專利名稱：：高頻用磁性材料及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及主要用于動力機器或信息通信相關(guān)機器的、高頻或超高頻區(qū)域中所使用的變壓器、磁頭、感應(yīng)器、電抗器、磁心(磁芯)、磁軛、天線、微波元件、磁致伸縮元件、磁音響元件和磁記錄元件等、霍爾元件、磁傳感器、電流傳感器、旋轉(zhuǎn)傳感器、電子羅盤等的通過磁場的傳感器類中使用的磁性材料、還有電磁噪音吸收材料、電磁波吸收材料、磁屏蔽用材料等抑制不必要的電磁波干擾導(dǎo)致的故障的磁性材料、除噪音用感應(yīng)器等感應(yīng)器元件用材料、RFID(RadioFrequencyIdentification)標簽用材料或噪音濾波器用材料等在高頻或超高頻區(qū)域除去信號中噪音的磁性材料等高頻用磁性材料，尤其涉及高頻用復(fù)合磁性材料以及高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料。此處的"高頻用復(fù)合磁性材料"指的是，2種不同的磁性材料復(fù)合發(fā)揮功能的高頻用磁性材料。如果單單是"復(fù)合磁性材料"，則是2種不同的磁性材料復(fù)合發(fā)揮功能的磁性材料，而不一定是高頻用磁性材料。另外，"高頻用磁性材料"指的是，作用于30kHz3000GHz的頻率范圍的電場、磁場或電磁場，完成"目標功能"的磁性材料，其中包含"高頻用復(fù)合磁性材料"。此外，"目標功能"指的是，磁性材料的電磁誘導(dǎo)、自我誘導(dǎo)、高磁導(dǎo)率、高頻損失、磁致伸縮、磁區(qū)形成、半硬磁性等磁功能，本發(fā)明的高頻用磁性材料可使用于利用了這些功能的元件、部件、或機器等。此外，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，30kHz以上、3000GHz以下的頻率的電磁波稱為"高頻"，其中"超高頻"指的是lGHz以上的高頻。如無特別說明，"高頻"包括"超高頻"。本發(fā)明中，如無特別說明，"低頻"指的是具有比高頻低的頻率的電磁波。另外，"高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料"指的是，高頻用磁性材料和樹脂的復(fù)合材料，如果單單是"磁性材樹脂復(fù)合材料"，則是磁性材料和樹脂的復(fù)合材料，而不一定是高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料。此夕卜，本發(fā)明通過實施例詳細公幵了0.00533GHz范圍中的電磁特性，實際證明了本發(fā)明的磁性材料具有優(yōu)異的"目標功能"，但本發(fā)明的材料并不局限于該范圍使用。
背景技術(shù)：
：最近，伴隨移動型信息通信機器-個人電腦、手機、數(shù)碼相機等各種信息通信機器的小型多功能化和演算處理速度的高速化，驅(qū)動頻率的高頻化不斷發(fā)展，利用了高頻、尤其利5用了超高頻的機器日趨普及。利用微波頻帶的電磁波的衛(wèi)星通信、移動體通信、車載導(dǎo)航等的機器的需求大幅增長，車輛道路通行費自動付費系統(tǒng)(ETC)、無線LAN等的近距離無線通信、防沖突雷達等車載用毫米波雷達等也開始普及。在以上利用高頻、甚至超高頻的潮流中，強烈要求在較高頻率的電磁場變化中也沒有損失地跟隨的磁性材料。另一方面，這些高頻機器向外界放出的電磁波所引起的電磁環(huán)境惡化受到關(guān)注，目前，官方機構(gòu)或國際機構(gòu)紛紛開始通過法律法規(guī)限制、自我限制。但是，即使是單個機器中的有用信號，對其他機器或生物體可能是妨礙，由于這種背反的因果關(guān)系，其應(yīng)對非常困難。為了解決這個問題，作為機器的特性，不放出不需要的電磁波、對外來噪音有很強的耐性，即，關(guān)注電磁波的產(chǎn)生(EMI)和受害(EMS)兩方面的電磁并存性(EMC;Electro—MagneticCompatibility)的確立是很重要的。作為上述EMC對策的一例，以下描述最近電子機器經(jīng)常使用的電磁噪音吸收材料。電磁噪音吸收材料是在電磁噪音發(fā)生源的附近，抑制電磁波向外界放出的材料。在數(shù)百MHz以上的高頻區(qū)域，經(jīng)常使用利用了Ni—Zn鐵酸鹽等的自然共鳴來吸收傳導(dǎo)在線路上的高次諧波等高頻電磁噪音，變換為熱能，抑制噪音的片狀電磁噪音吸收材料。作為所要求的磁特性，是磁性材料的相對磁導(dǎo)率高、以及自然共鳴頻率高這2點。由于鐵酸鹽的電阻率高，因此渦電流損失造成的性能劣化小，在高頻區(qū)域中被視作理想的材料。但是，電磁波作用的場合等交流磁場中的材料的相對磁導(dǎo)率，以復(fù)數(shù)表示如下，^稱為復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率，數(shù)1pr=^,ip"(i)其中的虛數(shù)項y"與電磁波的吸收能量P關(guān)系如下數(shù)2即，頻率f時的u"值越大，頻率f的電磁波的吸收能越高。此夕卜、iio為真空的磁導(dǎo)率、|H|為電磁波的磁場大小。最近，電磁噪音的頻率達到了GHz的超高頻區(qū)域，難以利用傳一直以來使用的鐵酸鹽。原因如下。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項!i'與自然共鳴頻率fr的積和飽和磁化Is成正比，成立以下關(guān)系。數(shù)3=5.6[GHz](3)此處，V為旋轉(zhuǎn)磁常數(shù)。g卩，飽和磁化的值幾乎相同時，相對磁導(dǎo)率高的話，低頻率下產(chǎn)生共鳴，而到高頻不引起共鳴的材料則相對磁導(dǎo)率低。此種折衷選擇的關(guān)系即所謂的斯那克的界限(snoek，slimit)，關(guān)系式(3)直接顯示出鐵酸鹽在高頻區(qū)域中的利用是有上限的。例如，新一代的PC、手機、無線LAN等所使用的頻率210GHz的范圍中，考慮利用鐵酸鹽來吸收電磁噪音。自然共鳴頻率為210GHz時，根據(jù)關(guān)系式(3)，鐵酸鹽的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項為2.80.56，非常小。虛數(shù)項也可認為在該大小以下，由于實際上這個值非常小，因此鐵酸鹽不適用于GHz帶的電磁噪音吸收材料。基于這個問題點，近年來，飽和磁化值大于鐵酸鹽的Fe、Fe—Ni系合金、Fe—Ni—Si系合金、鐵硅鋁磁性合金、Fe—Cu—Nb—Si系合金、非晶合金等金屬系磁性材料的利用越來越活躍，開發(fā)出了令磁性金屬微粒子分散于絕緣性樹脂等的磁性材樹脂復(fù)合材料。金屬材料的電阻率為10140MQcm，與鐵酸鹽的電阻率400010Qcm相比較低。因此，在高頻區(qū)域使用時，不能在高頻實現(xiàn)高磁導(dǎo)率。這是因為，為了防止渦電流損失而引起磁導(dǎo)率從低頻區(qū)域開始下降，必須有絕緣層，但是，該非磁性部分結(jié)果會降低磁性材樹脂復(fù)合材料本來具有的在高頻區(qū)域的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率。此外，若變成超過lGHz的超高頻區(qū)域，則即使是此種復(fù)合材料，也不能避免渦電流損失的影響所引起的磁導(dǎo)率的下降。作為已有的電磁噪音吸收材料，例舉最具效果的一種材料鐵硅鋁磁性合金，說明如下。首先，頻率f的電磁波浸入材料時，其電磁場強度為1/e的表皮深度s如下述關(guān)系式(4)。數(shù)4鐵硅鋁磁性合金的情況下，電阻率p與磁導(dǎo)率Wk)的比p/WiQ為80x10—8[Qm]/(30000x4兀xl0—7)[N/A2]=2xl0—5[m2]，將該值代入關(guān)系式(4)的話，lGHz的電磁波造成的表皮深度為約0.08pm。不降低渦電流損失引起的材料的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項的條件是使材料粒徑為表皮深度2倍以下。因而。在lGHz以上使用鐵硅鋁磁性合金時，粉體粒徑必須不足約0.2pm，但是在實際工業(yè)的機械方法進行的粉碎中，非常難以實現(xiàn)此種粒徑。7另外，雖然也可使用被賦予了形狀各向異性的金屬系磁性體，但出于基本與上述粉體同樣的情況的考慮，金屬系磁性體填料的厚度也必須不足0.2pm，即使獲得一定程度的填充率，加大了磁導(dǎo)率，但對于超高頻用途的適用還是有限的。當然，作為電磁噪音吸收材料展開時，也可考慮通過渦電流損失的吸收，而不是自然共鳴的吸收來達到目的。但是，即是此種情況下，如果不設(shè)計出低頻區(qū)域下渦電流損失并不顯著的材料，那么就無法顯示高頻、甚至超高頻區(qū)域下的電磁波吸收。另外，一般以渦電流損失得到的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項的最大值，較之自然共鳴的情況變得較小。此外，雖然也有嘗試開發(fā)需要濺射或真空蒸鍍等薄膜制作技術(shù)的金屬多層膜或納米顆粒等的高磁導(dǎo)率材料，磁導(dǎo)率雖然高，但是，只能制作整體為數(shù)iam的膜，不僅不能達到充分的噪音吸收能，成本也很高，不實用。近年來，非專利文獻l等中提出，通過3fxm左右的鐵酸鹽薄膜，作為高頻用磁性材料實現(xiàn)高磁導(dǎo)率的例子。使用的原理是，通過去磁，將磁化封入膜面內(nèi)，從而提升共鳴頻率。但是，在超高頻用途下，磁導(dǎo)率尚不充分，對于平滑的單位的薄膜材料的量產(chǎn)，其成膜速度仍然不能充分滿足。因此，人們強烈要求開發(fā)出磁導(dǎo)率在高頻區(qū)域更高、電磁噪音的抑制性能更優(yōu)異的電磁噪音吸收材料用的磁性材料、以及例如在樹脂中分散有該磁性材料的片狀的、容易量產(chǎn)、需要撓性的用途等適應(yīng)范圍廣的電磁噪音吸收材料。除了上述的金屬材料和薄膜材料外，作為高頻頻帶中的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率特性較尖晶石型軟磁性鐵酸鹽更優(yōu)異的軟磁性材料，有提出軟磁性六方晶磁鐵鉛礦系鐵酸鹽。艮P，組成式為Ba3C02Fe24Q41的Z型六方晶鐵酸鹽等。由于這些材料具有易磁化方向為c面內(nèi)的面內(nèi)磁各向異性，如果c面內(nèi)偏離容易方向時的各向異性磁場為Ha,、向C軸方向偏向時的為Ha2的話，共鳴頻率與復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項的積如以下的關(guān)系式(5)表示。數(shù)5/r'=V^a2/仏l(5)由于面內(nèi)磁各向異性材料的Ha2〉Ha,，與上述關(guān)系式(3)相比，僅系數(shù)(Ha2/Hal)1/2〉1較大，因此考慮復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項的頻率變化時，自然共鳴頻率偏高，超過斯那克的界限。此種類型的磁性材料，可以說有可能成為作為高頻用途磁性材料理想的材料。但是，即使是該軟磁性六方晶磁鐵鉛礦系鐵酸鹽材料，對于所要求的性能，電阻率不能足夠大，渦電流損失大而成為障礙，還沒有達到實用化。如上，為了做成優(yōu)異的高頻用磁性材料，即使如電磁噪音吸收材料等這樣的抑制吸收雜散信號或電磁噪音的吸收型磁性材料，或如高頻用磁芯或RFID標簽用材料那樣可產(chǎn)生根據(jù)使用頻率的磁場或電磁波而放大的磁場或電磁場的透磁型磁性材料，重要的是雙方相同地在高頻或根據(jù)需要在超高頻頻帶為止復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項不下降、虛數(shù)項不増加。此外，在吸收型磁性材料的情況下，重要的是，高頻頻帶或超高頻頻帶下復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項，在低頻區(qū)域即使接近0，也會隨著頻率而増加，在存在有不必要的輻射或高次諧波等所期望的頻率下充分大。此外，為了使高頻信號用的RFID標簽等信號的大小放大，重要的是在信號存在的頻率區(qū)域?qū)崿F(xiàn)較高的磁導(dǎo)率的實數(shù)項，但與此同時，根據(jù)用途，也必須不吸收低于某頻率的頻率側(cè)的信號，吸收除去高頻至超高頻區(qū)域內(nèi)的高次諧波這樣的噪音，特別是有時要求材料以lGHz為界，在低頻區(qū)域中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項tT接近O，在高頻區(qū)域即超高頻區(qū)域具有較大的p"(后述定義的"lGHz以上的選擇吸收比"較大的材料是更適合上述目的的材料)。過去，作為高頻用途的磁性材料，存在以下問題只使用氧化物磁性材料和金屬系磁性材料，雖然電阻率高的鐵酸鹽系氧化物磁性材料的渦電流損失造成的問題較小，但也得不到充分的磁導(dǎo)率，另一方面，金屬系磁性材料雖然磁導(dǎo)率高，但由于電阻率小，因而存在低頻頻帶出現(xiàn)渦電流損失的問題，存在無論哪一個都不適合作為高頻用途的磁性材料的問題。非專禾U文獻1M.AbeandM.Tada，，，PhenomenologicalTheoryofPermeabilityinSpin-SprayedNiZnFerriteFilmsUsableforGHzConductedNoiseSuppressors",電氣學(xué)會研究會資料MAG-05-135(2005年12月56日？夕'對、亍4^研究會)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種使用了氮化物系的磁性材料的新的高頻用磁性材料，該高頻用磁性材料通過將稀土類一鐵一氮系磁性材料用作高頻用途的磁性材料，由于其磁化高于氧化物磁性材料，因而可以實現(xiàn)高磁導(dǎo)率，由于其電阻率高于金屬材料，因而可解決上述的渦電流損失等問題。此外，本發(fā)明的目的是提供一種新的氮化物系的高性能(=具有高磁導(dǎo)率)磁性材料，該高性能磁性材料通過使用粉體表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料的稀土類一鐵一氮系磁性材料，可進一步提高稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率，可更有效地解決上述的渦電流損失等問題。本發(fā)明人對能夠解決傳統(tǒng)磁性材料的背反特性、磁導(dǎo)率高、且電阻率高、解決上述渦電流損失的問題、兼具金屬系磁性材料和氧化物磁性材料雙方的優(yōu)點的電磁特性優(yōu)異的新的高頻用磁性材料進行了專心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用與傳統(tǒng)使用的氧化物磁性材料或金屬系磁性材料均不同的氮化物系的稀土類一鐵一氮系磁性材料，可發(fā)揮作為高頻用磁性材料的優(yōu)異的功能，通過控制其組成和結(jié)晶結(jié)構(gòu)、磁各向異性的方向和粒徑、并確立其制造方法，從而完成了本發(fā)明。此外，發(fā)現(xiàn)若使用以鐵酸鹽系磁性材料包覆了上述稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面的磁性粉體，用作高頻用復(fù)合磁性材料的話，尤其通過實現(xiàn)電氣絕緣，磁連結(jié)(后述詳細說明)，實施高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料等各種成形，可得到發(fā)揮適于提高磁導(dǎo)率等目的的的功能的高頻用磁性材料，通過控制其組成、微結(jié)構(gòu)和結(jié)晶結(jié)構(gòu)、磁各向異性的方向和粒徑，并進一步確立其制造方法，從而完成了本發(fā)明。艮卩，本發(fā)明如下。(1)一種高頻用磁性材料，含有稀土類一鐵一氮系磁性材料而形成。(2)上述(1)所述的高頻用磁性材料，其中，含有下述通式表示的稀土類一鐵一氮系磁性材料而成。RxFe(訓(xùn)一x—y)Ny(1)(其中，式中，R為包含Y的稀土類元素中的至少一種、x、y為以原子。/o計、3蕓xS30、lSy，。)(3)上述(2)所述的高頻用磁性材料，其中，通式(1)表示的稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮的比例為12^yS25。(4)上述(1)(3)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，構(gòu)成稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵的0.0150原子％被選自Co、Ni、B、Al、Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、In、Hf、Ta、W、Ru、Pd、Re、Os、Ir、Ag、Pt中至少1種取代。(5)上述(1)(4)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，構(gòu)成稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮的不足50原子。/。被選自H、C、P、Si、S中的至少l種取代。(6)上述(1)(5)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的主相的結(jié)晶結(jié)構(gòu)為選自六方晶、菱面體晶和正方晶中的任意一個。(7)上述(1)(6)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料具有的結(jié)晶磁各向異性為面內(nèi)磁各向異性。10200880013542.5(8)上述(1)(7)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的平均粒徑為0.12000|_tm。(9)上述(1)(8)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，高頻區(qū)域為0.00533GHz。(10)上述(1)(9)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面被鐵酸鹽系磁性材料包覆。(11)上述(10)所述的高頻用磁性材料，其中，鐵酸鹽系磁性材料為具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽。(12)上述(10)或(11)的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，鐵酸鹽系磁性材料的厚度為0.810000nm。(13)—種稀土類一鐵一氮系磁性材料，被鐵酸鹽系磁性材料包覆而形成。(14)一種高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料，含有599.9質(zhì)量％的上述(1)(12)中的任意一項所述的高頻用磁性材料和0.195質(zhì)量％的樹脂。(15)—種磁性材樹脂復(fù)合材料，含有599.9質(zhì)量％的、在構(gòu)成上述(1)(8)中任意一項所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的稀土類成分中含有不足50原子％的Sm的該稀土類—鐵一氮系磁性材料和/或上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料，還含有0.195質(zhì)量％的樹脂。(16)磁場定向的上述(1)(12)中任意一項所述的高頻用磁性材料。(17)磁場定向的上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。(18)—種電磁波吸收材料，含有上述(1)(12)的任意一項所述的高頻用磁性材料。(19)一種電磁波吸收材料，含有上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。(20)—種電磁噪音吸收材料，含有上述(1)(12)的任意一項所述的高頻用磁性材料。(21)—種電磁噪音吸收材料，含有上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。(22)—種RFID標簽用材料，含有上述(1)(12)的任意一項所述的高頻用磁性材料。(23)—種RFID標簽用材料，含有上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。(24)上述(1)所述的高頻用磁性材料的制造方法，在含有氨氣或氮氣的環(huán)境下，將實質(zhì)由R成分、Fe成分構(gòu)成的合金在20065(TC范圍進行熱處理而制造。(25)上述(13)所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的制造方法，將上述(24)所述的方法得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料、或再經(jīng)過微粉碎工序而得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料通過鐵酸鹽電鍍法處理制造。通過本發(fā)明，可提供磁導(dǎo)率高、渦電流損失小的高頻用磁性材料，特別可提供適用于lGHz以上的超高頻區(qū)域下發(fā)揮功能的信息機器等的高頻用磁性材料。顯示實施例1得到的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項^以及虛數(shù)項w的頻率依賴性的圖。顯示實施例1得到的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對電容率實數(shù)項s'以及虛數(shù)項s"的頻率依賴性的圖。顯示比較例1得到的磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項p'以及虛數(shù)項H"的頻率依賴性的顯示圖。顯示比較例2得到的磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項p'以及虛數(shù)項p"的頻率依賴性的圖。顯示實施例5得到的高頻用磁性材料和比較例3得到的磁性材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項n，以及虛數(shù)項f的頻率依賴性的圖。顯示實施例18和19得到的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項ia'以及虛數(shù)項f的頻率依賴性的圖。顯示實施例20得到的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項K以及虛數(shù)項n"的頻率依賴性的示圖。具體實施例方式以下詳細說明本發(fā)明。本發(fā)明涉及稀土類一鐵一氮系磁性材料、或在稀土類一鐵一氮系磁性材料表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料的高頻用磁性材料，其主要形態(tài)是稀土類一鐵一氮系磁性材料"粉體"、或稀土類一鐵一氮系磁性材料"粉體"的表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料的高頻用復(fù)合磁性材料"粉體"。將這些高頻用磁性材料粉體直接固化成形、或加入樹脂等成分成形后，可用作各種用途的高頻用磁性材料。高頻用復(fù)合磁性材料中，強磁性主要由稀土類一鐵一氮系磁性材料成分承擔，雖然可直接使用稀土類一鐵一氮系磁性材料，但其表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料成分而共存的話，可大幅提高電阻率，而且，由于該包覆成分帶有磁性，因此與導(dǎo)入了二氧化硅或氧化鎂等非磁性的包覆成分的情況不同，可進行高頻用復(fù)合磁性材料整體的磁連結(jié)，磁導(dǎo)率的下降不會很大，會停留在較小的值，另外，在超高頻區(qū)域下可以用磁連結(jié)的影響使磁導(dǎo)率反而提高。以下說明稀土類一鐵一氮系磁性材料的組成、其結(jié)晶結(jié)構(gòu).形態(tài)'磁各向異性、鐵酸鹽系磁性材料的種類"結(jié)晶結(jié)構(gòu)'形態(tài)、高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的樹脂成分，或它們的制造方法，其中特別說明為了得到稀土類一鐵一氮系磁性材料的稀土類一鐵系原料合金的氮化方法、鐵酸鹽系磁性材料的包覆處理法和磁場定向方法。作為上述(2)的通式(1)中的稀土類元素(R)，只要含有選自Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu中的至少一種即可，因此，也可使用混合有鈰合金或釹鐠混合物等的二種以上的稀土類元素混合的原料，但作為優(yōu)選的稀土類，為Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Dy、Er、Yb。更優(yōu)選Y、Ce、Pr、Nd、Gd、Dy。特別是含有R成分整體的50原子％以上的Nd或Pr的話，可得到磁導(dǎo)率和后述定義的最大能量吸收系數(shù)顯著高的材料，此外，基于耐氧化性能和成本的平衡，優(yōu)選含有Nd或Pr70原子％以上的Nd或Pr。具有菱面體晶或六方晶結(jié)晶結(jié)構(gòu)的稀土類一鐵一氮系磁性材料(以下該材料也稱為"R一Fe—N系磁性材料")中，稀土類成分中，含有50原子％以上的Sm的話，有時高頻區(qū)域的相對磁導(dǎo)率(復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項和實數(shù)項)極低至不足1，如想利用使用了氮化物的自然共鳴的吸收，有時限定于超過33GHz、特別是超過100GHz的超高頻用途中使用的情況，而對于積極利用面內(nèi)磁各向異性的本發(fā)明的目的來說，有時并不理想。這是因為，具備包括菱面體晶或六方晶的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，稀土類成分為Sm的話，室溫以上時單軸各向異性常數(shù)Ku為正，成為其結(jié)晶磁各向異性為單軸的材料，其它的Y、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Lu等的話，具有室溫以上時單軸各向異性常數(shù)Ku為負，這些結(jié)晶磁各向異性為面內(nèi)的傾向。但是，具有正方晶的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的稀土類一鐵一氮系磁性材料中并不只限于此，作為稀土類成分含量超過50原子％的Sm也有效。此處所使用的稀土類元素，通過工業(yè)生產(chǎn)可得到的純度即可，存在制造上不可避免混入的雜質(zhì)，例如、0、H、C、Al、Si、F、Na、Mg、Ca、Li等也可。本發(fā)明的磁性粉體中，含有330原子。/。的R成分。R成分不足3原子y。時，含有較多鐵成分的軟磁性金屬相在母合金鑄造'燒鈍后會超過容許量而分離，此種種類的軟磁性金屬相在低頻區(qū)域具有后文定義的最大吸收頻率，會降低磁導(dǎo)率，因而會阻礙作為本發(fā)明的目的之一的高頻區(qū)域、或超高頻區(qū)域的高頻用磁性材料的功能，因此并不理想。此外，R成分超過30原子。/。的話，磁導(dǎo)率、磁化會降低，并不理想。更優(yōu)選R的組成范圍為520原子％。鐵(Fe)是承擔強磁性的本稀土類—鐵一氮系磁性材料的基本組成，含有40原子％以上。不足40原子％的話，磁導(dǎo)率和磁化變小，并不理想。超過96原子％的話，含有較多Fe的軟磁性金屬相分離，出于同上述R成分不足時相同的理由，并不理想。鐵成分的組成范圍在5085原子％的范圍的話，則成為取得磁導(dǎo)率髙、自然共鳴頻率或最大吸收頻率在優(yōu)選范圍這樣的平衡的材料，特別理想。本發(fā)明的高頻用磁性材料可以具有將Fe中的0.0150原子％用以下的M成分取代的組成。上述M成分為選自Co、Ni、B、Al、Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Hf、Ta、W、Ru、Re、Os、Ir、Pt、Pb、Bi、堿金屬、堿土類金屬中的至少1種。通過導(dǎo)入M成分，雖然不一定是與其全部與Fe取代進入結(jié)晶構(gòu)造，但在提升居里點、磁導(dǎo)率、共鳴頻率的同時，也可以提高耐氧化性能。本發(fā)明中，標記為"鐵成分"、"Fe成分"的情況下，或在"R—Fe—N系"等的式中和論述磁性材料組成的書面表述中標記為"Fe"、"鐵"的情況下，也包括Fe的0.0150原子％被M成分取代的組成。M成分的Fe取代量的優(yōu)選范圍為150原子％。M成分超過50原子e/。的話，相對于制造成本的上升，上述效果小，不僅成本的實現(xiàn)上沒有得利，而且磁特性也不穩(wěn)定，相反，不足0.01原子％的話，幾乎看不出取代的效果。其中，Co、Ni對于耐氧化性能的效果較高，Co還可以大幅提高居里點，是特別優(yōu)選的成分，但該成分的Fe取代量的特別優(yōu)選范圍為220原子％。本發(fā)明的特征是，作為高頻用磁性材料，適用"稀土類一鐵一氮系磁性材料"，使用了氧化物磁性材料、金屬系磁性材料的情況下可用于高頻區(qū)域。但是，為了發(fā)揮特別優(yōu)異的目標功能，導(dǎo)入到上述組成的氮(N)量優(yōu)選130原子％的范圍。超過30原子％的話，磁導(dǎo)率全面下降，不足1原子％的話，高頻區(qū)域、或超高頻區(qū)域中的磁導(dǎo)率幾乎不提高，因此不理想。磁性材料中含有氮，是本發(fā)明的組成上的最大特征，其主要效果之一是電阻率増大。渦電流損失變得顯著的話，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項下降，會妨礙高頻區(qū)域或超高頻區(qū)域下自然共鳴引起的較大的電磁波的吸收。對于具有某一粒徑的磁性材料，渦電流變得顯著的頻率大小如關(guān)系式(4)所示，由電阻率/磁導(dǎo)率的大小決定。磁導(dǎo)率相同的材料中，電阻率越大，渦電流產(chǎn)生的臨界頻率越變高。因此，通過本發(fā)明的磁性材料中含有氮，電阻率増大，在到達與R—Fe—N系磁性材料原本具有的較高的自然共鳴頻率相符合的高頻率區(qū)域為止渦電流不會變得顯著，因此可以在高頻區(qū)域或超高頻區(qū)域維持較高的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項，還可以在高頻區(qū)域中充分發(fā)揮自然共鳴的效果，所以可以實現(xiàn)高頻區(qū)域或超高頻區(qū)域下較高的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項。為了使稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率進一歩提高，成為在超高頻區(qū)域、或10GHz以上的頻率區(qū)域也適用的高頻磁性材料，將引入的氮(N)量控制在1225原子％的"高氮化"范圍更為理想。基于工序簡便化的觀點，更優(yōu)選氮化工序后無需燒鈍處理的1625原子％的范圍，氮量被調(diào)制在此范圍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的自然共鳴頻率和電阻率特別高。通過高氮化，稀土類一鐵一氮系磁性材料的微結(jié)構(gòu)變得微細，利用電阻率增加的現(xiàn)象，機理如后所述。此外，本發(fā)明中，有助于降低渦電流的電阻率的提高，根據(jù)目標頻率區(qū)域，由包覆稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵酸鹽系磁性材料(該層稱為"鐵酸鹽包覆層")承擔，但為了得到磁導(dǎo)率，使鐵酸鹽包覆層變薄或讓主相的強磁性部分的粒子系變大時含有稀土類一鐵一氮系磁性材料的話，由于承擔高磁特性的主相的電阻率較高，因此在用于發(fā)揮目標功能的材料設(shè)計有很大的自由度。氮量的優(yōu)選范圍，根據(jù)目標用途、R—Fe—N系磁性材料的R—Fe組成比、副相的量比、結(jié)晶結(jié)構(gòu)等，最適合的氮量是不同的，例如選擇具有菱面體結(jié)構(gòu)的N山o.5Fe76.!Niu.4作為原料合金的話，最適合的氮量為1022原子％附近。此時的最適氮量指的是，雖然根據(jù)目的而不同，但材料的耐氧化性能、磁特性或電特性中至少一個特性為最適氮量。此外，此處的磁特性指的是，材料的磁導(dǎo)率(!4io)、相對磁導(dǎo)率(p)、復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率(jar^)、復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率(p》、其實數(shù)項(p')、虛數(shù)項(W)和絕對值(I&I)、復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項的頻率依賴性中任意頻率范圍的W的最大值(P"max)和此時的頻率(fa:該頻率稱為最大吸收頻率)、復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項中的頻率依賴性中任意頻率范圍的^的最大值(Wmax)和此時的頻率(ft)、某一頻率f時的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項W的值和f的積fK，稱為能量吸收系數(shù)、其最大值-最大能量吸收系數(shù)(fU"max)、某一頻率f以上的H"隨和不足f的ti"匪的比稱為頻率f以上的選擇吸收比)、磁化(U、單軸磁各向異性磁場或面內(nèi)磁各向異性磁場(Ha、Hal、Ha2)、磁各向異性能量(Ea)的絕對值、磁各向異性比(p/q:定向磁場1.2MA/m下將磁性材料單軸磁場定向時，外加的定向磁場方向的外部磁場1.0MA/m下的磁化為q、與其垂直方向的外部磁場1.0MA/m下的磁化為p)、磁導(dǎo)率的溫度變化率、電磁波等引起的與外界的交流磁場的自然共鳴頻率(fr)中的至少一個。電特性指的是，材料的電阻率(^體積抵抗率p)、電導(dǎo)率(<J)、阻抗(Z)、電感(L)、容量(C)、電抗(R)、電容率(sso)、相對電容率(e)、復(fù)數(shù)電容率(srs0)、復(fù)數(shù)相對電容率(er)、其實數(shù)項(s，)、虛數(shù)項(s")和絕對值(IsrI)、作為誘電損失和導(dǎo)電損失的結(jié)合的復(fù)數(shù)相對電容率下的損失項(st=e"+a/co、該et稱為電損失項。co為角頻率)。上述磁特性與電特性合稱為電磁特性。一般，表示相對磁導(dǎo)率、相對電容率的'V'、"s"的記號上有時采取標記橫線(一)的方法，但本發(fā)明的表述中，只是將相對磁導(dǎo)率為'V"、相對電容率為"e"。上述的磁導(dǎo)率可視作f—0時的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率絕對值、電容率可視作f—0時的復(fù)數(shù)電容率絕對值。另外，磁導(dǎo)率或電容率是相對磁導(dǎo)率或相對電容率乘以真空的磁導(dǎo)率或真空的電容率。本發(fā)明中的表述中，例如描述為"磁導(dǎo)率高"或與此相同意思的"相對磁導(dǎo)率高"時，不僅表示靜磁場中的材料的磁導(dǎo)率或相對磁導(dǎo)率高，而且表示在電磁波作用等交流磁場中的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率或復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的絕對值高，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項接近O的話復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項高、或相反地復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項接近O的話復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項高。以上的關(guān)系在電容率和相對電容率中也是一樣，上述的"磁導(dǎo)率"替換為"電容率"的話直接可以理解。詳細說明以上的電磁特性中的最大能量吸收系數(shù)"fU"max"。將從外部浸入電磁噪音吸收材料的電磁能量變換為熱能量發(fā)揮目標功能時，其變?yōu)闊岬哪芰孔儞Q產(chǎn)生的電磁波能量吸收量P如關(guān)系式(2)。通過關(guān)系式(2)可以發(fā)現(xiàn)，f^"與P成正比例。其最大值最大能量吸收系數(shù)fn"max時的頻率f的電磁波最有效地被材料吸收，其能量吸收量與fU"max成正比例。因此，fK，皿是表示高頻用磁性材料的能量吸收能的指標之一。可以說，它的值越大，表示電磁噪音吸收材料越優(yōu)異。鐵酸鹽系磁性材料中，如果假定斯那克的界限與關(guān)系式(3)中^l'^H"max的確切的關(guān)系，最大能量吸收系數(shù)在5.6GHZ左右以下。因而，本發(fā)明中，高頻用磁性材料的最大能量吸收系數(shù)大致超過6GHz，至4000GHz為止的值。接著，說明選擇吸收比w的意義。本發(fā)明的高頻用磁性材料中，如果是某一頻率f以上的^"max和不足f的fmax的比較大的材料，幾乎不太吸收頻率不到f的區(qū)域的信號，而可以相對大量吸收f以上區(qū)域的高次諧波等，因此非常適合于RHD標簽用材料等用途中要求不抑制信號、僅抑制雜散信號的用途。近年來，由于電子機器的高速高功能化的發(fā)展，要求在高頻以上W大。要求頻率0.5GHz以上時^在1以上，以更高頻率驅(qū)動的移動機器的話在lGHz以上，鑒于近年來的高頻技術(shù)的發(fā)展，更理想的是2GHz以上時^在l以上。若jif的大小也在期望的頻率以上、優(yōu)選10以上的話，可以在主要僅抑制雜散信號的極優(yōu)異的電磁噪音吸收材料中展開。接著說明磁特性或電特性的最適狀態(tài)。磁特性或電特性的最適狀態(tài)指的是，磁導(dǎo)率、復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的高頻區(qū)域中的實數(shù)項或虛數(shù)項、磁化、居里點、電阻率、電容率、復(fù)數(shù)相對電容率的實數(shù)項、虛數(shù)項或損失項等變得極大，磁導(dǎo)率*磁化的溫度變化率的絕對值、電導(dǎo)率等極小。與自然共鳴頻率有密切關(guān)系的磁各向異性比、磁各向異性磁場、磁各向異性能量等最適的是設(shè)定為在期望的頻率產(chǎn)生自然共鳴、或電磁波的吸收變極大的值。本發(fā)明中的R—Fe—N系磁性材料的各種組成為，同時滿足條件稀土類成分為330原子％、鐵成分為4096原子％、N為130原子％的范圍。此外，本發(fā)明得到的R—Fe—N系磁性材料中，可含有0.0110原子％的氫(H)。含有上述組成范圍內(nèi)的H的話，可提高耐氧化性能和磁導(dǎo)率。另外，如果局部存在于表面上的話，也有加固后述的鐵酸鹽相的包覆的作用。特別優(yōu)選的本發(fā)明的R—Fe—N系磁性材料的組成為，以通式RxFe(跳x.y-z)NyHz表示時，x、y、z為原子。/。、3蕓x/(1—z/100)蕓30、1^y/(l—z/100)^30、0.0蕓z^10的范圍，選擇x、y、z，使該3式同時成立。另外，根據(jù)制造方法，有時含有0.120原子％的氧(0)，此時，磁特性的穩(wěn)定性提高，可作為電阻率高的磁性材料。此外，更優(yōu)選的本發(fā)明的R—Fe—N系磁性材料的組成為，以通式RxFe(K)o-x-y-z-w)NyHzOw表示時'x、y、z、w為原子。/。、3^x/{(l—z/100)(1—W/100)}蕓30、l^y/{(1—z/100)(l—w/100)}蕓30、0.01蕓z/(l—w/100)蕓IO、0.1^w^20的范圍，選擇x、y、z、w，使該4式同時成立。該氧成分在磁性粉體表面局部存在的話，提高電阻率的效果高，在對粉體表面進行氮化前后、微粉體調(diào)整前后，進行包括酸處理、堿處理、加熱處理、偶合處理、鐵酸鹽電鍍等的各種表面氧化處理的方法也是有效的。但是，有時作為鐵酸鹽包覆層導(dǎo)入軟磁性相時等，表面沒有局部存在氧時，對提高磁導(dǎo)率更理想，有時實施除去該部分的工序。本發(fā)明中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮成分的0.01不足50原子％也可被H、C、P、Si、S各元素中的至少l種取代。通過導(dǎo)入該元素，根據(jù)元素的種類和量，不是其全部與N成分取代，也不一定是l對l取代。但是，根據(jù)取代的元素的種類和量，有時可提高耐氧化性能、磁導(dǎo)率、電容率等的電磁特性，在高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中，與樹脂成分的親和性好，有時可期待改善機械性質(zhì)。不足0.01原子％的話，幾乎沒有上述的取代效果，取代50原子％以上的話，會阻礙電阻率的提高、與共鳴頻率的最適化相關(guān)的氮的效果，因此并不理想。本發(fā)明中，標記為"氮成分"、"N成分"時或"R—Fe—N系"等式中或論述磁性材料組成17的文脈中標記為"N"、"氮"時，也包含N的0.0150原子。/。被H、C、P、Si、S取代的組成。本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，優(yōu)選含有具有菱面體晶、六方晶和正方晶的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的相。本發(fā)明中，制作這些結(jié)晶結(jié)構(gòu)，將至少含有R、Fe、N的相稱為主相，不制造該結(jié)晶結(jié)構(gòu)、或具有制作其它結(jié)晶結(jié)構(gòu)的組成的相稱為副相。副相是在從稀土類一鐵原料制造稀土類一鐵一氮(一氫一氧)系磁性材料過程中有意或無意產(chǎn)生的非主相的相。主相除了含有R、Fe成分、N成分，有時還含有氧。作為優(yōu)選的主相結(jié)晶結(jié)構(gòu)的例子，可舉出，具有與Th2Znn等相同結(jié)晶結(jié)構(gòu)的菱面體晶、或與Th2Nil7、TbCu7、CaZn5等相同結(jié)晶結(jié)構(gòu)的六方晶、RFe12.xMxNy相等取正方晶的磁性較高的氮化物相，必須含有其中至少l種。其中，具有與Th2Znn等相同的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的菱面體晶相和與Th2Nin等相同結(jié)晶結(jié)構(gòu)的六方晶相，可確保良好的電磁特性和其穩(wěn)定性，因此最為理想。在R—Fe—N系磁性材料中作為副相，也可以含有包含了R—Fe合金原料相、氫化物相、Fe納米結(jié)晶的分解相或氧化非晶相等，但為了充分發(fā)揮本發(fā)明的效果，必須令其體積分率低于主相的含量，主相的含量超過R—Fe—N系磁性材料整體的75體積n/。的話，實用上是極其理想。R—Fe—N系磁性材料的主相，可通過氮侵入主原料相的R—Fe合金晶格間，結(jié)晶晶格多由膨脹得到，但其結(jié)晶結(jié)構(gòu)具有與主原料相幾乎相同的對稱性。這里的體積分率指的是，對于包含磁性材料的空隙的整體體積，某成分所占的體積的比例。這里的主原料相指的是，至少含有R、Fe且不含N、而且具有菱面體晶、六方晶或正方晶的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的相(此外，具有除此以外的組成或結(jié)晶結(jié)構(gòu)、而且不含N的相稱為副原料相。)。伴隨氮侵入引起的結(jié)晶晶格的膨脹，耐氧化性能或磁特性'電特性的各項目中的一項以上會提高，成為適于實用的R—Fe—N系磁性材料。在引入氮的過程之后才成為合適的高頻用磁性材料，可體現(xiàn)與傳統(tǒng)的不含氮的R—Fe合金和Fe完全不同的電磁特性。例如，作為R—Fe成分母合金的主原料相，選擇具有菱面體結(jié)構(gòu)的PR,a5Fe89.5時，通過引入氮，電阻率増加，以居里點、磁導(dǎo)率、磁各向異性能量的絕對值為首的磁特性和耐氧化性能提高。本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，優(yōu)選利用了其面內(nèi)磁各向異性的材料。面內(nèi)磁各向異性材料指的是，比在c軸存在磁距，c面上存在磁距的是能量上穩(wěn)定的材料。因而，Ha2〉Hal。如關(guān)系式(5)所示，H^/Ha!越大，越可以以更高頻實現(xiàn)高磁導(dǎo)率。即，作18為本發(fā)明的材料，優(yōu)選Hal為0.01106A/m、Ha2為10101()A/m，且Ha2〉Hal成立的材料。但是，材料的自然共鳴頻率如關(guān)系式(6)所表示，吸收的電磁波涉及高頻時，H^Hw積也很重要，重要的是它的大小在0.77xlO。[A"m勺之間。數(shù)6/V=43tVV^a2仏l(6)其大小不足0.7的話，吸收的電磁波的頻率太低，無法用于高頻用途，在7xl0。以上的話，電磁波的吸收不充分，無法充分體現(xiàn)本發(fā)明的材料的磁特性。具有菱面體晶或六方晶結(jié)晶結(jié)構(gòu)的Sm—Fe—N系磁性材料，不是面內(nèi)磁各向異性材料，而是單軸磁各向異性材料，作為磁石材料是已知的[例如，專利第2703281號公報(以下稱為"專利文獻1")、T.Iriyama,K.Kobayashi，N.Imaoka,T.Fukuda,H.KatoandY.Nakagawa,"EffectofNitrogenContentonMagneticPropertiesofSm2FenNx(0<x<6).，，,IEEETransMagn，vol.2,No.5-2(1992)2326-2331(以下稱為"非專利文獻2")等]。但是，如果將不是此種非面內(nèi)磁各向異性材料而是單軸磁各向異性材料的磁石材料用作高頻用途磁性材料，如上所述，大多只能在超過100GHz的較高的超高頻區(qū)域中發(fā)揮功能，另外，由于超高頻區(qū)域下的磁導(dǎo)率小(復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項和實數(shù)項不足1)，因此不用作占全磁性材料50體積％以上的主要成分的為好。此外，本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料如上所述，具有如下特征包含具有面內(nèi)磁各向異性的稀土類成分、鐵成分、氮成分的3元以上的金屬間化合物或固溶體為其主體，是利用了由這些3元以上的成分構(gòu)成的磁性材料的面內(nèi)磁各向異性性質(zhì)的高頻用磁性材料。另外，根據(jù)歧化反應(yīng)，將稀土類一鐵系合金或稀土類一鐵一氫系材料進行熱分解、使納米尺度的a—Fe、s—Fe3N分散在稀土類氧化物中的高頻用磁性材料[例如，日本專利特開2005—5286號公報(以下稱為"專利文獻2")、T.Maeda，S.Sugimoto，T.Kagotani,D.Book,M.Homma，H.OtaandY.Honjou,"ElectromagneticMicrowaveAbsorptionofa-FeMicrostructureProducedbyDisproportionationReactionOfSm2Fe17Compound",MaterialsTrans,JIM,vol.41，No.9(2000)1172-1175(以下稱為"非專利文獻3")、以及S.Sugimoto，T.Maeda,D.Book,T.Kagotani，K.Inomata,M.Homma,H.Ota,Y.HonjouandR.Sato，"GHzmicrowaveabsorptionofafinea-FestructureproducedbydisproportionationofSm2Feninhydrogen",J.ofAlloysandCompounds,vol.330-332(2002)301-306(以下稱為"非專利文獻4")等]，在本發(fā)明使用了稀土類一鐵一氮系磁性材料的面內(nèi)磁各向異性這種性質(zhì)這一點上，明顯與本發(fā)明的高頻用磁性材料不同，因此，即使使用了與本發(fā)明相似的原料合金和熱處理氣體，也是與本發(fā)明的高頻用磁性材料完全不同的高頻用磁性材料。另外，與Sm—Fe—N系磁性材料相同，非面內(nèi)磁各向異性而是單軸磁各向異性的Nd一Fe—B系或Sm—Co系等已知的稀土類系磁石材料也不能說適宜用作高頻用磁性材料。其原因是，Nd—Fe—B系或Sm—Co系磁石用磁性材料，不僅是結(jié)晶磁各向異性為單軸各向異性，也是金屬系磁性材料，電阻率低、可見到渦電流損失引起的高頻區(qū)域下的磁導(dǎo)率下降。本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，舉對具有菱面體晶的Nd2Fel7母合金進行了氮化的材料的例子，其氮組成量和自然共鳴頻率、微結(jié)構(gòu)的關(guān)系如下再詳細敘述。向Nd2Fe,7導(dǎo)入了氮的情況下，每個Nd2Fen有3個氮的Nd2FenN3時，磁各向異性能量、磁導(dǎo)率、居里溫度等諸多磁特性最佳。這與作為磁石材料已實用化的Sm2Fe,7N3材料(例如參照非專利文獻2)情況大致相同。幾乎沒有粒界的粉碎粒徑為25pm的Nd2Fe,7N3材料的各向異性磁場Hal、H仏其磁曲線大致各自為30kA/m、3MA/m，從該值與關(guān)系式(5)，自然共鳴頻率fr的計算值為10GHz左右。因而，該Nd2Fe"N3在每lOGHz有fr，N的個數(shù)不是每Nd2Fe,為3個、或Nd被Ce、La等的輕稀土類取代、或Fe被M成分取代的話，一般多數(shù)情況下fr有變小的傾向。當然，如果粒徑、鐵酸鹽系磁性材料的包覆狀態(tài)等條件變化的話，有時表面上可觀測到相反fa變大。此外，如使用Dy等重稀土、加大氮量的話，fr或fa大多會變大。這樣，多數(shù)本發(fā)明的復(fù)合磁性材料在0.130GHz的區(qū)域存在fr(當然也會有在超出此區(qū)域下存在&的情況，例如本發(fā)明的實施例20的磁性材料的fr超過了30GHz)，為了調(diào)整fa、或成為^ax或lGHz以上中的選擇吸收比高的高頻用材料，研究各種稀土類一鐵一氮系磁性材料的合金組成、微結(jié)構(gòu)的控制或粒徑、甚至稀土類-鐵一氮系磁性材料粉體包覆的鐵酸鹽系磁性材料的組成'微結(jié)構(gòu)或包覆處理的控制、或磁性材樹脂復(fù)合材料的樹脂種類、組成。本發(fā)明的復(fù)合磁性材料，為了在0.130GHz具備fr，雖然也會根據(jù)H"的大小，但重要的是磁各向異性比大致在0.40.95范圍內(nèi)。此外，若使導(dǎo)入氮量每個Nd2Fen超過3個、增加到55.5個左右的話，可以得到具有極細微結(jié)構(gòu)的磁性材料，粗粉體狀態(tài)下的電阻率最大。該微結(jié)構(gòu)是由每個Nd2Fen的N增加超過3個的話，N侵入晶格間，因此造成結(jié)晶晶格變大，經(jīng)過不穩(wěn)定狀態(tài)，最終，N濃度分布出現(xiàn)濃淡，結(jié)晶晶格被破壞或出現(xiàn)開始破壞的部分，因而形成。此外，根據(jù)合金組成或氮量、氮化條件、氮化后的退火條件，有時產(chǎn)生如網(wǎng)眼(ir》)般的結(jié)構(gòu)(下文中該構(gòu)造稱為網(wǎng)眼結(jié)構(gòu))，該結(jié)構(gòu)為在具有菱面體晶或六方晶結(jié)晶結(jié)構(gòu)的強磁性相周圍包圍有N濃度較高的結(jié)晶晶格被破壞或開始破壞的部分。作為產(chǎn)生網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)的一個例子，通過TEM(透過電子顯微鏡)觀察Sm—Fe—Mn—N系磁性材料的微結(jié)構(gòu)的結(jié)果，例如，在專利第3560387號公報(以下稱為"專利文獻3")以及"添加Mn的Sm2Fe17Nx系材料的磁特性和微細構(gòu)造"，今岡伸嘉、岡本敦、加藤宏朗、大砂哲、平賀賢二、本河光博,日本應(yīng)用磁學(xué)會志，vol.22No.4—2(1998)353-356(以下稱為"非專利文獻5")等中有公開，根據(jù)這些文獻可知，導(dǎo)入氮量若每個Sm2Fen超過3個的話，會產(chǎn)生具有10200nrn的結(jié)晶粒子徑的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。產(chǎn)生此種網(wǎng)眼構(gòu)造的話，會出現(xiàn)阻礙渦電流產(chǎn)生的效果，但磁化會下降若干。但是，即使磁化下降，有時見到相反復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項和虛數(shù)項提高，另外，也可以在高頻一側(cè)移動fa，因此優(yōu)選根據(jù)目標用途的最大吸收頻率、復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率來決定N的導(dǎo)入量。稀土類一鐵一氮系磁性材料中，專利文獻3和非專利文獻5所公開的形成網(wǎng)眼構(gòu)造的方法或?qū)＠?784085號公報(以下稱為"專利文獻4")所公開的一旦形成夾雜物相微分散的相后，通過在含氫環(huán)境下退火來減少氮量、提高磁化的方法，可直接適用于本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料。所以，可知如上所述的具有微細的顯微構(gòu)造的稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮量，較理想的是包括專利文獻3、專利文獻4所示的范圍的范圍，其范圍是1225原子％。此外，對于提高電阻率、f;和fa，網(wǎng)眼構(gòu)造的最有效作用的氮量范圍是1625原子％。在此組成區(qū)域的稀土類一鐵一氮系磁性材料具有較高的fa,例如，作為M成分添加Mn、氮量為20原子％的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，fa有的超過33GHz。而且，此種稀土類一鐵一氮系磁性材料的相對磁導(dǎo)率(復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項和/或?qū)崝?shù)項)在頻率33GHz以上的區(qū)域中也超過了1。本發(fā)明的磁性材料為平均粒徑0.1200(^m的粉體，優(yōu)選0.2200pm的粉體。這里的平均粒徑指的是，以使用通常的粒徑分布測定裝置得到的體積相當直徑分布曲線為基礎(chǔ)求得的中值粒徑。在平均粒徑不足0.2(im的區(qū)域，磁導(dǎo)率的下降和磁性粉的凝集變得明顯，無法充分發(fā)揮原本材料所具有的磁特性，也不適用于一般的工業(yè)生產(chǎn)的區(qū)域，因此不是非常合適的粒徑范圍。但是，即使不足0.2tim，與不含氮的金屬系高頻用磁性材料相比，耐氧化性能也呈壓倒性的優(yōu)異，適用于超薄、超小型的特殊用途的高頻用磁性材料。平均粒徑不足O.lnm的話，也會出現(xiàn)著火性，粉體的操作需在低氧化環(huán)境進行等，制造工序變得復(fù)雜。另外，超過20(Hmi的話，高頻區(qū)域下的磁導(dǎo)率下降，超過2000(am的話，不僅難以制造均質(zhì)的氮化物，而且成為30kHz以上的電磁波吸收較差的材料。另夕卜，0.510pm的話，成為fa在高頻區(qū)域透磁率高的材料，成為在0.1GHz以上的選擇吸收比較高的材料，因此較為理想。0.53pm的話，不僅在lGHz以上的選擇吸收比變高，而且成為耐氧化性能特別優(yōu)異的材料。例如在lGHz以上使用本發(fā)明的磁性材料時，lGHz以上的選擇吸收比在1以上較為理想，但控制粒徑為0.53fim的話，其值成為1.1無限大為止。此夕卜、Nd—Fe—N系材料中，通過關(guān)系式(4)和粗粉的數(shù)據(jù)實驗求得的p^^值來計算l10GHz區(qū)域中渦電流損失的影響較小的理想粒徑的范圍，的話，為l3pm(此外，在此結(jié)果中，使用Nd一Fe—N系材料的代表性電阻率4xlO'eQm來計算的話，單結(jié)晶的相對磁導(dǎo)率約為400)。在后段詳細描述的用本發(fā)明的鐵酸鹽系磁性材料包覆表面的高頻用復(fù)合磁性材料微粉體中，特別是平均粒徑為0.2l(^m的話，適用于作為lGHz以上的選擇吸收率得到提高的高頻用磁性材料。關(guān)于本發(fā)明的高頻用復(fù)合磁性材料的平均粒徑的求法，加上將上述稀土類一鐵一氮系磁性材料的平均粒徑乘以鐵酸鹽包覆層厚度的2倍的數(shù)值即可。此方法中，可以從高頻用復(fù)合磁性材料的平均粒徑的實測值，相反求得稀土類一鐵一氮系磁性材料的平均粒徑。為了取得較大的磁導(dǎo)率，磁性粉體的形狀優(yōu)選去磁較小的形狀。B卩，優(yōu)選鱗片狀、帶狀、針狀、圓板狀、橢圓體狀等、扁平或細長形態(tài)。以下說明優(yōu)選的扁平粉體。通過擠壓成形、注射模塑成形、軋制成形、加壓成形的方法制作的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料和經(jīng)過各種加壓成形制作的高頻磁性材料成形體中所含有的扁平粉體，在以與擠壓-軋制方向、流動方向或加壓方向垂直的方向所切的基準面上，可看作扁平的長方體或旋轉(zhuǎn)橢圓體。另外，即使是鑄造、壓延成形等其他任何方法制作的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體，若以包括其長度方向、且包括厚度最薄方向的平面所切的截面作為基準面的話，在其面上，扁平粉體也可看作與上述相同的扁平的長方體或旋轉(zhuǎn)橢圓體。該扁平粉體可視作扁平的長方體時，將該扁平粉體以上述基準面切斷的截面(長方形)的短邊定義為扁平粉體的厚度。該扁平粉體可視作扁平的旋轉(zhuǎn)橢圓體時，將該扁平粉體以上述基準面切斷的截面(橢圓)的短軸的2倍定義為扁平粉體的厚度。扁平粉體可視作扁平的長方體時，扁平粉體的扁平比是相對于長方體底面積(A)的平方根的高度(d)的比(dATA)。本發(fā)明中，仔細觀測，處理如上"可直觀接受的方法"定義的扁平粉體的扁平比時，其值優(yōu)選0.510—6。扁平粉體的扁平比V也可從高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的截面知曉。扁平粉體的扁平比V，將扁平粉體視作扁平的長方體時，將與上述截面相當?shù)拈L方形長邊(1)和短邊(d)的比(d/1)定義為扁平粉體的扁平比V。將扁平粉體視作為扁平的旋轉(zhuǎn)橢圓體時，將與上述截面相當?shù)臋E圓的長軸(a)與短軸(b)的比(b/a)定義為扁平粉體的扁平比x)/。本發(fā)明中，將該扁平比\|/為0.510_6的定義為"扁平粉體"。即使外觀為針狀，只要在上述定義內(nèi)，則也包含在扁平粉體的范疇內(nèi)。另外，扁平粉體是本發(fā)明所述的"粉體"的一部分。以下，"高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體截面"指的是，基準面上切除接近磁性材樹脂復(fù)合材料或成形體中心的部分的截面。通常，高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體截面上，在與擠壓，軋制方向或與加壓方向垂直的方向上，長方形的長邊(1)或橢圓的長軸(a)方向一致。扁平比接近平=1的話，扁平粉體截面可近似正方形或圓，扁平比越接近^=0，用SEM或TEM觀察其截面時，在有限的觀察區(qū)域中，包含扁平粉體兩端部的機率降低，可觀察到扁平粉體平行排列的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的扁平粉體是包含于高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體截面內(nèi)的平均扁平比甲為0.5^vj;^10-6的范圍內(nèi)的扁平粉體。從為了提高磁導(dǎo)率而降低去磁常數(shù)的觀點，平均扁平比甲優(yōu)選0.2^T^10—6，從生產(chǎn)率的觀點，優(yōu)選0.5^屮^10—4，更優(yōu)選0.2^4^10—4。計算平均扁平比中時，只要是統(tǒng)計學(xué)上可充分代表構(gòu)成高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體的磁性粉體整體的數(shù)，例如扁平比最小的粒子和最大的粒子的扁平比的比為2位數(shù)的話，較為理想的是以500以上的粒子為母集團、誤差不到10%(有效數(shù)字l位數(shù))，扁平比充分一致的材料的情況下，通常調(diào)査20左右的v，大多可判定平均扁平比W是否在上述范圍內(nèi)。此外，決定未成形的粉體狀態(tài)的高頻用磁性材料的平均扁平比時，如上述"可直觀接受的方法"所例示，優(yōu)選使用某種方法算出厚度和底面積的平均值，計算d/^A的方法。對于d，可使用用分厘卡(7^夕口y—-)等計測粉碎前原料的平均厚度的方法，對于A，可使用SEM觀察等計算平均底面積的方法。難以使用這些方法時，一次經(jīng)過某種成形，然后實施高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料或高頻磁性材料成形體截面內(nèi)的測定，決定平均扁平比。如上，磁性材料粉體的形狀可以是球狀、塊狀、鱗片狀、帶狀、針狀、圓板狀、橢圓體狀、不定形粉體或它們的混合粉，但進行鐵酸鹽系磁性材料的包覆時，必須是可以有效進行的形態(tài)。本發(fā)明的高頻用磁性材料中，可以混合Fe、Ni、Co、Fe—Ni系合金、Fe—Ni—Si系合金、鐵硅鋁磁性合金、Fe—Si—Al系合金、Fe—Cu—Nb—Si系合金、非晶合金等金屬23系磁性材料；磁鐵礦、Ni—鐵酸鹽、Zn—鐵酸鹽、Mn—Zn鐵酸鹽、Ni—Zn鐵酸鹽等石榴石型鐵酸鹽；軟磁性六方晶磁鐵鉛礦系鐵酸鹽等的氧化物系磁性材料。將該混合材料應(yīng)用于電磁波吸收材料的話，可將吸收電磁波的頻率帶從高頻區(qū)域擴大至低頻區(qū)域，在高頻區(qū)域也可賦予其寬廣的吸收特性，在較廣的頻帶內(nèi)吸收噪音。但是，它的量，包括本發(fā)明的磁性材料，在合計磁性材料中，必須為0.00199質(zhì)量％。如果不足0.001質(zhì)量％的話，沒有添加金屬系磁性材料和氧化物系磁性材料的效果，超過99質(zhì)量%的話，本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料賦予各種電磁特性的效果幾乎都會失去。為了充分發(fā)揮稀土類一鐵一氮系磁性材料的超高頻區(qū)域的吸收等特征，優(yōu)選稀土類一鐵一氮系磁性材料以外的金屬系磁性材料和氧化物系磁性材料的量相對于所有磁性材料的質(zhì)量分數(shù)為0.0575質(zhì)量％，為了發(fā)揮稀土類一鐵一氮系磁性材料的電氣特性的特征，重要的是更優(yōu)選0.0150質(zhì)量％。但是，使用電損失項表示電磁波的能量吸收量的話如下式。數(shù)7p=i/"到2(7)此處，eo為真空的電容率，問為電磁波的電場大小。本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料或其磁性材樹脂復(fù)合材料中存在在lGHz以上復(fù)數(shù)相對電容率的虛數(shù)項，即電損失項超過10的材料、甚至是具備超過50的高值的材料，稀土類—鐵一氮系磁性材料自身的電阻率的代表值也為200800(HiQcm，具有位于不含氮的金屬系磁性材料和氧化物磁性材料的中間的適當大小。電子回路為電磁波發(fā)生源時，遠場(指的是在距離電磁波發(fā)生源超過波長的1/2ti的區(qū)域。非遠場的區(qū)域為近場。)的電磁波是與磁場H同等的電場E也非常大的電磁波，因此，在超過10GHz的噪音吸收等超高頻區(qū)域的用途或用于電波暗室等遠場用電波吸收體等用途中，有時得到不僅是遵照關(guān)系式(2)，還遵照關(guān)系式(7)的吸收是非常有用的。這樣，稀土類一鐵一氮系磁性材料是電容率也較高的磁性材料，具備特別適合作為電磁波吸收材料的獨特特征。配合上述金屬系、氧化物系磁性材料時，也優(yōu)選充分發(fā)揮該特征。這里說明本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或后述的將被鐵酸鹽系磁性材料包覆的稀土類一鐵一氮系磁性材料適用于RFID標簽用材料的情況。該用途中，重要的是將本發(fā)明的磁性材料設(shè)置于對提高RFID標簽或讀出器上的天線收發(fā)信號強度有效的部分、例如天線整個內(nèi)面。作為磁特性，為了提高信號靈敏度，要求信號存在的頻率區(qū)域、例如2413.56MHz附近、0.851GHz等中磁導(dǎo)率需高于1,甚至高于2。與此同時，為了不吸收信號，重要的是令復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項、復(fù)數(shù)相對電容率的虛數(shù)項均接近0。在0.851GH區(qū)域使用的RFID標簽用材料中，關(guān)于復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率，本發(fā)明的實施例中公開了lGHz以上的選擇吸收比非常大的材料(即，在lGHz以下幾乎不吸收電磁波。例如，參照實施例3。)，此種材料是該用途的優(yōu)選材料。再如圖2所示，由于復(fù)數(shù)電容率的虛數(shù)項也可在0.851GHz區(qū)域幾乎為0，因此本發(fā)明的磁性材料可以說作為RFID標簽用材料非常適用。本發(fā)明的高頻用磁性材料，在高頻區(qū)域中，可對磁場、電場、電磁場起作用，達成目標功能，將容易制造的平均粒徑0.2200pm的本發(fā)明的磁性材料用于高頻用途的話，會成為特別在0.(K)533GHz頻率區(qū)域電磁特性較高的高頻用磁性材料。另外，將面內(nèi)磁各向異性的本發(fā)明的磁性材料用于高頻用途的話，會成為特別在0.1100GHz頻率區(qū)域的電磁特性較高的高頻用磁性材料。所以，作為高頻用磁性材料使用平均粒徑0.2200pm的面內(nèi)磁各向異性的本發(fā)明的磁性材料的適用范圍，優(yōu)選0.005100GHz。具有平均粒徑與磁各向異性相乗效果的最優(yōu)選頻率區(qū)域為0.133GHz。接著詳細說明包覆本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵酸鹽系磁性材料。通過導(dǎo)入該被膜層，可進一步顯著提高上述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的優(yōu)異性質(zhì)、主要是提高電傳導(dǎo)率和磁導(dǎo)率。此外，本發(fā)明中，表述為"被鐵酸鹽系磁性材料包覆而成的稀土類一鐵一氮系磁性材料"的稀土類一鐵一氮系磁性材料，與將稀土類一鐵一氮系磁性材料表面用鐵酸鹽系磁性材料包覆的復(fù)合磁性材料同義。因此，某復(fù)合磁性材料表述為上述""內(nèi)容時，僅限于定義為"稀土類一鐵一氮系磁性材料"，包括了被鐵酸鹽系磁性材料包覆的狀態(tài)。作為包覆在上述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面的鐵酸鹽系磁性材料，可舉出有，磁鐵礦、磁赤鐵礦、磁鐵礦和磁赤鐵礦的中間體等的Fe鐵酸鹽、Ni鐵酸鹽、Zn鐵酸鹽、Mn—Zn鐵酸鹽、Ni—Zn鐵酸鹽、Mg—Mn鐵酸鹽等的具有包括以(M'、Fe)304為中心的組成的尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽系磁性材料、Y3Fe5012等的鐵石榴石型鐵酸鹽系磁性材料、軟磁性六方晶磁鐵鉛礦型鐵酸鹽等軟磁性鐵酸鹽系磁性材料等的氧化物系磁性材料。上述M，成分(上個段落中包括在具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽通式中的成分)，是在R成分、M成分中表示二價或一價的金屬元素，具體是Sm、Eu、Yb、Co、Ni、V、Ti、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Hf、Ta、W、Pb、Bi、堿金屬、堿土類金屬。此外，對于M，成分以外的M成分，不僅包含在R—Fe—N系磁性材料內(nèi)，而且有時還包含在鐵酸鹽包覆層。上述鐵酸鹽系磁性材料中，具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽，由于良好地保持與稀土類一鐵25一氮系磁性材料表面的化學(xué)結(jié)合，提高高磁特性、耐氧化性能，因此是作為鐵酸鹽包覆層的優(yōu)選成分。因而，具有尖晶石結(jié)構(gòu)的軟磁性的鐵酸鹽系磁性材料，對于本發(fā)明的復(fù)合磁性材料、特別是高頻用復(fù)合磁性材料是非常優(yōu)選的成分。具有如上組成的、在稀土類一鐵一氮系磁性材料相包覆有鐵酸鹽系磁性材料相的本發(fā)明的復(fù)合磁性材料，由于與通常作為包覆材料使用的二氧化硅等不同，包覆層帶有磁性，因此具有特異性質(zhì)。以下說明本發(fā)明的復(fù)合磁性材料的特征。一般磁性材料的磁導(dǎo)率很大程度上依賴于該材料的形狀。具有近似球狀形狀的稀土類一鐵一氮系磁性材料(將其稱為"球狀稀土類一鐵一氮系磁性材料"。)，一般生產(chǎn)率較好，材料價廉。但是，此種球狀稀土類一鐵一氮系磁性材料，其去磁系數(shù)N大至1/3，對于外部磁場H，會產(chǎn)生l/3xH的逆磁場，基于逆磁場小于外部磁場的條件，在各磁性粒子相互遠離孤立的狀態(tài)下(也根據(jù)測定法'條件)n<4，大致是上限，無法充分帶出真正的相對磁導(dǎo)率。與此相對，如果是縱橫比較高的磁性材料，可實現(xiàn)更高的磁導(dǎo)率。在外加磁場的方向，如果是縱橫比無限大的材料，N為0、pSoo，即，可帶出磁性材料具有的最大相對磁導(dǎo)率。此處的縱橫比r，以立體截面積為A、其垂直方向的立體高度為h的話，r=hATA。因此，傳統(tǒng)的金屬系高頻用磁性材料，需要使用球磨機等，將材料制成薄片，盡可能地增大縱橫比r。本發(fā)明的復(fù)合磁性材料的成分稀土類一鐵一氮系磁性材料是氮化物，具有比金屬材料脆的材質(zhì)，因此要制成縱橫比較高的材料，必須采取特殊的制造方法，根據(jù)用途，成為性價比差的材料，難以應(yīng)用于廣泛用途。因此，即使是一個一個的磁性粉體的球狀稀土類一鐵一氮系磁性材料，也要考慮將這些磁性材料粒子通過交換相互作用磁連結(jié)。此時，作為整個成形體整體(或成形體的一部分，包含磁性材料粒子的集合體的部分。該磁性材料粒子的集合體再聚集，構(gòu)成整個成形體。)，由于如同一個磁性材料動作，因此球狀稀土類一鐵一氮系磁性材料產(chǎn)生的去磁大小可接近于整個成形體的去磁系數(shù)產(chǎn)生的去磁值。如果成形體自身為具有去磁較低的形狀的縱橫比r較大的材料，或在形成閉磁路這樣的情況下成形體的去磁接近0的狀態(tài)的話，即使使用去磁較大的球狀稀土類一鐵一氮系磁性材料，也可增大磁導(dǎo)率。另一方面，即使得到了縱橫比較高的材料粉體或其成形體，將其制成填充率較高的成形體時，粉體之間會相互接觸導(dǎo)通，結(jié)果如關(guān)系式(4)說明的那樣，與大粒徑材料相同，陷于低頻區(qū)域容易發(fā)生渦電流損失的狀況。因此，傳統(tǒng)的金屬系高頻用磁性材料，不僅會將材料制成薄片、盡可能增大縱橫比r，而且需要將它們分散在樹脂，令其孤立。根據(jù)本發(fā)明的復(fù)合磁性材料，由于稀土類一鐵一氮系磁性材料被電阻率高的鐵酸鹽系磁性材料包覆，因此即使作為高充填材料，粉體之間也不會電連接，難以出現(xiàn)渦電流損失。作為某種程度的高填充率，更加強接觸、通過鐵酸鹽系磁性材料包覆層促進磁連結(jié)的話，與強磁性成分的體積分數(shù)的增加互相作用，對提高磁導(dǎo)率是較為理想的，如果要成為高磁導(dǎo)率的磁性材料時，優(yōu)選復(fù)合磁性材料的體積分數(shù)為成形體整體的40體積％以上、100體積％以下。另外，該電絕緣層不僅具有提高磁導(dǎo)率的效果，也具有提高最大吸收頻率f;的效果。這是因為，通過鐵酸鹽包覆層的絕緣度變高的話，電連結(jié)的實質(zhì)性區(qū)域變窄，根據(jù)關(guān)系式(4)，產(chǎn)生渦電流的頻率偏向高頻側(cè)。此外，如果通過鐵酸鹽包覆層成為阻止大部分跨越稀土類一鐵一氮系磁性材料粒子間的渦電流的包覆層厚度和/或包覆率較大的區(qū)域的話，就可以幾乎完全抑制低頻率區(qū)域下易產(chǎn)生的渦電流的發(fā)生所引起的K的下降和p"的増加，接近稀土類一鐵一氮系磁性材料的共鳴頻率fr，主要為更高頻率區(qū)域中的吸收，表面上fa被極大地移動到高頻側(cè)。因此，本發(fā)明的復(fù)合磁性材料極其適合于高頻用途、甚至超高頻用途、特別是從10GHz附近在高頻中所使用的高頻用磁性材料。要只用稀土類一鐵一氮系磁性材料達到具有超過10GHz的fa、p"^l的高頻用磁性材料，設(shè)定制造條件，令氮量達到高氮化區(qū)域，或添加M成分等，制造條件和組成的選擇較為困難，但如果是具有鐵酸鹽包覆層的本發(fā)明的高頻用復(fù)合磁性材料，則可以較為容易地制作。因此，本發(fā)明的復(fù)合磁性材料由于具備了鐵酸鹽系磁性材料的包覆層，因而較之于稀土類一鐵一氮系磁性材料，是磁導(dǎo)率、共鳴頻率均増大、最大能量吸收系數(shù)(fp"max)得到大幅提高的高頻用磁性材料。如上，稀土類一鐵一氮系磁性材料通過鐵酸鹽包覆層，無論是否被電絕緣，本發(fā)明人們將磁性地被交換相互作用而連結(jié)的狀況成為"電絕緣'磁連結(jié)"。磁性材料粒子形成電絕緣時，成形體自身的電阻率也會上升的情況較多，因此，通過測定成形體的電阻率，可作為電絕緣的等級的目標。若通過用鐵酸鹽系磁性材料包覆來達成各稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體的"電絕緣，磁連結(jié)"的話，由于具有成為高磁導(dǎo)率的磁性材料的效果、提高最大吸收頻率fa的效果，因此不僅可用作電磁噪音吸收材料，也可作為電磁波吸收材料、RFID標簽用材料。進而，也可應(yīng)用于i)混合具有小粒徑和大粒徑的稀土類一鐵一氮系磁性材料，提高填充27率，且通過鐵酸鹽包覆維持電絕緣'磁連結(jié)、具備高磁導(dǎo)率的低頻用材料、ii)使用具備形狀磁各向異性的稀土類一鐵一氮系磁性材料，且通過鐵酸鹽包覆維持電絕緣.磁連結(jié)，提高了磁化的磁記錄材料等。但是，鐵酸鹽包覆層中，也可以在以上例示的鐵酸鹽系磁性材料中混合有LaFeCb等的鈣鈦礦型磁性材料、&02等的金紅石型磁性材料、剛玉或鈦鐵礦型磁性體、有磁性的水錳礦或鉻鐵礦、V、Co等的氧化物系磁性材料，也可含有稀土類一氧化物、稀土類一鐵一氧化物、赤鐵礦或針鐵礦這樣的氧(才*〉)氧化物等副相或副生成物，但其體積分數(shù)不能超過鐵酸鹽系磁性材料的體積分數(shù)。本發(fā)明的在稀土類一鐵一氮系磁性材料表面包覆有鐵酸鹽系磁性材料的復(fù)合磁性材料的優(yōu)選組成范圍是，以通式RaFe(咖.a.p.Y)NpOY表示時，a、卩、丫為原子％、0.3^a^30、0.1^P蕓30、0.1^"yS75的范圍，此時，選擇a、|3、y，使該3式同時成立。氧量不足O.l原子％的話，鐵酸鹽包覆層的厚度不充分、不能充分提高電阻率，因此并不理想，超過75原子％的話，無法成為高磁特性的復(fù)合磁性材料、特別是高頻用復(fù)合磁性材料，因此并不理想。更優(yōu)選的范圍是，0.5^S30、0,2S(3蕓30、0.2^y蕓50，此時，成為磁特性和電阻率平衡的材料。此外，F(xiàn)e的0.0150原子。/?？杀籑成分取代。鐵酸鹽包覆層的厚度必須為0.810000nm。不足0.8nm的話，復(fù)合材料的電阻率幾乎不能變大，也無法充分發(fā)揮鐵酸鹽包覆層的磁性質(zhì)，因此并不理想。此外，超過10000nm的話，雖然充分確保了電絕緣性，但較之于R—Fe—N系磁性材料，鐵酸鹽包覆層的低磁化情況較多，高頻用復(fù)合磁性材料的磁化會下降，無法成為高性能的高頻用復(fù)合磁性材料。此外，鐵酸鹽包覆層厚度的優(yōu)選范圍如下。該范圍是，鐵酸鹽包覆層不會因過薄而超常磁性性質(zhì)成為支配性、相反鐵酸鹽包覆層不會因為過厚而難以影響起源于交換相互作用產(chǎn)生的硬磁性相的各向異性、特別是面內(nèi)磁各向異性的共鳴頻率的范圍，即21000nm的范圍。不足2nm、超過1000mri的話，均會出現(xiàn)高頻范圍的復(fù)合磁性材料得透磁率下降的傾向。如此，為了使高頻用復(fù)合磁性材料具有高電阻率，將R—Fe—N系磁性材料的粒徑抑制地較小、擴大比表面積是有利的，但是，平均粒徑過小的話，磁化會下降，可能無法成為高性能的高頻用磁性材料。即，R—Fe—N系磁性材料的平均粒徑(R)的鐵酸鹽包覆層的厚度(5)的平衡是重要的，根據(jù)各種用途，優(yōu)選在0.00001^S/R蕓10的范圍中選擇。對于鐵酸鹽包覆層的厚度，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)或透過型電子顯微鏡(TEM)觀察高頻用復(fù)合磁性材料的截面，可大致以有效數(shù)字1位數(shù)的值求得。另外，本發(fā)明的高頻用復(fù)合磁性材料為粉體、鐵酸鹽包覆層厚度在10nm以上時，可通過上述方法求得鐵酸28鹽包覆前后的平均粒徑，用它們的差的1/2的值確認厚度。另外，本發(fā)明的鐵酸鹽包覆層的厚度是指其平均值，即使表面包覆率大大偏離100°/。而低于90%時，也求出表面包覆率為100%時的平均值。g卩，此時的鐵酸鹽包覆層的厚度值，可通過相對于整體的鐵酸鹽包覆層的體積分數(shù)和稀土類一鐵一氮系磁性材料的比表面積進行計算求得，該方法可以得到正確的值。當然，即使表面包覆率是100%，也可使用該方法，如果計算所使用的物理量精度良好的話，有時也可了解到有效數(shù)字2位數(shù)以上的鐵酸鹽包覆層。將本發(fā)明的高頻用復(fù)合磁性材料成形后，鐵酸鹽包覆層形成連續(xù)相時，其連續(xù)層的平均厚度的一半是鐵酸鹽包覆層的厚度，通常，最簡便的方法是，觀察上述高頻用復(fù)合磁性材料成形體截面，得到由該鐵酸鹽系磁性材料所形成的粒界相與稀土類一鐵一氮系磁性材料主相的體積分數(shù)，從其值和稀土類一鐵一氮系磁性材料的粒徑或比表面積算出5。接著說明本發(fā)明的高頻用復(fù)合磁性材料的鐵酸鹽包覆層的鑒定方法。鐵酸鹽包覆層的厚度充分厚時，可使用一般的X射線衍射法進行鑒定。但是，S/R為0.1以下、5低于200nm的區(qū)域內(nèi)，由于多數(shù)情況下稀土類一鐵一氮系磁性材料的結(jié)晶性較高、結(jié)晶的對稱性較低，因此，復(fù)合磁性材料的衍射圖形顯示出眾多的大強度衍射峰值。此時，有時鐵酸鹽包覆層的衍射峰值被覆蓋，難以通過X射線衍射法鑒定。反過來說，稀土類一鐵一氮系磁性材料的鑒定使用X射線衍射法是適合的。以上情況下，將復(fù)合磁性材料制為簿片、僅對鐵酸鹽包覆層用電子射線衍射法和能量分散型熒光X射線分析法(EDX)鑒定的方法是有效的。電子射線可在鐵酸鹽包覆層厚度以下、或超過的話只要不超過10倍的話，可進行高精度的解析。舉一個例子，鐵酸鹽包覆層的厚度為100nm左右時，優(yōu)選以下條件。相機長0.2m、加速電壓200kV、電子射線波長0.0025lnm、電子射線徑50nm。表面包覆率控制在50%100的％范圍。不足50%的話，粒子間會產(chǎn)生電傳導(dǎo)，不能提高電阻率有幫助。另外，粒子間會產(chǎn)生渦電流，無法降低損失。表面包覆率優(yōu)選80%以上、更優(yōu)選卯％以上。將本發(fā)明的復(fù)合磁性材料應(yīng)用于空隙率高、較輕的高頻用磁性材料時，更優(yōu)選具有95%以上的表面包覆率。理想的包覆狀態(tài)是100%的包覆率。這些表面包覆率可通過電子探針微分析(EPMA)定量。接著說明本發(fā)明的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料。高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的樹脂成分可使用以下例示。例如可舉出，12—尼龍、6—尼龍、6、6—尼龍、4、6_尼龍、6、12—尼龍、非晶性聚酰胺、半芳香族聚酰胺等聚酰胺系樹脂；聚乙烯、聚丙烯、氯化聚乙烯等聚烯烴系樹脂；聚氯乙烯、聚乙酸乙烯酯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇、乙烯一醋酸乙烯基酯共聚物等的聚乙烯系樹脂；乙烯—丙烯酸乙酯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯等的丙烯酸系樹脂。聚丙烯腈、丙烯腈/丁二烯/苯乙烯共聚物等的丙烯腈系樹脂；各種聚氨酯系樹脂。聚四氟乙烯等的氟系樹脂；聚乙縮醛、聚碳酸酯、聚酰亞胺、聚砜、聚對苯二甲酸丁二酯、聚芳酯、聚二苯醚、聚醚砜、聚苯硫醚、聚酰胺-酰亞胺、聚氧苯甲酯、聚醚酮等的被稱為工程塑料的合成樹脂；全芳香族聚酯等的包含液晶樹脂的熱塑性樹脂；聚乙炔等的導(dǎo)電性聚合物；環(huán)氧樹脂、苯酚樹脂、環(huán)氧改性聚酯樹脂、硅酮樹脂、熱固化丙烯酸樹脂等的熱固化性樹脂；丁腈橡膠、丁二烯一苯乙烯橡膠、丁基橡膠、丁腈橡膠、聚氨酯橡膠、丙烯酸橡膠、聚酰胺彈性體等的彈性體。作為本發(fā)明的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的樹脂成分，并不只限于以上例示的樹脂，但如果含有上述例示樹脂中的至少l種的話，可用作電阻率高、耐沖擊性、撓性、成形加工性優(yōu)異的磁性材樹脂復(fù)合材料。作為樹脂成分的含量，優(yōu)選0.195質(zhì)量％的范圍。樹脂成分含量不足0.1質(zhì)量％的話，幾乎無法發(fā)揮耐沖擊性等的樹脂的效果，超過95質(zhì)量％的話，磁導(dǎo)率、磁化會極端下降，缺乏作為高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的實用性，因此并不理想。特別是磁性材成分為稀土類一鐵一氮系磁性材料時，由于沒有鐵酸鹽包覆層的電絕緣性效果，優(yōu)選樹脂成分含量為195質(zhì)量％。此外，磁性材成分為本發(fā)明的所有磁性材料時，在特別要求高磁導(dǎo)率、耐沖擊性的用途中，出于與上述同樣的理由，更優(yōu)選290質(zhì)量％的范圍、最優(yōu)選380質(zhì)量％的范圍。另外，本發(fā)明的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中，磁性材料成分的優(yōu)選含量為599.9質(zhì)量％、更優(yōu)選599質(zhì)量％、更優(yōu)選1098質(zhì)量％、最優(yōu)選2097質(zhì)量％。磁性材料成分含量不足5質(zhì)量％的話，磁導(dǎo)率、磁化極端下降，缺乏用作高頻用磁性材料的實用性，超過99.9質(zhì)量％的話，幾乎無法發(fā)揮耐沖擊性等樹脂的效果，因此并不理想。此外，本發(fā)明的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料中，本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或、表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料的稀土類一鐵一氮系磁性材料承擔了大部分的電磁特性，應(yīng)用于高頻用磁性材料、電磁噪音吸收材料、電磁波吸收材料、RFID標簽用材料等時，本發(fā)明的磁性材料被賦予了耐沖擊性、撓性、成形加工性、高電阻率等樹脂特征的性能，提高了實用性。因而，只要不太妨礙本發(fā)明的高頻磁性材料的性能，而是賦予"樹脂本來的某種特征"的樹脂成分，可以說是非常合適的本發(fā)明的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料的成分。上述的"樹脂本來的某種特征"并不限于上述例示的樹脂的特征，包括已知的所有樹脂的特征'性能。30另外，本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料，通過樹脂成分的電氣絕緣，也可應(yīng)用于高頻用磁性材料以外的用途。特別是限定為Sm不足50原子％時，可有效運用于i)混合具有小粒徑和大粒徑的稀土類一鐵一氮系磁性材料，提高填充率，且通過樹脂維持電絕緣，發(fā)揮優(yōu)異磁導(dǎo)率的低頻用材料、ii)使用具有形狀磁各向異性的稀土類一鐵一氮系磁性材料，且通過樹脂維持電絕緣，增大磁化的磁記錄材料等的用途，可例舉為本發(fā)明的磁性材樹脂復(fù)合材料的一種。但是，未實施鐵酸鹽電鍍時，為得到充分的電氣絕緣而構(gòu)成磁性材樹脂復(fù)合材料的話，無法形成充分的磁連結(jié)，磁導(dǎo)率出現(xiàn)限界，成為性能較低的材料，可使用的應(yīng)用范圍有限。此外，本發(fā)明的磁性材樹脂復(fù)合材料中，可添加鈦系、硅系偶合劑。一般，添加較多的鈦系偶合劑的話，可提高流動性、成形加工性，結(jié)果可增加磁性粉體的混合量，進行磁場定向時，可提高定向性，成為磁特性優(yōu)異的材料。另一方面，使用硅系偶合劑的話，可得到增加機械強度的效果，但一般流動性會惡化。也可通過混合添加發(fā)揮兩者的優(yōu)點。此外，除了鈦系、硅系，也可添加鋁系、鋯系、鉻系、鐵系的偶合劑。另外，本發(fā)明的磁性材樹脂復(fù)合材料中還可添加各種滑劑、耐熱性防老劑、抗氧劑。接著說明本發(fā)明的磁性材料以及磁性材樹脂復(fù)合材料的制造方法，但并不限于此。詳細描述制造方法時，會具體例示得到本發(fā)明的"高頻用磁性材料"的方法。本發(fā)明中，"實質(zhì)上由R成分、Fe成分構(gòu)成的合金"指的是，以R成分和Fe成分為主成分的合金，F(xiàn)e成分的Fe可被本發(fā)明(4)所示的其他原子取代，對該合金進行氨氣或氮氣處理，根據(jù)需要進行微粉碎等處理后得到的本發(fā)明的稀土類一鐵—氮系磁性材料，再對其進行鐵酸鹽包覆處理，可得到被鐵酸鹽系磁性材料包覆的復(fù)合磁性材料。該合金在本發(fā)明中，也稱為稀土類一鐵(R—Fe)系合金、原料合金或母合金。(1)母合金的調(diào)制工序作為R—Fe系合金的制造方法，可使用下述任意一種(I)高頻融解R、Fe成分的各金屬成分，澆鑄到鑄模等中的高頻融解法；(II)在銅等的舟皿內(nèi)投入金屬成分，通過電弧放電融解的電弧融解法；(III)將電弧融解的熔融金屬一下子投入到水冷的鑄模使之急冷的直鑄法(K口、乂7年卞7卜法)；(IV)將高頻融解的熔融金屬落到旋轉(zhuǎn)的銅輥上，得到帶狀合金的超急冷法；(V)高頻融解的熔融金屬以氣噴霧而得到合金粉體的氣霧化法；(VI)令Fe成分和/或M成分的粉體或Fe—M合金粉體、R和/或M成分的氧化物粉體、以及還原劑在高溫下反應(yīng)，一邊還原R或R和M成分，一邊使R或R和M成分擴散在Fe成分和/或Fe—M合金粉體中的R/D法；(VII)將各金屬成分單體和/或合金用球磨機等中一邊微粉碎一邊反應(yīng)的機械合金化法；(VIII)將上述任一方法得到的合金在氫環(huán)境下加熱，先分解為R和/或M的氫化物、和Fe成分和/或M成分或Fe—M合金，然后一邊高溫下低壓除去氫一邊再結(jié)合，成為合金的HDDR(HydrogenationDecompositionDesorptionRecombination)法。使用高頻融解法、電弧融解法時，由于是溶融狀態(tài)，合金凝固時容易析出Fe主體的成分，特別是經(jīng)過氮化工序后，在低頻區(qū)域具有最大吸收頻率的成分的體積分數(shù)也會增加，造成高頻甚至超高頻區(qū)域的吸收下降。因此，出于除去該Fe主體的成分、或增大菱面體晶或六方晶的結(jié)晶構(gòu)造的目的，在含有氬、氦等惰性氣體、氫氣中至少1種的氣體中或真空中，在200130(TC溫度范圍內(nèi)、優(yōu)選6001185。C范圍內(nèi)進行退火是有效的。以該方法制作的合金，較之于使用超急冷法等的情況，結(jié)晶粒徑大、結(jié)晶性良好，具有高磁導(dǎo)率。另外，該合金含有大量均質(zhì)的主原料相，優(yōu)選作為得到本發(fā)明的磁性材料的母合金。本發(fā)明的高頻用磁性材料中，只要是稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料、特別是稀土類一鐵一氮系磁性材料自身的去磁系數(shù)小的扁平粉體，則由于作為在超高頻區(qū)域發(fā)揮高磁導(dǎo)率的磁性材料，因此非常理想。以(IV)方法得到的超急冷材料中，將R成分、M成分的種類、組成調(diào)制為特定范圍，通過調(diào)整輥轉(zhuǎn)速、輥徑、輥幅、線速度、腔壓、噴出壓、其差壓、筒徑、孔徑、間隙長、出槽溫度等條件，調(diào)整帶厚度和寬度，將原料母合金作為扁平粉體，可減小最終的復(fù)合磁性材料的去磁，可幫助提高本發(fā)明的復(fù)合磁性材料的磁導(dǎo)率。此外，優(yōu)選做成c面在想要吸收的電磁波的磁場方向定向的高頻用磁性材料。因此，成為c面定向在扁平粉體的扁平方向，且扁平方向與吸收體或吸收片的一定方向一致的狀態(tài)的話，是更理想的高頻用磁性材料。以(IV)方法得到的超急冷材料中，即使c面定向時，調(diào)整R成分或M成分的種類、組成的范圍、超急冷條件也是重要。作為促進定向的優(yōu)選的R，其組成是至少含有Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Dy、Er、Yb中的l種。作為促進定向的優(yōu)選的M成分，其組成是至少含有Co、Ni、B、Al，Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、In、Hf、Ta、W、Ru、Ag、Pt中的1種。此外，也可以在稀土類一Fe合金中混合Fe、Co、Ni這樣的強磁性元素、或Al、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Nb、Mo、Ag、Sn、Ta、W、Ir、Pt、Au、Pb等立方晶金屬元素或它們的合金、固溶體，軋制，制造扁平的帶狀合金原料，或再將該帶粉碎，制成扁平粉體。(2)粗粉碎和分級工序也可以對上述方法制作的合金鑄塊、R/D法或HDDR法合金粉體進行直接氮化，但結(jié)晶粒徑大于2000pm的話，氮化處理時間變長，更有效地是在粗粉碎后進行氮化。粗粉碎為200)im以下的話，可進一步提高氮化效率，因此特別優(yōu)選。粗粉碎使用鄂式破碎機、錘、搗碎機、旋轉(zhuǎn)研磨機、銷棒粉碎機、咖啡研磨機等進行。另外，即使使用球磨機或噴射研磨機等的粉碎機，也可根據(jù)條件調(diào)制適宜進行氮化的合金粉體。也可使用使母合金吸儲氫后用上述粉碎機粉碎的方法、重復(fù)氫的吸儲"放出而進行粉化的方法。此外，粗粉碎后、使用抖動、振動式或音波式分級機、旋風(fēng)分離器等調(diào)整粒度，這對進行更均質(zhì)的氮化是有效的。粗粉碎、分級后，若在惰性氣體或氫中退火，則可以除去結(jié)構(gòu)缺陷，根據(jù)情況不同有效果。以上例示了本發(fā)明的制造法中R—Fe系合金的粉體原料或鑄塊原料的調(diào)制方法，但根據(jù)這些原料的結(jié)晶粒徑、粉碎粒徑、表面狀態(tài)等，以下所示的氮化的最佳條件可能不同。(3)氮化"退火工序氮化工序，是使含有氨氣、氮氣等氮源的氣體與上述(1)工序或(1)和(2)的工序中得到的R—Fe系合金粉體或鑄塊接觸，而向結(jié)晶結(jié)構(gòu)內(nèi)導(dǎo)入氮的工序。此時，氮化環(huán)境氣體中共存有氫的話，不僅氮化效率高，而且可在結(jié)晶結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的狀態(tài)下氮化，因此較為理想。此外，為了控制反應(yīng)，有時也共存有氬、氦、氖等惰性氣體等。作為最優(yōu)選的氮化環(huán)境，是氨和氫的混合氣體，特別是將氨分壓控制在0.10.7的范圍的話，氮化效率高，而且可制作本發(fā)明(2)所示的氮量范圍全區(qū)域的磁性材料。氮化反應(yīng)可通過氣體組成、加熱溫度、加熱處理時間、加壓力控制。其中，加熱溫度根據(jù)母合金組成、氮化環(huán)境而不同，但優(yōu)選200650。C的范圍。不足20(TC的話，氮化速度非常慢，超過65(TC的話，主原料相會分解，無法在保持菱面體晶或六方晶的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的狀態(tài)下進行氮化。為了提高氮化效率和主相的含量，更優(yōu)選的溫度范圍為25060(TC。此外，進行氮化后，基于提高磁特性的角度，優(yōu)選在惰性氣體和/或氫氣中退火。特別是，從提高磁導(dǎo)率和磁化的的角度，制造氮量為1625原子Q/。的高氮化區(qū)域的R—Fe—N系磁性材料，之后在含有氫氣的環(huán)境下退火是非常理想的方法。作為氮化'退火裝置，可舉出有，橫型、縱型的管狀爐、旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)爐、密閉式反應(yīng)爐等。任何裝置都可調(diào)整本發(fā)明的磁性材料，但為了得到特別是氮組成分布一致的粉體，優(yōu)選使用旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)爐。反應(yīng)所使用的氣體，通過邊保持一定的氣體組成，邊以1氣壓以上的氣流送至反應(yīng)爐的送氣氣流方式；將氣體在容器中加壓力0.0170氣壓的區(qū)域封入的封入方式；或它們的組合等供給。經(jīng)過以上的氮化'退火工序，才制造出R—Fe—N系磁性材料。此外，使用作為氫源33的氣體實施此工序的話，可調(diào)制R—Fe—N—H系磁性材料。(4)微粉碎工序微粉碎工序是將上述R—Fe—N系磁性材料或R—Fe—N—H系磁性材料粉碎為更細的微粉體的情況、或為了得到R_Fe—N—H—O系磁性材料而在上述R—Fe—N系磁性材料中導(dǎo)入0成分和H成分為目的進行的工序。作為微粉碎的方法，除了上述(2)工序舉出的方法，還可使用旋轉(zhuǎn)式球磨機、振動球磨機、行星球磨機、濕磨機、噴射研磨機、絞磨機、銷棒粉碎機、自動研缽等干式，濕式超粉碎裝置和它們的組合等。導(dǎo)入O成分或H成分時，作為調(diào)整其導(dǎo)入量在本發(fā)明范圍內(nèi)的方法，可舉出，控制微粉碎環(huán)境中的水分量和氧濃度的方法。例如、使用噴射研磨機等的干式粉碎機時，維持粉碎氣中的水分量在lppml%、氧濃度在0.015%范圍的一定濃度，另外，使用球磨機等濕式粉碎機時，調(diào)整乙醇或其它的粉碎溶劑中的水分量在0.1質(zhì)量ppm80質(zhì)量％、溶解氧量在0.1質(zhì)量ppm10質(zhì)量ppm的范圍等，控制氧量在適當?shù)姆秶?。另外，也可通過控制為各種氧分壓的手套箱或容器中使用超微粉碎后的粒子，或增加放置一定時間的操作來控制氧量。本發(fā)明的材料，較之于非氮化物的金屬系磁性材料，即使是微粒子，也穩(wěn)定，粉碎性優(yōu)異，因此，即使例如氮化處理后的粒徑超過30pm，通過上述微粉碎方法也可調(diào)節(jié)為0.130pm。但是，重視工業(yè)成本的情況下，重要的是要調(diào)整為Q.2^m以上。另外，在此之后，對粉體表面，用錘磨機等表面改質(zhì)機改質(zhì)、或進行酸處理、堿處理、清洗處理、脫脂處理等各種表面處理，有時可以令后段的鐵酸鹽系磁性材料的表面包覆處理更為有效，最終可有效提高粉體之間的電絕緣'磁連結(jié)和耐氧化性能。作為本發(fā)明的稀土類一鐵一氮系磁性材料的制造方法，最優(yōu)選使用(1)工序或、用(1)和(2)工序例示的方法調(diào)制R—Fe成分組成的母合金后，以(3)工序所示方法氮化，使用(4)工序所示微粉碎工序。尤其，若將(1)工序得到的原料合金、或?qū)⑵湟?2)工序所示方法粉碎、分級后的原料合金在含有惰性氣體和氫氣中至少一種的環(huán)境下，600130(TC下熱處理后，在含有氨氣的環(huán)境下，進行200650'C范圍中熱處理、進行退火處理后進行氮化，則可以得到由粉體內(nèi)部氧化造成的磁特性劣化極小的磁性材料。以上是關(guān)于本發(fā)明的R—Fe—N系磁性材料的制造方法的說明，接著，在制造本發(fā)明的被鐵酸鹽系磁性材料包覆的R—Fe—N系磁性材料時，優(yōu)選上述工序后繼續(xù)進行(5)鐵酸鹽包覆處理工序。特別是作為實用的高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料而使用本發(fā)明的磁性材料時，除了以上工序，有時還進行(6)定向'成形工序。其中，詳細說明為提高本發(fā)明34法。(5)鐵酸鹽包覆處理工序接著詳細說明對上述(4)工序得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面進行鐵酸鹽系磁性材料包覆的方法，特別是對其中包覆具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽有效的"鐵酸鹽電鍍法"。鐵酸鹽包覆層的導(dǎo)入方法可使用混合法、蒸鍍法、濺射法、脈沖激光堆積法、等離子體沖洗法、包括鐵酸鹽電鍍法的電界"無電界電鍍法、使用錘磨機等表面改質(zhì)機在R—Fe—N系磁性材料粉體表面形成鐵酸鹽系磁性材料粉體層的方法、根據(jù)條件還可使用等離子體噴射法。作為制造可通過本發(fā)明的特征之一的磁場定向提高性能的材料的方法，可舉出，通過鐵酸鹽電鍍法的稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵酸鹽表面包覆法。本發(fā)明的包覆層的鐵酸鹽系磁性材料為具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽時，優(yōu)選使用鐵酸鹽電鍍法，結(jié)合在稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體表面、包覆。通過鐵酸鹽電鍍法，為了化學(xué)性地堅固地連接作為鐵酸鹽系磁性材料的包覆相和作為稀土類一鐵一氮系磁性材料的核粒子的粉體相，不僅具有磁連結(jié)，通過鐵酸鹽等大氣中穩(wěn)定的氧化物的包覆，可有效提高稀土類一鐵一氮系磁性材料相的耐氧化性能。對于鐵酸鹽電鍍法，可使用已知的方法，例如、阿部正紀、日本應(yīng)用磁學(xué)會志、22巻、9號(1998)1225頁(以下稱為"非專利文獻6"。)、再公表專利W02003/015109號公報(以下稱為"專利文獻5")等公幵的方法。"鐵酸鹽電鍍法"指的是，本發(fā)明人阿部等發(fā)現(xiàn)的，不僅是粉體表面電鍍，也應(yīng)用于薄膜等，其反應(yīng)機構(gòu)等也公開在非專利文獻6中，但本發(fā)明中定義為"在10(TC以下的水溶液中進行反應(yīng)，在粉體表面直接形成強磁性、結(jié)晶性的鐵酸鹽系磁性材料的方法"(溫度條件和水中反應(yīng)場的根據(jù)參照非專利文獻6的左欄第16行。)。以下，舉例說明在R—Fe—N系磁性材料包覆具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽系磁性材料的方法。用酸性表面處理液對R—Fe—N系磁性材料表面進行酸處理，除去表面氧化膜，在水中分散后，一邊在室溫大氣下激發(fā)超聲波、或一邊以恰當?shù)膹姸然蜣D(zhuǎn)速進行機械攪拌，一邊與反應(yīng)液一起滴定PH調(diào)節(jié)液，令溶液PH逐漸從酸性變?yōu)閴A性區(qū)域，在R—Fe—N系磁性材料表面包覆鐵酸鹽系磁性材料。由于以上方法工序簡便，是成本便宜的方法。本發(fā)明的鐵酸鹽電鍍法當然不限于此，但此處所使用的表面處理液、反應(yīng)液、PH調(diào)節(jié)液是進行鐵酸鹽電鍍的必需成分，根據(jù)上述工序，增加以下說明。作為表面處理液，優(yōu)選酸性溶液，鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸等無機酸之外，還可使用氯化鐵溶液或氯化鎳溶液等金屬鹽、它們的復(fù)鹽、配鹽的水溶液、有機酸水溶液等、甚至它們的組合。PH不足0的話，有時R-Fe—N系磁性材料會急劇溶解，因此優(yōu)選控制在0以上、不到7之間。為了適度進行表面處理、將不必要的R—Fe—N系磁性材料的溶出控制在最小范圍，特別優(yōu)選PH范圍為2以上、不到7。作為表面處理速度與得率平衡較好的PH范圍，更優(yōu)選3以上、不到6.5。接著，作為反應(yīng)場的溶劑，也可使用有機溶劑，但為了無機鹽可電離，必須含有水。對于反應(yīng)液，可使用以氯化鐵、氯化鎳、氯化錳等氯化物、硝酸鐵等硝酸鹽、亞硝酸鹽、硫酸鹽、磷酸鹽等M'成分的無機鹽的水為主體的溶液，根據(jù)情況，也可使用有機酸鹽的水為主體的溶液。另外，也可使用它們的組合。反應(yīng)液中，必須含有鐵離子。對于反應(yīng)液中的鐵離子，可任意為僅含有二價鐵(Fe2+)離子、與三價鐵(Fe3+)離子的混合物、僅三價鐵離子，但僅含有F^+的情況下需含有M'成分元素的二價以下的金屬離子。作為PH調(diào)節(jié)液，可舉出，氫氧化鈉、氫氧化鉀、炭酸鈉、炭酸氫鈉、氫氧化鉸等堿溶液；鹽酸等酸性溶液；和它們的組合。也可使用醋酸一醋酸鈉混合溶液這樣的PH緩沖液、添加螯合化合物等。氧化劑一般并非必需，僅在反應(yīng)液中含有Fe^離子時為必需成分?？膳e出例如，亞硝酸鹽、硝酸鹽、過氧化氫水、氯酸鹽、過氯酸、次亞氯酸、溴酸鹽、有機過氧化物、溶解氧水等和它們的組合。通過在大氣中或控制了氧濃度的環(huán)境中進行攪拌，可保持向鐵酸鹽電鍍反應(yīng)場連續(xù)供給可發(fā)揮氧化劑作用的溶解氧的狀況，對控制反應(yīng)是有效的。此外，相反，通過反應(yīng)場沸騰等、連續(xù)或臨時導(dǎo)入氮氣或氬氣等惰性氣體，通過限制氧的氧化作用，也可阻礙其他的氧化劑效果，可穩(wěn)定控制反應(yīng)。典型的的鐵酸鹽電鍍法中，通過以下反應(yīng)機構(gòu)形成鐵酸鹽包覆層。作為反應(yīng)液，含有F^+離子，它被粉體表面的OH基吸附，放出H+。接著，通過空氣中的氧或氧化劑、陽極電流(e+)等進行氧化反應(yīng)，一部分被吸附的Fe"離子被氧化為Fe"離子。液中的F^+離子或F^+和M"+離子，再次被吸附在已經(jīng)吸附著的金屬離子上，同時伴隨水解，一邊放出H+，生成具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽相。由于該鐵酸鹽層表面上存在有OH基，可再次吸附金屬離子，重復(fù)同樣的步驟，鐵酸鹽包覆層得到成長。該反應(yīng)機構(gòu)中，為了讓F^+離子直接變化為尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽，例如磁鐵礦，必須用Fe的PH—電位圖的平衡曲線一邊調(diào)節(jié)PH和氧化還原電位，一邊(慢慢地)將反應(yīng)體系從Fe"離子的穩(wěn)定區(qū)域移至磁鐵礦的析出的區(qū)域，以使橫穿隔開F^+離子和磁鐵礦的線。在含有M"+離子等M，成分元素的離子時，也可使用與其組成'溫度相對應(yīng)的PH—電位圖，或通過預(yù)測，同樣操作。此外，PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑的作用非常重要，它們的種類和濃度、添加方法等極大關(guān)系著是否會生成鐵酸鹽相這樣的反應(yīng)成否和鐵酸鹽包覆層的純度。另外，作為決定反應(yīng)的因子，可舉出，R—Fe—N系磁性材料的分散狀態(tài)和反應(yīng)溫度。為了順利進行R—Fe—N系磁性材料的表面反應(yīng)、或防止凝集，R—Fe—N系磁性粉體分散到溶液中非常重要，可使用用超聲波一邊分散同時進行激發(fā)反應(yīng)的方法、用泵將分散液搬送"循環(huán)的方法、單純用攪拌葉片或旋轉(zhuǎn)筒攪拌、或用傳動器等揺動.振動的方法等，可根據(jù)目標的反應(yīng)控制，使用已知的任何方法、或組合?？刂品磻?yīng)，溫度也很重要。一般，喲用于稀土類一鐵一氮系磁性材料相與鐵酸鹽系磁性材料相的化學(xué)結(jié)合強固的反應(yīng)溫度，可選擇R—Fe—N系磁性材料不會熱分解的范圍的65(TC以下，但鐵酸鹽電鍍法中，由于是在水共存下的反應(yīng)，因此優(yōu)選大氣壓下的水的凝固點至沸點的010(TC之間。特別是，根據(jù)該方法，為了在室溫附近也會充分反應(yīng)，可考慮在共存有生體物質(zhì)等下對R—Fe—N系磁性粉體進行鐵酸鹽電鍍的應(yīng)用例。本發(fā)明中，將整個體系置于高壓下等，在超過IO(TC的溫度區(qū)域進行電鍍的方法、例如超臨界反應(yīng)等，在本發(fā)明中雖不屬于鐵酸鹽電鍍法的范疇，但如果稀土類—鐵一氮系磁性材料表面上形成有發(fā)揮本發(fā)明的效果的鐵酸鹽包覆層的話，當然屬于本發(fā)明的復(fù)合磁性材料。作為反應(yīng)的激發(fā)方法，除了上述溫度或超聲波外，有時壓力和光激發(fā)等也是有效的。此外，本發(fā)明中，作為反應(yīng)液使用含有F^+的水溶液，適用鐵酸鹽電鍍法時，特別是鐵酸鹽包覆層除了在磁鐵礦、磁鐵礦和磁赤鐵礦的中間體、或Fe鐵酸鹽以外的Fe作為二價離子混入的條件下反應(yīng)時，重要的是最終生成的本發(fā)明的復(fù)合磁性材料的鐵酸鹽包覆層中觀測到Fe的二價離子。它的量優(yōu)選Fe^/Fe"比為0.05以上、0.5以下。作為其鑒定方法，有效的是使用電子探針微分析(EPMA)。用EPMA分析R—Fe—N系磁性材料和被鐵酸鹽系磁性材料包覆的復(fù)合磁性材料的表面，得到FeU—FeLp的X射線光譜，取上述2種材料的差分，通過比較含有F^+的氧化鐵(例如磁鐵礦)和僅含有Fe^的氧化鐵(例如赤鐵礦、磁赤鐵礦)標準試樣的光譜，可鑒定表面包覆鐵酸鹽相中的F^+離子量。此時，EPMA的測定條件為加速電壓7kV、測定直徑50nm、電子束電流30nA、測定時間1秒/step。(6)定向"成型工序本發(fā)明的磁性材料，通過僅固化稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或僅固化表面包覆鐵酸鹽系磁性材料的稀土類一鐵一氮系磁性材料，或添加金屬粘合劑、其它磁性材料、樹脂而成形等，可用于各種用途。特別是添加上述敘述的樹脂的話，成為本發(fā)明的磁性材樹脂復(fù)37合材料。另外，本發(fā)明的磁性材料為各向異性材料時，其成形工序中至少進行1次磁場定向操作的話，可成為高磁特性的磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料，因此特別推薦。作為僅固化稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或僅固化表面包覆鐵酸鹽系磁性材料的稀土類一鐵一氮系磁性材料的方法，有用裝入模具、冷壓粉成形，直接使用，或接著冷軋、鍛造、沖擊波壓縮成形等之后成型的方法，但多數(shù)情況下，一邊在50'C以上的溫度下熱處理，一邊燒結(jié)成形。熱處理環(huán)境優(yōu)選非氧化性環(huán)境，較好的是在氬、氦等稀有氣體或氮氣中等惰性氣體中、或含有氫氣的還原氣體中進行熱處理。50(TC以下的溫度條件的話，也可在大氣中進行。另外，常壓或加壓下的燒結(jié)、甚至真空中的燒結(jié)也可。該熱處理可與壓粉成形同時進行，即使是熱壓法或HIP(熱等靜壓)法、SPS(放電等離子體燒結(jié))法等的加壓燒結(jié)法也可令本發(fā)明的磁性材料成形。此外，為了使對于本發(fā)明的加壓效果顯著，必須使加熱燒結(jié)工序中的加壓力在0.000110GPa范圍內(nèi)。不足0.0001GPa的話，缺乏加壓效果，與常壓燒結(jié)的電磁特性沒有區(qū)別，加壓燒結(jié)的話生產(chǎn)率下降，并不利。超過10GPa的話，由于加壓效果飽和，僅過度加壓的話生產(chǎn)率下降，沒有意義。另外，較大的加壓可賦予磁性材料誘導(dǎo)磁各向異性，也可能令原本具有的高磁導(dǎo)率等磁特性惡化，或最大吸收頻率脫離優(yōu)選范圍。因此，加壓力的優(yōu)選范圍是0.0011GPa,更優(yōu)選0.010.1GPa。熱壓法中，將壓粉成形體投入塑性變形的密封容器中、一邊從1軸3軸方向施加較大的壓、一邊熱處理進行熱壓的超高壓HP法，與使用單軸壓縮機在超硬或碳制金屬模具中加壓熱處理的熱壓法不同，可在不損壞金屬模具的情況下將即使使用碳化鎢超硬金屬模具也較難達到的2GPa以上的壓力施加在材料上，而且通過壓力會使密封容器塑性變形、內(nèi)部密閉，從而可以不與大氣接觸而成形，因此不會混入氧等雜質(zhì)，也可控制揮發(fā)性成分的蒸散。另外，多數(shù)以上方法中，往往會出現(xiàn)伴隨著若干磁性材料表面的分解而固化，但在沖擊波壓縮法中，已知的水中沖擊波壓縮法(例如日本專利特開2002_329603號公報(以下稱為"專利文獻6")等)作為可以不會出現(xiàn)磁性材料分解而成形的方法是有利的。在稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或表面包覆鐵酸鹽系磁性材料的稀土類一鐵一氮系磁性材料中添加金屬，使用上述任意一項方法成形的方法，作為不分解本發(fā)明的磁性材料而固化的方法，特別有效。優(yōu)選Zn、In、Sn、Ga等融點在IOO(TC以下、優(yōu)選50(TC以下的各低融點金屬，其中，使用Zn的話，低頻率區(qū)域的吸收降低、超高頻的選擇吸收率提高，熱穩(wěn)定性特別好。鐵酸鹽系磁性材料相對于稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面包覆率在添加Zn特別有效。也可混合Fe、Co、Ni這樣的強磁性元素、Al、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Nb、Mo、Ag、Sn、Ta、W、Ir、Pt、Au、Pb等立方晶金屬元素，進行壓粉成形、燒結(jié)、軋制。將上述(3)工序、或(3)工序—(4)工序、或(3)工序—(5)工序、或(3)工序—(4)工序—(5)工序中得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體和/或包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體應(yīng)用于高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料時，與熱固化性樹脂或熱塑性樹脂混合后壓縮成形，或與熱塑性樹脂共同混揉后注射模塑成形，或通過擠壓成形、輥成形、軋制成形等來成形。作為薄片形狀的種類，例如應(yīng)用于電磁噪音吸收薄片時，可舉出厚度510000pm、寬55000mm、長0.0051000m的壓縮成形形成的分批型薄片、輥成形、壓延成形等形成的輥狀薄片。定向方法有機械方法、磁場定向等。使用高扁平率的復(fù)合磁性粉體時，可通過利用其形狀的各向異性，考慮加壓方法等進行機械定向。輥成形中施加l維的壓力，在壓縮成形中施加2維壓力，因此，根據(jù)磁性粉體的形狀，定向后的磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料的各向異性也根據(jù)成形而變化。用上述方法成形時，若其部分工序或全部工序在磁場中進行的話，磁性粒子磁場定向，有時磁特性提高。該磁場定向方法大致可舉出單軸磁場定向、旋轉(zhuǎn)磁場定向、對向磁極定向3類。單軸磁場定向指的是，對處于可運動狀態(tài)下的磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料，通常從外部向任意方向施加靜磁場，使磁性材料的易磁化方向與為外部靜磁場方向一致。然后，通常進行加壓、或使樹脂成分固化，制作單軸磁場定向成形體。旋轉(zhuǎn)磁場定向指的是，將處于可運動狀態(tài)下的復(fù)合磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料放置于通常在一個平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的外部磁場中，使磁性材料的難磁化方向統(tǒng)一為一個方向的方法。旋轉(zhuǎn)方法有使外部磁場旋轉(zhuǎn)的方法；在靜磁場中使磁性材料旋轉(zhuǎn)的方法；外部磁場和磁性材料均不旋轉(zhuǎn)、令多個磁極的強度調(diào)諧、變化、感覺如磁場在旋轉(zhuǎn)的磁性材料按順序隨時外加磁場的方法；以及上述方法的組合等。擠壓成形或輥成形等中，在擠壓方向并列2個以上的磁極，使磁場的強度或極性變化，配置定向為復(fù)合磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料通過時能感受磁場的方法，也是廣義的旋轉(zhuǎn)磁場定向。對向磁極定向，是在同極的磁極相向的環(huán)境中，令復(fù)合磁性材料或磁性材樹脂復(fù)合材料靜置或旋轉(zhuǎn)或并進運動、或其組合運動，使難磁化方向統(tǒng)一為一個方向的方法。對具有面內(nèi)磁各向異性的高頻用材料、高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料進行單軸磁場定向39的話，磁導(dǎo)率可提高150%,進行旋轉(zhuǎn)磁場定向或?qū)ο虼艠O定向的話，可提高1200%。為了令磁性材料充分地磁場定向，磁場成形優(yōu)選在8kA/m以上、更優(yōu)選80kA/m以上、最優(yōu)選400kA/m以上的磁場中進行。磁場定向所必須的磁場強度和時間，根據(jù)磁性材料粉體的形狀、磁性材樹脂復(fù)合材料時的矩陣的粘度和磁性材料粉體的親和性決定。一般，使用的磁場越強，定向時間越短，因此在成形時間較短的矩陣樹脂粘度較大的輥成形、或壓延成形中的磁場定向，優(yōu)選使用400kA/m以上的磁場。實施例以下通過實施例等對本發(fā)明進行更具體的說明，但本發(fā)明并不限于這些實施例等。本發(fā)明的評價方法如下。(1)復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率(和復(fù)數(shù)相對電容率)、最大能量吸收系數(shù)和選擇吸收比將稀土類一鐵一氮系磁性材料或使用了它的磁性材樹脂復(fù)合材料成形為外徑7mm、內(nèi)徑3.04mm、厚度約lmm(該試樣在實施例中稱為環(huán)形試樣料A);外徑3.5mm、內(nèi)徑1.52mm、厚度約lmm(該試樣在實施例中稱為環(huán)形試樣B);或10x5x約lmm(長方體試樣)的大小，使用阻抗儀(測定范圍5MHz3GHz)、或網(wǎng)絡(luò)分析儀(測定范圍為以下4個0.518GHz、0.013GHz、0.16GHz或0.533GHz)，測定復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率(和復(fù)素數(shù)相對電容率)。此外，使用了環(huán)形試樣A、B的測定，通過S參數(shù)法求出復(fù)素數(shù)相對磁導(dǎo)率(和復(fù)素數(shù)相對電容率)的值。再以各測定范圍內(nèi)的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率虛數(shù)項的頻率變化的測定結(jié)果，求得最大能量吸收系數(shù)和lGHz以上的選擇吸收比。(2)磁化和磁各向異性比、各向異性磁場在稀土類一鐵一氮系磁性材料內(nèi)混合銅粉，在外部磁場1.2MA/m中，以0.2GPa成形，使用振動試樣型磁力計(VSM)，描繪外部磁場01.2MA的區(qū)域的磁場定向方向和與此垂直方向的磁曲線，得到室溫的磁化(emu/g)和磁各向異性比p/q的值。另外，基于所得到的磁曲線，通過外插法大致預(yù)測各向異性磁場Ha,以及Ha2(A/m)。(3)電阻率使用專利文獻6公開的水中沖擊波壓縮法(S法)或使用了lGPa壓力的壓粉成形法(P法)對稀土類一鐵一氮系磁性材料進行成形，使用lGPa的壓力的壓粉成形法(P法)成形包覆了鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料，分別以4端子法測定。通過S法的話，磁性材料的體積分數(shù)在92~95%范圍，得到的電阻率值幾乎接近磁性材料本來的值。通過P法的話，磁性材料的體積分數(shù)約為70%，電阻率大于本來的值，但在有無鐵酸鹽系磁性材料包覆的比較中，可知道電氣絕緣的程度。(4)氮量、氧量和氫量氮量、氧量是以Si3N4(含有定量的Si02)為標準試樣，通過惰性氣體融解法定量。氫量是以純度99.9999%的氫氣為標準試樣，通過惰性氣體融解法定量。(5)平均粒徑使用激光衍射式粒度分布計測定體積相當徑分布，以通過其分布曲線求得的中值粒徑(pm)評價。(6)鐵酸鹽系磁性材料的包覆厚度通過掃描型電子顯微鏡(SEM)或透過型電子顯微鏡(TEM)觀察包覆了鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體或其成形體的截面，和密度測定結(jié)果一并求得各磁性材料成分-空隙量。另外，在鐵酸鹽包覆處理前后求得(5)的平均粒徑，用其差的l/2的值大致確認期厚度。[實施例l]使用純度99.9%的Nd和純度99.9%的Fe，在氬氣環(huán)境下用電弧溶解爐溶解混合，接著，通過直鑄法制作厚度5mm的鑄塊。再于氬環(huán)境中，103(TC下退火20小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制出Ndn.6Fe88.4的原料合金。用鄂式破碎機粉碎該原料合金，接著，在氬環(huán)境中再用絞磨機粉碎后，振動調(diào)整粒度，得到平均粒徑約6(Vm的粉體。將該Nd—Fe原料合金粉體投入橫型管狀爐，42(TC下，在氨分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理1小時，調(diào)整為平均粒徑約3(Hun的N山(uFe76.7Nn.2的組成。該稀土類一鐵一氮系磁性材料的磁化值為147emu/g，磁各向異性比為0.88。接著，將上述得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料在己烷中用行星球磨機粉碎30分鐘，制作平均粒徑約2pm的Nd—Fe—N系磁性材料。在其中加入環(huán)氧樹脂12質(zhì)量％，以lGPa加壓成形，15(TC固化處理2小時，制作出環(huán)形試樣A。得到的密度為4.2，磁性材料的體積分數(shù)為47體積％。該稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的0.518GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性如圖1所示。頻率為1.9GHz時，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值為p"max=3.9。頻率為0.5GHz時，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項最大值為p，max=3.3。頻率為3.0GHz時，最大能量吸收系數(shù)為fW，max=9.3GHz。1GHz以上的選擇吸收比為1.6。這些磁特性在表1顯示。此外、本稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(S法)為50(VQcm。通過X射線衍射法對本磁性材料進行解析的結(jié)果，確認為主要是顯示了菱面體晶的衍射線。另外，該稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料在0.518GHz的復(fù)數(shù)相對電容率的頻率依賴性如圖2所示。頻率為6.7GHz時，復(fù)數(shù)相對電容率的虛數(shù)部分s"最大值是98，41頻率為0.56GHz范圍時復(fù)數(shù)相對電容率實數(shù)部分s，超過100，其最大值為132。是可以有效吸收遠場的電磁噪音'電磁波的高頻用磁性材料。[比較例1]除了在氨一氫混合氣體中熱處理、不導(dǎo)入氮以外，與實施例l相同，制作稀土類一鐵系合金，測定其磁特性，磁化值為80emu/g、磁各向異性比為0.98。使用該稀土類一鐵系合金，與實施例1相同地得到的磁性材樹脂復(fù)合材料在0.518GHz范圍的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性如圖3所示。頻率為0.5GHz時，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)部分的最大值p"max-l.O。，頻率為0.5GHz時，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值為^max=0.4。頻率為10GHz時，最大能量吸收系數(shù)為fK，max-1.4GHz。lGHz以上的選擇吸收比為0.7。這些磁特性如表l所示。此外，磁性材樹脂復(fù)合材料中的稀土類一鐵系磁性材料的體積分數(shù)為47體積％。[比較例2]使用組成為Ndu.8Fe77.6CO5.5B5.,的Nd—Fe—B系磁性材料，與實施例1相同，制作Nd—Fe—B系磁性材樹脂復(fù)合材料。該Nd—Fe—B系磁性材樹脂復(fù)合材料的0.518GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性如圖4所示。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值，頻率為0.5GHz時，|_Tmax=0.3。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值，頻率為0.5GHz時，n'max=0.8。最大能量吸收系數(shù)，頻率為11.8GHz時，fp"max=l.lGHz。1GHz以上的選擇吸收比為0.9。這些磁特性如表1所示。本磁性材料的電阻率(S法)為100pQcm。該值是稀土類一鐵一氮系磁性材料的1/5，很小。比較實施例1和比較例2可以發(fā)現(xiàn)，作為氮化物的稀土類一鐵一氮系磁性材料，較之于作為金屬系磁性材料的Nd—Fe—B系磁性材料，由于電阻率低，因此適用于高頻用磁性材料。此外，磁性材樹脂復(fù)合材料中的Nd—Fe—B系磁性材料的體積分數(shù)為47體積％。[實施例2]將實施例1得到的組成為NduuFe76.7Nu.2的粗粉體，在氧分壓1%的氬中，進行旋轉(zhuǎn)式球磨機，在PH6.2的氯化鐵溶液中進行表面處理后，一邊調(diào)整PH—邊進行表面氧化處理，得到平均粒徑6^m的Nd8.oFe60.8NK).6H7.80,2.8的稀土類一鐵一氮(一氫一氧)系磁性材料。在該材料中混合環(huán)氧樹脂12質(zhì)量％，在1.2MA/m的靜磁場中(單軸磁場定向)，以成形壓lGPa成形為10x5xl.3mm的大小，150'C固化處理2小時。得到的密度為5.2、磁性材料的體積分數(shù)為62體積％。該稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的磁場定向方向與外加的高頻磁場變化方向一致時的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為3.0GHz時，n"max=3.8。頻率為10MHz時，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率實數(shù)項為最大，其值是p'max=8.4。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為3.0GHz時，fK，max=llGHz。1GHz以上的選擇吸收比為1.3。這些磁特性如表1所示。此外，測定頻率范圍為10MHz至3GHz。本稀土類一鐵一氮系材料的電阻率(S法)為50(^Qcm。用X射線衍射法對本稀土類一鐵一氮系材料進行解析的結(jié)果，確認了主要為顯示菱面體晶的衍射線。[實施例3和4]使用純度99.9%的Nd和純度99.9%的Fe，在氬氣環(huán)境下用高頻溶融解爐溶解混合，再于氬環(huán)境中，95(TC退火IOO小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制出組成為Nduj.5Fe89.5的原料合金o將該原料合金用鄂式破碎機粉碎，接著，在氬環(huán)境中再用銷棒粉碎機粉碎后，用聲波式分級機調(diào)整粒度，得到平均粒徑5(Him的粉體。將該Nd—Fe原料合金粉體投入橫型管狀爐，42(TC下，在氨氣分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理2小時，接著，在40(TC下，于氬氣中退火30分鐘，調(diào)整為平均粒徑25pm的Nd91Fe77.3N13.6的組成。該稀土類一鐵一氮系磁性材料的磁化值為159emu/g，各向異性磁場Ha,、Ha2從其磁曲線各自估計為30kA/m、3MA/m，自然共鳴頻率fr的值為lOGHz左右。此外，磁各向異性比為0.84。接著，將得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料用旋轉(zhuǎn)式球磨機粉碎，制作平均粒徑約4pm的Nd—Fe—N系磁性材料。在其中加入環(huán)氧樹脂10質(zhì)量％后，將試樣平分為a、b。投入非磁性的超硬金屬模具后，試樣a直接以lGPa加壓成形(實施例3)，試樣b與超硬金屬模具一起在1.2MA的磁場中，以60r.p.m.的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)2分鐘，實施旋轉(zhuǎn)磁場定向，然后以lGPa加壓成形(實施例4)。將這2個試樣150'C下固化處理2小時后，制作環(huán)形試樣A。得到的密度為3.8、磁性材料的體積分數(shù)為40體積％。觀ij定這些稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的0.16GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性。試樣a(實施例3)中，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為5.7GHz時，Wmax=1.8。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值是，頻率為0.5GHz時，n，max=2.4。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為6.0GHz時，fii"max=12GHz。lGHz以上的選擇吸收比為36。這些磁特性如表1所示。此外，本稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(S法)為400pQcm。試樣b(實施例4)中，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為4.7GHz時，fmax=2.2。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值是，頻率為0.5GHz時，^max=3.0。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為5.7GHz時，fU"max=12GHz。1GHz以上的選擇吸收比為32。這些磁特性如表1所示。通過進行旋轉(zhuǎn)磁場定向，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項提高了約25%。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值也提高了約22%。此外，以本環(huán)形試樣A的圈狀底面為測定面，X射線衍射法解析的結(jié)果，兩者均確認了主要顯示為菱面體晶的衍射線，試樣b(006)的衍射線為粉末圖形，與最強線(303)相比，可觀測到其非常大，磁性材料在與環(huán)形試樣A的直徑垂直的方向，以c軸定向的形式磁場定向。(006)/(303)強度比是，試樣a為0.6，聽而試樣b為3.4。因此，結(jié)論為該稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。對于實施例1制作的稀土類一鐵一氮系磁性材料，也使用X射線衍射法，與上述相同地進行解析，比較旋轉(zhuǎn)磁場定向與無定向的各試樣，可以發(fā)現(xiàn)，其為面內(nèi)磁各向異性材料。[實施例5和比較例3]使用瑪瑙研缽，在已烷中混合用與實施例1相同方法制作的稀土類一鐵一氮系磁性材料50體積％和純度99.5%、粒徑2.5pm的Fe粉體50體積％，以1.5GPa加壓成形制作環(huán)形試樣A(實施例5)。作為比較，僅用粒徑2.5)im的Fe粉體，同樣制作環(huán)形試樣A(比較例3)。實施例5和比較例3的稀土類一鐵一氮系磁性材料的5MHz3GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性的測定結(jié)果如圖5所示。實施例5中的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)部分的最大值是，頻率為3.0GHz時，n"max-4.2。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)部分的最大值是，頻率為5MHz時，^max=9.5。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為3GHz時，fU"max=13GHz。1GHz以上的選擇吸收比為1.2。這些磁特性如表1所示。比較例3中的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為80MHz時，jTmax=3.3。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值是，頻率為5MHz時，^^max=ll。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為3GHz時，fU"max=6.0。1GHz以上的選擇吸收比為0.7。這些磁特性如表1所示。僅將鐵粉壓粉加固的磁性材料，雖然在低頻率區(qū)域顯示出較高的相對磁導(dǎo)率，但1GHz以上的選擇吸收比低，難以用于超高頻范圍用途。如上文詳細說明的最大能量吸收系數(shù)，本發(fā)明的高頻用磁性材料中，最大能量吸收系44數(shù)目標是超過6GHz，但在實施例5的磁性材料中，超過了2倍以上。[實施例6]與實施例1相同地得到Ndn.sFe87.5原料合金。將該原料合金以輥徑194mm、輥轉(zhuǎn)速5000r.p.m的條件，在氬環(huán)境中以銅輥法超急冷，制作厚度5pm的超急冷帶。此外，對該超急冷帶以X射線衍射法解析的結(jié)果是，確認了主要顯示為六面體晶的稀土類一鐵系合金的衍射線，混合存在有顯示菱面體晶的稀土類一鐵系合金的衍射線和oc—Fe的衍射線。將該材料在氨一氫混合氣體中395'C加熱30分鐘，制作組成為Nd,uFe77.7Nda2的稀土類一鐵一氮系磁性材料。除了將該稀土類一鐵一氮系磁性材料的環(huán)形試樣A的環(huán)氧樹脂量設(shè)定為4質(zhì)量％以外，與實施例l相同地制作，測定5MHz3GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性，結(jié)果復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為1.3GHz時，p"max=4.5。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值是，頻率為5MHz時，|i'max=6.9。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為3.0GHz時，"，，max=6.5GHz。lGHz以上的選擇吸收比為1.2。這些磁特性如表1所示。該稀土類—鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的密度和體積分數(shù)各自為4.9、58體積％。本稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(S法)為約1000pQcm。對本材料進行X射線衍射法解析的結(jié)果，確認了六面體晶、菱面體晶和a—Fe的衍射線。此外，用SEM觀察環(huán)形試樣A的截面，求出稀土類一鐵一氮系磁性材料的平均扁平比T，其值為0.2。本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料為平均扁平比0.2的扁平粉體。[實施伊J79]除了稀土類一鐵一氮系磁性材料的組成同表1、環(huán)氧樹脂的混合量為6質(zhì)量％以外，與實施例1相同的方法制作環(huán)形試樣A,用與實施例1相同的方法測定磁特性。這些磁性材料的粒徑為約lpm。這些磁性材料的體積分數(shù)和磁特性如表1所示。另外，X射線衍射法解析的結(jié)果，鑒定了實施例7和8的磁性材料的結(jié)晶結(jié)構(gòu)為菱面體晶，實施例9的磁性材料的結(jié)晶結(jié)構(gòu)為六方晶。也確認了實施例8的磁性材料中混合存在a—Fe的衍射線。通過與實施例3和4相同的解析，表明所有稀土類一鐵一氮系磁性材料具有面內(nèi)磁各向異性。本稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(S法)為約400~1000pQcm的范圍。[實施例10]使用鈦偶合劑2質(zhì)量％對實施例3得到的平均粒徑約4nm的Nd—Fe—N系磁性材料進行表面處理后，添加12—尼龍9.8質(zhì)量％，用間歇式捏合機26trC下混揉后，將得到的顆粒以注射模塑溫度285'C、金屬模具溫度90'C、注射壓力0.1GPa進行注射模塑成形，得到直徑10mm的圓盤狀稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料。加工該磁性材樹脂復(fù)合材料，成為密度4.6、磁性體的體積分數(shù)54%的環(huán)形試樣A，測定其磁特性。測定0.518GHz中的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為6.50Hz時，p"max=2.0。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值是，頻率為0.5GHz時，n，max=3.1。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為10.2GHz時，fn"max=16GHZo1GHz以上的選擇吸收比為72。這些磁特性如表l所示。對本磁性材樹脂復(fù)合材料進行X射線衍射法解析的結(jié)果，確認主要為顯示菱面體晶的衍射線。[實施例11]使用純度99.9%的Nd和純度99.9%的Fe，在氬氣環(huán)境下用電弧溶解爐溶融解混合，接著，通過直鑄法制作厚度5mm的鑄塊。再于氬環(huán)境中，103(TC下退火20小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制出組成為Ndn.6Fe88.4的原料合金。將該原料合金用鄂式破碎機(粉碎，接著，在氬環(huán)境中，再用絞磨機粉碎后，振動調(diào)整粒度，得到平均粒徑約6(Him的粉體。將該Nd—Fe原料合金粉體投入橫型管狀爐，420'C下，在氨分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理1小時，調(diào)整為平均粒徑約30nm的NdialFe76.7N132。該稀土類一鐵一氮系磁性材料的磁化值為147emu/g、磁各向異性比為0.88。接著，將上述得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料在已垸中用行星球磨機粉碎30分鐘，制作平均粒徑約2pm的Nd—Fe—N系磁性材料。將該磁性材料與精制水一起投入反應(yīng)器，進行表面酸處理后，一邊在大氣中激烈攪拌，以使該磁性材料充分分散在精制水中，一邊滴定280mM的氫氧化鉀水溶液(PH調(diào)整液)，逐漸將體系的pH在6.112.2范圍從酸側(cè)調(diào)整為堿側(cè)，同時滴定126mM的FeCl2水溶液(反應(yīng)液)，反應(yīng)10分鐘后，停止滴定pH調(diào)整液和反應(yīng)液，再攪拌10分鐘。然后，先用精制水、再用丙酮洗凈，從稀土類一鐵一氫系磁性材料中除去游離的成分。通過鐵酸鹽電鍍法進行鐵酸鹽包覆處理，得到平均粒徑約2.1拜的具有Nd8.6Fe7uNu.2O9x)的鐵酸鹽包覆層的稀土類一鐵一氮系磁性材料的高頻用磁性材料。該鐵酸鹽包覆層的厚度約50nm。對該鐵酸鹽包覆層進行電子射線衍射法和EPMA測定的結(jié)果，判斷為具有尖晶石結(jié)構(gòu)的磁鐵礦和磁赤鐵礦的中間體相。此外，X射線衍射法解析的結(jié)果，確認主要顯示為菱面體晶的衍射線。在該包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料中添加環(huán)氧樹脂12質(zhì)量％，以lGPa加壓成形，150。C下固化處理2小時，從而制作環(huán)形試樣A。最終的密度為4.0g/cm3，磁性材料的體積分數(shù)為47體積％。測定該磁性材樹脂復(fù)合材料的0.518GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值和此時的頻率、實數(shù)項的最大值和此時的頻率、最大能量吸收系數(shù)的各項目的磁特性測定結(jié)果如表2所示。此外，本包覆了鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)約為8000nQcm，顯示出未電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)1700pQcm的4.7倍的高值。另外，實施例1,除了使用未包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料以外，與本實施例相同。比較磁特性的話，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值p"n^約為10%,此時的頻率fa約為50%，復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項的最大值^'max約為30%，最大能量吸收系數(shù)Wmax約提升70%。使用純度99.9%的Nd和純度99.9%的Fe，在氬氣環(huán)境下用高頻溶解爐溶解混合，再于氬環(huán)境中，95(TC退火100小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制組稱為Ndia5Fe89.5的原料合金。用鄂式破碎機粉碎原料合金，接著在氬環(huán)境中再用銷棒粉碎機粉碎后，以聲波式分級機調(diào)整粒度，得到平均粒徑5(^m的粉體。將該Nd-Fe原料合金粉體投入橫型管狀爐，42(TC下，在氨氣分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理2小時，然后在氬氣中40(TC退火30分鐘，調(diào)整為平均粒徑25pm的Nd9.,Fe".3N。.6。該稀土類一鐵一氮系磁性材料的磁化值為159emu/g，各向異性磁場Ha卜H^,根據(jù)其磁曲線，各自預(yù)測為30kA/m、3MA/m，自然共鳴頻率fr的值為lOGHz左右。此外，磁各向異性比為0.84。接著，用旋轉(zhuǎn)式球磨機粉碎，制作平均粒徑約4Hm的Nd—Fe—N系磁性材料，然后，對該稀土類一鐵一氮系磁性磁性材料粉體，通過與實施例11同樣的鐵酸鹽包覆處理法，但變更條件為一邊調(diào)整體系的pH在4.213.7范圍從酸側(cè)逐漸移到堿側(cè)，一邊將反應(yīng)時間定為20分鐘，得到組成為Nd8.oFe73.!Nn.907.o的包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料。對包覆該鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵酸鹽包覆層以電子射線衍射法和EPMA測定的結(jié)果，確認了是具有尖晶石結(jié)構(gòu)造的磁鐵礦和磁赤鐵礦的中間體相。該鐵酸鹽包覆層的厚度為100nm。在如上得到的包覆鐵酸鹽稀土類一鐵一氮系磁性材料中加入環(huán)氧樹脂10質(zhì)量％后，平分試樣為a、(3。投入到非磁性的超硬金屬模具后，試樣a直接以lGPa加壓成形(實施例12)，試樣(3與超硬金屬模具一起在1.2MA的磁場中，以60r.p.m.的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)2分鐘，實施旋轉(zhuǎn)磁場定向，然后以lGPa加壓成形(實施例13)。將這2個試樣15(TC固化處理2小時，加工制作為環(huán)形試樣A。最終的密度為3.6g/cm3，鐵酸鹽包覆稀土類一鐵一氮系磁性材料的體積分率為40體積％。測定這些磁性材樹脂復(fù)合材料的0.16GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性。各磁特性的測定結(jié)果如表2所示。通過旋轉(zhuǎn)磁場定向，約10%的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項提高。此外，本包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)約為10000pQcm，是未進行電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)1900nQcm的5.3倍左右，顯示出較高的值。此外，以本環(huán)形試樣A的圈狀底面為測定面，X射線衍射法解析的結(jié)果是，兩者均確認了主要顯示為菱面體晶的衍射線，試樣P中(006)的衍射線為粉末圖形，與最強線的(303)相比，非常大，材料在與環(huán)形試樣A的直徑的垂直方向定向c軸的形式進行了磁場定向。(006)/(303)強度比，試樣a為0.5，而試樣e為4。因此可作出結(jié)論，該稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。對于實施例11制作的稀土類一鐵一氮系磁性材料，也用X射線衍射法比旋轉(zhuǎn)磁場定向和無定向，進行與上述相同的解析，結(jié)果確認為面內(nèi)磁各向異性材料。通過比較實施例2、3與實施例12、13可以發(fā)現(xiàn)，用鐵酸鹽系磁性材料包覆稀土類一鐵一氮系磁性材料的話，磁導(dǎo)率提高，吸收的頻率和能量吸收系數(shù)向高頻側(cè)上升。[實施例14]平均粒徑約lum的稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體和具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽包覆層的相組成如表2，除了環(huán)氧樹脂的添加量為6質(zhì)量％以外，用與實施例ll相同的方法制造包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的環(huán)形試樣A，用與實施例11相同的方法測定磁特性。這些磁性材樹脂復(fù)合材料的鐵酸鹽包覆層的厚度和各磁特性值如表2所示。該磁性材樹脂復(fù)合材料的密度為5.1g/cm3，稀土類_鐵—氮系磁性材料的體積分數(shù)約為65體積%。另外，X射線衍射法解析的結(jié)果是，本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料的結(jié)晶結(jié)構(gòu)鑒定為六方晶。通過與實施例12和13同樣的解析表明，本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料具有面內(nèi)磁各向異性。另外，鐵酸鹽包覆層以電子射線衍射法、EPMA和EDX測定鑒定。本鐵酸鹽包覆稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)為9000yQcm，是未進行電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)5倍左右，顯示出較高的值。[實施例15]平均粒徑約3ym的稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體和具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽包覆層的相組成如表2，除了環(huán)氧樹脂的添加量為10質(zhì)量％以外，用與實施例11相同的方法制48作包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料，制作環(huán)形試樣A。此外，與用與實施例11相同的方法測定磁特性。該磁性材樹脂復(fù)合材料的鐵酸鹽包覆層的厚度和各磁特性值如表2所示。此外、該磁性材樹脂復(fù)合材料，在18GHz也沒有迎來復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項^"的極大值，而是隨著頻率而上升。另外，p"的最大值和fK'max的值是頻率為18GHz時的值。另外，最終為4.4g/cm3，包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的體積分數(shù)為53體積％。另外，X射線衍射法解析的結(jié)果是，該包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料中的稀土類鐵一氮系磁性材料的結(jié)晶結(jié)構(gòu)主要為菱面體晶，但也確認了混合存在有a—Fe的的衍射線。本包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)約為10000nQcm，是未電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)的5倍左右，顯示出較高的值。另外，與實施例3和4同樣的進行解析，確認了本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。[實施例16]與實施例12和13相同地得到平均粒徑25pm的組成為NdwFe^jNw的稀土類一鐵一氮系磁性材料。用噴射粉碎機將其粉碎為平均粒徑約2.2pm，除了變更條件為反應(yīng)液變更為113.2mM的FeCl2水溶液和12.6mM的ZnCl2、一邊在4.6~11.1范圍調(diào)整水溶液系的pH從酸側(cè)逐漸移到堿側(cè)、反應(yīng)時間為20分鐘以外，用與實施例11相同的方法得到組成為Nd8.oFe7o.7Zn2.6Nn.906.8的磁性材料。另夕卜，鐵酸鹽包覆層以電子射線衍射法和EDX測定的結(jié)果是，確認為具有尖晶石結(jié)構(gòu)的Zn鐵酸鹽相。另外，X射線衍射法解析的結(jié)果，該磁性材料中的稀土類一鐵一氮系磁性材料的結(jié)晶結(jié)構(gòu)主要為菱面體晶。本鐵酸鹽包覆稀土類—鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)為1800(HiQcm，是未電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)的9倍左右，顯示出較高的值。向其中添加環(huán)氧樹脂8質(zhì)量％，得到與實施例11相同的環(huán)形試樣A。該磁性材樹脂復(fù)合材料的密度為4.8g/cm3，磁性材料的體積分數(shù)約為60體積％。用與實施例11相同的方法測定該磁性材樹脂復(fù)合材料的各磁特性值和鐵酸鹽包覆層的厚度如表2所示。[實施例17]對在實施例12和13得到的包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料用鈦偶合劑2質(zhì)量％進行表面處理后，添加12—尼龍9.8質(zhì)量％，用間歇式捏合機260'C下混揉后，對得到的顆粒以注射溫度285。C、金屬模具溫度卯"、注射壓力0.1GPa進行注射成形，得到直徑10mm的圓盤狀稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料。加工該磁性材樹脂復(fù)合材料，成為密度4.0、磁性材料體積分數(shù)56%的環(huán)形試樣A，用與實施例11相同的方法測定其磁特性。結(jié)果如表2所示。本材料用X射線衍射法解析的結(jié)果是，確認了主要為顯示菱面體晶的衍射線。以上的實施例1117中，lGHz以上的選擇吸收比顯示為1.4以上的值。[實施例18]用純度99.9%的Nd、純度99.9%的Fe、純度99.9%的Co和純度99.9%的Mn，在氬氣環(huán)境下用電弧溶解爐溶解混合，制作鑄塊。再于氬環(huán)境中，1030'C下退火20小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制組成為NdK).s(Fea85C0aiMna()5)895的原料合金。將該原料合金用鄂式破碎機粉碎，接著在氬環(huán)境中再用絞磨機粉碎后，振動調(diào)整粒度，得到平均粒徑約6(Him的粉體。將該Nd—Fe原料合金粉體投入到橫型管狀爐，42(TC下，在氨分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理2小時，然后，切換為僅氫氣氣流，進行30分鐘、同溫度下的退火，調(diào)整為平均粒徑約25pm的Ndw(Fea85CoaiMna05)77.2Nu.7組成。接著，將上述得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料以氬氣壓0.9MPa、通過次數(shù)3次的條件、用噴射粉碎機粉碎，制作平均粒徑約2.5Mm的Nd—Fe—Co—Mn—N系磁性材料。其中添加環(huán)氧樹脂10質(zhì)量％后投入超硬金屬模具，在1.2MA的磁場中與金屬模具一起以120r.p.m.的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)2分鐘，實施旋轉(zhuǎn)磁場定向，金屬模具停止旋轉(zhuǎn)的同時以0.5GPa加壓成形，然后150'C下進行2小時的固化處理，從而制作環(huán)形試樣A。最終的密度為4.6，稀土類一鐵一氮系磁性材料的體積分數(shù)率為53體積％。該稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的0.518GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性如圖6所示。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為13.2GHz時，p"max=1.5。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項最大值是，頻率為0.5GHz時，p'max=3.4。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為14.1GHz時，fU"max=21GHz。1GHz以上的選擇吸收比為2.7。這些磁特性如表1所示。此外，本稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)為210(HiQcm。本磁性材料的X射線衍射法解析結(jié)果是，確認了主要為顯示菱面體晶的衍射線。另外，進行與實施例3和4相同的解析結(jié)果，確認本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。[實施例19]用純度99.9%的Nd和純度99.9%的Fe，在氬氣環(huán)境下用電弧溶解爐溶解混合，制作鑄塊。再于氬環(huán)境中，1030'C下退火20小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制為組成為NdH).5Fe89.5的原料合金。將該原料合金用鄂式破碎機粉碎，接著在氬環(huán)境中再用絞磨機粉碎后，挑選調(diào)整粒度，得到平均粒徑約60pm的粉體。將該Nd—Fe原料合金粉體投入到橫型管狀爐，45(TC下，在氨分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理2小時，調(diào)整為平均粒徑約27pm的Nd88Fe75.2N16()的高氮化組成的稀土類—鐵一氮系磁性材料。接著，將上述得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料以氬氣壓0.9MPa、通過次數(shù)3次的條件用噴射粉碎機粉碎，制作平均粒徑約2.7pm的Nd—Fe—N系磁性材料。其中添加環(huán)氧樹脂10質(zhì)量％，用與實施例18相同的方法進行旋轉(zhuǎn)磁場定向，以0.5GPa加壓成形，進行150'C下進行2小時的固化處理，制作環(huán)形試樣A。最終的密度為4.4，磁性材料的體積分數(shù)為51體積％。該稀土類一鐵一氮系磁性材樹脂復(fù)合材料的0.518GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性如圖6所示。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值是，頻率為17.1GHz時，n"max=2.2。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的實數(shù)項最大值是，頻率為0.5GHz時，^max=4.0。最大能量吸收系數(shù)是，頻率為18GHz時，fU"max=38GHz。1GHz以上的選擇吸收比為1.9。這些磁特性如表1所示。此外，本磁性材料的電阻率(P法)為2000^iQcm。本磁性材料的X射線衍射法的解析結(jié)果，確認了主要為顯示菱面體晶的衍射線。另外，進行與實施例3和4相同的解析，表明本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。[實施例20]用純度99.9。/。的Nd、純度99.9%的Fe和純度99.9%的Mn，在氬氣環(huán)境下用電弧溶解爐溶解混合，制作鑄塊。再于氬環(huán)境中，103(TC下退火20小時，漸冷后進行表面研磨，調(diào)制出組成為Ndm.s(Feo.9sMn謹)89.5的原料合金。將該原料合金用鄂式破碎機粉碎，接著在氬環(huán)境中再用絞磨機粉碎后，挑選調(diào)整粒度，得到平均粒徑約60Hm的粉體。將該Nd—Fe—Mn原料合金粉體投入到橫型管狀爐，42CTC下，在氨分壓0.35atm、氫氣分壓0.65atm的混合氣流中加熱處理2小時，調(diào)整為平均粒徑約30pm的Nd8.4(Feo.95Mn。.。5)7i.7Ni9.9。接著，將上述得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料以氬氣壓0.9MPa、通過次數(shù)3次的條件，用噴射粉碎機粉碎，制作平均粒徑約2.7nm的Nd—Fe—Mn—N系磁性材料。對該稀土類一鐵一氮系磁性材料粉體進行與實施例U相同的鐵酸鹽包覆處理法，但條件變更為一邊將系的pH在4.214.7范圍從酸側(cè)逐漸移到堿側(cè)，一邊反應(yīng)，得到平均粒徑約2.8pm的NdMFe^Mi^Nn.sC^組成的鐵酸鹽包覆稀土類-鐵一氮系磁性材料。該鐵酸鹽包覆層的厚度約為50nm。該鐵酸鹽包覆層的電子射線衍射法和EPMA測定的結(jié)果，表明是具有尖晶石結(jié)構(gòu)的磁鐵礦和磁赤鐵礦的中間體相。另外，X射線衍射法解析結(jié)果，確認了主要51為顯示菱面體晶的衍射線。在該包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料中，添加1質(zhì)量％的硅烷系偶合劑、在異丙醇中混合后，以120'C、30分鐘、真空中的條件進行熱處理，實施表面處理。接著，在該偶合表面處理過的包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料中添加10質(zhì)量％的環(huán)氧樹脂，以1.5GPa加壓成形，進行150°C、5小時的固化處理，從而制作出直徑4mmx厚5mm的圓柱型的磁性材樹脂復(fù)合材料。將此加工，制作出厚度0.81mm的環(huán)形試樣B。此外，磁性材料的體積分數(shù)為51體積％。對該磁性材樹脂復(fù)合材料的0.533GHz的復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的頻率依賴性的測定結(jié)果如圖7所示。復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項的最大值和此時的頻率、實數(shù)項的最大值和此時的頻率、最大能量吸收系數(shù)的各項目的磁特性測定結(jié)果如表2所示。此外，該磁性材樹脂復(fù)合材料在33GHz也沒有出現(xiàn)復(fù)數(shù)相對磁導(dǎo)率的虛數(shù)項n"的極大值，僅隨頻率而上升。另外，|_1，，的最大值和fli"max的值是頻率為33GHz時的值。另外，本磁性材樹脂復(fù)合材料的lGHz以上的選擇吸收比為2.7。此外、本包覆鐵酸鹽的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)約1000(HiQcm，是未進行電鍍的稀土類一鐵一氮系磁性材料的電阻率(P法)的5倍左右的高值。另外，對實施例3和4進行同樣的解析發(fā)現(xiàn)，本實施例的稀土類一鐵一氮系磁性材料為面內(nèi)磁各向異性材料。表152<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>產(chǎn)業(yè)上的利用可能性通過本發(fā)明的稀土類一鐵-氮系磁性材料，由于同時具有了在傳統(tǒng)的氧化物磁性材料和金屬系磁性材料二律背反的高磁導(dǎo)率、高電阻率的性質(zhì)，因此可提供1GHz以上的超高頻區(qū)域中也可使用的高頻用磁性材料。此外，通過本發(fā)明的包覆了鐵酸鹽的稀土類一鐵-氮系磁性材料，還可提高磁導(dǎo)率，提供在高頻率區(qū)域也可使用的高頻用磁性材料。本發(fā)明主要用于動力機器和信息通信相關(guān)機器的高頻或超高頻區(qū)域中所使用的變壓器、磁頭、感應(yīng)器、電抗器、磁心(磁芯)、磁軛、天線、微波元件、磁致伸縮元件、磁音響元件和磁記錄元件等、霍爾元件、磁傳感器、電流傳感器、旋轉(zhuǎn)傳感器、電子羅盤等通過磁場的傳感器類所使用的磁性材料、電磁噪音吸收材料、電磁波吸收材料、磁屏蔽用材料等抑制不必要的電磁波干擾引起阻礙的磁性材料、除噪音用感應(yīng)器等的感應(yīng)器元件用材料、RFID(RadioFrequencyIdentification)標簽用材料、噪音濾波器用材料等的高頻或超高頻區(qū)域下從信號中除去噪音的磁性材料等的高頻用磁性材料。權(quán)利要求1.一種高頻用磁性材料，含有稀土類-鐵-氮系磁性材料而形成。2.如權(quán)利要求1所述的高頻用磁性材料，其中，含有下述通式表示的稀土類一鐵一氮系磁性材料，RxFe(100—x—y)Ny(1)其中，式中，R為含有Y的稀土類元素中的至少一種，x、y為以原子。/。計，3^x^30、3.如權(quán)利要求2所述的高頻用磁性材料，其中，通式(1)表示的稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮的比例為12蕓y^25。4.如權(quán)利要求13的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，構(gòu)成稀土類一鐵一氮系磁性材料的鐵的0.0150原子％被選自Co、Ni、B、Al、Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、In、Hf、Ta、W、Ru、Pd、Re、Os、Ir、Ag、Pt中的至少l種取代。5.如權(quán)利要求14的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，構(gòu)成稀土類一鐵一氮系磁性材料的氮的不足50原子％被選自H、C、P、Si、S中的至少l種取代。6.如權(quán)利要求15的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的主相的結(jié)晶構(gòu)造為選自六方晶、菱面體晶和正方晶中的任意一個。7.如權(quán)利要求16的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料具有的結(jié)晶磁各向異性為面內(nèi)磁各向異性。8.如權(quán)利要求17的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的平均粒徑為0.12000pm。9.如權(quán)利要求18的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，高頻的區(qū)域為0.00533GHz。10.如權(quán)利要求19的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，稀土類一鐵一氮系磁性材料的表面被鐵酸鹽系磁性材料包覆。11.如權(quán)利要求10所述的高頻用磁性材料，其中，鐵酸鹽系磁性材料為具有尖晶石結(jié)構(gòu)的鐵酸鹽。12.如權(quán)利要求10或11的任意一項所述的高頻用磁性材料，其中，鐵酸鹽系磁性材料的厚度為0.810000nm。13.—種稀土類一鐵一氮系磁性材料，被鐵酸鹽系磁性材料包覆而成。14.一種高頻用磁性材樹脂復(fù)合材料，含有599.9質(zhì)量°/。的權(quán)利要求112的任意一項所述的高頻用磁性材料和0.195質(zhì)量％的樹脂。15.—種磁性材樹脂復(fù)合材料，含有599.9質(zhì)量％的、在構(gòu)成權(quán)利要求18中任意一項所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的稀土類成分中含有不足50原子。/。的Sm的該稀土類一鐵一氮系磁性材料和/或權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料，還含有0.195質(zhì)量％的樹脂。16.磁場定向的權(quán)利要求112任意一項所述的高頻用磁性材料。17.磁場定向的權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。18.—種電磁波吸收材料，含有權(quán)利要求112的任意一項所述的高頻用磁性材料。19.一種電磁波吸收材料，含有權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。20.—種電磁噪音吸收材料，含有權(quán)利要求112的任意一項所述的高頻用磁性材料。21.—種電磁噪音吸收材料，含有權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。22.—種RFID標簽用材料，含有權(quán)利要求112的任意一項所述的高頻用磁性材料。23.—種RFID標簽用材料，含有權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料。24.如權(quán)利要求1所述的高頻用磁性材料的制造方法，其中，在含有氨氣或氮氣的環(huán)境下，將實質(zhì)上由R成分、Fe成分構(gòu)成的合金在200650'C范圍熱處理而制造。25.如權(quán)利要求13所述的稀土類一鐵一氮系磁性材料的制造方法，其中，對權(quán)利要求24所述的方法得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料、或再進行超微粉碎工序得到的稀土類一鐵一氮系磁性材料以鐵酸鹽電鍍法處理制造。全文摘要本發(fā)明的目的是提供磁導(dǎo)率高、渦電流損失小的高頻用磁性材料，特別是適用于在1GHz以上的超高頻區(qū)域下發(fā)揮功能的信息機器等的高頻用磁性材料。本發(fā)明是含有稀土類-鐵-氮系磁性材料以及表面包覆了鐵酸鹽系磁性材料的稀土類-鐵-氮系磁性材料的高頻用復(fù)合磁性材料。文檔編號H01F1/26GK101669180SQ20088001354公開日2010年3月10日申請日期2008年4月25日優(yōu)先權(quán)日2007年4月27日發(fā)明者中川貴,今岡伸嘉,多田大,阿部正紀申請人:旭化成株式會社;國力大學(xué)法人東京工業(yè)大學(xué)