本技術(shù)涉及爐管清洗,具體為基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù):
1、爐管是用于晶片擴(kuò)散,使用時(shí)需將裝有晶片的石英舟一起放進(jìn)爐管內(nèi),若爐管內(nèi)不干凈會(huì)影響晶片的trr值、ir值等參數(shù);因此,定期清洗爐管,保證爐管的清潔度,對(duì)晶片的電性有很大的幫助?,F(xiàn)有的爐管清洗主要是通過(guò)人工隔一段時(shí)間手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)爐管,這樣清洗爐管方式清洗效率底,清洗效果差,而且存在安全隱患,造成人力的浪費(fèi),參考中國(guó)專(zhuān)利,申請(qǐng)?zhí)枮椋骸?01920875636.9”的“一種爐管清洗裝置”,該專(zhuān)利解決了現(xiàn)有的裝置主要通過(guò)人工隔一段時(shí)間手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)爐管,這樣清洗爐管方式清洗效率底,清洗效果差,而且存在安全隱患,造成人力的浪費(fèi)的問(wèn)題,但旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)依然存在不便于安裝拆卸的缺陷,對(duì)此我們提出了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)來(lái)解決上述問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),解決了上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。
2、為實(shí)現(xiàn)以上目的,本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),包括主基板與側(cè)基板,所述主基板與側(cè)基板內(nèi)部均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)軸,且驅(qū)動(dòng)軸的端部均插入有傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸的外側(cè)固定套接有多個(gè)傳動(dòng)套環(huán),用于帶動(dòng)爐管轉(zhuǎn)動(dòng);
3、所述主基板的上方設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于帶動(dòng)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)軸運(yùn)行;
4、所述驅(qū)動(dòng)軸的端部開(kāi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)插孔,所述傳動(dòng)軸的端部固定有與驅(qū)動(dòng)插孔相互適配的傳動(dòng)插桿,所述傳動(dòng)軸遠(yuǎn)離傳動(dòng)插桿的端部開(kāi)設(shè)有傳動(dòng)插孔,所述傳動(dòng)軸的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有限位塊。
5、優(yōu)選的,多個(gè)所述傳動(dòng)套環(huán)的外側(cè)均固定套接有傳動(dòng)環(huán)片,且傳動(dòng)環(huán)片的外側(cè)均開(kāi)設(shè)有多個(gè)限位槽,對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述限位槽之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)帶。
6、優(yōu)選的,多個(gè)所述傳動(dòng)套環(huán)的內(nèi)側(cè)均固定安裝有防滑墊片。
7、優(yōu)選的,所述主基板與側(cè)基板內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽,且調(diào)節(jié)槽內(nèi)部均滑動(dòng)安裝有調(diào)節(jié)環(huán)套,所述驅(qū)動(dòng)軸分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)環(huán)套內(nèi)部,所述調(diào)節(jié)環(huán)套的外側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相互嚙合的定位栓,所述主基板與側(cè)基板的內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有滑槽,所述定位栓滑動(dòng)連接在對(duì)應(yīng)的滑槽內(nèi)部。
8、優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含有驅(qū)動(dòng)板架,所述驅(qū)動(dòng)板架固定在主基板的側(cè)面,所述驅(qū)動(dòng)板架的頂面固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端與兩個(gè)驅(qū)動(dòng)軸的端部之間均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)鏈條。
9、優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)板架的外側(cè)固定有側(cè)邊架,且側(cè)邊架內(nèi)部開(kāi)設(shè)有矩形槽,所述矩形槽內(nèi)部滑動(dòng)安裝有鎖緊塊,所述鎖緊塊端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相互嚙合的鎖緊栓,所述鎖緊塊的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有傳動(dòng)桿,所述傳動(dòng)桿的端部轉(zhuǎn)動(dòng)套接有傳動(dòng)鏈輪,所述傳動(dòng)鏈輪與傳動(dòng)鏈條相互嚙合。
10、本實(shí)用新型提供了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下
11、有益效果:
12、(1)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),通過(guò)主基板與側(cè)基板內(nèi)部設(shè)有的驅(qū)動(dòng)軸以及驅(qū)動(dòng)軸端部連接的傳動(dòng)軸,能夠帶動(dòng)槽體內(nèi)部的待清洗爐管轉(zhuǎn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)清理作業(yè),同時(shí)通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸與傳動(dòng)軸的配合,提升了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的拆裝便捷性。
13、(2)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),通過(guò)主基板與側(cè)基板的配合,當(dāng)需要對(duì)不同尺寸的待清洗爐管進(jìn)行清洗時(shí),能夠通過(guò)松動(dòng)定位栓后對(duì)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)軸的間距進(jìn)行調(diào)節(jié),從而能夠適用于對(duì)不同尺寸的爐管進(jìn)行支撐、驅(qū)動(dòng)作業(yè),提升了設(shè)備的適用范圍。
14、(3)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),通過(guò)傳動(dòng)軸外側(cè)套接的傳動(dòng)套環(huán),以及傳動(dòng)套環(huán)之間連接的傳動(dòng)帶,能夠進(jìn)一步的保證傳動(dòng)效果,避免出現(xiàn)打滑的現(xiàn)象,同時(shí)當(dāng)爐體下壓時(shí),能夠使得傳動(dòng)帶受壓向下彎折形變,與爐體的底部相互貼合形成支撐,從而能夠減小兩側(cè)傳動(dòng)套環(huán)的受力,提升了使用壽命。
1.基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),包括主基板(1)與側(cè)基板(2),其特征在于:所述主基板(1)與側(cè)基板(2)內(nèi)部均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)軸(5),且驅(qū)動(dòng)軸(5)的端部均插入有傳動(dòng)軸(6),所述傳動(dòng)軸(6)的外側(cè)固定套接有多個(gè)傳動(dòng)套環(huán)(7),用于帶動(dòng)爐管轉(zhuǎn)動(dòng);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于:多個(gè)所述傳動(dòng)套環(huán)(7)的外側(cè)均固定套接有傳動(dòng)環(huán)片(702),且傳動(dòng)環(huán)片(702)的外側(cè)均開(kāi)設(shè)有多個(gè)限位槽(7021),對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述限位槽(7021)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)帶(703)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于:多個(gè)所述傳動(dòng)套環(huán)(7)的內(nèi)側(cè)均固定安裝有防滑墊片(701)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于:所述主基板(1)與側(cè)基板(2)內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽(9),且調(diào)節(jié)槽(9)內(nèi)部均滑動(dòng)安裝有調(diào)節(jié)環(huán)套(502),所述驅(qū)動(dòng)軸(5)分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)環(huán)套(502)內(nèi)部,所述調(diào)節(jié)環(huán)套(502)的外側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相互嚙合的定位栓(503),所述主基板(1)與側(cè)基板(2)的內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有滑槽(10),所述定位栓(503)滑動(dòng)連接在對(duì)應(yīng)的滑槽(10)內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含有驅(qū)動(dòng)板架(3),所述驅(qū)動(dòng)板架(3)固定在主基板(1)的側(cè)面,所述驅(qū)動(dòng)板架(3)的頂面固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(301),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(301)的輸出端與兩個(gè)驅(qū)動(dòng)軸(5)的端部之間均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)鏈條(8)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)板架(3)的外側(cè)固定有側(cè)邊架(4),且側(cè)邊架(4)內(nèi)部開(kāi)設(shè)有矩形槽(401),所述矩形槽(401)內(nèi)部滑動(dòng)安裝有鎖緊塊(402),所述鎖緊塊(402)端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相互嚙合的鎖緊栓(4021),所述鎖緊塊(402)的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有傳動(dòng)桿(4022),所述傳動(dòng)桿(4022)的端部轉(zhuǎn)動(dòng)套接有傳動(dòng)鏈輪(4023),所述傳動(dòng)鏈輪(4023)與傳動(dòng)鏈條(8)相互嚙合。