本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底，具體涉及一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體顯示襯底在生產(chǎn)制造過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)多道清洗工序，例如化學(xué)清洗、超聲波清洗以及超高壓水洗等?；瘜W(xué)清洗是將半導(dǎo)體顯示襯底浸泡在化學(xué)試劑一段時(shí)間，以達(dá)到清除半導(dǎo)體顯示襯底表面的污垢的清洗方法。但是現(xiàn)有的對(duì)于半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗技術(shù)，通常是將多個(gè)半導(dǎo)體顯示襯底堆疊起來(lái)，并在相鄰的兩個(gè)半導(dǎo)體顯示襯底之間墊上襯墊以便于化學(xué)試劑與半導(dǎo)體襯底接觸。

2、利用這種方式清洗半導(dǎo)體顯示襯底，清洗時(shí)，不僅需要將半導(dǎo)體顯示襯底，一個(gè)一個(gè)地在清洗槽中堆疊起來(lái)，還需要在相鄰的兩個(gè)半導(dǎo)體顯示襯底之間墊上襯墊。而清洗完成后，又需要將半導(dǎo)體顯示襯底和襯墊一個(gè)一個(gè)地從清洗槽中取出，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，最終導(dǎo)致清洗效率較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足，提供一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備。

2、本實(shí)用新型所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，它包括用于浸泡和清洗半導(dǎo)體顯示襯底的清洗箱組件，所述清洗箱組件的一側(cè)下方連接有上下移動(dòng)組件，上下移動(dòng)組件中底座的上方連接有頂推組件；所述上下移動(dòng)組件通過(guò)連接桿與夾持組件相連；所述夾持組件中u形框的內(nèi)部設(shè)置有支撐組件，支撐組件的一端與清洗箱組件中清洗箱的內(nèi)壁相連。

3、進(jìn)一步地，所述清洗箱組件包括清洗箱，所述清洗箱的上方一側(cè)連接有支撐板，支撐板的中間位置設(shè)置有濾網(wǎng)；所述清洗箱的一側(cè)從上至下依次設(shè)置有一個(gè)進(jìn)水口和出水口。

4、進(jìn)一步地，所述上下移動(dòng)組件包括連接在清洗箱側(cè)邊的底座，底座為空心結(jié)構(gòu)，內(nèi)部設(shè)置有電源，其上方連接有第一電動(dòng)伸縮桿，所述第一電動(dòng)伸縮桿的側(cè)邊連接有連接桿，所述連接桿為l形結(jié)構(gòu)。

5、進(jìn)一步地，所述頂推組件包括連接在底座上方的連接柱，所述連接柱的側(cè)邊設(shè)置有第二電動(dòng)伸縮桿，第二電動(dòng)伸縮桿與連接柱相對(duì)一端連接有頂板。

6、進(jìn)一步地，所述夾持組件包括連接在連接桿下方的u形框，u形框的開(kāi)口端與主板相連，所述u形框的中間位置開(kāi)設(shè)有方形孔，所述方形孔內(nèi)設(shè)置有一塊與其間隙滑動(dòng)配合的第一活動(dòng)板，第一活動(dòng)板的外圍固定連接有與其垂直的第二活動(dòng)板，第一活動(dòng)板的一端連接有第三活動(dòng)板，所述第一活動(dòng)板與第三活動(dòng)板相對(duì)的一端貫穿主板，與其間隙滑動(dòng)配合；所述主板與u形框相對(duì)一側(cè)連接有兩排連接板，所述兩排連接板的相對(duì)面上設(shè)置有襯墊。

7、進(jìn)一步地，所述支撐組件包括一端與清洗箱內(nèi)壁相連的兩塊l形板。

8、采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型有益效果為：本實(shí)用新型所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，它采用清洗箱組件、上下移動(dòng)組件、頂推組件、夾持組件和支撐組件的組合安裝，使得該半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備無(wú)需將半導(dǎo)體顯示襯底堆疊在清洗槽中，且襯底在清洗完成后方便取出，提高了清洗效率。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：它包括用于浸泡和清洗半導(dǎo)體顯示襯底的清洗箱組件，所述清洗箱組件的一側(cè)下方連接有上下移動(dòng)組件，上下移動(dòng)組件中底座(201)的上方連接有頂推組件；所述上下移動(dòng)組件通過(guò)連接桿(203)與夾持組件相連；所述夾持組件中u形框(303)的內(nèi)部設(shè)置有支撐組件，支撐組件的一端與清洗箱組件中清洗箱(101)的內(nèi)壁相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗箱組件包括清洗箱(101)，所述清洗箱(101)的上方一側(cè)連接有支撐板(102)，支撐板(102)的中間位置設(shè)置有濾網(wǎng)(105)；所述清洗箱(101)的一側(cè)從上至下依次設(shè)置有一個(gè)進(jìn)水口(103)和出水口(104)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：所述上下移動(dòng)組件包括連接在清洗箱(101)側(cè)邊的底座(201)，底座(201)為空心結(jié)構(gòu)，內(nèi)部設(shè)置有電源，其上方連接有第一電動(dòng)伸縮桿(202)，所述第一電動(dòng)伸縮桿(202)的側(cè)邊連接有連接桿(203)，所述連接桿(203)為l形結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：所述頂推組件包括連接在底座(201)上方的連接柱(401)，所述連接柱(401)的側(cè)邊設(shè)置有第二電動(dòng)伸縮桿(402)，第二電動(dòng)伸縮桿(402)與連接柱(401)相對(duì)一端連接有頂板(403)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：所述夾持組件包括連接在連接桿(203)下方的u形框(303)，u形框(303)的開(kāi)口端與主板(301)相連，所述u形框(303)的中間位置開(kāi)設(shè)有方形孔，所述方形孔內(nèi)設(shè)置有一塊與其間隙滑動(dòng)配合的第一活動(dòng)板(304)，第一活動(dòng)板(304)的外圍固定連接有與其垂直的第二活動(dòng)板(305)，第一活動(dòng)板(304)的一端連接有第三活動(dòng)板(306)，所述第一活動(dòng)板(304)與第三活動(dòng)板(306)相對(duì)的一端貫穿主板(301)，與其間隙滑動(dòng)配合；所述主板(301)與u形框(303)相對(duì)一側(cè)連接有兩排連接板(302)，所述兩排連接板(302)的相對(duì)面上設(shè)置有襯墊(307)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，其特征在于：所述支撐組件包括一端與清洗箱(101)內(nèi)壁相連的兩塊l形板(501)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備，它包括用于浸泡和清洗半導(dǎo)體顯示襯底的清洗箱組件，所述清洗箱組件的一側(cè)下方連接有上下移動(dòng)組件，上下移動(dòng)組件中底座的上方連接有頂推組件；所述上下移動(dòng)組件通過(guò)連接桿與夾持組件相連；所述夾持組件中U形框的內(nèi)部設(shè)置有支撐組件，支撐組件的一端與清洗箱組件中清洗箱的內(nèi)壁相連；它采用清洗箱組件、上下移動(dòng)組件、頂推組件、夾持組件和支撐組件的組合安裝，使得該半導(dǎo)體顯示襯底的化學(xué)清洗設(shè)備無(wú)需將半導(dǎo)體顯示襯底堆疊在清洗槽中，且襯底在清洗完成后方便取出，提高了清洗效率。

技術(shù)研發(fā)人員：武斌,盛偉,姜月
受保護(hù)的技術(shù)使用者：亞賽（無(wú)錫）半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240121
技術(shù)公布日：2024/12/19