本發(fā)明屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)，具體為一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體剝離液，指的是在半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，光刻環(huán)節(jié)所使用的一種清除用溶液。在光刻環(huán)節(jié)中，當(dāng)硅片完成曝光步驟后，若需要更換不同的光刻圖案，就需要使用剝離液來將現(xiàn)有的光刻膠進(jìn)行清除。在使用剝離液時(shí)，首先將剝離液均勻的涂覆在硅片表面，隨后將涂覆后的硅片浸泡在適當(dāng)?shù)臏囟认?，隨后使用去離子水等清洗液清洗硅片，以去除殘留的剝離液和光刻膠，此時(shí)剝離液廢液中含有多種有機(jī)溶劑和金屬離子，若直接排放會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，同時(shí)會(huì)造成廢液中金屬離子和有機(jī)溶劑的浪費(fèi)，故需要對(duì)剝離液廢液進(jìn)行回收。

2、目前在回收廢液中，主要使用粗濾、調(diào)節(jié)ph值、化學(xué)沉淀、再過濾、精餾的回收流程，這不僅有著回收流程長(zhǎng)的缺點(diǎn)，且在調(diào)節(jié)ph值、化學(xué)沉淀的過程中，為了使ph值調(diào)節(jié)劑和沉淀劑均勻擴(kuò)散，還需要對(duì)廢液進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的攪拌，進(jìn)一步增加了回收所需要的時(shí)間，嚴(yán)重的影響了回收的效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，包括底座和固定安裝在其上的筒體，還包括：

3、所述筒體的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有主軸，所述筒體的內(nèi)底面固定連接有多個(gè)中心對(duì)稱的排渣管，所述排渣管的頂端伸出所述筒體的頂面；

4、攪拌裝置，其包括第三齒輪和多個(gè)主攪拌桿，所述第三齒輪固定套接在所述主軸的外側(cè)面，且其與所述筒體的內(nèi)頂面抵接，所述筒體的內(nèi)底面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有多個(gè)與所述第三齒輪嚙合的第四齒輪，所述主攪拌桿的兩端均固定連接有萬(wàn)向節(jié)，所述主軸的外表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)架，所述滑動(dòng)架位于所述第三齒輪的下方，所述主攪拌桿與所述主軸的軸線平行，其頂端的萬(wàn)向節(jié)固定連接在其上方的所述第四齒輪的底面，其底端的萬(wàn)向節(jié)固定連接在所述滑動(dòng)架的頂面，所述滑動(dòng)架由多層圓盤上下連接組成，所述圓盤的底面開設(shè)有多個(gè)中心對(duì)稱的過水口，所述圓盤的底面鉸接有多個(gè)閉合板，所述閉合板抵接在圓盤的底面時(shí)將對(duì)應(yīng)的過水口封閉。

5、優(yōu)選地，所述排渣管的側(cè)面固定連接有與其內(nèi)部相通的出渣口，所述出渣口位于所述排渣管伸出所述筒體的部分且朝向遠(yuǎn)離主軸的方向。

6、優(yōu)選地，所述排渣管的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有螺旋葉，所述螺旋葉轉(zhuǎn)軸的頂端穿過所述排渣管的頂部，所述排渣管靠近所述筒體內(nèi)底面的側(cè)面開設(shè)有進(jìn)渣口，所述進(jìn)渣口朝向所述主軸，所述螺旋葉的表面開設(shè)有多組防堵孔。

7、優(yōu)選地，還包括傳動(dòng)裝置，其包括固定連接在所述筒體頂面的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸固定套接有第一齒輪，所述主軸的外表面固定套接有與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪，所述主軸和所述螺旋葉的轉(zhuǎn)軸頂端均固定套接有皮帶輪，多個(gè)所述皮帶輪通過皮帶傳動(dòng)連接，使所述主軸通過皮帶帶動(dòng)螺旋葉轉(zhuǎn)動(dòng)。

8、優(yōu)選地，所述主攪拌桿的外表面固定連接有多個(gè)副攪拌桿，所述副攪拌桿的軸線垂直于主攪拌桿的軸線，相鄰的所述主攪拌桿所連接的副攪拌桿的軸線非平行。

9、優(yōu)選地，所述筒體的頂面固定連接有頂蓋，所述出渣口貫穿所述頂蓋的側(cè)面并伸出，所述筒體的底面中心向上升起呈圓臺(tái)狀。

10、優(yōu)選地，所述筒體的側(cè)面固定連接有輸入口，所述筒體的底面固定連接有輸出口。

11、優(yōu)選地，所述第四齒輪底面相連的萬(wàn)向節(jié)固定連接在第四齒輪底面靠近其齒牙的部分，所述第四齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，該所述萬(wàn)向節(jié)繞對(duì)應(yīng)的所述第四齒輪的軸線運(yùn)動(dòng)。

12、本發(fā)明的有益效果如下：

13、1、在本發(fā)明中，通過設(shè)置的攪拌裝置，在啟動(dòng)傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第三齒輪帶動(dòng)第四齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)相連的萬(wàn)向節(jié)移動(dòng)，此時(shí)主攪拌桿帶動(dòng)滑動(dòng)架上下移動(dòng)，此時(shí)主攪拌桿和副攪拌桿在水平方向上對(duì)廢液進(jìn)行攪拌，滑動(dòng)架在垂直方向上對(duì)廢液進(jìn)行攪拌，使廢液內(nèi)的沉淀劑和ph中和劑擴(kuò)散的更均勻，確保對(duì)廢液的處理效果，同時(shí)在滑動(dòng)架上下移動(dòng)的過程中，當(dāng)滑動(dòng)架向上移動(dòng)時(shí)，此時(shí)廢液所提供的阻力使閉合板打開，而在滑動(dòng)架向下移動(dòng)時(shí)，廢液的阻力使閉合板貼合在圓盤的底面，將過水口閉合，使得滑動(dòng)架向下移動(dòng)對(duì)廢液施加的力大于其向上移動(dòng)時(shí)的力，此時(shí)廢液內(nèi)的固形物會(huì)隨著廢液的移動(dòng)向筒體的底部四周移動(dòng)，進(jìn)而使固形物逐漸沉底并進(jìn)入排渣管內(nèi)并被螺旋葉帶出，加快了對(duì)廢液的過濾速度。

14、2、其次，在滑動(dòng)架向上移動(dòng)的過程中，未進(jìn)入排渣管的固形物會(huì)在滑動(dòng)架上移所產(chǎn)生的水流的帶動(dòng)下向上飄起，而隨著滑動(dòng)架向下移動(dòng)，此時(shí)滑動(dòng)架向下推動(dòng)廢液所產(chǎn)生的水流會(huì)使飄起的固形物向上與向主軸的方向移動(dòng)，隨著滑動(dòng)架的持續(xù)上下移動(dòng)，固形物不斷地移動(dòng)，最終隨著水流進(jìn)入排渣管內(nèi)，以確保對(duì)廢水中固形物的過濾效果。

15、3、最后，通過開設(shè)在螺旋葉上的防堵孔，在固形物被螺旋葉運(yùn)輸?shù)倪^程中，滑動(dòng)架不停的上下移動(dòng)使得排渣管內(nèi)的液面高度發(fā)生變化，進(jìn)而使粘附在螺旋葉表面的固形物被水流驅(qū)動(dòng)剝離，防止固形物持續(xù)粘附在螺旋葉的表面，確保對(duì)固形物的過濾效果。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，包括底座(1)和固定安裝在其上的筒體(2)，其特征在于，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述排渣管(25)的側(cè)面固定連接有與其內(nèi)部相通的出渣口(26)，所述出渣口(26)位于所述排渣管(25)伸出所述筒體(2)的部分且朝向遠(yuǎn)離主軸(24)的方向。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述排渣管(25)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有螺旋葉(27)，所述螺旋葉(27)轉(zhuǎn)軸的頂端穿過所述排渣管(25)的頂部，所述排渣管(25)靠近所述筒體(2)內(nèi)底面的側(cè)面開設(shè)有進(jìn)渣口(28)，所述進(jìn)渣口(28)朝向所述主軸(24)，所述螺旋葉(27)的表面開設(shè)有多組防堵孔(29)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：還包括傳動(dòng)裝置(3)，其包括固定連接在所述筒體(2)頂面的電機(jī)(31)，所述電機(jī)(31)的輸出軸固定套接有第一齒輪(32)，所述主軸(24)的外表面固定套接有與所述第一齒輪(32)嚙合的第二齒輪(33)，所述主軸(24)和所述螺旋葉(27)的轉(zhuǎn)軸頂端均固定套接有皮帶輪(34)，多個(gè)所述皮帶輪(34)通過皮帶傳動(dòng)連接，使所述主軸(24)通過皮帶帶動(dòng)螺旋葉(27)轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述主攪拌桿(41)的外表面固定連接有多個(gè)副攪拌桿(46)，所述副攪拌桿(46)的軸線垂直于主攪拌桿(41)的軸線，相鄰的所述主攪拌桿(41)所連接的副攪拌桿(46)的軸線非平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述筒體(2)的頂面固定連接有頂蓋(23)，所述出渣口(26)貫穿所述頂蓋(23)的側(cè)面并伸出，所述筒體(2)的底面中心向上升起呈圓臺(tái)狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述筒體(2)的側(cè)面固定連接有輸入口(21)，所述筒體(2)的底面固定連接有輸出口(22)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，其特征在于：所述第四齒輪(43)底面相連的萬(wàn)向節(jié)(45)固定連接在第四齒輪(43)底面靠近其齒牙的部分，所述第四齒輪(43)旋轉(zhuǎn)時(shí)，該所述萬(wàn)向節(jié)(45)繞對(duì)應(yīng)的所述第四齒輪(43)的軸線運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于半導(dǎo)體剝離液的回收裝置，包括底座和筒體，還包括攪拌裝置和傳動(dòng)裝置。在本發(fā)明中，通過設(shè)置的攪拌裝置，在啟動(dòng)傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，通過傳動(dòng)使主攪拌桿帶動(dòng)滑動(dòng)架上下移動(dòng)，此時(shí)主攪拌桿和副攪拌桿在水平方向上對(duì)廢液進(jìn)行攪拌，滑動(dòng)架在垂直方向上對(duì)廢液進(jìn)行攪拌，使廢液內(nèi)的沉淀劑和pH中和劑擴(kuò)散的更均勻，同時(shí)在滑動(dòng)架上下移動(dòng)的過程中，滑動(dòng)架向下移動(dòng)對(duì)廢液施加的力大于其向上移動(dòng)時(shí)的力，此時(shí)廢液內(nèi)的固形物會(huì)隨著廢液的移動(dòng)向筒體的底部四周移動(dòng)，進(jìn)而使固形物逐漸沉底并進(jìn)入排渣管內(nèi)并被螺旋葉帶出，加快了對(duì)廢液的過濾速度。

技術(shù)研發(fā)人員：湯海銀,劉瑜,王松濤,王亦揚(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州冠禮科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10