本技術(shù)涉及排氣裝置的，尤其涉及一種排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、清洗設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中廣泛被使用，而排風(fēng)機(jī)構(gòu)是設(shè)備的重要組成部分。將管路中的氣體通過排風(fēng)結(jié)構(gòu)排除，使得管路壓力保持在安全范圍內(nèi)，保證設(shè)備的安全使用。排風(fēng)的效率會(huì)影響設(shè)備的潔凈與安全，而氣體的液化結(jié)晶是影響排風(fēng)效率的重要因素。結(jié)晶體會(huì)導(dǎo)致排風(fēng)機(jī)構(gòu)內(nèi)的空間不斷被壓縮，從而影響設(shè)備的排風(fēng)效率。受設(shè)備內(nèi)部的空間限制，無法使用專門的排風(fēng)設(shè)備來實(shí)現(xiàn)排風(fēng)功能。所以需要設(shè)備專門的排風(fēng)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于清洗設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為：

3、一種排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，包括：

4、排風(fēng)腔體，所述排風(fēng)腔體連接外部抽氣裝置，包括底板及側(cè)板，所述側(cè)板包括平行設(shè)置的靴形側(cè)板，及垂直于所述靴形側(cè)板設(shè)置的直側(cè)板和折側(cè)板，所述靴形側(cè)板、所述直側(cè)板及所述折側(cè)板均垂直連接于所述底板并構(gòu)成一靴狀的排風(fēng)腔體；其中，

5、所述折側(cè)板包括自下而上設(shè)置的第一側(cè)板、第二側(cè)板及第三側(cè)板，所述第一側(cè)板和所述第三側(cè)板平行于所述直側(cè)板設(shè)置，所述第二側(cè)板呈斜坡面，且所述第二側(cè)板和所述第三側(cè)板的連接處設(shè)置有第一擋板；

6、所述直側(cè)板的底部設(shè)置有進(jìn)氣口；

7、所述底板上自所述折側(cè)板至所述直側(cè)板依此設(shè)置有柵板、第二擋板及出水口；

8、所述第一擋板和所述第二擋板設(shè)置角度相互配合，在所述排風(fēng)腔體中形成開放的隔間，以防止所述進(jìn)氣口和所述柵板進(jìn)入的酸氣回流，及保證液化的酸氣自所述出水口流出，避免結(jié)晶。

9、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，所述第一擋板與所述第三側(cè)板的夾角為135度，所述第二擋板垂直于所述底板。

10、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，所述第二側(cè)板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積的2/3。

11、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，所述第二側(cè)板和所述第一擋板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積。

12、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，所述直側(cè)板的底部還設(shè)置有進(jìn)水口，通過所述進(jìn)水口進(jìn)入的流動(dòng)的水帶動(dòng)液化的酸氣從所述出水口流出。

13、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，還包括固定板，所述固定板通過法蘭接口設(shè)置在所述排風(fēng)腔體的頂部，所述排風(fēng)腔體通過所述法蘭接口連接外部抽氣裝置。

14、上述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其中，所述第三側(cè)板上設(shè)置有壓差計(jì)接口，用于連接壓差計(jì)，監(jiān)測(cè)所述排風(fēng)腔體的壓差值。

15、一種清洗裝置，包括上述任一項(xiàng)所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)。

16、本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的積極效果是：

17、(1)本實(shí)用新型能夠防止液化的酸氣不會(huì)從柵板處回流，從而保證機(jī)臺(tái)不會(huì)被污染。

18、(2)本實(shí)用新型不僅具備排風(fēng)功能，還具有自清潔功能，保證設(shè)備排風(fēng)效。

19、(3)本實(shí)用新型具備檢測(cè)系統(tǒng)，時(shí)刻檢測(cè)內(nèi)部是否有堵塞現(xiàn)象，保證設(shè)備的安全性。

20、(4)本實(shí)用新型可以按需集成于清洗設(shè)備內(nèi)部，不占據(jù)另外的空間，是設(shè)備更具競(jìng)爭(zhēng)力。

21、(5)本實(shí)用新型可以按需設(shè)置不同數(shù)量及口徑的進(jìn)出口，結(jié)構(gòu)適用性更廣。

技術(shù)特征：

1.一種排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一擋板與所述第三側(cè)板的夾角為135度，所述第二擋板垂直于所述底板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二側(cè)板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積的2/3。

4.根據(jù)權(quán)利要求3中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二側(cè)板和所述第一擋板在所述底板的投影面積至少覆蓋所述柵板的面積。

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述直側(cè)板的底部還設(shè)置有進(jìn)水口，通過所述進(jìn)水口進(jìn)入的流動(dòng)的水帶動(dòng)液化的酸氣從所述出水口流出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括固定板，所述固定板通過法蘭接口設(shè)置在所述排風(fēng)腔體的頂部，所述排風(fēng)腔體通過所述法蘭接口連接外部抽氣裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三側(cè)板上設(shè)置有壓差計(jì)接口，用于連接壓差計(jì)，監(jiān)測(cè)所述排風(fēng)腔體的壓差值。

8.一種清洗裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種排風(fēng)水洗結(jié)構(gòu)及清洗裝置，包括：排風(fēng)腔體，排風(fēng)腔體連接外部抽氣裝置，包括底板及側(cè)板，側(cè)板包括平行設(shè)置的靴形側(cè)板，及垂直于靴形側(cè)板設(shè)置的直側(cè)板和折側(cè)板，靴形側(cè)板、直側(cè)板及折側(cè)板均垂直連接于底板并構(gòu)成一靴狀的排風(fēng)腔體；其中，折側(cè)板包括自下而上設(shè)置的第一側(cè)板、第二側(cè)板及第三側(cè)板，第一側(cè)板和第三側(cè)板平行于直側(cè)板設(shè)置，第二側(cè)板呈斜坡面，且第二側(cè)板和第三側(cè)板的連接處設(shè)置有第一擋板；直側(cè)板的底部設(shè)置有進(jìn)氣口；底板上自折側(cè)板至直側(cè)板依此設(shè)置有柵板、第二擋板及出水口；本技術(shù)能夠防止液化的酸氣不會(huì)從柵板處回流，從而保證機(jī)臺(tái)不會(huì)被污染。

技術(shù)研發(fā)人員：徐帥華,劉大威,徐銘,李盼盼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240205
技術(shù)公布日：2024/11/18