一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，包括混凝沉淀和厭氧微生物絮凝兩步驟。碳化硅回收廢水COD和濁度高、活性硅含量高，通過(guò)加入硫酸鋁和絮凝劑，能有效降低回收廢水中的活性硅含量，從而降低廢水濁度和化學(xué)需氧量，厭氧顆粒污泥中微生物的絮凝作用，能進(jìn)一步降低碳化硅回收廢水的化學(xué)需氧量。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及碳化硅回收廢水處理領(lǐng)域，具體涉及一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工
-H-
O
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體芯片制造業(yè)已成為許多國(guó)家快速增長(zhǎng)的重要產(chǎn)業(yè)，預(yù)計(jì)在未來(lái)這一產(chǎn)業(yè)還將得到快速增長(zhǎng)。隨著半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的蓬勃發(fā)展，碳化硅回收行業(yè)也迅速形成。碳化硅回收主要針對(duì)半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)行業(yè)的切削液，切削液中含有聚乙二醇、碳化硅、多晶硅、單晶硅、廢金屬等。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)行業(yè)中，切削液具有水量大、高C0D、高懸浮物等特點(diǎn)，直接排放將對(duì)水環(huán)境造成嚴(yán)重危害。因此，碳化硅微粉回收是一個(gè)去除多晶硅、聚乙二醇、廢金屬等雜質(zhì)，進(jìn)而回收碳化硅的過(guò)程，具有明顯的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境效益。
[0003]碳化硅回收行業(yè)排放的污水通常含有碳化硅微顆粒、多晶硅、聚乙二醇、硅酸鈉、金屬離子等污染物，與典型的碳化硅生產(chǎn)廢水存在明顯的區(qū)別。目前國(guó)內(nèi)外研究主要集中于對(duì)碳化硅生產(chǎn)廢水的處理，而對(duì)碳化硅回收廢水處理的研究報(bào)道較少。在沒(méi)有成熟可靠的處理技術(shù)之前，碳化硅回收廢水的排放將受到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的制約。碳化硅回收過(guò)程會(huì)產(chǎn)生清洗廢水，該廢水具有PH值波動(dòng)大，COD含量高(主要為聚乙二醇)，懸浮物濃度高，鹽分高等特點(diǎn)，廢水處理難度較大，已成為困擾碳化硅回收行業(yè)發(fā)展的瓶頸。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種除雜效果好的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，其特征在于，去除工藝包括以下步驟:
[0006]S1:向碳化硅回收廢水中加入硫酸鋁和絮凝劑，充分?jǐn)嚢瑁蛩徜X的加入量為80?86mg/L，絮凝劑的加入量為3.8?4.2mg/L ；
[0007]S2:向SI所得廢水靜置沉降，去上層清液；
[0008]S3:向S2所得上層清液中加入?yún)捬躅w粒污泥，廢水與厭氧顆粒污泥的混合比例為I: (0.8?1.2)，導(dǎo)入?yún)捬醴磻?yīng)器反應(yīng)至少72h，即完成碳化硅廢水預(yù)處理操作。
[0009]其中，所述SI的攪拌時(shí)間為8?12min。
[0010]其中，所述SI中絮凝劑為有機(jī)高分子絮凝劑。
[0011 ] 其中，所述有機(jī)高分子絮凝劑為聚丙烯酰胺。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:
[0013]碳化硅回收廢水COD和濁度高、活性硅含量高，通過(guò)加入硫酸鋁和絮凝劑，能有效降低回收廢水中的活性硅含量，從而降低廢水濁度和化學(xué)需氧量，厭氧顆粒污泥中微生物的絮凝作用，能進(jìn)一步降低碳化硅回收廢水的化學(xué)需氧量。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0015]實(shí)施例1
[0016]實(shí)施例1的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，包括以下步驟:
[0017]S1:向碳化硅回收廢水中加入硫酸鋁和絮凝劑，充分?jǐn)嚢?，硫酸鋁的加入量為80mg/L，絮凝劑的加入量為3.8mg/L ;
[0018]S2:向SI所得廢水靜置沉降，去上層清液；
[0019]S3:向S2所得上層清液中加入?yún)捬躅w粒污泥，廢水與厭氧顆粒污泥的混合比例為5: 4，導(dǎo)入?yún)捬醴磻?yīng)器反應(yīng)至少72h，即完成碳化硅廢水預(yù)處理操作。
[0020]其中，SI的攪拌時(shí)間為8min。
[0021]其中，SI中絮凝劑為有機(jī)高分子絮凝劑。
[0022]其中，有機(jī)高分子絮凝劑為聚丙烯酰胺。
[0023]實(shí)施例2
[0024]實(shí)施例2的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，包括以下步驟:
[0025]S1:向碳化硅回收廢水中加入硫酸鋁和絮凝劑，充分?jǐn)嚢?，硫酸鋁的加入量為83mg/L，絮凝劑的加入量為4mg/L ；
[0026]S2:向SI所得廢水靜置沉降，去上層清液；
[0027]S3:向S2所得上層清液中加入?yún)捬躅w粒污泥，廢水與厭氧顆粒污泥的混合比例為I: I，導(dǎo)入?yún)捬醴磻?yīng)器反應(yīng)至少72h，即完成碳化硅廢水預(yù)處理操作。
[0028]其中，SI的攪拌時(shí)間為8?12min。
[0029]其中，SI中絮凝劑為有機(jī)高分子絮凝劑。
[0030]其中，有機(jī)高分子絮凝劑為聚丙烯酰胺。
[0031]實(shí)施例3
[0032]實(shí)施例3的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，包括以下步驟:
[0033]S1:向碳化硅回收廢水中加入硫酸鋁和絮凝劑，充分?jǐn)嚢?，硫酸鋁的加入量為86mg/L，絮凝劑的加入量為4.2mg/L ；
[0034]S2:向SI所得廢水靜置沉降，去上層清液；
[0035]S3:向S2所得上層清液中加入?yún)捬躅w粒污泥，廢水與厭氧顆粒污泥的混合比例為5: 6，導(dǎo)入?yún)捬醴磻?yīng)器反應(yīng)72h，即完成碳化硅廢水預(yù)處理操作。
[0036]其中，SI的攪拌時(shí)間為12min。
[0037]其中，SI中絮凝劑為有機(jī)高分子絮凝劑。
[0038]其中，有機(jī)高分子絮凝劑為聚丙烯酰胺。
[0039]也可以選用氧化鈣、氧化鎂或者季銨鹽陽(yáng)離子樹(shù)脂等沉淀劑，對(duì)廢水中活性硅同樣起絮凝沉降作用。
[0040]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，其特征在于，去除工藝包括以下步驟: 51:向碳化硅回收廢水中加入硫酸鋁和絮凝劑，充分?jǐn)嚢?，硫酸鋁的加入量為80?86mg/L，絮凝劑的加入量為3.8?4.2mg/L ; 52:向SI所得廢水靜置沉降，去上層清液； 53:向S2所得上層清液中加入?yún)捬躅w粒污泥，廢水與厭氧顆粒污泥的混合比例為I: (0.8?1.2)，導(dǎo)入?yún)捬醴磻?yīng)器反應(yīng)至少72h，即完成碳化硅廢水預(yù)處理操作。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，其特征在于，所述SI的攪拌時(shí)間為8?12min。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，其特征在于，所述SI中絮凝劑為有機(jī)高分子絮凝劑。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的碳化硅回收廢水預(yù)處理工藝，其特征在于，所述有機(jī)高分子絮凝劑為聚丙烯酰胺。
【文檔編號(hào)】C02F9/14GK105884119SQ201410747113
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2014年12月9日
【發(fā)明人】任海濤
【申請(qǐng)人】任海濤