本發(fā)明涉及玻璃基板技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種microled玻璃基板超聲波清洗方法。
背景技術(shù)：
玻璃基板清洗是microled液晶玻璃制程中重復(fù)使用頻率最高的步驟，在每一道制程步驟之前都必須將玻璃基板表面清洗干凈，以去除污染物，避免原生氧化物薄膜之生成，隨著玻璃基板的尺寸越來越大，對基板表面的潔凈度要求也不斷提高。玻璃基板洗凈的目的在于清除基板表面的污垢的同時，必須確?；逶谙磧敉瓿珊笃潆娦詤?shù)及特性，確保元件的品質(zhì)與可靠度。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種microled玻璃基板超聲波清洗方法。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種microled玻璃基板超聲波清洗方法，包括以下步驟：
(1)將microled玻璃基板通過傳送機將待清洗的microled玻璃基板送入超聲波清洗槽；
(2)向上述超聲筆清洗槽中加入清洗液至待清洗的microled玻璃基板完全浸沒在超聲波清洗槽的清洗液內(nèi)；通過第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對microled玻璃基板進行超聲波清洗；
(3)將上述經(jīng)清洗液清洗過的microled玻璃基板放入超聲波清洗機中，用去離子水進行超聲波清洗，水溫控制在40-50℃，清洗10-15min；再次用去離子水對玻璃基板進行二次超聲清洗，清洗時間為15-20min，清洗溫度為40-50℃。
(4)將將清洗過的microled玻璃基板通過傳送機從超聲波清洗槽運送出來。
所述第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為60khz與90khz。
所述超聲波清洗液是正戊醇和無水乙醇按體積比3：2混合而成。
所述去離子水的電阻率為7-9mω·cm。
所述玻璃基板與超聲波清洗槽水平面之間的夾角為30-45°。
所述正戊醇的質(zhì)量濃度大于99.9％。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過在超聲波清洗槽設(shè)置不同頻率的超聲波頻率發(fā)生器，每個頻率波段的超聲波頻率發(fā)生器對應(yīng)一定范圍粒徑的顆粒進行清洗，不需更換清洗槽，縮短清洗制程時間，節(jié)約了成本，且microled玻璃基板相對于該些超聲波頻率發(fā)生器傾斜設(shè)置，更有效的清除附著于microled玻璃基板的顆粒；本發(fā)明的清洗方法清洗出的玻璃無水印，無污點，能充分滿足液microled玻璃基板后續(xù)工作需要。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
實施例一種microled玻璃基板超聲波清洗方法，包括以下步驟：
(1)將microled玻璃基板通過傳送機將待清洗的microled玻璃基板送入超聲波清洗槽；
(2)向上述超聲筆清洗槽中加入清洗液至待清洗的microled玻璃基板完全浸沒在超聲波清洗槽的清洗液內(nèi)；通過第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對microled玻璃基板進行超聲波清洗；
(3)將上述經(jīng)清洗液清洗過的microled玻璃基板放入超聲波清洗機中，用去離子水進行超聲波清洗，水溫控制在40-50℃，清洗10-15min；再次用去離子水對玻璃基板進行二次超聲清洗，清洗時間為15-20min，清洗溫度為40-50℃。
(4)將將清洗過的microled玻璃基板通過傳送機從超聲波清洗槽運送出來。
所述第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為60khz與90khz。
所述超聲波清洗液是正戊醇和無水乙醇按體積比3：2混合而成。
所述去離子水的電阻率為7-9mω·cm。
所述玻璃基板與超聲波清洗槽水平面之間的夾角為30-45°。
所述正戊醇的質(zhì)量濃度大于99.9％。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。