專利名稱：超純水節(jié)能控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液位自動控制裝置，特別是通過超純水節(jié)能控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
超純水是水中電解質(zhì)幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質(zhì)、微生物、微粒、有機 物、溶解氣體降至很低程度，25°C時，電阻率為10ΜΩ ^m以上，通常接近18ΜΩ · ，必須經(jīng) 膜過濾與混合床等終端精處理的水。多晶硅生產(chǎn)過程中，硅芯車間整套超純水制備采用EDI+MD0+PMB+UV/TC0工藝將 脫鹽水處理成超純水(電阻率達到18ΜΩ ^m)，裝置設(shè)計制水能力為25Τ/Η，全天24小時運 行，一天將產(chǎn)水600Τ。整套系統(tǒng)大致分為兩部分EDIElectronic Data Interchange的 英文縮寫，中文譯為電子數(shù)據(jù)交換，在水處理領(lǐng)域中譯為連續(xù)電除離子裝置；EDI為連續(xù)電 除離子裝置，由淡水室、濃水室和電極室組成，淡水室內(nèi)填充常規(guī)混合離子交換樹脂，給水 中離子由室除去，濃水室填裝供離子快速轉(zhuǎn)移的樹脂，淡水室和濃水室之間裝有陰離子或 陽離子交換膜，淡水室中陰(陽)離子在兩端電極作用下不斷通過陰(陽)離子交換膜進入 濃水室；H20在直流電能作用下看分解成羥基離子和氫氧根離子，使淡水室中混合離子交換 膜處于再生狀態(tài)，因而有交換容量而濃水室中離子隨濃水的流動不斷排走，因此EDI在不 斷通電狀態(tài)下可以制備出超純水。產(chǎn)水系統(tǒng)和DI (Delete Ion Water的縮寫，中文譯為去 離子水)水循環(huán)系統(tǒng)，自動聯(lián)鎖，且互不相干，采用PLC (數(shù)字運算操作電子系統(tǒng)的可編程邏 輯控制器)全自動控制，兩部分由一個水箱相關(guān)聯(lián)，EDI系統(tǒng)將產(chǎn)水注入超純水箱中，DI系 統(tǒng)從超純水箱中將水送入用戶點。EDI產(chǎn)水系統(tǒng)主要負責(zé)產(chǎn)水，將脫鹽水制備成超純水，在 制備超純水過程中，系統(tǒng)會排放一部分水，這部分排放水包括濃水和極水兩部分，而根據(jù)設(shè) 計要求，系統(tǒng)考慮產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，所設(shè)回收率一般在85 87%左右(回收率即每消耗IOT 脫鹽水，系統(tǒng)只能生產(chǎn)8. 5 8. 7T的超純水，其余1. 3T左右的水將被排放至地溝)。一天 將排放脫鹽水600X (1-0. 87)%=78T ；DI水循環(huán)系統(tǒng)主要為精處理循環(huán)系統(tǒng)，由于設(shè)備循 環(huán)不停，設(shè)備系統(tǒng)不會因為用戶的用水量而自動控制設(shè)備的啟停，那么當(dāng)用戶沒有使用超 純水時，回收率控制在87%，系統(tǒng)也將排放濃水和極水量達600 X (1-0. 87)%= 78Τ。這樣 將嚴重浪費水資源，并且由于生產(chǎn)上沒有如此大的使用能力，生產(chǎn)出來的多余的超純水，就 會通過管道回流至脫鹽水箱，并通過溢流管流向地溝，造成極大的浪費。該車間整套超純水制備中主要用電設(shè)備包括EDI給水泵、真空泵、EDI裝置，功率 分別是7. 5KW/H ；3. 85KW/H, 22. 4KW/H ；原來每天24小時運行，單單EDI系統(tǒng)用電量就高達 810度/天，大約一年用電30萬度，還不包括DI系統(tǒng)。EDI系統(tǒng)的回收率為85%，即EDI裝置每運行一小時會排放極水和濃水3. 7Μ3，即 89Μ3/天，每年則排放3. 2萬M3的脫鹽水。根據(jù)原有設(shè)計設(shè)備運行大約半年時間，系統(tǒng)耗材就需要重新更換。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題，提供了一種超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)節(jié)約用 水、用電及耗材使用頻率的目的。超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，基于PLC控制的EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系統(tǒng)，EDI產(chǎn)水系 統(tǒng)包括與EDI裝置連接的脫鹽水箱和與EDI裝置通過產(chǎn)水閥連接的超純水箱，其特征在于 所述脫鹽水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器， 所述超純水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器。當(dāng)脫鹽水箱的脫鹽水液面滿足產(chǎn)水要求的液面，即脫鹽水箱內(nèi)的中液位上感應(yīng)器 感應(yīng)到有水脈沖信號，則EDI產(chǎn)水系統(tǒng)可以根據(jù)超純水箱向PLC反饋的補水信號自動啟動 進行產(chǎn)水；當(dāng)脫鹽水箱的脫鹽水液面低于滿足產(chǎn)水要求的液面，即脫鹽水箱內(nèi)的低液位感 應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號，PCL則控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行。超純水箱的液面高于低液位感應(yīng)器時，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)不間斷供給DI水循環(huán)系統(tǒng)超 純水使用；當(dāng)超純水箱的液面低于低液位感應(yīng)器時，PCL控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行。所述脫鹽水箱的具體工作流程為當(dāng)脫鹽水箱中的高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng)器將有水脈沖 信號反饋到PLC，通過PCL控制脫鹽水箱上的進水閥關(guān)閉；當(dāng)脫鹽水箱中的中液位上感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，中液位上感應(yīng)器將有水 脈沖信號反饋到PLC，PLC根據(jù)超純水箱向PCL反饋的補水信號來控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的自動 啟動，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥開啟，不需人為操作，始終保證脫鹽水箱液位處于 高液位；當(dāng)脫鹽水箱中的中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下感應(yīng)器將無水 脈沖信號反饋到PLC，PLC進行調(diào)節(jié)控制，控制脫鹽水進水閥開啟；當(dāng)脫鹽水箱中的低液位感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖 信號反饋到PLC，PLC讓EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥關(guān)閉。所述超純水箱的具體工作流程為當(dāng)中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋 給PLC，PLC自動控制啟動EDI產(chǎn)水系統(tǒng)進行產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥開啟；當(dāng)高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng)器將有水脈沖信號反饋給 PLC, PCL立刻控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥關(guān)閉；當(dāng)?shù)鸵何桓袘?yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋給PLC， PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行；直至EDI產(chǎn)水系統(tǒng)產(chǎn)水達到中液位上感應(yīng)器的液面時，中液 位上感應(yīng)器將有水脈沖信號反饋給PLC, PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)自動啟動，不需人為操作。上述EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系統(tǒng)的兩系統(tǒng)通過兩個水箱中液位的高中低液面 相互聯(lián)系，各個液面感應(yīng)器將感應(yīng)到的信號分別反饋給PLC，PLC則根據(jù)得到的信號做出相 應(yīng)的指令，使系統(tǒng)達到互不相干，但是一環(huán)扣一環(huán)，并自動聯(lián)鎖。脫鹽水箱和超純水箱內(nèi)可都以根據(jù)具體情況在增加設(shè)置液面感應(yīng)器。脫鹽水箱與EDI裝置之間設(shè)置有回水閥，用于控制脫鹽水箱的水質(zhì)時使用。本發(fā)明的有益效果如下脫鹽水箱通過液面感應(yīng)器感應(yīng)液面的變化反饋給PLC，由PLC來控制脫鹽水箱是否提供給EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的產(chǎn)水供給，給EDI產(chǎn)水系統(tǒng)提供了有效產(chǎn)水的前提條件；超純水箱 通過液面感應(yīng)器感應(yīng)液面的變化反饋給PLC，由PLC來控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)是否需要產(chǎn)水，或 者是否停止運行，或者停止后續(xù)的DI水循環(huán)系統(tǒng)；本系統(tǒng)整體聯(lián)合調(diào)試，可以實現(xiàn)智能液 位控制，從而可以有效地在整個多晶硅生產(chǎn)過程中整套超純水制備工序?qū)崿F(xiàn)節(jié)能降耗；本 裝置采用EDI和DI系統(tǒng)通過水箱液位來控制系統(tǒng)的自動控制使脫鹽水處理成超純水的自 動聯(lián)鎖裝置，使EDI和DI系統(tǒng)聯(lián)系更為密切，更科學(xué)，更節(jié)能。


圖1為背景技術(shù)所述的24小時不停歇的超純水制備系統(tǒng)的運行示意2為本發(fā)明的運行示意3為本發(fā)明超純水箱液面低于中液位時EDI系統(tǒng)自動啟動產(chǎn)水示意4為本發(fā)明的超純水箱液面在高液位時EDI系統(tǒng)自動停止示意5為本發(fā)明脫鹽水箱液面低于中液位時進水閥自動啟動補水的示意6為本發(fā)明脫鹽水箱液面高于高液位時進水閥自動停止補水的示意圖
具體實施例方式如圖2所示，超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，基于PLC控制的EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系 統(tǒng)，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)包括與EDI裝置連接的脫鹽水箱和與EDI裝置通過產(chǎn)水閥連接的超純水 箱，所述脫鹽水箱內(nèi)設(shè)置有高液位上感應(yīng)器、高液位下感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下 感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器，所述超純水箱內(nèi)設(shè)置有高液位上感應(yīng)器、高液位下感應(yīng)器、中液位 上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器；脫鹽水箱和超純水箱內(nèi)增加設(shè)置液面感應(yīng)器可 以用于做它用，根據(jù)具體情況設(shè)置。當(dāng)脫鹽水箱的脫鹽水液面滿足產(chǎn)水要求的液面，即脫鹽水箱內(nèi)的中液位上感應(yīng)器 感應(yīng)到有水脈沖信號，則EDI產(chǎn)水系統(tǒng)根據(jù)超純水箱向PLC反饋的補水信號自動啟動進行 產(chǎn)水；當(dāng)脫鹽水箱的脫鹽水液面低于滿足產(chǎn)水要求的液面，即脫鹽水箱內(nèi)的低液位感應(yīng)器 感應(yīng)到無水脈沖信號，PCL則控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行；超純水箱的液面高于低液位感應(yīng)器時，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)不間斷供給DI水循環(huán)系統(tǒng)超 純水使用；當(dāng)超純水箱的液面低于低液位感應(yīng)器時，PCL控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行。所述脫鹽水箱的具體工作流程為如圖6所示，當(dāng)脫鹽水箱中的高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng) 器將有水脈沖信號反饋到PLC，通過PCL控制脫鹽水箱上的進水閥關(guān)閉；當(dāng)脫鹽水箱中的中液位上感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，中液位上感應(yīng)器將有水 脈沖信號反饋到PLC，PLC根據(jù)超純水箱向PCL反饋的補水信號來控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的自動 啟動，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥開啟，不需人為操作，始終保證脫鹽水箱液位處于 高液位；如圖5所示，當(dāng)脫鹽水箱中的中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下 感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋到PLC，PLC進行調(diào)節(jié)控制，控制脫鹽水進水閥開啟；當(dāng)脫鹽水箱中的低液位感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖 信號反饋到PLC，PLC通過斷開繼電器讓EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥關(guān)閉。所述超純水箱的具體工作流程為如圖3所示，當(dāng)中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下感應(yīng)器將無水 脈沖信號反饋給PLC，PLC自動控制啟動EDI產(chǎn)水系統(tǒng)進行產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間 的產(chǎn)水閥開啟；如圖4所示，當(dāng)高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng)器將有水脈沖 信號反饋給PLC，PCL立刻控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥 關(guān)閉；當(dāng)?shù)鸵何桓袘?yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋給 PLC, PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行；直至EDI產(chǎn)水系統(tǒng)產(chǎn)水達到中液位上感應(yīng)器的液面 時，中液位上感應(yīng)器將有水脈沖信號反饋給PLC，PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)自動啟動，不需人 為操作。上述EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系統(tǒng)的兩系統(tǒng)通過兩個水箱中液位的高中低液面 相互聯(lián)系，各個液面感應(yīng)器將感應(yīng)到的信號分別反饋給PLC，PLC則根據(jù)得到的信號做出相 應(yīng)的指令，使系統(tǒng)達到互不相干，但是一環(huán)扣一環(huán)，并自動聯(lián)鎖。脫鹽水箱與EDI裝置之間設(shè)置有回水閥，用于控制脫鹽水箱的水質(zhì)時使用。本發(fā)明的原理如下脫鹽水箱通過液面感應(yīng)器感應(yīng)液面的變化反饋給PLC，由PLC來控制脫鹽水箱是 否提供給EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的產(chǎn)水供給，給EDI產(chǎn)水系統(tǒng)提供了有效產(chǎn)水的前提條件；超純水箱 通過液面感應(yīng)器感應(yīng)液面的變化反饋給PLC，由PLC來控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)是否需要產(chǎn)水，或 者是否停止運行，或者停止后續(xù)的DI水循環(huán)系統(tǒng)；本系統(tǒng)整體聯(lián)合調(diào)試，實現(xiàn)智能液位控 制，從而可以有效地實現(xiàn)節(jié)能降耗。本系統(tǒng)的調(diào)試結(jié)果如下1.原系統(tǒng)運行概述超純水制備白天運行，且是連續(xù)運行，手動進行操作，對于系 統(tǒng)的控制很不方便，不能有效的控制能耗及物耗，而且隨意的停止將影響整個系統(tǒng)的穩(wěn)定 性，不利于生產(chǎn)穩(wěn)定，且以前下班時都會將EDI系統(tǒng)停止，運行DI水循環(huán)系統(tǒng)。因為超純水 箱里沒有水時，EDI系統(tǒng)也不會自動啟動，但是當(dāng)檢驗分析有分析任務(wù)時，晚上很容易出現(xiàn) 斷水情況(此種情況以前很少發(fā)生，但是隨著產(chǎn)能的釋放，該情況發(fā)生頻繁)。如果純水制 備下班將EDI系統(tǒng)繼續(xù)運行，則將消耗電和浪費脫鹽水，EDI裝置中設(shè)備功率44KW/H，一晚 將消耗528度電；而EDI產(chǎn)水能力為25m3/h，回收率已達到87%，每小時排放脫鹽水3. 25m3， 一晚將排水56m3。2.現(xiàn)系統(tǒng)運行概述系統(tǒng)進行改進后，系統(tǒng)能單獨進行聯(lián)動也能整體進行聯(lián)動， 只要超純水箱中液位低于中液位下感應(yīng)器時，EDI系統(tǒng)會自動啟動，當(dāng)超純水箱中液位達到 高液位上感應(yīng)器時，EDI系統(tǒng)也會自動停止運行，充分利用資源，達到設(shè)備的高效運行。本系統(tǒng)和原系統(tǒng)對比如下本系統(tǒng)可以實現(xiàn)平均每天EDI系統(tǒng)運行不超過5小時，就能滿足生產(chǎn)所需，這樣每 天可節(jié)約641度電，每年至少可節(jié)約23萬度電；其次，每天可節(jié)約脫鹽水70M3，每年可節(jié)約2. 6萬M3 ；再次，由于運行時間很科學(xué)，有效延長了該超純水設(shè)備系統(tǒng)耗材更新時間，有原來的6個月更新一次，延長至1年半更新一次，而更換一次系統(tǒng)耗材需要花費10 15萬，有 效的為生產(chǎn)廠家節(jié)約成本。
權(quán)利要求
超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，基于PLC控制的EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系統(tǒng)，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)包括與EDI裝置連接的脫鹽水箱和與EDI裝置通過產(chǎn)水閥連接的超純水箱，其特征在于所述脫鹽水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器，所述超純水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器；當(dāng)脫鹽水箱內(nèi)的中液位上感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)根據(jù)超純水箱向PLC反饋的補水信號自動啟動進行產(chǎn)水；當(dāng)脫鹽水箱內(nèi)的低液位感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號，PCL則控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行；當(dāng)超純水箱的液面高于低液位感應(yīng)器時，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)不間斷供給DI水循環(huán)系統(tǒng)超純水使用；當(dāng)超純水箱的液面低于低液位感應(yīng)器時，PCL控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，其特征在于所述脫鹽水箱的具體工 作流程為當(dāng)脫鹽水箱中的高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng)器將有水脈沖信號 反饋到PLC，通過PCL控制脫鹽水箱上的進水閥關(guān)閉；當(dāng)脫鹽水箱中的中液位上感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，中液位上感應(yīng)器將有水脈沖 信號反饋到PLC，PLC根據(jù)超純水箱向PCL反饋的補水信號來控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的自動啟 動，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥開啟；當(dāng)脫鹽水箱中的中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下感應(yīng)器將無水脈沖 信號反饋到PLC，PLC進行調(diào)節(jié)控制，控制脫鹽水進水閥開啟；當(dāng)脫鹽水箱中的低液位感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖信號 反饋到PLC，PLC讓EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止運行，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，其特征在于所述超純水箱的具 體工作流程為當(dāng)中液位下感應(yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，中液位下感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋給 PLC, PLC自動控制啟動EDI產(chǎn)水系統(tǒng)進行產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥開啟；當(dāng)高液位感應(yīng)器感應(yīng)到有水脈沖信號時，高液位感應(yīng)器將有水脈沖信號反饋給PLC， PCL立刻控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)停止產(chǎn)水，EDI裝置和超純水箱之間的產(chǎn)水閥關(guān)閉；當(dāng)?shù)鸵何桓袘?yīng)器感應(yīng)到無水脈沖信號時，低液位感應(yīng)器將無水脈沖信號反饋給PLC， PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)停止運行；直至EDI產(chǎn)水系統(tǒng)產(chǎn)水達到中液位上感應(yīng)器的液面時， 中液位上感應(yīng)器將有水脈沖信號反饋給PLC，PLC控制DI水循環(huán)系統(tǒng)自動啟動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，其特征在于脫鹽水箱與EDI裝置之 間設(shè)置有回水閥。
全文摘要
本發(fā)明公開了超純水節(jié)能控制系統(tǒng)，基于PLC控制的EDI產(chǎn)水系統(tǒng)和DI水循環(huán)系統(tǒng)，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的脫鹽水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器，EDI產(chǎn)水系統(tǒng)的超純水箱內(nèi)設(shè)置有高液位感應(yīng)器、中液位上感應(yīng)器、中液位下感應(yīng)器、低液位感應(yīng)器；PLC根據(jù)脫鹽水箱的液面變化判斷脫鹽水箱是否補水或者停止，并同時控制EDI產(chǎn)水系統(tǒng)是否自動啟動或停止產(chǎn)水；同時PLC根據(jù)超純水箱的液面變化判斷EDI產(chǎn)水系統(tǒng)是否產(chǎn)水，并控制DI水循環(huán)系統(tǒng)的停止和運行；本系統(tǒng)采用整體聯(lián)合調(diào)試，智能液位控制，有效實現(xiàn)節(jié)能降耗；本系統(tǒng)采用EDI和DI系統(tǒng)通過水箱液位來控制系統(tǒng)的自動控制的自動聯(lián)鎖裝置。
文檔編號C02F1/469GK101930240SQ20101025761
公開日2010年12月29日 申請日期2010年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月19日
發(fā)明者丁杰, 徐文龍, 陳少華, 饒堅 申請人:天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司