專利名稱：揮發(fā)酸吸收器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域的廢水處理裝置，具體地說，涉及廢水處理裝 置使用的一種揮發(fā)性酸吸收器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，蝕刻、清洗、拋光等制程都會產(chǎn)生大量的廢水。廢水 中常常存在化學(xué)性揮發(fā)性物質(zhì)，在將廢水導(dǎo)入廢水槽的過程中，部分酸性氣體 如鹽酸、硝酸就會擴(kuò)散到空氣中。這些酸性氣體擴(kuò)散到空氣中，不僅污染環(huán)境， 而且很容易對工作人員的身體健康造成影響，濃度大時還會腐蝕工廠內(nèi)的設(shè)備、 晶圓等。
為了避免上述情況，需要提供一種揮發(fā)酸吸收器，以減少揮發(fā)到空氣中的 酸性氣體，減少對環(huán)境的污染。由于工廠的生產(chǎn)成本比較高，所以每一空間都 要充分利用，以降低生產(chǎn)成本，所以該揮發(fā)酸吸收器不能太大。

實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題在于提供一種小型的揮發(fā)酸吸收器， 以有效減少揮發(fā)到空氣中的酸性氣體。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種揮發(fā)酸吸收器，在向廢水槽 內(nèi)注入廢水時，所述揮發(fā)酸吸收器可以吸收廢水中揮發(fā)出來的酸性氣體。所述 揮發(fā)酸吸收器包括殼體、注有堿性溶液且安裝在殼體內(nèi)的海綿體以及廢水導(dǎo)入
孔、導(dǎo)出孔；其中廢水導(dǎo)入孔穿過殼體和海綿體與外界相通，以供廢水注入軟 管插入。使用時，廢水注入軟管插入導(dǎo)入孔內(nèi)，廢水自揮發(fā)酸吸收器的導(dǎo)出孔 流入廢水槽內(nèi)；在廢水流入廢水槽的過程中，廢水中的酸性揮發(fā)氣體揮發(fā)到殼 體內(nèi)，海綿體中的堿性液體與酸性揮發(fā)氣體反應(yīng)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的揮發(fā)酸吸收器結(jié)構(gòu)簡單、體積較小、制造成本低廉，既方便攜帶，又方便清洗；使用本發(fā)明提供的揮發(fā)酸吸收器可 以有效減少揮發(fā)到空氣中的酸性氣體。


圖l是較佳實(shí)施例中揮發(fā)酸吸收器的截面示意圖2是圖1所示揮發(fā)酸吸收器安裝在廢水槽上面時的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型提供的揮發(fā)酸吸收器的較佳實(shí)施例作詳細(xì)描 述，以期進(jìn)一步理解本實(shí)用新型的功效、特點(diǎn)等。
圖1為本實(shí)施例揮發(fā)酸吸收器100的截面示意圖，該揮發(fā)酸吸收器100呈
柱狀體，可以理解是，本實(shí)用新型不限于該形狀，也可以是長方體。該揮發(fā)酸
吸收器100包括殼體1、安裝在殼體1底部的海綿體2以及用于固定海綿體2的 固定件3。所述固定件3為一個環(huán)形件，所以海綿體2的大部分暴露在空腔6內(nèi)。 揮發(fā)酸吸收器100在底部設(shè)有貫穿海綿體2和固定件3，且與外界相通的導(dǎo)入孔 5，在頂端(開口端)還設(shè)有導(dǎo)出孔(未圖示)。
使用前，向海綿體2內(nèi)注入適量的堿性液體，如適量的蘇打水(NaC02水 溶液)。使用時，請參閱圖2,將該揮發(fā)酸吸收器100的開口端放置在廢水槽200 的注入口 201上，然后將廢水的注入軟管7插入上述導(dǎo)入孔5內(nèi)。廢水自揮發(fā) 酸吸收器100的導(dǎo)出孔流入注入口 201，進(jìn)而排入廢7jc槽200內(nèi)。在廢水流入廢 水槽200的過程中，廢水中的酸性揮發(fā)氣體揮發(fā)到空腔6內(nèi)，海綿體中的蘇打 水與酸性揮發(fā)氣體反應(yīng)，避免揮發(fā)到空氣中，污染環(huán)境。使用后，將注入軟管7 從導(dǎo)入孔5取出，再將揮發(fā)酸吸收器100從廢水槽200的注入口 201上取下。 該揮發(fā)酸吸收器100兩側(cè)還設(shè)有把手4，這樣，取下?lián)]發(fā)酸吸收器100時可以握 住把手4，方便工作人員操作。
從上述描述可知，本實(shí)用新型提供的揮發(fā)酸吸收器結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低 廉，'且方便清洗。另外，本實(shí)用新型的揮發(fā)酸吸收器可以設(shè)置成與廢水槽注入 口大小相當(dāng)，占地面積較少，方便放置和攜帶。
權(quán)利要求1.一種揮發(fā)酸吸收器，用于吸收廢水中揮發(fā)出來的酸性氣體，其特征在于，所述揮發(fā)酸吸收器包括殼體、注有堿性溶液且安裝在殼體內(nèi)的海綿體以及廢水導(dǎo)入孔、導(dǎo)出孔；其中廢水導(dǎo)入孔穿過殼體和海綿體與外界相通，以供廢水注入軟管插入；使用時，廢水注入軟管插入導(dǎo)入孔內(nèi)，廢水自揮發(fā)酸吸收器的導(dǎo)出孔流入廢水槽內(nèi)，廢水中的酸性氣體揮發(fā)到殼體內(nèi)，海綿體中的堿性液體與酸性揮發(fā)氣體反應(yīng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)酸吸收器，其特征在于，所述揮發(fā)酸吸收器還包括 將海綿體固定在殼體內(nèi)的固定件。
3. 如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)酸吸收器，其特征在于，所述揮發(fā)酸吸收器還包括 便于取置的把手。
4. 如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)酸吸收器，其特征在于，所述堿性溶液為蘇打水。
5. 如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)酸吸收器，其特征在于，所述海綿體安裝在殼體的 底部。
6. 如權(quán)利要求5所述的揮發(fā)酸吸收器，其特征在于，所述廢水導(dǎo)入孔、導(dǎo)出孔 分別設(shè)置在殼體的底面和頂面的中心位置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種揮發(fā)酸吸收器，涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域的廢水處理裝置。所述揮發(fā)酸吸收器包括殼體、注有堿性溶液且安裝在殼體內(nèi)的海綿體以及廢水導(dǎo)入孔、導(dǎo)出孔；其中廢水導(dǎo)入孔穿過殼體和海綿體與外界相通，以供廢水注入軟管插入。使用時，廢水注入軟管插入導(dǎo)入孔內(nèi)，廢水自揮發(fā)酸吸收器的導(dǎo)出孔流入廢水槽內(nèi)；在廢水流入廢水槽的過程中，廢水中的酸性揮發(fā)氣體揮發(fā)到殼體內(nèi)，海綿體中的堿性液體與酸性揮發(fā)氣體反應(yīng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的揮發(fā)酸吸收器結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，既方便攜帶，又方便清洗，還可以有效減少揮發(fā)到空氣中的酸性氣體。
文檔編號C02F1/20GK201161937SQ20082005528
公開日2008年12月10日 申請日期2008年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月31日
發(fā)明者何建房 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司