一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片在生產(chǎn)制造過(guò)程中需要多道清洗工序，通過(guò)清洗液清洗振蕩等步驟，對(duì)晶片表面的雜質(zhì)和損傷層面進(jìn)行去除。而清洗效果的優(yōu)劣決定晶片的質(zhì)量。
[0003]在制造過(guò)程中清洗液振蕩時(shí)，需要作業(yè)員手動(dòng)提涮晶片花籃，以達(dá)到預(yù)期清洗效果，手動(dòng)操作的方式對(duì)于作業(yè)員的依賴(lài)性大，作業(yè)員操作的力度、幅度等因素均依賴(lài)于作業(yè)員的人為控制，清洗質(zhì)量穩(wěn)定性、一致性差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決半導(dǎo)體晶片在清洗過(guò)程中存在的清洗效果差，受作業(yè)員人為因素的影響較大的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其使用機(jī)械提升的方法，減少人為操作偏差對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的影響，達(dá)到清洗質(zhì)量穩(wěn)定、一致的效果。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案。
[0006]—種自動(dòng)提升清洗設(shè)備，包括:控制電源、壓縮空氣電磁閥、壓縮氣體管道、氣缸、螺桿、升降臂、清洗槽；所述控制電源與壓縮空氣電磁閥連接，壓縮空氣電磁閥能夠定時(shí)啟閉，壓縮空氣電磁閥位于壓縮氣體管道上，壓縮氣體管道與氣缸連接，氣缸通過(guò)螺桿與升降臂的一端連接，升降臂的另一端上搭載晶片花籃，在升降臂下降時(shí)位于清洗槽內(nèi)。使用螺桿聯(lián)動(dòng)清洗支架，可以等速均勻的抖動(dòng)提涮晶片花籃，減少人為因素對(duì)品質(zhì)的影響。
[0007]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述清洗槽內(nèi)還設(shè)有加熱裝置，加熱裝置與升降臂之間留有間隙。晶片花籃放置在清洗升降臂上，較直接放于清洗槽底部更加穩(wěn)固，并且與加熱裝置留出一定空間，避免了加熱裝置與晶片的碰撞，利于降低報(bào)廢率。
[0008]所述升降臂為L(zhǎng)型，包括豎撐和豎撐底部的橫撐，所述晶片花籃放置于橫撐上，豎撐與螺桿連接。
[0009]所述豎撐包括橫桿和位于橫桿兩側(cè)下方的豎桿，豎桿與橫撐連接，橫桿與螺桿連接。如此便于最大限度的節(jié)省材料。
[0010]所述清洗槽為超聲槽。
[0011]本實(shí)用新型的工作過(guò)程為:開(kāi)啟控制電源，壓縮空氣電磁閥根據(jù)設(shè)定時(shí)間，定時(shí)開(kāi)啟/關(guān)閉，通過(guò)壓縮氣體在氣缸中的推動(dòng)，使聯(lián)動(dòng)螺桿做上下運(yùn)動(dòng)，螺桿與清洗升降臂一端連接，另一端搭載清洗的晶片花籃，螺桿的上下運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)晶片及花籃在清洗槽內(nèi)的液體中做上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以達(dá)到不間斷晃動(dòng)花籃，提升清洗效果的目的。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是，可使用時(shí)間繼電器設(shè)定時(shí)間，等速均勻的提涮晶片花籃，減少人為因素的影響；升降支架能更好的固定晶片花籃，并與槽內(nèi)加熱裝置留有一定空間，減少了晶片與加熱裝置的碰撞，有利于提升成品率和良率。
[0013]當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2是圖1的左視圖。
[0016]其中，1、控制電源；2、壓縮空氣電磁閥；3、壓縮氣體管道；4、氣缸；5、螺桿；6、升降臂；7、加熱裝置；8、超聲槽。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0018]在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0019]在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0020]如圖1-圖2所示，一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備，包括:控制電源1、壓縮空氣電磁閥2、壓縮氣體管道3、氣缸4、螺桿5、升降臂6、加熱裝置7、清洗槽8 ;所述控制電源I與壓縮空氣電磁閥2連接，壓縮空氣電磁閥2能夠定時(shí)啟閉，壓縮空氣電磁閥2位于壓縮氣體管道3上，壓縮氣體管道3與氣缸4連接，所述升降臂6為L(zhǎng)型，包括豎撐和豎撐底部的橫撐，所述豎撐包括橫桿和位于橫桿兩側(cè)下方的豎桿，豎桿與橫撐連接，氣缸4通過(guò)螺桿5與升降臂6的橫桿連接，升降臂6的橫撐上搭載晶片花籃，升降臂6下降時(shí)位于超聲槽8內(nèi)。所述超聲槽8內(nèi)還設(shè)有加熱裝置7，加熱裝置7與升降臂6之間留有間隙。
[0021]本實(shí)施例通過(guò)壓縮空氣電磁閥2的開(kāi)/關(guān)，使氣缸4推動(dòng)螺桿5做上下運(yùn)動(dòng)，支撐升降臂6在超聲槽8內(nèi)做上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，提高清洗效果，減少人為因素的影響。
[0022]上述雖然結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，但并非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實(shí)用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動(dòng)即可做出的各種修改或變形仍在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以?xún)?nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其特征是，包括:控制電源(1)、壓縮空氣電磁閥(2)、壓縮氣體管道(3)、氣缸(4)、螺桿(5)、升降臂(6)、清洗槽(8);所述控制電源(I)與壓縮空氣電磁閥(2)連接，壓縮空氣電磁閥(2)能夠定時(shí)啟閉，壓縮空氣電磁閥(2)位于壓縮氣體管道(3)上，壓縮氣體管道(3)與氣缸(4)連接，氣缸(4)通過(guò)螺桿(5)與升降臂￠)的一端連接，升降臂(6)的另一端上搭載晶片花籃，在升降臂(6)下降時(shí)位于清洗槽(8)內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其特征是，所述清洗槽(8)內(nèi)還設(shè)有加熱裝置(7)，加熱裝置(7)與升降臂(6)之間留有間隙。3.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其特征是，所述升降臂(6)為L(zhǎng)型，包括豎撐和豎撐底部的橫撐，所述晶片花籃放置于橫撐上，豎撐與螺桿連接。4.如權(quán)利要求3所述的自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其特征是，所述豎撐包括橫桿和位于橫桿兩側(cè)下方的豎桿，豎桿與橫撐連接，橫桿與螺桿(5)連接。5.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)提升清洗設(shè)備，其特征是，所述清洗槽(8)為超聲槽。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種自動(dòng)提升清洗設(shè)備，包括控制電源(1)、壓縮空氣電磁閥(2)、壓縮氣體管道(3)、氣缸(4)、螺桿(5)、升降臂(6)、清洗槽(8)；所述控制電源(1)與壓縮空氣電磁閥(2)連接，壓縮空氣電磁閥(2)能夠定時(shí)啟閉，壓縮空氣電磁閥(2)位于壓縮氣體管道(3)上，壓縮氣體管道(3)與氣缸(4)連接，氣缸(4)通過(guò)螺桿(5)與升降臂(6)的一端連接，升降臂(6)的另一端上搭載晶片花籃，在升降臂(6)下降時(shí)位于清洗槽(8)內(nèi)。本實(shí)用新型使用時(shí)間繼電器設(shè)定時(shí)間，等速均勻提涮晶片花籃，減少人為因素影響；升降支架更好的固定晶片花籃，減少晶片與加熱裝置(7)的碰撞，有利于提升成品率和良率。
【IPC分類(lèi)】B08B3/10
【公開(kāi)號(hào)】CN204934117
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520616428
【發(fā)明人】郭城, 呂明, 趙海玲, 郭英云, 盧國(guó)香
【申請(qǐng)人】山東科芯電子有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年8月17日