一種節(jié)水型沖洗槽的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種清洗用的節(jié)水型沖洗水槽，特別適用于電力半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中各種硅片和管芯的水清洗，也適用于高要求的其它產(chǎn)品的連續(xù)沖洗。
【背景技術(shù)】
[0002]在電力半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)硅片或管芯進(jìn)行水清洗，以去除其表面雜質(zhì)或化學(xué)處理后的殘留物質(zhì)。清洗時(shí)，一般都要用大量的自來(lái)水或去離子水反復(fù)進(jìn)行換水沖洗，以達(dá)到比較高的清洗工藝要求。其清洗過(guò)程通常是先將安放有硅片或管芯的籃子放入單工位的水槽中上下左右搖晃清洗，然后倒掉水槽中清洗過(guò)的水，再重新放入清水或去離子水重復(fù)進(jìn)行清洗，一般工藝需要進(jìn)行三到五次的清洗才能夠完成，清洗效率低。因此，使用普通水槽和上述方法對(duì)硅片或管芯進(jìn)行水清洗，用水量很大，而且在每次清洗過(guò)程中，后面幾次清洗后的水清潔度還比較高，還可以重復(fù)用來(lái)清洗。另外，因水資源成本高，清洗一批管芯都需要消耗大量用水，生產(chǎn)成本也隨之增加。以及清洗過(guò)程中水槽倒水換水的工作量也比較大，增加了勞動(dòng)強(qiáng)度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型主要為了解決使用普通水槽清洗產(chǎn)品時(shí)水資源浪費(fèi)的問(wèn)題，提供一種清洗效率高，用水節(jié)省、勞動(dòng)強(qiáng)度降低的節(jié)水型沖洗水槽。
[0004]本實(shí)用新型所述的一種節(jié)水型沖洗槽，包括一個(gè)沖洗槽本體，其特征是:該沖洗槽本體由內(nèi)隔板分成若干沖洗工位，且相鄰兩沖洗工位之間均設(shè)置一對(duì)左右分開(kāi)的內(nèi)隔板，其中左內(nèi)隔板的前后兩邊和底邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面和內(nèi)底面相應(yīng)固接，上邊低于沖洗槽本體頂邊；右內(nèi)隔板前后兩邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面相應(yīng)固接，下邊高于沖洗槽本體內(nèi)底面，左部沖洗工位的水流可通過(guò)左內(nèi)隔板上邊和右內(nèi)隔板下邊流向右部沖洗工位，以及沖洗槽本體左右兩邊下部分別設(shè)有進(jìn)水管和出水管。
[0005]本實(shí)用新型應(yīng)用時(shí)，外部水流將從沖洗槽本體左端清洗工位下部槽體上的進(jìn)水管接入，然后水流從左部沖洗工位通過(guò)左內(nèi)隔板上邊和右內(nèi)隔板下邊流向右部沖洗工位，最后從沖洗槽本體右端的清洗工位下部的出水管流出。待清洗的放置在籃子中的產(chǎn)品逆水流方向從右部沖洗工位開(kāi)始清洗，然后向左方向依次放入各沖洗工位中逆水流而逐步進(jìn)行清洗，這樣逆水流方向進(jìn)行清洗效率高，用水節(jié)省。此外，各沖洗工位中的水流都是自動(dòng)流動(dòng)，不用倒水接水和間斷中間操作，勞動(dòng)強(qiáng)度降低，操作人員體力消耗減少。
[0006]本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是:清洗效率高，用水節(jié)省、操作勞動(dòng)強(qiáng)度降低。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2為圖1俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]附圖標(biāo)注說(shuō)明:進(jìn)水管1、沖洗槽本體2、沖洗槽本體內(nèi)底面3、左內(nèi)隔板4、右內(nèi)隔板5、、沖洗槽本體頂邊6、出水管7。
[0010]—種節(jié)水型沖洗槽，包括一個(gè)沖洗槽本體2，該沖洗槽本體2由內(nèi)隔板分成三個(gè)沖洗工位(A、B、C)，且相鄰兩沖洗工位之間均設(shè)置一對(duì)左右分開(kāi)的內(nèi)隔板，其中左內(nèi)隔板4的前后兩邊和底邊分別與沖洗槽本體2內(nèi)側(cè)面和內(nèi)底面相應(yīng)固接，上邊低于沖洗槽本體頂邊6 ;右內(nèi)隔板5前后兩邊分別與沖洗槽本體2內(nèi)側(cè)面相應(yīng)固接，下邊高于沖洗槽本體內(nèi)底面3，左部沖洗工位的水流可通過(guò)左內(nèi)隔板4上邊和右內(nèi)隔板5下邊流向右部沖洗工位，以及沖洗槽本體2左右兩邊下部分別設(shè)有進(jìn)水管I和出水管7。
[0011]本實(shí)用新型工作原理是，外部水流從沖洗槽本體2左端的進(jìn)水管I接入，水流通過(guò)兩相鄰沖洗工位之間的左內(nèi)隔板4上邊和右內(nèi)隔板5下邊從左部沖洗工位流向右部沖洗工位，使得沖洗槽本體2中的各沖洗工位都流動(dòng)著清洗用水，并且各工位水流均從底下往上流動(dòng)，有利提高清洗效率。另外，所述沖洗工位可根據(jù)不同的清洗需要設(shè)計(jì)為更多個(gè)。
[0012]清洗時(shí)，待清洗產(chǎn)品均放置在籃子中進(jìn)行，第一個(gè)籃子產(chǎn)品先放進(jìn)右部沖洗工位C清洗，按要求晃動(dòng)數(shù)次后放入左鄰的沖洗工位B中繼續(xù)進(jìn)行清洗，再變換放入沖洗工位A中進(jìn)行清洗。同時(shí)，第二、三個(gè)籃子接著依次放入沖洗工位C、B、A中清洗。而水流最后從沖洗槽本體2右端清洗工位下部槽體上的出水管7流出。
[0013]所述每籃子產(chǎn)品經(jīng)過(guò)三個(gè)沖洗工位C、B、A清洗后完成一個(gè)周期，實(shí)現(xiàn)工藝要求。由于水一直在流動(dòng)，且各沖洗工位水流均從底下往上流動(dòng)，每個(gè)籃子每往前一個(gè)沖洗工位都用更清潔的水進(jìn)行清洗。這樣逆水流方向變換各沖洗工位進(jìn)行清洗效果好、效率高，用水節(jié)省。此外，各沖洗工位中的水流都是自動(dòng)流動(dòng)，不用倒水接水和間斷中間操作，勞動(dòng)強(qiáng)度降低，操作人員體力消耗減少。因此，本實(shí)用新型清洗效率高，清洗用水節(jié)省、操作輕松。
[0014]應(yīng)該理解到的是:上述實(shí)施例只是對(duì)本實(shí)用新型的說(shuō)明，任何不超出本實(shí)用新型實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)的發(fā)明創(chuàng)造，均落入本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種節(jié)水型沖洗槽，包括一個(gè)沖洗槽本體，其特征是:該沖洗槽本體由內(nèi)隔板分成若干沖洗工位，且相鄰兩沖洗工位之間均設(shè)置一對(duì)左右分開(kāi)的內(nèi)隔板，其中左內(nèi)隔板的前后兩邊和底邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面和內(nèi)底面相應(yīng)固接，上邊低于沖洗槽本體頂邊；右內(nèi)隔板前后兩邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面相應(yīng)固接，下邊高于沖洗槽本體內(nèi)底面，左部沖洗工位的水流可通過(guò)左內(nèi)隔板上邊和右內(nèi)隔板下邊流向右部沖洗工位，以及沖洗槽本體左右兩邊下部分別設(shè)有進(jìn)水管和出水管。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種節(jié)水型沖洗槽，包括一個(gè)沖洗槽本體，其特征是：該沖洗槽本體由內(nèi)隔板分成若干沖洗工位，且相鄰兩沖洗工位之間均設(shè)置一對(duì)左右分開(kāi)的內(nèi)隔板，其中左內(nèi)隔板的前后兩邊和底邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面和內(nèi)底面相應(yīng)固接，上邊低于沖洗槽本體頂邊；右內(nèi)隔板前后兩邊分別與沖洗槽本體內(nèi)側(cè)面相應(yīng)固接，下邊高于沖洗槽本體內(nèi)底面，左部沖洗工位的水流可通過(guò)左內(nèi)隔板上邊和右內(nèi)隔板下邊流向右部沖洗工位，以及沖洗槽本體左右兩邊下部分別設(shè)有進(jìn)水管和出水管。它具有清洗效率高，用水節(jié)省、操作勞動(dòng)強(qiáng)度降低。
【IPC分類】H01L21/67, B08B3/02, B08B13/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204866671
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520546150
【發(fā)明人】李有康, 項(xiàng)衛(wèi)光, 李曉明
【申請(qǐng)人】浙江正邦電力電子有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年7月27日