本技術(shù)涉及半導體，具體是一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置。

背景技術(shù)：

1、半導體(semiconductor)指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領域都有應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯(lián)，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，硅是各種半導體材料應用中最具有影響力的一種。

2、在半導體工藝中流動介質(zhì)一般具有腐蝕性且易凝結(jié)，長期工作會使閥門腔室或排管內(nèi)壁附著生成物，堵塞嚴重時會影響介質(zhì)流動。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，通過抽氣裝置的設置將外部的氮氣過濾并進行壓縮，通過高壓罐的設置實現(xiàn)對抽氣裝置過濾壓縮后的氮氣進行存儲，通過吹氣裝置的設置將熱氮氣吹至閥門腔體，持續(xù)吹掃閥門腔體，使得流動介質(zhì)不易凝結(jié)，延長維修周期。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，包括底座，所述底座頂部的右側(cè)設置有抽氣裝置，所述底座的頂部且位于抽氣裝置的左側(cè)固定安裝有兩個安裝架，所述安裝架的頂部固定安裝有高壓罐，所述底座的頂部且位于高壓罐的左側(cè)設置有吹氣裝置；

4、所述吹氣裝置包括設置于底座左側(cè)的三通閥、固定安裝于底座頂部的加熱箱、連通于高壓罐左側(cè)的連接端口、連通于連接端口左側(cè)的兩個電動閥和固定安裝于三通閥頂部的電動推桿，所述電動推桿的輸出端貫至三通閥的內(nèi)部并與三通閥的閥芯頂部固定連接；

5、兩個所述電動閥的一側(cè)分別連通有第三導管和第四導管，所述第三導管的一側(cè)與三通閥一側(cè)的進氣口連通，所述第四導管的一側(cè)與加熱箱的一側(cè)連通；

6、所述加熱箱的一側(cè)連通有第二導管，所述第二導管的一側(cè)與三通閥的另一側(cè)進氣口連通。

7、作為本實用新型再進一步的方案：所述三通閥的一側(cè)固定安裝有l(wèi)形固定架，所述l形固定架的頂部及側(cè)面均開設有兩個通腔。

8、作為本實用新型再進一步的方案：所述抽氣裝置包括固定安裝于底座頂部的底板、固定安裝于底板前側(cè)的安裝箱、設置于安裝箱頂部的安裝板和固定安裝于底板頂部且位于高壓罐右側(cè)的空壓機，所述空壓機的進氣端口與安裝箱的后側(cè)連通。

9、作為本實用新型再進一步的方案：所述安裝箱的前側(cè)連通有抽氣管，所述抽氣管貫穿安裝箱并延伸至安裝箱的內(nèi)部，所述安裝板的底部固定安裝有均勻分布的濾網(wǎng)，所述濾網(wǎng)的外側(cè)邊緣與安裝箱的內(nèi)腔接觸；所述安裝板的底部固定安裝有橡膠墊，所述橡膠墊的底部與安裝箱的頂部接觸，所述安裝板的內(nèi)部穿插設置有螺栓，所述螺栓的底部貫穿至安裝箱的內(nèi)部并與安裝箱之間通過螺紋轉(zhuǎn)動連接。

10、作為本實用新型再進一步的方案：所述空壓機的出氣端口連通有第一導管，所述第一導管的左側(cè)與高壓罐的頂部連通。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

12、1、通過抽氣裝置的設置將外部的氮氣過濾并進行壓縮，通過高壓罐的設置實現(xiàn)對抽氣裝置過濾壓縮后的氮氣進行存儲，通過吹氣裝置的設置將熱氮氣吹至閥門腔體，持續(xù)吹掃閥門腔體，使得流動介質(zhì)不易凝結(jié)，延長維修周期。

13、2、通過安裝箱、空壓機和濾網(wǎng)之間的配合實現(xiàn)對外部的氮氣進行過濾加壓便于后續(xù)的使用，通過抽氣管的設置將外部的氮氣送至安裝箱的內(nèi)部，通過濾網(wǎng)的外側(cè)與安裝箱的內(nèi)腔接觸增加密封性使得氮氣通過濾網(wǎng)的內(nèi)部流動便于對其進行過濾。

技術(shù)特征：

1.一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)頂部的右側(cè)設置有抽氣裝置(4)，所述底座(1)的頂部且位于抽氣裝置(4)的左側(cè)固定安裝有兩個安裝架(2)，所述安裝架(2)的頂部固定安裝有高壓罐(3)，所述底座(1)的頂部且位于高壓罐(3)的左側(cè)設置有吹氣裝置(5)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，其特征在于：所述三通閥(504)的一側(cè)固定安裝有l(wèi)形固定架(506)，所述l形固定架(506)的頂部及側(cè)面均開設有兩個通腔(507)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，其特征在于：所述抽氣裝置(4)包括固定安裝于底座(1)頂部的底板(401)、固定安裝于底板(401)前側(cè)的安裝箱(403)、設置于安裝箱(403)頂部的安裝板(402)和固定安裝于底板(401)頂部且位于高壓罐(3)右側(cè)的空壓機(405)，所述空壓機(405)的進氣端口與安裝箱(403)的后側(cè)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，其特征在于：所述安裝箱(403)的前側(cè)連通有抽氣管(404)，所述抽氣管(404)貫穿安裝箱(403)并延伸至安裝箱(403)的內(nèi)部，所述安裝板(402)的底部固定安裝有均勻分布的濾網(wǎng)(408)，所述濾網(wǎng)(408)的外側(cè)邊緣與安裝箱(403)的內(nèi)腔接觸；所述安裝板(402)的底部固定安裝有橡膠墊(406)，所述橡膠墊(406)的底部與安裝箱(403)的頂部接觸，所述安裝板(402)的內(nèi)部穿插設置有螺栓(407)，所述螺栓(407)的底部貫穿至安裝箱(403)的內(nèi)部并與安裝箱(403)之間通過螺紋轉(zhuǎn)動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，其特征在于：所述空壓機(405)的出氣端口連通有第一導管(409)，所述第一導管(409)的左側(cè)與高壓罐(3)的頂部連通。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導體加工技術(shù)領域，且公開了一種半導體工廠用三通閥的熱吹掃裝置，包括底座，底座頂部的右側(cè)設置有抽氣裝置，底座的頂部且位于抽氣裝置的左側(cè)固定安裝有兩個安裝架，安裝架的頂部固定安裝有高壓罐，底座的頂部且位于高壓罐的左側(cè)設置有吹氣裝置；吹氣裝置包括設置于底座左側(cè)的三通閥、固定安裝于底座頂部的加熱箱、連通于高壓罐左側(cè)的連接端口、連通于連接端口左側(cè)的兩個電動閥和固定安裝于三通閥頂部的電動推桿，通過抽氣裝置的設置將外部的氮氣過濾并進行壓縮，通過高壓罐的設置實現(xiàn)對抽氣裝置過濾壓縮后的氮氣進行存儲，通過吹氣裝置的設置將熱氮氣吹至閥門腔體，持續(xù)吹掃閥門腔體，使得流動介質(zhì)不易凝結(jié)，延長維修周期。

技術(shù)研發(fā)人員：粱仁模,李鉉鎮(zhèn),鮮于居
受保護的技術(shù)使用者：無錫凱必特斯半導體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240419
技術(shù)公布日：2024/12/19