專利名稱：冷卻裝置及冷卻方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括水冷冷凝器和風(fēng)冷冷凝器的冷卻裝置及使用該冷卻裝置的冷卻
方法，更詳細(xì)地講，是涉及能夠簡(jiǎn)化水冷冷凝器和風(fēng)冷冷凝器的切換機(jī)構(gòu)的冷卻裝置及冷 卻方法。
背景技術(shù)：
作為以往的這種冷卻裝置，例如記載有專利文獻(xiàn)1中所述的復(fù)合空調(diào)裝置、專利 文獻(xiàn)2中所述的冷凍裝置。 在專利文獻(xiàn)1中所述的復(fù)合空調(diào)裝置包括設(shè)有風(fēng)冷式換熱機(jī)的路徑；設(shè)有水冷 式換熱機(jī)的路徑；切換這些路徑的切換部件；使冷卻水經(jīng)由水冷式換熱機(jī)流通的冷卻水路 徑；以及檢測(cè)冷卻水路徑的冷卻水溫度的溫度檢測(cè)部件。并且，根據(jù)由溫度檢測(cè)部件檢測(cè)到 的溫度信息操作切換部件而切換水冷式換熱機(jī)和風(fēng)冷式換熱機(jī)。 另外，專利文獻(xiàn)2中所述的冷凍裝置包括互相串聯(lián)地配置的風(fēng)冷冷凝器及水冷
冷凝器；配置在水冷冷凝器的下游側(cè)的第1電磁閥；與風(fēng)冷冷凝器及水冷冷凝器并聯(lián)配置
的第2電磁閥；以及配置在第1、第2電磁閥的下游側(cè)的蒸發(fā)器。并且，在進(jìn)行水冷運(yùn)轉(zhuǎn)或
風(fēng)冷運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，打開(kāi)配置在水冷冷凝器的下游側(cè)的第1電磁閥而使制冷劑循環(huán)至蒸發(fā)器。在
水冷運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)下，蒸發(fā)器成為過(guò)熱狀態(tài)、制冷劑循環(huán)量不足時(shí)，追加運(yùn)轉(zhuǎn)風(fēng)冷冷凝器來(lái)補(bǔ)充
制冷劑。另外，在蒸發(fā)器的導(dǎo)熱管上附著有霜時(shí)，使用第1、第2電磁閥向蒸發(fā)器供給制冷劑
溫度較高的制冷劑來(lái)進(jìn)行除霜運(yùn)轉(zhuǎn)。 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2006-46880號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2007-71504號(hào)公報(bào) 但是，專利文獻(xiàn)1中所述的復(fù)合空調(diào)裝置及專利文獻(xiàn)2中所述的冷凍裝置的任一 制冷劑回路在切換制冷劑的流路時(shí)均需要電磁閥等切換部件，因此，存在制冷劑流路的切 換機(jī)構(gòu)及控制變得復(fù)雜、且因設(shè)有切換機(jī)構(gòu)而成本相應(yīng)地升高這樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即是為了解決上述問(wèn)題而做成的，其目的在于提供一種能夠通過(guò)簡(jiǎn)化制冷
劑回路來(lái)削減制造成本、并能夠始終維持穩(wěn)定的冷卻能力的冷卻裝置及冷卻方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案1所述的冷卻裝置包括配置在壓縮制冷劑的壓縮機(jī)的下游側(cè)
且利用冷卻水使來(lái)自上述壓縮機(jī)的制冷劑冷凝的水冷冷凝器；串聯(lián)地配置在上述水冷冷凝
器的下游側(cè)且利用空氣使來(lái)自上述水冷冷凝器的制冷劑冷凝的風(fēng)冷冷凝器；以及配置在上
述風(fēng)冷冷凝器的下游側(cè)且冷卻另一熱介質(zhì)的蒸發(fā)器，其特征在于，將檢測(cè)上述制冷劑的溫
度的溫度開(kāi)關(guān)配置在上述水冷冷凝器的下游側(cè)且上述風(fēng)冷冷凝器的上游側(cè)，在上述溫度開(kāi)
關(guān)的檢測(cè)溫度大于規(guī)定溫度時(shí)，使上述風(fēng)冷冷凝器工作。 另外，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明中，本發(fā)明的技術(shù)方案2所述的冷卻裝置的特征在 于，上述另一熱介質(zhì)是冷卻檢查裝置的載置臺(tái)的制冷劑。
另外，本發(fā)明的技術(shù)方案3所述的冷卻方法的特征在于，包括使用壓縮機(jī)壓縮制 冷劑的第1工序；使用水冷冷凝器使上述制冷劑冷凝的第2工序；使用溫度開(kāi)關(guān)檢測(cè)至少 經(jīng)由第1工序后的上述制冷劑的溫度的第3工序；僅在上述溫度開(kāi)關(guān)的檢測(cè)溫度大于規(guī)定 溫度時(shí)使風(fēng)冷冷凝器工作而使上述制冷劑冷凝的第4工序；以及使用蒸發(fā)器冷卻另一熱介 質(zhì)的第5工序。 另外，在技術(shù)方案3所述的發(fā)明中，本發(fā)明的技術(shù)方案4所述的冷卻方法的特征在 于，上述另一熱介質(zhì)是冷卻檢查裝置的載置臺(tái)的制冷劑。 采用本發(fā)明，提供一種能夠通過(guò)簡(jiǎn)化制冷劑回路來(lái)削減制造成本、并能夠始終維 持穩(wěn)定的冷卻能力的冷卻裝置及冷卻方法。


圖1是表示應(yīng)用了本發(fā)明的冷卻裝置的一個(gè)實(shí)施方式的檢查裝置的一個(gè)例子主 視圖。 圖2是表示圖1所示的冷卻裝置的構(gòu)造圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)圖l所示的實(shí)施方式說(shuō)明本發(fā)明。另外，圖l是表示應(yīng)用了本發(fā)明的冷 卻裝置的一個(gè)實(shí)施方式的檢查裝置的主視圖，圖2是表示圖1所示的冷卻裝置的構(gòu)造圖。
首先，對(duì)應(yīng)用本發(fā)明的冷卻裝置的檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，檢查裝置10 例如包括輸送半導(dǎo)體晶圓W的裝載室11、對(duì)自裝載室11輸送的半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電氣特性 檢查的探針室12、和控制裝置(未圖示)，在控制裝置的控制下，從低溫區(qū)域到高溫區(qū)域?qū)?半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行檢查。 如圖1所示，探針室12包括可升降地載置半導(dǎo)體晶圓W且溫度可調(diào)節(jié)的載置臺(tái) 13 ;使載置臺(tái)13沿X、 Y方向移動(dòng)的XY工作臺(tái)14 ;配置在借助該XY工作臺(tái)14而進(jìn)行移動(dòng) 的載置臺(tái)13上方的探針卡15 ;以及使探針卡15的多個(gè)探針15A與載置臺(tái)13上的半導(dǎo)體 晶圓W的多個(gè)電極焊盤(pán)正確地對(duì)位的對(duì)位機(jī)構(gòu)16。 如圖1所示，在探針室12的蓋板17上還能裝卸地配設(shè)有連接于測(cè)試器的測(cè)試頭 T，測(cè)試頭T與探針卡15通過(guò)性能板(performance board)(未圖示)電連接，將載置臺(tái)13 上的半導(dǎo)體晶圓W設(shè)定為從低溫區(qū)域到高溫區(qū)域的溫度范圍，自測(cè)試器將檢查用信號(hào)通過(guò) 測(cè)試頭T及性能板傳送到探針15A，檢查半導(dǎo)體晶圓W的電氣特性。 例如，在低溫區(qū)域中對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電氣特性檢查的情況下，借助內(nèi)置在載 置臺(tái)13中的冷卻套(未圖示)將半導(dǎo)體晶圓W冷卻到低溫區(qū)域的規(guī)定溫度(例如_65°C)， 或者在高溫區(qū)域中對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電氣特性檢查的情況下，利用內(nèi)置在載置臺(tái)13中的 加熱器等加熱部件將半導(dǎo)體晶圓W加熱到高溫區(qū)域的規(guī)定溫度(例如+15(TC)。在低溫區(qū) 域、高溫區(qū)域的任一情況下，在檢查時(shí)均自半導(dǎo)體晶圓W發(fā)熱，因此，使制冷劑經(jīng)由載置臺(tái) 13內(nèi)的冷卻套進(jìn)行循環(huán)而自半導(dǎo)體晶圓W吸熱，將半導(dǎo)體晶圓W維持為規(guī)定溫度。
為了冷卻載置臺(tái)13而使用本實(shí)施方式的冷卻裝置20。該冷卻裝置20如圖1所示 那樣與載置臺(tái)13連接。因此，下面說(shuō)明本實(shí)施方式的冷卻裝置20。 例如圖2所示，本實(shí)施方式的冷卻裝置20包括一次制冷劑所循環(huán)的第1循環(huán)通路20A以及二次制冷劑所循環(huán)的第2、第3循環(huán)通路20B、20C，利用在第1循環(huán)通路20A中循環(huán) 的一次制冷劑冷卻在第2循環(huán)通路20B中循環(huán)的二次制冷劑，該二次制冷劑在第3循環(huán)通 路20C中循環(huán)的期間里冷卻檢查裝置10的載置臺(tái)13。 而且，如圖2所示，冷卻裝置20還包括壓縮一次制冷劑(例如氟利昂)的壓縮機(jī) 21 ;配置在壓縮機(jī)21的下游側(cè)的水冷冷凝器22 ;串聯(lián)地配置在水冷冷凝器22的下游側(cè)的 風(fēng)冷冷凝器23 ;配置在風(fēng)冷冷凝器23的下游側(cè)的膨脹閥24 ;以及配置在膨脹閥24的下游 側(cè)的蒸發(fā)器25，一次制冷劑在第1循環(huán)通路20A中循環(huán)的期間里冷卻二次制冷劑。
如圖2所示，水冷冷凝器22包括流動(dòng)有例如由壓縮機(jī)21所壓縮的高溫的壓縮 制冷劑的導(dǎo)熱管22A ;容納該導(dǎo)熱管22A的殼體22B ;以及連接于殼體22B的冷水配管22C， 進(jìn)行如下所述的水冷運(yùn)轉(zhuǎn)使冷卻水經(jīng)由冷水配管22C而在殼體22B內(nèi)循環(huán)來(lái)將在導(dǎo)熱管 22A內(nèi)流動(dòng)的高溫化的一次制冷劑冷卻至規(guī)定溫度，從而使一次制冷劑冷凝。
如圖2所示，風(fēng)冷冷凝器23包括例如帶有散熱片的導(dǎo)熱管23A、以及向該導(dǎo)熱管 23A中輸送空氣來(lái)冷卻在導(dǎo)熱管23A內(nèi)流動(dòng)的一次制冷劑的風(fēng)扇23B，具有基本上補(bǔ)充水冷 冷凝器22的冷卻能力的作用。因而，在水冷冷凝器22的冷卻能力不足而一次制冷劑的溫 度大于規(guī)定溫度(例如+45°C )時(shí)，或者水冷冷凝器22不工作而無(wú)法冷卻來(lái)自壓縮機(jī)21的 一次制冷劑時(shí)，風(fēng)冷冷凝器23在溫度開(kāi)關(guān)26的控制下工作。 溫度開(kāi)關(guān)26設(shè)置成在位于水冷冷凝器22的下游側(cè)且風(fēng)冷冷凝器23的上游側(cè)的 第1循環(huán)通路20A內(nèi)檢測(cè)一次制冷劑的溫度，在從水冷冷凝器22流出的一次制冷劑的溫度 大于規(guī)定溫度(例如+45tO時(shí)接通開(kāi)關(guān)，在+45t:以下時(shí)切斷開(kāi)關(guān)。該溫度開(kāi)關(guān)26與風(fēng)冷 冷凝器23的風(fēng)扇23B電連接，進(jìn)行如下所述的風(fēng)冷運(yùn)轉(zhuǎn)在一次制冷劑的溫度大于+45°C 時(shí)接通開(kāi)關(guān)而驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇23B，對(duì)通過(guò)風(fēng)冷冷凝器23的導(dǎo)熱管23A的一次制冷劑進(jìn)行冷卻，對(duì) 水冷冷凝器22的冷卻不足的一次制冷劑、不停息地通過(guò)水冷冷凝器22后的一次制冷劑進(jìn) 行冷卻。另外，在流出水冷冷凝器22的一次制冷劑為+45°C以下時(shí)，溫度開(kāi)關(guān)26根據(jù)一次 制冷劑的檢測(cè)溫度自動(dòng)地切斷而使風(fēng)扇23B停止，僅進(jìn)行水冷運(yùn)轉(zhuǎn)。 膨脹閥24使在水冷冷凝器22和風(fēng)冷冷凝器23的至少任一個(gè)中冷卻后的一次制 冷劑減壓。在膨脹閥24中減壓后的一次制冷劑到達(dá)蒸發(fā)器25。 如圖2所示，蒸發(fā)器25包括流動(dòng)有例如蒸發(fā)后的低溫的一次制冷劑的導(dǎo)熱管25A、 以及容納該導(dǎo)熱管25A的殼體25B， 一次制冷劑對(duì)經(jīng)由第2循環(huán)通路20B而在殼體25B內(nèi)通 過(guò)的二次制冷劑進(jìn)行冷卻。 如圖2所示，第2循環(huán)通路20B具有第1循環(huán)泵28A，該第1循環(huán)泵28A將蒸發(fā)器 25和貯存二次制冷劑的箱27連結(jié)，并在蒸發(fā)器25的下游側(cè)配置在箱27的蒸發(fā)器25側(cè)。 第1循環(huán)泵28A自箱27內(nèi)吸引二次制冷劑而將二次制冷劑引導(dǎo)到蒸發(fā)器25中，使在蒸發(fā) 器25中冷卻后的二次制冷劑返回到箱27內(nèi)。箱27與載置臺(tái)13經(jīng)由第3循環(huán)通路20C連結(jié)。 如圖2所示，第3循環(huán)通路20C具有第2循環(huán)泵28B，該第2循環(huán)泵28B將箱27和 載置臺(tái)13連結(jié)，并配置在箱27和載置臺(tái)13的上游側(cè)。第2循環(huán)泵28B吸引箱27內(nèi)的二 次制冷劑而將二次制冷劑供給到載置臺(tái)13，使冷卻載置臺(tái)13后升溫的二次制冷劑返回到 箱27內(nèi)。 接著，對(duì)與檢查裝置10的載置臺(tái)13連接的冷卻裝置20的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，在檢查裝置IO的載置臺(tái)13上載置半導(dǎo)體晶圓并檢查半導(dǎo)體晶圓時(shí)，半導(dǎo)體晶圓發(fā) 熱。因此，使用冷卻裝置20來(lái)冷卻載置臺(tái)13而將半導(dǎo)體晶圓始終維持在規(guī)定溫度，進(jìn)行穩(wěn) 定的可靠性高的檢查。 在檢查過(guò)程中，在載置臺(tái)13上冷卻半導(dǎo)體晶圓W時(shí)，通過(guò)載置臺(tái)13的二次制冷劑 升溫，經(jīng)由第3循環(huán)通路20C而從載置臺(tái)13返回到箱27，箱27內(nèi)的二次制冷劑升溫。冷卻 裝置20為了將載置臺(tái)13上的半導(dǎo)體晶圓始終維持在規(guī)定溫度，利用在第1循環(huán)通路20A中 循環(huán)的一次制冷劑，在蒸發(fā)器25中對(duì)在第2循環(huán)通路20B中循環(huán)的二次制冷劑進(jìn)行冷卻。 冷卻后的二次制冷劑經(jīng)由第2循環(huán)通路20B返回到箱27內(nèi)。該二次制冷劑經(jīng)由第3循環(huán) 通路20C在載置臺(tái)13與箱27之間循環(huán)，冷卻載置臺(tái)13而將半導(dǎo)體晶圓始終維持在恒定的 低溫。 一次制冷劑通過(guò)冷卻二次制冷劑而升溫，但由于該一次制冷劑在第1循環(huán)通路20A 中循環(huán)的期間里被冷卻，因此，能夠始終以恒定的溫度將二次制冷劑供給到載置臺(tái)13。
下面，對(duì)在第1循環(huán)通路20A中循環(huán)的一次制冷劑的冷卻方法進(jìn)行說(shuō)明。 一次制 冷劑在蒸發(fā)器25中通過(guò)與二次制冷劑的換熱而升溫。升溫后的一次制冷劑在壓縮機(jī)21中 被壓縮而成為高溫、高壓。高溫、高壓化后的一次制冷劑在水冷冷凝器22中通過(guò)導(dǎo)熱管22A 的期間里被在冷水配管22C中循環(huán)的冷卻水冷卻而冷凝、液化。 液化后的低溫的一次制冷劑通常不停息地通過(guò)風(fēng)冷冷凝器23而到達(dá)膨脹閥24。 一次制冷劑在通過(guò)膨脹閥24的期間里被減壓而到達(dá)蒸發(fā)器25，在蒸發(fā)器中膨脹而對(duì)在第2 循環(huán)通路20B中循環(huán)的二次制冷劑進(jìn)行冷卻。在蒸發(fā)器25中升溫后的一次制冷劑返回到 壓縮機(jī)21中。之后，一次制冷劑重復(fù)上述循環(huán)來(lái)冷卻二次制冷劑。 但是，出于某種原因，有時(shí)水冷冷凝器22的冷卻水的循環(huán)流量減少、或者冷卻水 的溫度升溫而導(dǎo)致水冷冷凝器22的冷卻能力降低。在這樣的情況下， 一次制冷劑在第1循 環(huán)通路20A中循環(huán)的期間里逐漸升溫。 因此，在本實(shí)施方式中，在流出水冷冷凝器22的一次制冷劑的溫度大于規(guī)定溫度 (例如+45°C )時(shí)，溫度開(kāi)關(guān)26檢測(cè)該溫度而接通開(kāi)關(guān)，使風(fēng)冷冷凝器23的風(fēng)扇23B工作。 在風(fēng)扇23B工作時(shí)，一次制冷劑在風(fēng)冷冷凝器23中被冷卻，在水冷冷凝器22中未充分冷凝 的一次制冷劑冷凝。這樣，使水冷冷凝器22和風(fēng)冷冷凝器23同時(shí)工作，使正在升溫的一次 制冷劑的溫度逐漸降低。 一次制冷劑的溫度逐漸降低，能夠恢復(fù)到+45°C以下的溫度，從而 能夠維持載置臺(tái)13上的半導(dǎo)體晶圓的冷卻能力。 其間，在水冷冷凝器22的循環(huán)水量恢復(fù)原狀、或者冷卻水的溫度恢復(fù)原狀時(shí)，水 冷冷凝器22恢復(fù)原本的冷卻能力，能夠正常地冷卻一次制冷劑。在水冷冷凝器22恢復(fù)原 本的冷卻能力時(shí)，與風(fēng)冷運(yùn)轉(zhuǎn)一起使一次制冷劑的溫度成為+45°C以下。于是，溫度開(kāi)關(guān)26 檢測(cè)該溫度而切斷開(kāi)關(guān)來(lái)停止風(fēng)扇23B，停止風(fēng)冷運(yùn)轉(zhuǎn)，能夠僅利用原本的水冷運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)進(jìn)行 冷卻。 像以上說(shuō)明那樣采用本實(shí)施方式，冷卻裝置20包括配置在壓縮制冷劑的壓縮機(jī) 21的下游側(cè)且利用冷卻水使來(lái)自壓縮機(jī)21的一次制冷劑冷凝的水冷冷凝器22 ;串聯(lián)地配 置在水冷冷凝器22的下游側(cè)且利用空氣使來(lái)自水冷冷凝器22側(cè)的一次制冷劑冷凝的風(fēng)冷 冷凝器23 ;以及配置在風(fēng)冷冷凝器23的下游側(cè)的蒸發(fā)器25，其中，由于將檢測(cè)一次制冷劑 的溫度的溫度開(kāi)關(guān)26配置在水冷冷凝器22的下游側(cè)且風(fēng)冷冷凝器23的上游側(cè)，在溫度開(kāi) 關(guān)26的檢測(cè)溫度大于規(guī)定溫度時(shí)，使風(fēng)冷冷凝器23工作，因此，在由第1、第2、第3循環(huán)通路20A、20B、20C構(gòu)成的制冷劑回路中能夠省略制冷劑流路的切換機(jī)構(gòu)，并且，即使出于某 種原因水冷冷凝器22的冷卻能力不足，風(fēng)冷冷凝器23也能夠自動(dòng)地工作而將一次制冷劑 始終維持在原本需要的溫度。 另外，采用本實(shí)施方式，由于使用蒸發(fā)器25來(lái)對(duì)冷卻檢查裝置10的載置臺(tái)13的 二次制冷劑進(jìn)行冷卻，因此，能夠穩(wěn)定地冷卻檢查裝置10的載置臺(tái)13，從而能夠提高檢查 裝置10的檢查可靠性。 另外，本發(fā)明并未被上述實(shí)施方式有任何限制，可以根據(jù)需要適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)變更各 構(gòu)成要件。例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)將本發(fā)明的冷卻裝置應(yīng)用于檢查裝置的情況進(jìn)行了 說(shuō)明，但也可以將其應(yīng)用于除檢查裝置之外的半導(dǎo)體晶圓的處理裝置。
工業(yè)實(shí)用件 本發(fā)明能夠較佳地應(yīng)用于例如對(duì)檢查半導(dǎo)體晶圓等被檢體的檢查裝置的載置臺(tái) 進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
權(quán)利要求
一種冷卻裝置，該冷卻裝置包括配置在壓縮制冷劑的壓縮機(jī)的下游側(cè)且利用冷卻水使來(lái)自上述壓縮機(jī)的制冷劑冷凝的水冷冷凝器；串聯(lián)地配置在上述水冷冷凝器的下游側(cè)且利用空氣使來(lái)自上述水冷冷凝器側(cè)的制冷劑冷凝的風(fēng)冷冷凝器；以及配置在上述風(fēng)冷冷凝器的下游側(cè)且冷卻另一熱介質(zhì)的蒸發(fā)器，其特征在于，將檢測(cè)上述制冷劑的溫度的溫度開(kāi)關(guān)設(shè)置在上述水冷冷凝器的下游側(cè)且上述風(fēng)冷冷凝器的上游側(cè)，在上述溫度開(kāi)關(guān)的檢測(cè)溫度大于規(guī)定溫度時(shí)，使上述風(fēng)冷冷凝器工作。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的冷卻裝置，其特征在于， 上述另一熱介質(zhì)是冷卻檢查裝置的載置臺(tái)的制冷劑。
3. —種冷卻方法，其特征在于，包括使用壓縮機(jī)壓縮制冷劑的第1工序；使用水冷冷凝器使上述制冷劑冷凝的第2 工序；使用溫度開(kāi)關(guān)檢測(cè)至少經(jīng)由第1工序后的上述制冷劑的溫度的第3工序；僅在上述 溫度開(kāi)關(guān)的檢測(cè)溫度大于規(guī)定溫度時(shí)使風(fēng)冷冷凝器工作而使上述制冷劑冷凝的第4工序； 以及使用蒸發(fā)器來(lái)冷卻另一熱介質(zhì)的第5工序。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的冷卻方法，其特征在于， 上述另 一熱介質(zhì)是冷卻檢查裝置的載置臺(tái)的制冷劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種冷卻裝置及冷卻方法。該冷卻裝置及冷卻方法能夠通過(guò)簡(jiǎn)化制冷劑回路來(lái)削減制造成本，并能夠始終維持穩(wěn)定的冷卻能力。本發(fā)明的冷卻裝置(20)包括配置在壓縮制冷劑的壓縮機(jī)(21)的下游側(cè)且利用冷卻水使來(lái)自壓縮機(jī)(21)的一次制冷劑冷凝的水冷冷凝器(22)；串聯(lián)地配置在水冷冷凝器(22)的下游側(cè)且利用空氣使來(lái)自水冷冷凝器(22)側(cè)的一次制冷劑冷凝的風(fēng)冷冷凝器(23)；以及配置在風(fēng)冷冷凝器(23)的下游側(cè)的蒸發(fā)器(25)，將檢測(cè)一次制冷劑的溫度的溫度開(kāi)關(guān)(26)設(shè)置在水冷冷凝器(22)的下游側(cè)且風(fēng)冷冷凝器(23)的上游側(cè)，在溫度開(kāi)關(guān)(26)的檢測(cè)溫度大于規(guī)定溫度時(shí)，使風(fēng)冷冷凝器(23)工作。
文檔編號(hào)F25B6/00GK101749881SQ20091017817
公開(kāi)日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2009年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月1日
發(fā)明者八田政隆 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社