專利名稱：一種單晶硅片清洗用水的回收利用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單晶硅片清洗用水的回收利用方法。
背景技術(shù)：
目前，在單晶硅片的生產(chǎn)過程中，需要用水進(jìn)行清洗，通常情況下，一般要經(jīng)過自 來水超洗一自來水鼓泡超洗一藥品+純水超洗第一次一藥品+純水超洗第二次一純水超洗 第一次一純水超洗第二次一純水超洗第三次一純水超洗第四次，總共要經(jīng)過八道用水，每 道用水完畢后均排放掉，且純水需要通過制水設(shè)備制得，其分離出的濃水也要排放掉，這不 但需要消耗大量的水資源，而且排放的越多，給環(huán)境帶來不利的影響越大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供能節(jié)約和回收利用水資源，有利于環(huán)境保護(hù)的一種單晶硅片 清洗用水的回收利用方法。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是一種單晶硅片清洗用水的回收利用方法，其單晶硅片 的清洗需要經(jīng)過超洗(第一道)一鼓泡超洗(第二道)一藥品+純水超洗第一次(第三 道)一藥品+純水超洗第二次(第四道)一純水超洗第一次(第五道)一純水超洗第二次 (第六道)一純水超洗第三次(第七道)一純水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制 水設(shè)備將自來水分離成純水和濃水，其特征在于把純水超洗第三(第七道)、純水超洗第四 次(第八道)后的排放水回收，并與濃水混合后，該混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然 后用于超洗(第一道)，之后排放處理，也可以分別用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一 道)，再各自排放處理；或是將上述所制得的濃水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超 洗(第一道)，之后排放處理，也可以分別用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各 自排放處理。采用本發(fā)明，不僅可節(jié)約大量用水，節(jié)省成本，也可減少廢水排放，有利于環(huán)保。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。實(shí)施例一1、單晶硅片的清洗工藝超洗一鼓泡超洗一藥品+純水超洗第一次一藥品+純水 超洗第二次一純水超洗第一次一純水超洗第二次一純水超洗第三次一純水超洗第四次，2、先利用制水設(shè)備，將自來水分離成純水和濃水。3、將純水分別通過不同管道，用于藥品+純水超洗第一次(第三道)、藥品+純水 超洗第二次(第四道)、純水超洗第一次(第五道)、純水超洗第二次(第六道)、純水超洗第 三次(第七道)、純水超洗第四次(第八道)。然后，對(duì)藥品+純水超洗第一次(第三道)、 藥品+純水超洗第二次(第四道)、純水超洗第一次(第五道)、純水超洗第二次(第六道) 的用水排放處理。
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4、將之前所述的純水超洗第三次(第七道)和純水超洗第四次(第八道)的用水 回收，與濃水進(jìn)行混合后，讓混合水先進(jìn)入硅片清洗的鼓泡超洗(第二道)，然后再用于超 洗(第一道)，之后排放處理?；蚴菍⒒旌纤謩e用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一 道)，再各自排放處理。實(shí)施例二1、單晶硅片的清洗工藝超洗一鼓泡超洗一藥品+純水超洗第一次一藥品+純水 超洗第二次一純水超洗第一次一純水超洗第二次一純水超洗第三次一純水超洗第四次，

2、先利用制水設(shè)備，將自來水分離成純水和濃水。3、將純水分別通過不同管道，用于藥品+純水超洗第一次(第三道)、藥品+純水 超洗第二次(第四道)、純水超洗第一次(第五道)、純水超洗第二次(第六道)、純水超洗第 三次(第七道)、純水超洗第四次(第八道)。然后，對(duì)藥品+純水超洗第一次(第三道)、 藥品+純水超洗第二次(第四道)、純水超洗第一次(第五道)、純水超洗第二次(第六道) 的用水排放處理。4、將之前所述的濃水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之 后排放處理處理。或是將之前所述的濃水分別用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)， 再各自排放處理。
權(quán)利要求
1. 一種單晶硅片清洗用水的回收利用方法，其單晶硅片的清洗需要經(jīng)過超洗(第一 道)一鼓泡超洗(第二道)一藥品+純水超洗第一次(第三道)一藥品+純水超洗第二次 (第四道)一純水超洗第一次(第五道)一純水超洗第二次(第六道)一純水超洗第三次 (第七道)一純水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制水設(shè)備將自來水分離成純水和 濃水，其特征在于把純水超洗第三(第七道)、純水超洗第四次(第八道)后的排放水回收， 并與濃水混合后，該混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排 放處理，也可以分別用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放處理；或是將 上述所制得的濃水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放處理， 也可以分別用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放處理。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單晶硅片清洗用水的回收利用方法，其單晶硅片的清洗需要經(jīng)過超洗→鼓泡超洗→藥品+純水超洗第一次→藥品+純水超洗第二次→純水超洗第一次→純水超洗第二次→純水超洗第三次→純水超洗第四次，且其中需要利用制水設(shè)備將自來水分離成純水和濃水；只要把上述的純水超洗第三、純水超洗第四次后的排放水回收，并與濃水混合后，該混合水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放處理，也可以分別用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放處理；或是將上述所制得的濃水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放處理，也可以分別用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放處理。采用本發(fā)明，不僅可節(jié)約大量用水，節(jié)省成本，也可減少廢水排放，有利于環(huán)保。
文檔編號(hào)C02F1/00GK102001715SQ20101051926
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月23日
發(fā)明者余城偉, 徐增宏, 方明游, 王土軍 申請(qǐng)人:浙江硅宏電子科技有限公司