專利名稱：水處理裝置及其監(jiān)測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種超純水制造系統(tǒng)及其監(jiān)測方法，且特別涉及一種水處理 裝置及其監(jiān)測方法。
背景技術(shù)：
近年來，由于半導(dǎo)體技術(shù)不斷地蓬勃發(fā)展，使得高科技產(chǎn)品得以大幅躍 進(jìn)。而在人們追求產(chǎn)品具有輕薄短小等優(yōu)點的需求之下，各類產(chǎn)品的元件亦 趨于微型化。如此一來，在半導(dǎo)體類產(chǎn)品中，便必須增加元件的集成度。然而，隨著元件復(fù)雜度與集成度的升高，芯片表面的微小缺陷(minute defects) 和微量雜質(zhì)(trace impurities)更容易對元件的性質(zhì)造成嚴(yán)重影響。芯片表面的 微小缺陷和微量雜質(zhì)不但會劣化元件的品質(zhì)和可靠度，更甚而會降低芯片的 成品率。因此，在半導(dǎo)體工藝中，用以清洗芯片以移除附著于芯片表面上無 用物質(zhì)的洗凈工藝便顯得相當(dāng)重要。由于原水(raw water)內(nèi)含有各類形式的雜質(zhì)，若使用原水對芯片進(jìn)行洗 凈的步驟，雜質(zhì)容易沈淀于芯片表面上反而造成芯片和元件的劣化。 一般而 言，芯片潔凈度的提升是通過超潔凈技術(shù)(ultracleantechnology)來達(dá)成。超潔 凈技術(shù)是一種利用超純水洗凈芯片的技術(shù)，因此超純水的純度與品質(zhì)是非常 重要的。在超純水系統(tǒng)中，通常會將多個規(guī)格相同的樹脂單元并聯(lián)或串聯(lián)，以作 為水質(zhì)的處理裝置。 一般來說，為了得知樹脂單元的更換周期，通常會在樹 脂單元的出水端處設(shè)置硼分析儀(boron analyzer),檢測樹脂單元中的樹脂是 否有泄露，用以判斷是否需要更換樹脂單元。然而，此種方法無法確實判斷 樹脂單元的狀況。此外，若是要直接取樣樹脂單元中的樹脂做進(jìn)一步的分析， 勢必要暫停部分樹脂單元的運轉(zhuǎn)才能取得樹脂。而在取樣的過程，可能會因 操作上的失誤而對超純水造成品質(zhì)上的影響。由于樹脂單元的費用很高，若是在樹脂單元還能使用的情況下，因無法分析判斷樹脂的使用年限而更換樹脂單元，會導(dǎo)致工藝成本大幅增加。因此，
如何避免上述的問題，并確實地判斷樹脂單元的使用壽命，以降低成本的花 費是目前業(yè)界亟欲解決的課題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種水處理裝置，可以在不停止裝置運轉(zhuǎn)的情況下，取樣分 析樹脂單元的樹脂。本發(fā)明還提供一種水處理裝置的監(jiān)測方法，能夠確實地分析樹脂單元的 狀態(tài)，用以研判樹脂單元的使用壽命。本發(fā)明提出一種水處理裝置，適于配置在^i純水制造系統(tǒng)。此裝置包括 第一樹脂單元以及第一比對單元。第一比對單元與第一樹脂單元并聯(lián)，且第一比對單元以相同于第一樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。在本發(fā)明的一實施例中，水處理裝置還包括第二樹脂單元，連接第一樹 脂單元。在本發(fā)明的一實施例中，水處理裝置還包括第二比對單元，與第二樹脂 單元并聯(lián)，且第二比對單元以相同于第二樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一樹脂單元與第二樹脂單元例如是并聯(lián)。在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一比對單元與第二比對單元例如是并聯(lián)。在本發(fā)明的 一 實施例中，上述的第 一樹脂單元與第二樹脂單元例如是串聯(lián)。在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一比對單元與第二比對單元例如是串聯(lián)。在本發(fā)明的一實施例中，上述的第二樹脂單元例如是精練型樹脂塔。 在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一樹脂單元例如是精練型樹脂塔。 本發(fā)明另提出一種配置于超純水制造系統(tǒng)的水處理裝置的監(jiān)測方法。首先，提供比對單元，且其以相同于樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。然后，將比對單元與樹脂單元并聯(lián)。接著，設(shè)定比對單元的運轉(zhuǎn)條件。之后，定期取樣比對單元，以分析樹脂單元的使用狀況。在本發(fā)明的一實施例中，上述設(shè)定比對單元的運轉(zhuǎn)條件例如是使比對單元的運轉(zhuǎn)條件與樹脂單元的運轉(zhuǎn)條件相同。在本發(fā)明的一實施例中，上述^L定比對單元的運轉(zhuǎn)條件例如是調(diào)整通過比對單元的水流量。在本發(fā)明的一實施例中，上述的樹脂單元例如是精練型樹脂塔。 本發(fā)明的水處理裝置因采用將比對單元與樹脂單元并聯(lián)，且所使用的比對單元以相同于樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小，因此能夠有助于取樣分析樹脂的使用情況。再者，本發(fā)明的水處理裝置的監(jiān)測方法通過將比對單元與樹脂單元并 聯(lián)，并將比對單元的運轉(zhuǎn)條件調(diào)整至相同于樹脂單元的運轉(zhuǎn)條件，以定期取 樣分析樹脂。因此，本發(fā)明的方法可以通過取樣分析比對單元，來推測樹脂 單元的樹脂使用狀態(tài)。此外，本發(fā)明可以在水處理裝置運轉(zhuǎn)的情況下，定期舉4羊分析樹脂，以 研判是否延長樹脂單元的使用壽命。另外，本發(fā)明還可比較經(jīng)過不同運轉(zhuǎn)時 間后的樹脂狀態(tài)，并進(jìn)一步推估樹脂單元的使用年限。因此，本發(fā)明的水處 理裝置及其監(jiān)測方法有助于降低工藝成本。為讓本發(fā)明之上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施例，并 配合所附圖示，作詳細(xì)說明如下。


圖1是依照本發(fā)明的一實施例的水處理裝置的配置示意圖。圖2是依照本發(fā)明的一實施例的比對單元的構(gòu)造示意圖。圖3是依照本發(fā)明的另一實施例的水處理裝置的配置示意圖。圖4為依照本發(fā)明一實施例的水處理裝置的監(jiān)測步驟流程圖。附圖標(biāo)記說明100、 100，水處理裝置102、 104、 106、 108:樹脂單元102a、 102b、 104a、 104b:樹脂塔110、 112、 114、 116、 比對單元120a:進(jìn)水端120b:出水端122:硼分析儀
130a、 130b、 132a、 132b、 134a、 134b、 136a、 136b、 138a、 138b、 140、 142a、 142b、 144a、 144b、 146a、 146b、 148a、 148b、 150、 151、 152、 180、 182、 184、 186、 188、 188a、 188b、 220、 222:輸送管160、 161、 162、 164、 166、 168、 190、 191、 192、 193、 198、 199、 212、 214:控制閥153、 155、 194、 196、 216:壓力表154、 156、 195、 197、 218:流量計 200:樹脂結(jié)構(gòu)202:上蓋204:下蓋206:主體208:樹脂過濾器210a、 210b、 210c:樹脂取樣閥S400、 S410、 S420、 S430:步驟具體實施方式
圖1是依照本發(fā)明的一實施例的水處理裝置的配置示意圖。 請參照圖1，本發(fā)明的水處理裝置IOO適于配置在超純水制造系統(tǒng)(未繪 示)中。水處理裝置100例如是具有提升水質(zhì)的功能。超純水流經(jīng)水處理裝 置100后，可以去除水中的微粒子或有機物等雜質(zhì)，并使超純水的純度與品質(zhì)更臻理想。水處理裝置100包括進(jìn)水端120a、出水端120b以及樹脂單元102、 104、 106、 108。進(jìn)水端120a例如是通過輸送管130a、 132a、 134a、 136a、 138a 連接至樹脂單元102、 104、 106、 108。而樹脂單元102、 104、 106、 108例 如是通過輸送管130b、 132b、 134b、36b、 138b連接出水端120b。承上述，經(jīng)過超純水制造系統(tǒng)前置處理的超純水會由進(jìn)水端120a送至 水處理裝置100。經(jīng)水處理裝置IOO處理后的超純水會由出水端120b送至后 續(xù)處理裝置或系統(tǒng)，以供半導(dǎo)體清洗工藝之用。而樹脂單元102、 104、 106、 10S皆例如是相同規(guī)格的精練型樹脂塔，可用來去除水中的雜質(zhì)。此外，在 輸送管130b上還可以選擇性地連接有硼分析儀122,用來偵測超純水中的硼 含量，以初步判斷樹脂單元102、 104、 106、 108是否有樹脂泄漏的情況發(fā)生。如圖1所示，樹脂單元102例如是通過輸送管130a、 132a與進(jìn)水端120a 連接，且通過輸送管132b、 130b與出水端120b連接。樹脂單元104例如是 通過輸送管130a、 134a與進(jìn)水端120a連接，且通過輸送管134b、 130b與 出水端120b連接。樹脂單元106例如是通過輸送管130a、136a與進(jìn)水端120a 連接，且通過輸送管136b、 130b與出水端120b連接。樹脂單元108例如是 通過輸送管130a、 138a與進(jìn)水端120a連接，且通過輸送管138b、 130b與 出水端120b連接。亦即，在本實施例中，樹脂單元102、 104、 106、 108彼 此之間為并聯(lián)連接，而構(gòu)成水處理單元。請繼續(xù)參照圖1,水處理裝置IOO還包括比對單元112、 114、 116、 118 以及輸送管142a、 144a、 146a、 148a、 142b、 144b、 146b、 148b。在本實施 例中，比對單元112、 114、 116、 118分別以相同于樹脂單元102、 104、 106、 108的規(guī)格而等比例縮小。也就是說，除了尺寸以外，比對單元112、 114、 116、 118與樹脂單元102、 104、 106、 108內(nèi)填充有相同的樹脂并具有相同 的材料、密度等其他特性。比對單元112、 114、 116、 118的尺寸會小于樹 脂單元102、 104、 106、 108，且比對單元112、 114、 116、 118的尺寸與樹 脂單元102、 104、 106、 108的尺寸具有比例關(guān)系。特別說明的是，比對單元112、 114、 116、 118分別會與樹脂單元102、 104、 106、 108并聯(lián)。詳言之，比對單元112例如是通過輸送管142a連接于 輸送管132a上，并通過輸送管142b連接至輸送管140。比對單元114例如 是通過輸送管144a.連接于輸送管134a上，并通過輸送管144b連接至輸送 管140。比對單元116例如是通過輸送管146a連接于輸送管136a上，并通 過輸送管146b連接至輸送管140。比對單元118例如是通過輸送管148a連 接于輸送管138a上，并通過輸送管148連接至輸送管140。而收集通過比對 單元112、 114、 116、 118所有水流的輸送管140例如是連接至硼分析儀122, 以測量超純水中的硼含量，進(jìn)而檢測比對單元112、 114、 116、 118是否發(fā) 生樹脂泄漏。另外，在輸送管142a、 144a、 146a、 148a上還可以分別配置有控制閥 162、 164、 166、 168?？刂崎y162、 164、 166、 168例如是分別用來調(diào)控通 過比對單元112、 114、 116、 118的水流量。在一實施例中，可以同時將控 制閥164、 166、 168所調(diào)控的水流量調(diào)整為0,亦即僅使超純水通過比對單
元112。而通過比對單元112的超純水會經(jīng)由輸送管140流至硼分析儀122, 如此即可得知單獨比對單元112是否有泄漏。同理，通過改變控制閥162、 164、 166、 168的設(shè)定，亦可以得知單獨比對單元114、 116、 118是否有泄 漏，此領(lǐng)域普通技術(shù)人員當(dāng)可視其需求進(jìn)行調(diào)整。如圖1所示，水處理裝置IOO還可以包括另一個比對單元110,其例如 是通過輸送管150與輸送管130a相連接。比對單元IIO例如是通過輸送管 151將超純水流出水處理裝置100。而輸送管151上例如是連接有輸送管152， 且輸送管152會連接至硼分析儀122。因此，流經(jīng)比對單元IIO后的超純水 可以經(jīng)由輸送管152連接至硼分析儀122，而可測量水中的硼含量。如此一 來，比對單元110會與由樹脂單元102、 104、 106、 108構(gòu)成的水處理單元 并聯(lián)。此外，在輸送管150上還可以設(shè)置有控制閥160,以調(diào)控流入比對單元 IIO的水流量。在輸送管151上還可以設(shè)置有控制閥161，以繼續(xù)或暫停超 純水在輸送管151內(nèi)流動。而在控制閥160與比對單元IIO之間的位置例如 是連接有壓力表153與流量計154,以測量經(jīng)由控制閥160調(diào)控后超純水的 水壓及水流量。在比對單元110與控制閥161之間也可以連接壓力表155與 流量計156,用以測量,人比對單元110流出的超純水的水壓及水流量。圖2是依照本發(fā)明的一實施例的比對單元的構(gòu)造示意圖。請參照圖2,在此說明的是，上述比對單元110、 112、 114、 116、 118 的基本構(gòu)造如圖2中的樹脂結(jié)構(gòu)200所示。樹脂結(jié)構(gòu)200包括上蓋202、下 蓋204、主體206、樹脂過濾器208以及樹脂取樣閥210a、 210b、 210c。主 體206內(nèi)例如是填充有精練型樹脂。樹脂過濾器208例如是配置在主體206 內(nèi)，且位于主體206的最下方，用以防止主體206內(nèi)的樹脂流出。樹脂^F又樣 閥210a、 210b、 210c例如是位于不同的高度位置，并分別連4妄于主體206 的側(cè)壁上。樹脂取樣閥210a連接于主體206的上部，可用以取樣位于主體 206內(nèi)上部的樹脂。樹脂取樣閥210b連接于主體206的中部，可用以取樣位 于主體206內(nèi)中部的樹脂。樹脂取樣閥210c連接于主體206的下部，可用 以取樣主體206內(nèi)下部的樹脂。承上述，樹脂結(jié)構(gòu)200的頂端例如是連接有輸送管220，以使超純水可 以流入樹脂結(jié)構(gòu)200內(nèi)。而樹脂結(jié)構(gòu)200的底部例如是連接有輸送管222， 以使通過樹脂結(jié)構(gòu)200后的超純水可以進(jìn)一步排放至其他裝置或系統(tǒng)。在輸
送管220、 222上,例如是分別配制有控制閥212、 214。控制閥212例如是 流量調(diào)整閥，用以調(diào)控流入樹脂結(jié)構(gòu)200的水流量?？刂崎y214例如是手動 閥，以斷絕或繼續(xù)超純水在輸送管222內(nèi)流動。此外，在輸送管220上還可 以連接有壓力表216與流量計218。壓力表216與流量計218例如是設(shè)置于 控制閥212與樹脂結(jié)構(gòu)200之間，可以用來測量經(jīng)由控制閥212調(diào)控后的水 壓及水流量。值得一提的是，由于比對單元112、 114、 116、 118是樹脂單元102、 104、 106、 108的縮影，且其分別會與樹脂單元102、 104、 106、 108并聯(lián)，因此 在水處理裝置IOO運轉(zhuǎn)時，可以取樣分析比對單元112、 114、 116、 118的 樹脂使用情況，以回推研判其相對應(yīng)的樹脂單元102、 104、 106、 108是否 需要更換。此外，通過將比對單元110與由樹脂單元102、 104、 106、 108 所構(gòu)成的水處理單元并聯(lián)，可有助于分析當(dāng)樹脂單元102、 104、 106、 108 并聯(lián)時，水處理單元的整體樹脂狀態(tài)。另一方面，由于比對單元110、12、 114、 116、 118的結(jié)構(gòu)在側(cè)壁的不同高度設(shè)置有3個樹脂取樣閥，因而可以 分段取樣并分析位于不同位置的樹脂。圖3是依照本發(fā)明的另一實施例的水處理裝置的配置示意圖。在圖3中， 與圖1相同的構(gòu)件則使用相同的標(biāo)號并省略其說明。請參照圖3，本發(fā)明另提出一種水處理裝置100，，組成水處理裝置IOO， 的主要構(gòu)件與組成水處理裝置IOO的主要構(gòu)件大致相同。然而，水處理裝置 IOO，與水處理裝置100的差異主要在于水處理裝置IOO，包括樹脂單元102、 104以及比對單元112、 114,其中樹脂單元102與樹脂單元104的連接關(guān)系 為串聯(lián)。在本實施例中，如圖3所示，樹脂單元102包括樹脂塔102a、 102b，且 樹脂塔102a與樹脂塔102b例如是并聯(lián)連接。樹脂單元104包括樹脂塔104a、 104b，且樹脂塔104a與樹脂塔104b例如是并聯(lián)連接。換句話說，進(jìn)水端120a 例如是通過輸送管130a連接至樹脂單元102。樹脂單元102例如是通過輸送 管180連接至樹脂單元104。而樹脂單元104例如是通過輸送管130b連接至 出水端120b。請繼續(xù)參照圖3，比對單元112例如是與樹脂單元102并聯(lián)。比對單元 114例如是與樹脂單元104并聯(lián)。在本實施例中，比對單元112與比對單元 114會通過輸送管184串聯(lián)連接。詳細(xì)而言，比對單元112例如是通過輸送
管182連接至進(jìn)水端120a。在輸送管182上可以配置控制閥l卯，以調(diào)控流 入比對單元112的水流量。而在控制閥190與比對單元112之間，還可以連 接壓力表194及流量計195,以測量超純水在通過控制閥190后的水壓及水 流量。而輸送管188a例如是連接于輸送管184上，且輸送管188a上配置有 控制閥198,用以控制開啟或關(guān)閉超純水在輸送管188a內(nèi)的流通。在輸送管 184上，可以配置控制閥191、 192?？刂崎y191例如用來開啟或關(guān)閉超純水 在輸送管184的流動?？刂崎y192例如用來調(diào)控預(yù)通過比對單元114的水流 量。此外，在控制閥192與比對單元114之間，例如是連接有壓力表196與 流量計197,以測量通過的水壓及水流量。承上述，比對單元114例如是與輸送管186相連。輸送管186例如用來 將流經(jīng)比對單元112、 114的超純水排出水處理裝置IOO，之外。在輸送管186 上例如是配置有控制閥193,以開啟或關(guān)閉超純水在輸送管186內(nèi)的流動情 形。而輸送管186上還可以連接有輸送管188b。另外，在輸送管188b上還 可以配置有控制閥199,以開啟或關(guān)閉超純水在輸送管188b內(nèi)流動。在本實 施例中，輸送管188a與輸送管188b同時交會連接至輸送管188。而輸送管 188可以收集通過比對單元112及/或比對單元114的水流，并連接至硼分析 儀122,使自比對單元112、 114流出的超純水可以經(jīng)由硼分析儀112檢測是 否有樹脂泄漏的情況發(fā)生。而硼分析儀122會與輸送管130b連接，而使超 純水可以流至出水端120b。因此，如圖3所示，由比對單元112、 114串聯(lián) 而成的比對單元例如與由樹脂單元102、 104串聯(lián)而成的水處理單元并聯(lián)。在此說明的是，由于比對單元112、 114與樹脂單元102、 104并聯(lián)，比 對單元112、 114可以分別代表樹脂單元102、 104運轉(zhuǎn)情形的模擬。當(dāng)水處 理裝置IOO，運轉(zhuǎn)時，可以在不停線的狀態(tài)下取樣并分析比對單元112、 114 的樹脂使用情況以回推判斷其相對應(yīng)的樹脂單元102、 104是否需要更換。值得一提的是，在上述實施例中，是以將本發(fā)明的水處理裝置100、 100， 應(yīng)用于超純水制造系統(tǒng)為例來進(jìn)行說明，然而其并不限于此。當(dāng)然，本發(fā)明 的水處理裝置100、 IOO'除了可用于制造超純水以外，亦可應(yīng)用于其他適當(dāng) 的領(lǐng)域中，本發(fā)明于此不做特別的限定。接下來將繼續(xù)說明本發(fā)明的水處理裝置的監(jiān)測方法。圖4為依照本發(fā)明 一實施例的水處理裝置的監(jiān)測步驟流程圖。為了詳述本發(fā)明的監(jiān)測方法，以 下將利用上述圖1的水處理裝置IOO為例來進(jìn)行說明。然而以下的說明是用
來詳述本發(fā)明以使此本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠據(jù)以實施，但并非用以限定本發(fā)明的范圍。請同時參照圖1與圖4，步驟S400,先4是供比對單元112、 114、 116、 118。比對單元112、 114、 116、 118例如以相同于樹脂單元102、 104、 106、 108的規(guī)格而等比例縮小。步驟S410,將比對單元112、 114、 116、 118分別與樹脂單元102、 104、 106、 108并聯(lián)。如圖1所示，比對單元112、 114、 116、 118例如分別通過 輸送管142a、 142b、 144a、 144b、 146a、 146b、 148a、 148b、 140連接至輸 送管130b,而與樹脂單元102、 104、 106、 108并聯(lián)。如此一來，經(jīng)由輸送 管132a流入樹脂單元102的超純水可以自輸送管142a分流至比對單元112; 經(jīng)由輸送管134a流入樹脂單元104的超純水可以自輸送管144a分流至比對 單元114;經(jīng)由輸送管136a流入樹脂單元106的超純水可以自輸送管146a 分流至比對單元116;經(jīng)由輸送管138a流入樹脂單元108的超純水可以自輸 送管148a分流至比對單元118。步驟S420,設(shè)定比對單元112、 114、 116、 118的運轉(zhuǎn)條件。設(shè)定比對 單元112、 114、 116、 118的運轉(zhuǎn)條件例如是調(diào)整分別設(shè)置于輸送管142a、 144a、 146a、 148a上的控制閥162、 164、 166、 168。通過調(diào)整控制閥162、 164、 166、 168能夠調(diào)控流入比對單元112、 114、 116、 118的水流量。在本 實施例中，比對單元112、 114、 116、 118的運轉(zhuǎn)條件會設(shè)定在相同于樹脂 單元102、 104、 106、 108的運轉(zhuǎn)條件。換言之，控制閥162、 164、 166、 168 例如是將通過比對單元112、 114、 116、 118每單位體積的水流量調(diào)整至等 于通過樹脂單元102、 104、 106、 108每單位體積的水流量。步驟S430，定期取樣比對單元112、 114、 116、 118,以回推分析相對 應(yīng)的樹脂單元102、 104、 106、 108的使用狀況。由于比對單元112、 114、 116、 118分別代表樹脂單元102、 104、 106、 108的縮影，因此分析自比對 單元112、 114、 116、 118的樹脂使用狀態(tài)，可以反應(yīng)其相對應(yīng)的樹脂單元 102、 104、 106、 108的使用狀態(tài)。承上述，通過將預(yù)通過樹脂單元102、 104、 106、 108的超純水分別分 流至比對單元112、 114、 116、 118,并調(diào)整比對單元112、 114、 116、 118 的運轉(zhuǎn)條件，因此可以將比對單元112、 114、 116、 118視為樹脂單元102、 104、 106、 108的縮影。在水處理裝置IOO運轉(zhuǎn)時，可以取樣分析比對單元
112、 114、 116、 118的使用情況，再根據(jù)比對單元112、 114、 116、 118與 樹脂單元102、 104、 106、 108之間的比例關(guān)系，回推分析樹脂單元102、 104、 106、 108的使用情況，以判斷是否需要更換樹脂單元102、 104、 106、 108。此外，在其他實施例中，還可以通過控制閥162、 164、 166、 168將通 過比對單元112、 114、 116、 118每單位體積的水流量調(diào)整至倍量于通過樹 脂單元102、 104、 106、 108每單位體積的水流量。如此一來，可以取樣分 析比對單元112、 114、 116、 118的樹脂使用狀態(tài)，進(jìn)而推估樹脂單元102、 104、 106、 108的使用年限。當(dāng)然，本發(fā)明的水處理裝置的監(jiān)測方法亦可以應(yīng)用在圖3所示的水處理 裝置100，，其步驟細(xì)節(jié)應(yīng)為此領(lǐng)域普通技術(shù)人員可輕易推知，故于此不再贅 述。綜上所述，本發(fā)明至少具有下列的優(yōu)點1. 本發(fā)明的水處理裝置及其監(jiān)測方法通過將比對單元并入水處理裝置， 由于比對單元被設(shè)計為以相同于樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小，且比對單元 與樹脂單元為并聯(lián)連接，因此可以通過直接取樣分析比對單元以確實得知樹 脂單元的使用狀態(tài)。2. 本發(fā)明的水處理裝置及其監(jiān)測方法利用將比對單元的運轉(zhuǎn)條件調(diào)整 至相同于樹脂單元的運轉(zhuǎn)條件，并定期取樣分析比對單元，因此可以比較經(jīng) 過不同運轉(zhuǎn)時間后的樹脂使用情況，進(jìn)而研判是否需要更換樹脂單元。3. 本發(fā)明的水處理裝置及其監(jiān)測方法能夠設(shè)定以不同的水流量通過比 對單元，來比較水處理裝置的運作情況，因此可有助于推測樹脂單元的使用 年限。4. 本發(fā)明的水處理裝置及其監(jiān)測方法可以在不停止水處理裝置運轉(zhuǎn)的 情況下，直接取樣分析樹脂，以研判是否可延長樹脂單元的使用壽命，因此 能夠降低操作風(fēng)險并有效減少工藝成本。5. 本發(fā)明的水處理裝置及其監(jiān)測方法通過簡單的手段即可確實分析判 斷樹脂的使用情況，因此可以應(yīng)用于不同配置關(guān)系(并聯(lián)或串聯(lián))的水處理裝 置中。雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例^坡露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些 許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種水處理裝置，適于配置在超純水制造系統(tǒng)，包括第一樹脂單元；以及第一比對單元，與該第一樹脂單元并聯(lián)，該第一比對單元以相同于該第一樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。
2. 如權(quán)利要求1所述的水處理裝置，還包括第二樹脂單元，連接該第一樹脂單元。
3. 如權(quán)利要求2所述的水處理裝置，還包括第二比對單元，與該第二樹 脂單元并聯(lián)，該第二比對單元以相同于該第二樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。
4. 如權(quán)利要求3所述的水處理裝置，其中該第一樹脂單元與該第二樹脂 單元為并聯(lián)。
5. 如權(quán)利要求4所述的水處理裝置，其中該第 一比對單元與該第二比對 單元為并聯(lián)。
6. 如權(quán)利要求3所述的水處理裝置，其中該第一樹脂單元與該第二樹脂 單元為串聯(lián)。
7. 如權(quán)利要求4所述的水處理裝置，其中該第一比對單元與該第二比對 單元為串聯(lián)。
8. 如權(quán)利要求2所述的水處理裝置，其中該第二樹脂單元包括精練型樹脂塔。
9. 如權(quán)利要求1所述的水處理裝置，其中該第一樹脂單元包括精練型樹脂塔。
10. —種水處理裝置的監(jiān)測方法，'該水處理裝置配置于超純水制造系統(tǒng) 中，此方法包才舌提供比對單元，該比對單元以相同于該樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小；將該比對單元與樹脂單元并聯(lián)；設(shè)定該比對單元的運轉(zhuǎn)條件；以及定期取樣該比對單元，以分析該樹脂單元的使用狀況。
11. 如權(quán)利要求IO所述的水處理裝置的監(jiān)測方法，其中設(shè)定該比對單元 的運轉(zhuǎn)條件包括使該比對單元的運轉(zhuǎn)條件與該樹脂單元的運轉(zhuǎn)條件相同。
12. 如權(quán)利要求IO所述的水處理裝置的監(jiān)測方法，其中設(shè)定該比對單元 的運轉(zhuǎn)條件包括調(diào)整通過該比對單元的水流量。
13. 如權(quán)利要求IO所述的水處理裝置的監(jiān)測方法，其中該樹脂單元包括 精練型樹脂塔。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種水處理裝置和一種水處理裝置的監(jiān)測方法。該水處理裝置適于配置在超純水制造系統(tǒng)。此裝置包括第一樹脂單元以及第一比對單元。第一比對單元與第一樹脂單元并聯(lián)，且第一比對單元為以相同于第一樹脂單元的規(guī)格而等比例縮小。
文檔編號C02F1/42GK101397155SQ20071016177
公開日2009年4月1日 申請日期2007年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月26日
發(fā)明者彭錦相, 林宗煌, 魏善修 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司