單晶硅用水供給系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種單晶硅用水供給系統(tǒng)，包括多介質過濾器、活性碳過濾器、水質軟化器、一級RO裝置、中間水箱、連續(xù)電子除鹽裝置以及總有機碳分析儀，多介質過濾器的輸出端與活性碳過濾器的輸入端連接，活性碳過濾器的輸出端與水質軟化器的輸入端連接，水質軟化器的輸出端與一級RO裝置的輸入端連接，一級RO裝置的輸出端與中間水箱的輸入端連接，中間水箱的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端與總有機碳分析儀的輸入端連接。本實用新型能夠提高原水的水質，適用于水質要求高的工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)。
【專利說明】單晶硅用水供給系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本實用新型涉一種單晶硅用水供給系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在冶金、石化、電子行業(yè)中，產(chǎn)品生產(chǎn)的原料用水、工藝用水或成品沖洗用水若直接采用原水或一般處理工藝，不能滿足需求。針對這些行業(yè)用水量大、水質要求高的情況，必須對原水進行相應的處理。
【發(fā)明內容】
[0003]針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種單晶硅用水供給系統(tǒng)，本實用新型能夠提高原水的水質，適用于水質要求高的工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)。
[0004]解決上述技術問題的技術方案如下:
[0005]單晶硅用水供給系統(tǒng)，包括多介質過濾器、活性碳過濾器、水質軟化器、一級RO裝置、中間水箱、連續(xù)電子除鹽裝置以及總有機碳分析儀，多介質過濾器的輸出端與活性碳過濾器的輸入端連接，活性碳過濾器的輸出端與水質軟化器的輸入端連接，水質軟化器的輸出端與一級RO裝置的輸入端連接，一級RO裝置的輸出端與中間水箱的輸入端連接，中間水箱的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端與總有機碳分析儀的輸入端連接。
[0006]還包括氮氣保護水箱、微孔過濾器，氮氣保護水箱的輸入端連接于連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端，氮氣保護水箱的輸出端與微孔過濾器的輸入端連接。
[0007]還包括一個精混床，該精混床連接于氮氣保護水箱和微孔過濾器之間。
[0008]采用了上述方案，本實用新型通過多介質過濾器、活性碳過濾器、水質軟化器、一級RO裝置、連續(xù)電子除鹽裝置對原水進行處理后，使得水質大幅度得到提高，能夠滿足單晶硅生產(chǎn)的需求。
[0009]本實用新型不但滿足單晶硅的生產(chǎn)，而且還適用于涂裝、藥品、精密電子、光伏電子、表面清洗等水質要求極高的工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)也同樣適用，具有應用范圍廣的特點。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的單晶硅用水供給系統(tǒng)的結構示意圖；
[0011]附圖中，I為多介質過濾器，2為活性碳過濾器，3為水質軟化器，4為一級RO裝置，5為中間水箱，6為連續(xù)電子除鹽裝置，7為總有機碳分析儀，8為氮氣保護水箱，8為微孔過濾器，9為微孔過濾器，10為精混床。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本實用新型做進一步說明。
[0013]參照圖1，本實用新型的單晶硅用水供給系統(tǒng)，包括多介質過濾器1、活性碳過濾器2、水質軟化器3、一級RO裝置4、中間水箱5、連續(xù)電子除鹽裝置6以及總有機碳分析儀
7。多介質過濾器I的輸出端與活性碳過濾器2的輸入端連接，活性碳過濾器2的輸出端與水質軟化器3的輸入端連接，水質軟化器3的輸出端與一級RO裝置4的輸入端連接，一級RO裝置4的輸出端與中間水箱5的輸入端連接，中間水箱5的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置6的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置6的輸出端與總有機碳分析儀7的輸入端連接。還包括氮氣保護水箱8、微孔過濾器9，氮氣保護水箱8的輸入端連接于連續(xù)電子除鹽裝置7的輸出端，氮氣保護水箱8的輸出端與微孔過濾器9的輸入端連接。還包括一個精混床10，該精混床10連接于氮氣保護水箱8和微孔過濾器9之間。
【權利要求】
1.一種單晶硅用水供給系統(tǒng)，其特征在于:包括多介質過濾器、活性碳過濾器、水質軟化器、一級RO裝置、中間水箱、連續(xù)電子除鹽裝置以及總有機碳分析儀，多介質過濾器的輸出端與活性碳過濾器的輸入端連接，活性碳過濾器的輸出端與水質軟化器的輸入端連接，水質軟化器的輸出端與一級RO裝置的輸入端連接，一級RO裝置的輸出端與中間水箱的輸入端連接，中間水箱的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端與總有機碳分析儀的輸入端連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅用水供給系統(tǒng)，其特征在于:還包括氮氣保護水箱、微孔過濾器，氮氣保護水箱的輸入端連接于連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端，氮氣保護水箱的輸出端與微孔過濾器的輸入端連接。
3.根據(jù)權利要求2所述的單晶硅用水供給系統(tǒng)，其特征在于:還包括一個精混床，該精混床連接于氮氣保護水箱和微孔過濾器之間。
【文檔編號】C02F1/44GK203728673SQ201320756625
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年11月25日 優(yōu)先權日:2013年11月25日
【發(fā)明者】彭劍剛 申請人:常州市江南環(huán)保設備有限公司