冷凍庫”及“冷凍冷藏庫”的全部的概念。
另外，在本申請(qǐng)說明書中，雖然將對(duì)作為備有斯特林冷凍機(jī)的斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)搭載設(shè)備的斯特林制冷庫進(jìn)行說明，但是，設(shè)置本發(fā)明的壓電泵的斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)搭載設(shè)備，并不限于斯特林制冷庫。斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)例如也可以作為發(fā)電機(jī)使用。
(斯特林制冷庫的說明)圖1是將后述的本發(fā)明實(shí)施方式1～3的壓電泵設(shè)置在高溫側(cè)工作介質(zhì)循環(huán)回路中的斯特林制冷庫的配管系統(tǒng)圖的一個(gè)例子。
斯特林制冷庫1如圖1所示，包括具有散熱部2和吸熱部3的斯特林冷凍機(jī)4(斯特林發(fā)動(dòng)機(jī))；包含安裝在散熱部2的高溫側(cè)蒸發(fā)器5、高溫側(cè)冷凝器7及管2A、2B的第1高溫側(cè)循環(huán)回路(第1循環(huán)回路)；包含高溫側(cè)蒸發(fā)器5、循環(huán)泵6、結(jié)露防止管9及管2C、2D、2E、2F的第2高溫側(cè)循環(huán)回路(第2循環(huán)回路)；以及包含安裝在吸熱部3的低溫側(cè)冷凝器10、低溫側(cè)蒸發(fā)器11及管3A、3B的低溫側(cè)循環(huán)回路。第1高溫側(cè)循環(huán)回路進(jìn)行斯特林冷凍機(jī)4的散熱部2的冷卻，第2高溫側(cè)循環(huán)回路將熱量供給到結(jié)露防止管9。另外，低溫側(cè)循環(huán)回路進(jìn)行制冷庫內(nèi)的空氣與斯特林冷凍機(jī)4的吸熱部3之間的熱交換。
在第1及第2高溫側(cè)循環(huán)回路內(nèi)封入有水(H2O)等作為制冷劑。在高溫側(cè)蒸發(fā)器5中蒸發(fā)的制冷劑通過管2A(高溫側(cè)導(dǎo)管)到達(dá)高溫側(cè)冷凝器7(圖1中的虛線箭頭)。制冷劑通過在高溫側(cè)冷凝器7中與外部氣體進(jìn)行熱交換而冷凝。為了促進(jìn)該熱交換，在高溫側(cè)冷凝器7附近設(shè)置有產(chǎn)生氣流的風(fēng)扇8。經(jīng)過冷凝的制冷劑，經(jīng)由管2B(高溫側(cè)返回管)返回到高溫側(cè)蒸發(fā)器5中。在第1高溫側(cè)循環(huán)回路中，為了能夠這樣利用基于制冷劑的蒸發(fā)與冷凝的自然循環(huán)，傳遞在散熱部2產(chǎn)生的熱量，而將高溫側(cè)冷凝器7配置在高溫側(cè)蒸發(fā)器5的更上方。另外，為了調(diào)整制冷劑的沸點(diǎn)，而調(diào)整循環(huán)回路系統(tǒng)內(nèi)的壓力(減壓到大致真空狀態(tài))。
另一方面，在高溫側(cè)蒸發(fā)器5的下部，連接有管2C。液相制冷劑從高溫側(cè)蒸發(fā)器5流入管2C中。流入管2C中的制冷劑經(jīng)過管2D，到達(dá)設(shè)置在斯特林冷凍機(jī)4下方的循環(huán)泵6中。從循環(huán)泵6中排出的制冷劑，通過管2E被送到結(jié)露防止管9中。在這里，結(jié)露防止管9內(nèi)流動(dòng)的制冷劑借助從斯特林冷凍機(jī)4的散熱部2賦予的熱量而保持為比較高的溫度。因而，通過將結(jié)露防止管9配置在制冷庫的前面，可抑制門部等處的結(jié)露。結(jié)露防止管9內(nèi)流動(dòng)的制冷劑通過管2F返回高溫側(cè)蒸發(fā)器5內(nèi)。按照這樣的方式，在第2高溫側(cè)循環(huán)回路中，通過循環(huán)泵6進(jìn)行強(qiáng)制循環(huán)。
在低溫側(cè)循環(huán)回路內(nèi)，封入有二氧化碳或烴等作為制冷劑。在低溫側(cè)冷凝器10中冷凝的制冷劑，通過管3A(低溫側(cè)導(dǎo)管)到達(dá)低溫側(cè)蒸發(fā)器11中。在低溫側(cè)蒸發(fā)器11中，通過制冷劑的蒸發(fā)進(jìn)行熱交換。為了促進(jìn)該熱交換，在低溫側(cè)蒸發(fā)器11附近設(shè)置有產(chǎn)生氣流的風(fēng)扇12。進(jìn)行熱交換之后，氣化的制冷劑經(jīng)由管3B(低溫側(cè)返回管)返回到低溫側(cè)冷凝器10中。在低溫側(cè)循環(huán)回路中，為了能夠這樣利用基于制冷劑的蒸發(fā)與冷凝的自然循環(huán)，傳遞在吸熱部3產(chǎn)生的低溫?zé)崮?，將低溫?cè)蒸發(fā)器11配置在低溫側(cè)冷凝器10的更下方。另外，為了調(diào)整制冷劑的沸點(diǎn)，調(diào)整循環(huán)回路系統(tǒng)內(nèi)的壓力(減壓到大致真空狀態(tài))。
斯特林冷凍機(jī)4工作時(shí)，在該冷凍機(jī)4的散熱部2產(chǎn)生的熱量經(jīng)高溫側(cè)冷凝器7與空氣進(jìn)行熱交換。另一方面，在斯特林冷凍機(jī)4的吸熱部3產(chǎn)生的低溫?zé)崮芙?jīng)低溫側(cè)蒸發(fā)器11與制冷庫內(nèi)的空氣進(jìn)行熱交換。來自制冷庫內(nèi)的變暖的氣流再次被輸送到低溫側(cè)蒸發(fā)器11附近，而被反復(fù)地冷卻。
(實(shí)施方式1)圖2是表示實(shí)施方式1的壓電泵的剖視圖。
本實(shí)施方式的壓電泵6如圖2所示，包括將多個(gè)金屬制部件熔接形成的殼體32；將殼體32內(nèi)的空間分隔為工作空間34(第1內(nèi)部空間)與背壓空間35(第2內(nèi)部空間)的壓電元件36；以及設(shè)置在殼體32與壓電元件36之間，對(duì)壓電元件36進(jìn)行保持的非金屬制內(nèi)部部件33A、33B(第1及第2內(nèi)部部件)。
內(nèi)部部件33A、33B由容易加工、成型的樹脂構(gòu)成。內(nèi)部部件33A界定了工作空間34(泵室)的外周，內(nèi)部部件33B界定了背壓空間35的外周。通過使內(nèi)部部件33A、33B對(duì)置，在內(nèi)部部件33A、33B之間形成凹部，在該凹部內(nèi)收容并保持壓電元件36。即，內(nèi)部部件33A、33B以夾持壓電元件36的方式保持壓電元件36。
在圖2的例子中設(shè)置有形成在內(nèi)部部件33A上、且從殼體32外部的入口管41(吸入管)朝向工作空間34的工作介質(zhì)通過其中的入口部37；形成在內(nèi)部部件33A上、且從工作空間34朝向殼體32外部的出口管42(排出管)的工作介質(zhì)通過其中的出口部38；設(shè)置在入口部37與工作空間34之間的單向閥39(第1單向閥)；設(shè)置在出口部38與工作空間34之間的單向閥40(第2單向閥)；以及分別密封工作空間34及背壓空間35與壓電元件36之間的間隙、和入口部37及出口部38與殼體32內(nèi)表面之間的間隙的多個(gè)O形環(huán)43。在這里，分別設(shè)置單向閥39、40的設(shè)置臺(tái)(第1及第2單向閥設(shè)置部)以及安裝各O形環(huán)43的槽部，通過在內(nèi)部部件33A、33B上預(yù)先進(jìn)行加工而設(shè)置。
壓電泵6具有將背壓空間35與入口部37連通的連通部44。連通部44由形成在內(nèi)部部件33A、33B上的孔或槽構(gòu)成。連通部44伸到殼體32的內(nèi)表面上，與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通。此外，也可以代替連通部44，而設(shè)置將背壓空間35與出口部38連通的連通部。
實(shí)際使壓電泵6工作時(shí)，通過電源端子45將電信號(hào)施加給壓電元件36，使壓電元件36沿圖2中的左右方向進(jìn)行振動(dòng)運(yùn)動(dòng)。
在上述的結(jié)構(gòu)中，通過將構(gòu)成殼體32的多個(gè)部件以熔接方式接合在一起，可提高對(duì)工作介質(zhì)泄漏的耐久性。其結(jié)果是，可提供一種在負(fù)壓/正壓狀態(tài)的密閉系統(tǒng)中可長期使用的壓電泵6。另外，通過在金屬制殼體32與壓電元件36之間設(shè)置樹脂制內(nèi)部部件33A、33B，將殼體32與壓電元件36隔離，可抑制熔接金屬部件時(shí)的熔接熱傳遞給壓電元件36。因而，可提高壓電元件36的工作效率，其結(jié)果是，提高了工作介質(zhì)的循環(huán)效率。
另外，作為內(nèi)部部件33A、33B，使用的是容易成型的樹脂制部件，且用上述簡單的結(jié)構(gòu)保持壓電元件36，所以，能以低成本制造壓電泵6。
另外，分別設(shè)置單向閥39、40和多個(gè)O形環(huán)43的設(shè)置臺(tái)或槽，可通過在樹脂制內(nèi)部部件33A、33B上設(shè)置凹部或槽而簡單地形成。
進(jìn)一步，通過形成連通部44，可將工作空間34(第1內(nèi)部空間)與背壓空間35(第2內(nèi)部空間)的壓力保持大致相等。其結(jié)果是，在負(fù)壓/正壓狀態(tài)下，提高了工作介質(zhì)的循環(huán)效率。在這里，連通部44，由于是在樹脂制內(nèi)部部件33A、33B上設(shè)置槽或孔，所以，不需要在殼體的外部設(shè)置連通管，便能簡單地形成。其結(jié)果是，能以低成本實(shí)現(xiàn)壓電泵6的緊湊結(jié)構(gòu)。另外，由于連通部44與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通，所以，連通部44可作為殼體的泄漏檢查孔(連通孔)使用。
構(gòu)成殼體32的多個(gè)金屬制部件分別具有凸緣部46，通過將凸緣部46的末端部彼此熔接在一起，而形成殼體32。通過設(shè)置凸緣部46，可使熔接部位和壓電元件36進(jìn)一步遠(yuǎn)離，因而，可進(jìn)一步提高抑制向壓電元件36傳入熱量的效果。
(實(shí)施方式2)圖3是表示實(shí)施方式2的壓電泵的剖視圖。
本實(shí)施方式的壓電泵6是實(shí)施方式1的壓電泵6的變形例，其特征在于，將壓電泵36的兩側(cè)作為泵室(工作空間34A、34B)加以利用。
壓電泵6如圖3所示設(shè)置有形成在內(nèi)部部件33A(第1內(nèi)部部件)上、且從殼體32外部的入口管41A(第1吸入管)朝向工作空間34A(第1內(nèi)部空間)的工作介質(zhì)通過其中的入口部37A(第1入口部)；形成在內(nèi)部部件33B(第2內(nèi)部部件)上、且從殼體32外部的入口管41B(第2吸入管)朝向工作空間34B(第2內(nèi)部空間)的工作介質(zhì)通過其中的入口部37B(第2入口部)；形成在內(nèi)部部件33A上、且從工作空間34A朝向殼體32外部的出口管42A(第1排出管)的工作介質(zhì)通過其中的出口部38A(第1出口部)；形成在內(nèi)部部件33B上、且從工作空間34B朝向殼體32外部的出口管42B(第2排出管)的工作介質(zhì)通過其中的出口部38B(第2出口部)；分別設(shè)置在入口部37A、37B與工作空間34A、34B之間的單向閥39A、39B(第1及第2單向閥)；分別設(shè)置在出口部38A、38B與工作空間34A、34B之間的單向閥40A、40B(第3與第4單向閥)；和分別對(duì)工作空間34A、34B與壓電元件36之間的間隙、以及入口部37A、37B及出口部38A、38B與殼體32內(nèi)表面之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)43。在這里，分別設(shè)置單向閥39A、39B、40A、40B的設(shè)置臺(tái)(第1至第4單向閥設(shè)置部)以及安裝各O形環(huán)43的槽部，通過在內(nèi)部部件33A、33B上預(yù)先進(jìn)行加工而設(shè)置。
壓電泵6，在內(nèi)部部件33A、33B上設(shè)置有從入口部37A、37B伸到殼體32內(nèi)表面上而與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通的泄漏檢查孔44A(連通孔)。此外，泄漏檢查孔44A也可以僅設(shè)置在內(nèi)部部件33A、33B的一個(gè)上；還可以代替泄漏檢查孔44A，設(shè)置從出口部38A、38B伸到殼體32的內(nèi)表面上而與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通的泄漏檢查孔。
根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，也能與實(shí)施方式1同樣地，以低成本提供一種在負(fù)壓/正壓狀態(tài)的密閉系統(tǒng)中可長期使用的循環(huán)效率高的壓電泵6。
進(jìn)一步，由于泄漏檢查孔44A與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通，所以，可進(jìn)行殼體的泄漏檢查。
此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)與上述實(shí)施方式1同樣的情況，不再重復(fù)進(jìn)行詳細(xì)說明。
(實(shí)施方式3)
圖4是表示實(shí)施方式3的壓電泵的剖視圖。
本實(shí)施方式的壓電泵6是實(shí)施方式1的壓電泵6的變形例，其特征在于，將壓電泵36的兩側(cè)作為泵室(工作空間34A、34B)加以利用。
壓電泵6，如圖4所示設(shè)置有形成在內(nèi)部部件33A(第1內(nèi)部部件)上、且從殼體32外部的入口管41A(第1吸入管)朝向工作空間34A(第1內(nèi)部空間)的工作介質(zhì)通過其中的入口部37A(第1入口部)；形成在內(nèi)部部件33B(第2內(nèi)部部件)上、且從入口部37A朝向工作空間34B(第2內(nèi)部空間)的工作介質(zhì)通過其中的入口部37B(第2入口部)；形成在內(nèi)部部件33A上、且從工作空間34A朝向殼體32外部的出口管42(排出管)的工作介質(zhì)通過其中的出口部38A(第1出口部)；形成在內(nèi)部部件33B上、且從工作空間34B朝向出口38A的工作介質(zhì)通過其中的出口部38B(第2出口部)；由形成在內(nèi)部部件33A、33B上的孔或槽構(gòu)成，且將入口部37A、37B連通的入口連通部44B(第1連通部)；由形成在內(nèi)部部件33A、33B上的孔或槽構(gòu)成，且將出口部38A、38B連通的出口連通部44C(第2連通部)；分別設(shè)置在入口部37A、37B與工作空間34A、34B之間的單向閥39A、39B(第1及第2單向閥)；分別設(shè)置在出口部38A、38B與工作空間34A、34B之間的單向閥40A、40B(第3與第4單向閥)；和分別對(duì)工作空間34A、34B與壓電元件36之間的間隙、以及入口部37A、37B及出口部38A、38B與殼體32內(nèi)表面之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)43。在這里，分別設(shè)置單向閥39A、39B、40A、40B的設(shè)置臺(tái)(第1至第4單向閥設(shè)置部)以及安裝各O形環(huán)43的槽部，通過在內(nèi)部部件33A、33B上預(yù)先進(jìn)行加工而設(shè)置。
在這里，入口連通部44B伸到殼體32的內(nèi)表面上，與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通。由此，可將入口連通部44B作為泄漏檢查孔加以利用。另一方面，出口連通部44C如圖4所示，通過在內(nèi)部部件33A、33B的接合面上設(shè)置O形環(huán)(另外的O形環(huán))進(jìn)行密封，而不與多個(gè)金屬制部件的熔接部位連通。此外，也可以將入口連通部44B密封，將出口連通部44C與熔接部位連通。通過這樣僅使入口連通部44B與出口連通部44C中的一者和熔接部位連通，另一者用O形環(huán)密封，可避免作為工作介質(zhì)通路的入口部37A、37B和出口部38A、38B彼此連通。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，也能與實(shí)施方式1同樣地，以低成本提供一種在負(fù)壓/正壓狀態(tài)的密閉系統(tǒng)中可長期使用的循環(huán)效率高的壓電泵6。
另外，入口連通部44B與出口連通部44C，由于是在樹脂制內(nèi)部部件33A、33B上設(shè)置槽或孔，所以，不需要在殼體的外部設(shè)置連通管，便能簡單地形成。其結(jié)果是，可實(shí)現(xiàn)壓電泵6的緊湊結(jié)構(gòu)。
此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)于與上述實(shí)施方式1同樣的情況，不再反復(fù)地進(jìn)行詳細(xì)說明。
(斯特林冷凍機(jī)的說明)用圖5對(duì)斯特林冷凍機(jī)4的結(jié)構(gòu)的一例及其工作原理進(jìn)行說明。
如圖5所示，本實(shí)施方式的斯特林冷凍機(jī)4是自由活塞型的斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)，包括殼體30；組裝在該殼體30中的壓力缸13；在該壓力缸13中作往復(fù)運(yùn)動(dòng)的活塞14和置換器15；再生器16；包含壓縮空間17A和膨脹空間17B的工作空間17；散熱部2；吸熱部3；作為活塞驅(qū)動(dòng)裝置的線性馬達(dá)23；活塞彈簧24；置換器彈簧25；置換器桿26以及背壓空間27。
在圖5的例子中，斯特林冷凍機(jī)4的外殼體(外壁)不是由單一容器構(gòu)成，主要由位于背壓空間27側(cè)的殼體30(容器部分)；位于工作空間17側(cè)的散熱部2以及管道18A和吸熱部3構(gòu)成。殼體30界定了背壓空間27。在殼體30中組裝有以壓力缸13、線性馬達(dá)23、活塞彈簧24及置換器彈簧25為代表的各種部件。在上述外殼體的內(nèi)部，填充有氦氣或氫氣、氮?dú)獾裙ぷ鹘橘|(zhì)。
壓力13具有大致圓筒狀的形狀，其內(nèi)部收容有可往復(fù)運(yùn)動(dòng)的活塞14和作為自由活塞的置換器15。壓力缸13內(nèi)，在同一軸上隔開間隔地配置活塞14和置換器15，該活塞14和置換器15將壓力13內(nèi)的工作空間17劃分成壓縮空間17A和膨脹空間17B。更詳細(xì)地說，工作空間17是較活塞14的置換器15側(cè)端面靠置換器15側(cè)的空間，在活塞14與置換器15之間形成壓縮空間17A，在置換器15與吸熱部3之間形成膨脹空間17B。壓縮空間17A主要由散熱部2圍成，膨脹空間17B主要由吸熱部3圍成。
在壓縮空間17A與膨脹空間17B之間，配置有再生器16，該再生器16是通過在管道18A的內(nèi)周面上隔開既定間隙地卷繞薄膜而成的，通過該再生器16將壓縮空間17A與膨脹空間17B連通。由此，在斯特林冷凍機(jī)4內(nèi)構(gòu)成閉合回路。封入該閉合回路內(nèi)的工作介質(zhì)配合活塞14與置換器15的動(dòng)作而流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)后述的逆斯特林循環(huán)。
在位于壓力缸13外側(cè)的背壓空間27中，配置有線性馬達(dá)23。線性馬達(dá)23具有內(nèi)部磁軛20、可動(dòng)磁體部21及外部磁軛22，通過該線性馬達(dá)23在壓力缸13的軸向上驅(qū)動(dòng)活塞14。
活塞14的一端與由板簧等構(gòu)成的活塞彈簧24連接。該活塞彈簧24具有將彈力施加給活塞14的彈力施加機(jī)構(gòu)的功能。通過對(duì)該活塞彈簧24施加彈力，可使活塞14在壓力缸13內(nèi)更穩(wěn)定地進(jìn)行周期性往復(fù)運(yùn)動(dòng)。置換器15的一端通過置換器桿26與置換器彈簧25連接。置換器桿26貫通活塞14地配置，置換器彈簧25由板簧等構(gòu)成。該置換器彈簧25的周緣部與活塞彈簧24的周緣部由從線性馬達(dá)23延伸到活塞14的背壓空間27側(cè)(以下也有稱作后方的情況)的支承部件支承。
相對(duì)活塞14來說在置換器15相反側(cè)，配置有由殼體30包圍的背壓空間27。背壓空間27包括在殼體30內(nèi)位于活塞14周圍的外周區(qū)域、和在殼體30內(nèi)比活塞14靠活塞彈簧24側(cè)(后方側(cè))的后方區(qū)域。在該背壓空間27內(nèi)也有工作介質(zhì)。
在散熱部2、吸熱部3的內(nèi)周面上分別設(shè)置有熱交換器18和熱交換器19。熱交換器18、19分別進(jìn)行壓縮空間17A、膨脹空間17B與散熱部2、吸入部3之間的熱交換。
在殼體30的后方側(cè)，通過板簧28安裝有平衡重29。平衡重29是用來吸收因活塞14及置換器15的振動(dòng)而產(chǎn)生的殼體30振動(dòng)的質(zhì)量部件。具體地說，在因活塞14及置換器15振動(dòng)而在殼體30上產(chǎn)生振動(dòng)的情況下，平衡重29以追隨該殼體30的振動(dòng)的方式振動(dòng)，由此，減輕斯特林冷凍機(jī)4的振動(dòng)。
接著，說明該斯特林冷凍機(jī)4的工作原理。
首先，使線性馬達(dá)23工作，驅(qū)動(dòng)活塞14。由線性馬達(dá)23驅(qū)動(dòng)的活塞14接近置換器15，將壓縮空間17A內(nèi)的工作流體(工作氣體)壓縮。
由于活塞14接近置換器15，壓縮空間17A內(nèi)的工作介質(zhì)的溫度上升，但是，該壓縮空間17A內(nèi)產(chǎn)生的熱量通過散熱部2向外部散出。因此，壓縮空間17A內(nèi)的工作介質(zhì)的溫度維持在基本等溫的狀態(tài)。即，本過程相當(dāng)于逆斯特林循環(huán)中的等溫壓縮過程。
活塞14接近置換器15后，置換器15向吸熱部3側(cè)移動(dòng)。另一方面，被活塞14在壓縮空間17A內(nèi)壓縮了的工作介質(zhì)流入再生器16內(nèi)，進(jìn)一步向膨脹空間17B流入。這時(shí)，將工作介質(zhì)所具有的熱量蓄積到再生器16中。即，本過程相當(dāng)于逆斯特林循環(huán)中的等容冷卻過程。
流入到膨脹空間17B內(nèi)的高壓工作介質(zhì)，由于置換器15向活塞14側(cè)(后方側(cè))移動(dòng)而膨脹。于是，隨著置換器15向后方側(cè)移動(dòng)，置換器彈簧25的中央部也向后方側(cè)突出地變形。
雖然如上所述，通過使工作介質(zhì)在膨脹空間17B內(nèi)膨脹，膨脹空間17B內(nèi)的工作介質(zhì)的溫度會(huì)下降，但是，由于通過吸熱部3將外部熱量向膨脹空間17B內(nèi)傳遞，所以，膨脹空間17B內(nèi)基本保持等溫。即，本過程相當(dāng)于逆斯特林循環(huán)中的等溫膨脹過程。
之后，置換器15開始朝著遠(yuǎn)離活塞14的方向開始移動(dòng)。由此，膨脹空間17B內(nèi)的工作介質(zhì)通過再生器16再次向壓縮空間17A側(cè)返回。這時(shí)，將蓄積到再生器16中的熱量施加給工作介質(zhì)，使工作介質(zhì)升溫。即，本過程相當(dāng)于逆斯特林循環(huán)中的等容加熱過程。
通過反復(fù)進(jìn)行這一連串的過程(等溫壓縮過程—等容冷卻過程—等溫膨脹過程—等容加熱過程)，構(gòu)成逆斯特林循環(huán)。其結(jié)果是，吸熱部3逐漸變成低溫，直到具有非常低的溫度(例如-50℃左右)為止。另一方面，散熱部2逐漸變成高溫(例如60℃左右)。如上所述，吸熱部3中的低溫?zé)崮芡ㄟ^低溫側(cè)循環(huán)回路供給到制冷庫內(nèi)，散熱部2中的熱量通過第1及第2高溫側(cè)循環(huán)回路散出到制冷庫外。
以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，開始就能預(yù)測(cè)到可以將上述各實(shí)施方式的特征部分進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合。另外，這里公開的實(shí)施方式所有都僅僅是為了例示而已，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限定。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求表示，包括在與權(quán)利要求書等價(jià)的含義及范圍內(nèi)進(jìn)行的所有變更。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上面所述的那樣，本發(fā)明適用于壓電泵及斯特林制冷庫。
權(quán)利要求
1.一種壓電泵，包括將多個(gè)金屬制部件接合形成的殼體(32)；將所述殼體(32)內(nèi)的空間分隔為第1及第2內(nèi)部空間(34、34A、34B、35)的壓電元件(36)；以及設(shè)置在所述殼體(32)與所述壓電元件(36)之間，并保持所述壓電元件(36)的非金屬制第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于，所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)是樹脂制成的，所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)分別界定所述第1及第2內(nèi)部空間(34、35)的外周，在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)之間以夾持所述壓電元件(36)的方式保持該壓電元件(36)。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于，還包括形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述殼體(32)外部的吸入管(41)朝向作為工作空間的所述第1內(nèi)部空間(34)的工作介質(zhì)通過其中的入口部(37)；形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述第1內(nèi)部空間(34)朝向所述殼體(32)外部的排出管(42)的工作介質(zhì)通過其中的出口部(38)；設(shè)置在所述入口部(37)與所述第1內(nèi)部空間(34)之間的第1單向閥(39)；設(shè)置在所述出口部(38)與所述第1內(nèi)部空間(34)之間的第2單向閥(40)；以及分別對(duì)所述第1及第2內(nèi)部空間(34、35)與所述壓電元件(36)之間的間隙、和所述入口部(37)及所述出口部(38)與所述殼體(32)之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)(43)，在所述第1內(nèi)部部件(33A)上，設(shè)置有分別設(shè)置所述第1及第2單向閥(39、40)的第1及第2單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置所述多個(gè)O形環(huán)(43)的多個(gè)槽部。
4.如權(quán)利要求3所述的壓電泵，其特征在于，還包括將作為背壓空間的所述第2內(nèi)部空間(35)和所述入口部(37)或所述出口部(38)連通的連通部(44)，所述連通部(44)由形成在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)上的孔或槽構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求3所述的壓電泵，其特征在于，還設(shè)置有將所述入口部(37)或所述出口部(38)與所述金屬制部件的接合部位連通的連通孔(44)。
6.如權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于，還包括形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述殼體(32)外部的第1吸入管(41)朝向作為工作空間的所述第1內(nèi)部空間(34A)的工作介質(zhì)通過其中的第1入口部(37A)；形成在所述第2內(nèi)部部件(33B)上、且從所述殼體(32)外部的第2吸入管(41B)朝向作為工作空間的所述第2內(nèi)部空間(34B)的工作介質(zhì)通過其中的第2入口部(37B)；形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述第1內(nèi)部空間(34A)朝向所述殼體(32)外部的第1排出管(42A)的工作介質(zhì)通過其中的第1出口部(38A)；形成在所述第2內(nèi)部部件(33B)上、且從所述第2內(nèi)部空間(34B)朝向所述殼體(32)外部的第2排出管(42B)的工作介質(zhì)通過其中的第2出口部(38B)；分別設(shè)置在所述第1及第2入口部(37A、37B)和所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)之間的第1及第2單向閥(39A、39B)；分別設(shè)置在所述第1及第2出口部(38A、38B)和所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)之間的第3及第4單向閥(40A、40B)；以及分別對(duì)所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)與所述壓電元件(36)之間的間隙、和所述第1及第2入口部(37A、37B)及所述第1及第2出口部(38A、38B)與所述殼體(32)之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)(43)，在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)上，設(shè)置有分別設(shè)置所述第1至第4單向閥(39A、39B、40A、40B)的第1至第4單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置所述多個(gè)O形環(huán)(43)的多個(gè)槽部。
7.如權(quán)利要求6所述的壓電泵，其特征在于，還設(shè)置有將所述第1或第2入口部(37A、37B)或者所述第1或第2出口部(38A、38B)與所述金屬制部件的接合部位連通的連通孔(44A)。
8.如權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于，還包括形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述殼體(32)外部的吸入管(41)朝向作為工作空間的所述第1內(nèi)部空間(34)的工作介質(zhì)通過其中的第1入口部(37A)；形成在所述第2內(nèi)部部件(33B)上、且從所述第1入口部(37A)朝向所述第2內(nèi)部空間(34B)的工作介質(zhì)通過其中的第2入口部(37B)；形成在所述第1內(nèi)部部件(33A)上、且從所述第1內(nèi)部空間(34)朝向所述殼體(32)外部的排出管(42)的工作介質(zhì)通過其中的第1出口部(38A)；形成在所述第2內(nèi)部部件(33B)上、且從所述第2內(nèi)部空間(33B)朝向所述第1出口部(38A)的工作介質(zhì)通過其中的第2出口部(38B)；由形成在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)上的孔或槽構(gòu)成，將所述第1及第2入口部(37A、37B)連通的第1連通部(44B)；由形成在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)上的孔或槽構(gòu)成，將所述第1及第2出口部(38A、38B)連通的第2連通部(44C)；分別設(shè)置在所述第1及第2入口部(37A、37B)和所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)之間的第1及第2單向閥(39A、39B)；分別設(shè)置在所述第1及第2出口部(38A、38B)和所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)之間的第3及第4單向閥(40A、40B)；以及分別對(duì)所述第1及第2內(nèi)部空間(34A、34B)和所述壓電元件(36)之間的間隙、和所述第1及第2入口部(37A、37B)及所述第1及第2出口部(38A、38B)與所述殼體(32)之間的間隙進(jìn)行密封的多個(gè)O形環(huán)(43)，在所述第1及第2內(nèi)部部件(33A、33B)上，設(shè)置有分別設(shè)置所述第1至第4單向閥(39A、39B、40A、40B)的第1至第4單向閥設(shè)置部、以及分別設(shè)置所述多個(gè)O形環(huán)(43)的多個(gè)槽部。
9.一種斯特林制冷庫，其特征在于，在高溫側(cè)的工作介質(zhì)循環(huán)回路上設(shè)置有權(quán)利要求1中所述的壓電泵(6)。
全文摘要
壓電泵(6)包括將多個(gè)金屬制部件熔接形成的殼體(32)；將殼體(32)內(nèi)的空間分隔為工作空間(34)及背壓空間(35)的壓電元件(36)；以及設(shè)置在殼體(32)與壓電元件(36)之間，對(duì)壓電元件(36)進(jìn)行保持的樹脂制內(nèi)部部件(33A、33B)。內(nèi)部部件(33A、33B)由容易加工、成型的樹脂構(gòu)成。內(nèi)部部件(33A)界定了工作空間(34)的外周，內(nèi)部部件(33B)界定了背壓空間(35)的外周。通過使內(nèi)部部件(33A、33B)對(duì)置，在內(nèi)部部件(33A、33B)之間形成凹部，在該凹部內(nèi)收容并保持壓電元件(36)。
文檔編號(hào)F25D19/00GK101057077SQ20058003911
公開日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2005年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月17日
發(fā)明者張恒良 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社