本技術(shù)涉及降溫裝置，具體為一種便于拆卸的真空室用降溫裝置。

背景技術(shù)：

1、在真空鍍膜生產(chǎn)線中，基片鍍膜完成后，需要對基片進(jìn)行梯度降溫，以避免溫差過大導(dǎo)致膜層開裂或脫落的現(xiàn)象。

2、目前現(xiàn)有的降溫方式主要是在真空室內(nèi)部直接通過金屬軟管引入冷卻水，如果在安裝過程中安裝不到位，會導(dǎo)致冷卻水進(jìn)入真空室而引起不能正常生產(chǎn)，同時(shí)，在拆卸維護(hù)的時(shí)候經(jīng)常性會有水進(jìn)入真空室形成污染，需要進(jìn)行維修。

3、如中國專利cn209341648u所公開的一種真空室用降溫裝置，該真空室用降溫裝置，包括底板、蓋板、水冷管，所述底板通過固定柱安裝在真空室壁上，在底板朝向真空室一面開有s型迂回彎曲的水冷槽，水冷槽均勻分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管進(jìn)水端和出水端與真空室壁連接處通過密封裝置密封，蓋板通過螺栓固定在底板上并封住水冷管。本實(shí)用新型通過均勻分布的水冷管來降低蓋板的溫度，通過間接吸收熱量的方式來吸收基片表面的溫度以達(dá)到降溫的目的，吸熱更加均勻，蓋板同時(shí)可對水冷管起到保護(hù)作用，安裝時(shí)整體安裝，安裝維護(hù)方便，安裝維護(hù)時(shí)不會有冷卻水進(jìn)入真空室。

4、但是該真空室用降溫裝置在使用時(shí)對真空室進(jìn)行降溫整體不便于進(jìn)行拆卸使用，不便于在短時(shí)間內(nèi)對真空室或者降溫裝置進(jìn)行維護(hù)。

5、為此，我們提出了一種便于拆卸的真空室用降溫裝置來解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，包括固定底座和移動輪，所述移動輪固定安裝于固定底座底面，所述移動輪對稱分布于固定底座底面四角位置，所述固定底座上表面設(shè)置有移動機(jī)構(gòu)；

3、所述移動機(jī)構(gòu)包括固定柱、安裝槽、驅(qū)動電機(jī)、傳動件和連接塊，所述固定柱固定安裝于固定底座上表面，所述安裝槽開設(shè)于固定柱上表面，所述驅(qū)動電機(jī)固定安裝于固定柱一端側(cè)面，所述傳動件安裝于安裝槽內(nèi)壁，所述連接塊固定安裝于傳動件上方連接處。

4、優(yōu)選的，所述固定底座上表面固定安裝有固定塊，所述固定塊上表面固定安裝有承載板，所述承載板上表面固定安裝有真空室本體，真空室本體通過承載板進(jìn)行放置承載能夠使得位置固定便于對降溫凹形座進(jìn)行移動拆卸。

5、優(yōu)選的，所述真空室本體外表面設(shè)置有降溫機(jī)構(gòu)，所述降溫機(jī)構(gòu)包括通風(fēng)單元和冷卻單元，所述通風(fēng)單元包括降溫凹形座、固定框、通風(fēng)板、通風(fēng)孔和風(fēng)扇，所述降溫凹形座固定安裝于連接塊上表面，所述固定框固定安裝于降溫凹形座側(cè)面，所述通風(fēng)板固定安裝于固定框內(nèi)壁，所述通風(fēng)孔貫穿于通風(fēng)板表面，所述風(fēng)扇固定安裝于降溫凹形座側(cè)面。

6、優(yōu)選的，所述冷卻單元包括連接板、交換箱、輸送管、s冷卻管和鎖扣板，所述連接板固定安裝于降溫凹形座側(cè)面下部，所述交換箱固定安裝于連接板側(cè)面，所述輸送管固定安裝于交換箱側(cè)面，所述s冷卻管固定安裝于降溫凹形座外表面，所述鎖扣板固定安裝于降溫凹形座上表面。

7、優(yōu)選的，所述交換箱上表面固定安裝有進(jìn)水管，所述進(jìn)水管外表面一側(cè)固定安裝有連接法蘭，所述輸送管對稱分布于交換箱兩端側(cè)面，交換箱兩側(cè)設(shè)置輸送管便于進(jìn)行管內(nèi)的水流在交換箱中實(shí)現(xiàn)冷熱交換提高降溫效率。

8、優(yōu)選的，所述固定柱對稱分布于固定底座上表面兩側(cè)，所述安裝槽內(nèi)壁一側(cè)貫穿有孔洞，所述傳動件一端穿過該孔洞與驅(qū)動電機(jī)的輸出端固定連接。

9、優(yōu)選的，所述降溫凹形座側(cè)面上部貫穿有風(fēng)扇槽，所述風(fēng)扇固定安裝于該風(fēng)扇槽內(nèi)壁，所述降溫凹形座內(nèi)壁與真空室本體外表面接觸，在接觸時(shí)降溫凹形座表面安裝的s冷卻管從而能夠?qū)φ婵帐冶倔w進(jìn)行降溫且管內(nèi)的水不會流至真空室本體對其造成影響。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

11、1.該便于拆卸的真空室用降溫裝置，通過設(shè)置移動機(jī)構(gòu)便于調(diào)節(jié)降溫凹形座與真空室本體的接觸位置，在需要進(jìn)行降溫時(shí)降溫凹形座覆蓋整個(gè)真空室本體，不需進(jìn)行降溫時(shí)通過傳動件帶動連接塊移動從而移除降溫凹形座完成拆卸。

12、2.該便于拆卸的真空室用降溫裝置，通過設(shè)置降溫機(jī)構(gòu)從側(cè)面通過風(fēng)扇對真空室本體進(jìn)行輔助散熱降溫，交換箱通過輸送管向s冷卻管中輸送冷卻水對真空室本體進(jìn)行降溫冷卻之后水回到交換箱進(jìn)行冷熱交換提高降溫效果。

技術(shù)特征：

1.一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，包括固定底座(1)和移動輪(2)，所述移動輪(2)固定安裝于固定底座(1)底面，所述移動輪(2)對稱分布于固定底座(1)底面四角位置，其特征在于：所述固定底座(1)上表面設(shè)置有移動機(jī)構(gòu)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述固定底座(1)上表面固定安裝有固定塊(3)，所述固定塊(3)上表面固定安裝有承載板(301)，所述承載板(301)上表面固定安裝有真空室本體(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述真空室本體(4)外表面設(shè)置有降溫機(jī)構(gòu)，所述降溫機(jī)構(gòu)包括通風(fēng)單元和冷卻單元，所述通風(fēng)單元包括降溫凹形座(505)、固定框(506)、通風(fēng)板(507)、通風(fēng)孔(508)和風(fēng)扇(509)，所述降溫凹形座(505)固定安裝于連接塊(504)上表面，所述固定框(506)固定安裝于降溫凹形座(505)側(cè)面，所述通風(fēng)板(507)固定安裝于固定框(506)內(nèi)壁，所述通風(fēng)孔(508)貫穿于通風(fēng)板(507)表面，所述風(fēng)扇(509)固定安裝于降溫凹形座(505)側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述冷卻單元包括連接板(510)、交換箱(511)、輸送管(514)、s冷卻管(515)和鎖扣板(516)，所述連接板(510)固定安裝于降溫凹形座(505)側(cè)面下部，所述交換箱(511)固定安裝于連接板(510)側(cè)面，所述輸送管(514)固定安裝于交換箱(511)側(cè)面，所述s冷卻管(515)固定安裝于降溫凹形座(505)外表面，所述鎖扣板(516)固定安裝于降溫凹形座(505)上表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述交換箱(511)上表面固定安裝有進(jìn)水管(512)，所述進(jìn)水管(512)外表面一側(cè)固定安裝有連接法蘭(513)，所述輸送管(514)對稱分布于交換箱(511)兩端側(cè)面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述固定柱(5)對稱分布于固定底座(1)上表面兩側(cè)，所述安裝槽(501)內(nèi)壁一側(cè)貫穿有孔洞，所述傳動件(503)一端穿過該孔洞與驅(qū)動電機(jī)(502)的輸出端固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，其特征在于：所述降溫凹形座(505)側(cè)面上部貫穿有風(fēng)扇槽，所述風(fēng)扇(509)固定安裝于該風(fēng)扇槽內(nèi)壁，所述降溫凹形座(505)內(nèi)壁與真空室本體(4)外表面接觸。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于降溫裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種便于拆卸的真空室用降溫裝置，包括固定底座和移動輪，移動輪固定安裝于固定底座底面，固定底座上表面設(shè)置有移動機(jī)構(gòu)，移動機(jī)構(gòu)包括固定柱、安裝槽、驅(qū)動電機(jī)、傳動件和連接塊，固定柱固定安裝于固定底座上表面。該便于拆卸的真空室用降溫裝置，通過設(shè)置移動機(jī)構(gòu)便于調(diào)節(jié)降溫凹形座與真空室本體的接觸位置，在需要進(jìn)行降溫時(shí)降溫凹形座覆蓋整個(gè)真空室本體，不進(jìn)行降溫時(shí)傳動件帶動連接塊移動從而移除降溫凹形座完成拆卸，通過設(shè)置降溫機(jī)構(gòu)從側(cè)面通過風(fēng)扇對真空室本體進(jìn)行輔助散熱降溫，交換箱通過輸送管向S冷卻管中輸送冷卻水對真空室本體進(jìn)行降溫冷卻之后水回到交換箱進(jìn)行冷熱交換提高降溫效果。

技術(shù)研發(fā)人員：于濱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽鑫海明威真空設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240115
技術(shù)公布日：2024/10/21