本技術(shù)涉及電子化學(xué)品，具體為一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置。

背景技術(shù)：

1、超純電子化學(xué)品是半導(dǎo)體工業(yè)重要的常用試劑。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，超純電子化學(xué)品的市場需求也在高速增長，同時對品質(zhì)要求也越來越高。我國超純電子化學(xué)品研究生產(chǎn)起步較晚，國內(nèi)超純電子化學(xué)品生產(chǎn)廠家雖已開始布局半導(dǎo)體領(lǐng)域的電子級超純電子化學(xué)品，但目前未有統(tǒng)一的、有效的清潔裝置，其不規(guī)范的取樣流程和或不合理的選材，嚴(yán)重影響后續(xù)超純電子化學(xué)品再次取樣對產(chǎn)品產(chǎn)生的污染，從而影響品質(zhì)判定。

2、因此，本專利著重從取樣器內(nèi)部清洗的密閉、污染源的規(guī)避等來徹底解決，由于取樣器清洗不規(guī)范和或清洗時選用材質(zhì)的不合理性而造成的后續(xù)超純電子化學(xué)品品質(zhì)判定誤導(dǎo)的弊端。保障超純電子化學(xué)品生產(chǎn)廠家在批量取樣后，對取樣器潔凈清洗的使用需求，以促進我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的超純電子化學(xué)品穩(wěn)步發(fā)展。

3、現(xiàn)有技術(shù)存在以下問題：

4、1、現(xiàn)有的清洗裝置，清洗的環(huán)境開放式，無法保障取樣器內(nèi)部的潔凈；

5、2、現(xiàn)有的清洗裝置，清洗材料的選擇存在雜質(zhì)析出問題，嚴(yán)重影響后續(xù)再取樣對產(chǎn)品品質(zhì)的判定。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，解決了現(xiàn)今存在的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，包括底板和取樣器，所述底板是頂部設(shè)有支撐面板和增壓泵以及洗滌箱，所述取樣器的兩端分別設(shè)有第一隔膜閥和第二隔膜閥，所述支撐面板上設(shè)有兩組固定環(huán)和固定塊，兩組所述固定環(huán)上分別設(shè)有進氣管和出氣管，所述進氣管上設(shè)有第一球閥，所述出氣管上設(shè)有第二球閥，所述固定塊上設(shè)有卡扣，所述第一隔膜閥和第二隔膜閥的內(nèi)部分別設(shè)有隔膜墊片。

3、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐面板為非金屬潔凈材料結(jié)構(gòu)面板。

4、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述取樣器為密閉管道材質(zhì)且為單回路設(shè)置，所述第一隔膜閥和第二隔膜閥分別焊接在取樣器的兩端，所述第一隔膜閥和第二隔膜閥以及隔膜墊片為ep級非金屬材質(zhì)。

5、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述固定環(huán)、固定塊、卡扣、固定桿為非金屬材質(zhì)，所述固定塊對應(yīng)連接口的頂部固定安裝在支撐面板上。

6、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一球閥和第二球閥分別利用直通變徑連接在進氣管和出氣管上，所述第一球閥和第二球閥連接管徑為dn，所述第一球閥和第二球閥為ep級非金屬材質(zhì)。

7、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述進氣管和出氣管的一端分別固定安裝連接口，所述進氣管的另一端與增壓泵的輸出端固定連接，所述出氣管的另一端與洗滌箱的內(nèi)部相連通。

8、作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述卡扣的一端鉸接安裝在固定塊上，所述卡扣的另一端螺紋安裝固定桿，所述固定塊對應(yīng)固定桿的位置開設(shè)有螺紋槽。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，具備以下有益效果：

10、1、該一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，通過將操作者通過將本裝置置于class4的潔凈環(huán)境中，并通過增壓泵對取樣器進行連續(xù)憋壓式清洗，使取樣器容器內(nèi)部到達潔凈清洗的效果，從而避免了對空清洗產(chǎn)生的污染，以及對使用材質(zhì)的限制，解決了以往裝置因清洗方式、環(huán)境以及材質(zhì)選取不合理而造成對后續(xù)取樣品質(zhì)判定影響的問題。

11、2、該一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，啟動增壓泵打開第一球閥進行氣體增壓，從而使增壓的氣體充滿取樣器的內(nèi)部，在保持一定時間后，通過打開第二球閥將對取樣器內(nèi)部的氣體進行泄掉，并同通過出氣管輸送至洗滌箱的內(nèi)部并對其進行凈化，在進行反復(fù)重復(fù)數(shù)次后，以達到清洗目的，解決了以往裝置存在清洗不潔凈問題。

技術(shù)特征：

1.一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：包括底板(1)和取樣器(3)，所述底板(1)是頂部設(shè)有支撐面板(2)和增壓泵(8)以及洗滌箱(9)，所述取樣器(3)的兩端分別設(shè)有第一隔膜閥(4)和第二隔膜閥(5)，所述支撐面板(2)上設(shè)有兩組固定環(huán)(10)和固定塊(12)，兩組所述固定環(huán)(10)上分別設(shè)有進氣管(6)和出氣管(7)，所述進氣管(6)上設(shè)有第一球閥(15)，所述出氣管(7)上設(shè)有第二球閥(16)，所述固定塊(12)上設(shè)有卡扣(13)，所述第一隔膜閥(4)和第二隔膜閥(5)的內(nèi)部分別設(shè)有隔膜墊片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述支撐面板(2)為非金屬潔凈材料結(jié)構(gòu)面板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述取樣器(3)為密閉管道材質(zhì)且為單回路設(shè)置，所述第一隔膜閥(4)和第二隔膜閥(5)分別焊接在取樣器(3)的兩端，所述第一隔膜閥(4)和第二隔膜閥(5)以及隔膜墊片為ep級非金屬材質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述固定環(huán)(10)、固定塊(12)、卡扣(13)、固定桿(14)為非金屬材質(zhì)，所述固定塊(12)對應(yīng)連接口(11)的頂部固定安裝在支撐面板(2)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述第一球閥(15)和第二球閥(16)分別利用直通變徑連接在進氣管(6)和出氣管(7)上，所述第一球閥(15)和第二球閥(16)連接管徑為dn(20)，所述第一球閥(15)和第二球閥(16)為ep級非金屬材質(zhì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述進氣管(6)和出氣管(7)的一端分別固定安裝連接口(11)，所述進氣管(6)的另一端與增壓泵(8)的輸出端固定連接，所述出氣管(7)的另一端與洗滌箱(9)的內(nèi)部相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，其特征在于：所述卡扣(13)的一端鉸接安裝在固定塊(12)上，所述卡扣(13)的另一端螺紋安裝固定桿(14)，所述固定塊(12)對應(yīng)固定桿(14)的位置開設(shè)有螺紋槽。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種超純電子化學(xué)品取樣器密閉清洗裝置，包括底板和取樣器，底板是頂部設(shè)有支撐面板和增壓泵以及洗滌箱，取樣器的兩端分別設(shè)有第一隔膜閥和第二隔膜閥，支撐面板上設(shè)有兩組固定環(huán)和固定塊，兩組固定環(huán)上分別設(shè)有進氣管和出氣管，進氣管上設(shè)有第一球閥，出氣管上設(shè)有第二球閥，固定塊上設(shè)有卡扣，本技術(shù)通過將本裝置置于CLASS4的潔凈環(huán)境中，并通過增壓泵對取樣器進行連續(xù)憋壓式清洗，使取樣器容器內(nèi)部到達潔凈清洗的效果，從而避免了對空清洗產(chǎn)生的污染，以及對使用材質(zhì)的限制，解決了以往裝置因清洗方式、環(huán)境以及材質(zhì)選取不合理而造成對后續(xù)取樣品質(zhì)判定影響的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：楊昊,白圣玉,馬嘉宸,周游,孫康康
受保護的技術(shù)使用者：弘元能源科技(包頭)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231128
技術(shù)公布日：2024/8/20