本技術(shù)涉及單晶爐拆爐清理，具體而言，涉及一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置及單晶生產(chǎn)車(chē)間。

背景技術(shù)：

1、單晶爐熱場(chǎng)在運(yùn)行一爐完成后，需要對(duì)其進(jìn)行拆爐清理，主室的高純衛(wèi)生尤為重要，拆解的石墨件附著的碳化硅、硅蒸汽等雜質(zhì)，主要還是操作人員采用常規(guī)的工具清理真空管道，石墨件等容易造成揚(yáng)塵，粉塵較多。

2、現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)：

3、人工清潔，在拆裝熱場(chǎng)石墨件會(huì)產(chǎn)生大量的硅化物粉塵，沒(méi)有合理的措施進(jìn)行粉塵的隔離或收集，這些硅化物粉塵會(huì)從其頂部爐口進(jìn)入到車(chē)間，硅化物粉塵掉落還會(huì)積累在單晶爐上，車(chē)間的各個(gè)角落，造成車(chē)間環(huán)境污染，還需要車(chē)間人員進(jìn)行清理，用抹布擦拭爐子，需要大量的人力物力，但不能解決根本問(wèn)題。沒(méi)有有效的方法將硅化物粉塵進(jìn)行隔絕，阻止進(jìn)入生產(chǎn)車(chē)間，當(dāng)操作人員將其表面揚(yáng)塵清理干凈的過(guò)程中，還不能提供較為合理的工作環(huán)境給操作人員，在進(jìn)行清潔衛(wèi)生的時(shí)候需要借助登高梯等工具，清理工作較為麻煩，也不符合人體工程學(xué)，不能減輕操作人員的工作強(qiáng)度。

4、因此現(xiàn)有技術(shù)中所使用的部分清理工具，清理潔凈度低、自動(dòng)化程度低，不能在根源上去收集硅化物粉塵。綜上，單晶生產(chǎn)車(chē)間的環(huán)境高潔凈度問(wèn)題一直是行業(yè)痛點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其能夠在拆爐清理時(shí)，提高除塵的自動(dòng)化程度，能在根源上收集硅化物粉塵，清理潔凈度高。

2、本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種單晶生產(chǎn)車(chē)間，其能夠在拆爐清理時(shí)，提高除塵的自動(dòng)化程度，能在根源上收集硅化物粉塵，清理潔凈度高。

3、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

4、一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，對(duì)應(yīng)設(shè)置于單晶爐下?tīng)t室的頂部爐口處，包括：

5、機(jī)架，包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的框架，兩個(gè)所述框架分別為第一框架和第二框架；所述框架包括位于底部的橫梁和設(shè)置于橫梁之上的拱梁，所述拱梁的兩端分別與所述橫梁的兩端連接并形成封閉型的所述框架，所述框架為空心結(jié)構(gòu)而形成吸塵腔，所述框架的內(nèi)側(cè)部開(kāi)設(shè)多個(gè)吸塵口，兩個(gè)所述框架的外側(cè)部分別安裝有封板；

6、吸塵單元，所述封板上開(kāi)設(shè)有安裝口，所述吸塵單元安裝于所述安裝口，所述吸塵單元的抽風(fēng)口與所述吸塵腔連通，所述吸塵單元的排風(fēng)口與外部大氣連通；

7、伸縮桿，所述伸縮桿為空心結(jié)構(gòu)，兩個(gè)所述框架之間通過(guò)若干根伸縮桿連通，所述伸縮桿能夠控制兩個(gè)所述框架互相靠近或遠(yuǎn)離；

8、伸縮棚組件，包括電動(dòng)伸縮棚；所述電動(dòng)伸縮棚設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間，且所述電動(dòng)伸縮棚的一端固定于所述第一框架的內(nèi)側(cè)部；所述電動(dòng)伸縮棚伸展開(kāi)后，兩個(gè)所述封板與所述電動(dòng)伸縮棚之間圍成一個(gè)開(kāi)口朝下的吸塵空間，所述開(kāi)口為所述吸塵空間的吸口；

9、行走機(jī)構(gòu)，所述行走機(jī)構(gòu)安裝于所述橫梁的底部；

10、其中，所述橫梁的底部以及所述電動(dòng)伸縮棚的底部分別設(shè)置有用于與地面之間形成密封的隔氣布。

11、進(jìn)一步地，所述伸縮棚組件還包括備用的手動(dòng)伸縮棚，所述電動(dòng)伸縮棚與所述手動(dòng)伸縮棚依次設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間，且所述手動(dòng)伸縮棚的一端固定于所述第二框架的內(nèi)側(cè)，所述手動(dòng)伸縮棚的底部也設(shè)置用于與地面之間形成密封的隔氣布。

12、進(jìn)一步地，所述電動(dòng)伸縮棚包括第一伸縮棚體和電動(dòng)伸縮組件，所述手動(dòng)伸縮棚包括第二伸縮棚體，所述第一伸縮棚體與所述第二伸縮棚體結(jié)構(gòu)均與所述拱梁的形狀一致，所述第一伸縮棚體與所述第二伸縮棚體依次設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間且分別搭在所述伸縮桿上，且所述第一伸縮棚體的一端以及所述電動(dòng)伸縮組件的一端分別與所述第一框架連接，所述電動(dòng)伸縮組件的另一端與所述第一伸縮棚體的另一端連接，所述第二伸縮棚體的一端與所述第二框架的內(nèi)側(cè)部連接。

13、進(jìn)一步地，所述第一伸縮棚體與所述第二伸縮棚體結(jié)構(gòu)相同，且所述第一伸縮棚體與所述第二伸縮棚的伸縮方向與所述伸縮桿的伸縮方向相同。

14、進(jìn)一步地，所述電動(dòng)伸縮組件采用電動(dòng)推桿、電動(dòng)液壓桿或伸縮氣缸。

15、進(jìn)一步地，所述第一伸縮棚體、所述第二伸縮棚體與所述拱梁均呈倒“u”型；

16、所述第一框架與所述第一伸縮棚體之間、所述第二框架與所述第二伸縮棚體之間分別設(shè)置有u型密封墊；

17、所述第一伸縮棚體上靠近于所述第二伸縮棚體的一側(cè)部設(shè)置有u型密封墊，和/或，所述第二伸縮棚體上靠近于所述第一伸縮棚體的一側(cè)部設(shè)置有u型密封墊；或者，所述第一伸縮棚體上靠近于所述第二伸縮棚體的一側(cè)部以及所述第二伸縮棚體上靠近于所述第一伸縮棚體的一側(cè)部分別設(shè)置有u型磁吸墊。

18、進(jìn)一步地，所述行走機(jī)構(gòu)包括四組行走組件，四組所述行走組件分別安裝于所述機(jī)架底部的四角處；

19、所述行走組件包括伺服電機(jī)、聯(lián)軸器、軸承安裝座和麥克納姆輪，所述麥克納姆輪的輪軸通過(guò)軸承安裝于所述軸承安裝座，所述軸承安裝座固定安裝于所述橫梁的底部，所述伺服電機(jī)的輸出軸通過(guò)所述聯(lián)軸器與所述麥克納姆輪的輪軸連接。

20、進(jìn)一步地，所述吸塵單元采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。

21、進(jìn)一步地，所述封板采用透明材質(zhì)。

22、一種單晶生產(chǎn)車(chē)間，包括下?tīng)t室和水平的爐臺(tái)，多個(gè)所述下?tīng)t室的頂部共同設(shè)置所述爐臺(tái)，且所述爐臺(tái)內(nèi)安裝所述下?tīng)t室頂部的爐口，還包括所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，所述用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置能夠行走至所述爐臺(tái)上的任一所述爐口處。

23、相比于現(xiàn)有技術(shù)而言，本實(shí)用新型的有益效果是：

24、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，整個(gè)裝置通過(guò)電動(dòng)伸縮棚的伸縮而實(shí)現(xiàn)收攏變小或者展開(kāi)變大，需要除塵時(shí)，整個(gè)除塵裝置能夠通過(guò)行走機(jī)構(gòu)移動(dòng)至單晶爐頂部爐口處并完全罩住整個(gè)下?tīng)t室頂部的爐口，電動(dòng)伸縮棚展開(kāi)變大，同時(shí)兩個(gè)封板與電動(dòng)伸縮棚之間圍成一個(gè)開(kāi)口朝下的吸塵空間，該吸塵空間通過(guò)隔氣布的作用與下?tīng)t室頂部的爐口密封連通，操作人員在爐室內(nèi)拆爐清理時(shí)，啟動(dòng)吸塵單元便可以將爐室內(nèi)產(chǎn)生的灰塵統(tǒng)一吸收，能夠在根源上密封除塵，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)極大地減少了所花費(fèi)的人力物力，提高自動(dòng)化程度，清理潔凈度更高。

技術(shù)特征：

1.一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，對(duì)應(yīng)設(shè)置于單晶爐下?tīng)t室的頂部爐口(11)處，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述伸縮棚組件還包括備用的手動(dòng)伸縮棚(8)，所述電動(dòng)伸縮棚(7)與所述手動(dòng)伸縮棚(8)依次設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間，且所述手動(dòng)伸縮棚(8)的一端固定于所述第二框架(2)的內(nèi)側(cè)部，所述手動(dòng)伸縮棚(8)的底部也設(shè)置用于與地面之間形成密封的隔氣布。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述電動(dòng)伸縮棚(7)包括第一伸縮棚體(701)和電動(dòng)伸縮組件(702)，所述手動(dòng)伸縮棚(8)包括第二伸縮棚體(801)，所述第一伸縮棚體(701)與所述第二伸縮棚體(801)結(jié)構(gòu)均與所述拱梁的形狀一致，所述第一伸縮棚體(701)與所述第二伸縮棚體(801)依次設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間且分別搭在所述伸縮桿(6)上，且所述第一伸縮棚體(701)的一端以及所述電動(dòng)伸縮組件(702)的一端分別與所述第一框架(1)連接，所述電動(dòng)伸縮組件(702)的另一端與所述第一伸縮棚體(701)的另一端連接，所述第二伸縮棚體(801)的一端與所述第二框架(2)的內(nèi)側(cè)部連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述第一伸縮棚體(701)與所述第二伸縮棚體(801)結(jié)構(gòu)相同，且所述第一伸縮棚體(701)與所述第二伸縮棚的伸縮方向與所述伸縮桿(6)的伸縮方向相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述電動(dòng)伸縮組件(702)采用電動(dòng)推桿、電動(dòng)液壓桿或伸縮氣缸。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述第一伸縮棚體(701)、所述第二伸縮棚體(801)與所述拱梁均呈倒“u”型；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述行走機(jī)構(gòu)(9)包括四組行走組件，四組所述行走組件分別安裝于所述機(jī)架底部的四角處；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述吸塵單元(5)采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，其特征在于，所述封板(4)采用透明材質(zhì)。

10.一種單晶生產(chǎn)車(chē)間，包括下?tīng)t室和水平的爐臺(tái)(10)，多個(gè)所述下?tīng)t室的頂部共同設(shè)置所述爐臺(tái)(10)，且所述爐臺(tái)(10)內(nèi)安裝所述下?tīng)t室頂部的爐口(11)，其特征在于，還包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，所述用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置能夠行走至所述爐臺(tái)(10)上的任一所述爐口(11)處。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及單晶爐拆爐清理技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置，包括：機(jī)架，包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的框架，框架為空心結(jié)構(gòu)而形成吸塵腔，框架的內(nèi)側(cè)部開(kāi)設(shè)多個(gè)吸塵口，兩個(gè)框架的外側(cè)部分別安裝有封板；吸塵單元安裝于所述安裝口；伸縮桿，伸縮桿為空心結(jié)構(gòu)，兩個(gè)框架之間通過(guò)若干根伸縮桿連通；伸縮棚組件，包括電動(dòng)伸縮棚；所述電動(dòng)伸縮棚設(shè)置于兩個(gè)所述框架之間；電動(dòng)伸縮棚伸展開(kāi)后，兩個(gè)封板與電動(dòng)伸縮棚之間圍成一個(gè)開(kāi)口朝下的吸塵空間；行走機(jī)構(gòu)安裝于所述橫梁的底部；橫梁的底部以及電動(dòng)伸縮棚的底部分別設(shè)置隔氣布。其能夠在拆爐清理時(shí)，提高除塵的自動(dòng)化程度，能在根源上收集硅化物粉塵，清理潔凈度高。

技術(shù)研發(fā)人員：米家東,王興樂(lè),馬騰飛,喬樂(lè)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川高景太陽(yáng)能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2024/12/19