專利名稱：痕量級(jí)氣體分析裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及分析痕量級(jí)氣體的方法和裝置，尤其是涉及消除記憶效應(yīng)并能以高精度探測(cè)痕量級(jí)氣體污染物的痕量級(jí)氣體分析的裝置和方法。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，痕量級(jí)氣體污染物引起制造缺陷的情況日益增加。為了穩(wěn)定制造過(guò)程，常用塵?；蛘呋瘜W(xué)過(guò)濾器去除外加的物質(zhì)。然而，由于在生產(chǎn)過(guò)程中偶然造成的材料污染和過(guò)濾器的損壞，對(duì)此就需要對(duì)于空氣中的痕量級(jí)氣體污染物進(jìn)行自動(dòng)的，連續(xù)的測(cè)量和監(jiān)控。
在以往測(cè)量痕量級(jí)組分的方法中，例如，沖擊濾塵方法中在很長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)將感興趣的組分集中到分析裝置的檢測(cè)下限，之后利用例如離子色譜類型的分析裝置進(jìn)行分析和量化。然而，這種方法具有長(zhǎng)的測(cè)量時(shí)間間隔，和不能確定污染物總量的問(wèn)題，以及不適合測(cè)量突然出現(xiàn)的高濃度痕量級(jí)氣體污染物的問(wèn)題。
其它問(wèn)題是，在進(jìn)行具有擴(kuò)散洗滌方法的自動(dòng)氨分析的高濃度測(cè)量后，感興趣的組分存留在試樣系統(tǒng)或者濃縮系統(tǒng)中時(shí)，由于儲(chǔ)存效應(yīng)(前一次測(cè)量的影響)所引起的問(wèn)題，從而不能得到高精度的測(cè)量。
在附圖9所示的具有清潔功能的多點(diǎn)氣體分析裝置中，使用一種清潔的液流43來(lái)清潔切換器41和擴(kuò)散洗滌器45。在這種方法中，每次對(duì)試樣管40的測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行切換，而在測(cè)量前對(duì)切換器41和擴(kuò)散洗滌器45先進(jìn)行洗滌，該方法可以有效的消除在點(diǎn)B測(cè)量時(shí)點(diǎn)A的影響。然而，如果只觀測(cè)點(diǎn)A，在點(diǎn)A的濃度突然改變時(shí)(例如，濃度突然從高濃度改變到低濃度時(shí))，即使先前已清潔過(guò)的切換器41和擴(kuò)散洗滌器45處于清潔的情況下，由于存留的氣體組分沾在試樣管的內(nèi)壁上的緣故，因此就不可能取得高精度的測(cè)量。
因此，本發(fā)明的目的是，改進(jìn)已有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種能夠消除記憶效應(yīng)并能夠高精度地探測(cè)痕量級(jí)沾染物的痕量級(jí)氣體分析方法和裝置。
為了取得上述的目的，本發(fā)明采取下述的基本技術(shù)結(jié)構(gòu)。
尤其是，本發(fā)明的第一方面是涉及一種痕量級(jí)氣體分析裝置，該裝置包含一種擴(kuò)散洗滌器，用于收集大氣氣體組分；一個(gè)試樣管，用于將所收集的大氣氣體組分導(dǎo)引到擴(kuò)散洗滌器；以及一個(gè)清潔裝置，利用清潔的液流對(duì)擴(kuò)散洗滌器和試樣管進(jìn)行清潔。
在本發(fā)明的第二方面的裝置中，其還包含一個(gè)泵浦，用于將清潔液流導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器和試樣管，以及從擴(kuò)散洗滌器和試樣管排放清潔液流；一個(gè)閥門(mén)，用于將清潔液流引導(dǎo)到擴(kuò)散洗滌器和試樣管，并從那里排出用過(guò)的清潔液。
在本發(fā)明的第三方面的裝置中，其還包含多個(gè)試樣管，用于在多個(gè)部位收集大氣氣體組分；以及設(shè)置在多個(gè)試樣管和擴(kuò)散洗滌器之間的切換閥，以便選擇任一個(gè)試樣管。
在本發(fā)明的第四方面中，所述的清潔液流是超凈水。
本發(fā)明用于分析空氣中痕量級(jí)氣體組分的方法的第一方面是，所述的氣體經(jīng)試樣管導(dǎo)入到擴(kuò)散洗滌器，吸收的液流被引入擴(kuò)散洗滌器，并利用離子色譜的濃縮柱濃縮吸收的液流，從而對(duì)大氣的痕量級(jí)氣體組分進(jìn)行分離和分析。所述方法包含下述的步驟第一步，清潔擴(kuò)散洗滌器和試樣管；第二步，回收第一步中使用的清潔液；第三步，使吸收的液流在擴(kuò)散洗滌器內(nèi)循環(huán)，以便在擴(kuò)散洗滌器內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定的收集；第四步，使吸收液流在擴(kuò)散洗滌器和濃縮柱之間進(jìn)行循環(huán)，以便在濃縮柱內(nèi)濃縮痕量級(jí)氣體組分；第五步，利用離子色譜對(duì)濃縮在濃縮柱中的組分進(jìn)行分析。
本發(fā)明方法的第二方面在于，在第五步中，第一步和第二步是同時(shí)進(jìn)行的。
在本發(fā)明中，如

圖1所示，在遠(yuǎn)離測(cè)量點(diǎn)設(shè)置的試樣管10連接到擴(kuò)散洗滌器11，同時(shí)將試樣管吸取的大氣提供到擴(kuò)散洗滌器11。在收集操作過(guò)程中，在大氣中的痕量級(jí)氣體組分通過(guò)設(shè)置在氣泵14側(cè)的氣體通道切換閥24收集，從而將空氣吸入擴(kuò)散洗滌器11，并使吸收的液流16同時(shí)吸收氣體組分。利用擴(kuò)散洗滌器11收集痕量級(jí)氣體已在日本待審專利公報(bào)(KOKAT)NO.8-54380中公開(kāi)，它是采用將氨組分和乙醇胺組分與其它痕量級(jí)氣體一起通過(guò)擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)的多孔氟化物薄膜，從而使他們由通過(guò)多孔氟化物薄膜的吸收液流16進(jìn)行吸收。由吸收液流16吸收的氣體組分利用離子色譜儀3的濃縮柱32，分離柱33，抑制器34，和電導(dǎo)計(jì)35，使各個(gè)氣體組分受到濃度變換。在濃縮過(guò)程中，即，在完成取樣后，通道切換閥24設(shè)置到清潔液流22一側(cè)，并由清潔泵21將用作清潔液流的超凈水22送到擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)，以及試樣管10內(nèi)。然后，將通道切換閥23設(shè)置到排水側(cè)，即，使清潔泵21反向轉(zhuǎn)動(dòng)，因此回收已經(jīng)注入擴(kuò)散洗滌器11和試樣管10內(nèi)的清潔液流，上述過(guò)程完成了清潔。
本發(fā)明的操作包含，循環(huán)進(jìn)行上述的清潔操作，在操作規(guī)程中清潔液流供入到擴(kuò)散洗滌器11和試樣管10，一個(gè)預(yù)備操作，其中使空氣和吸收液流16在擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)流動(dòng)，并使一個(gè)多孔氟化物薄膜以一種平衡狀態(tài)設(shè)置，一個(gè)取樣操作，其中將在擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)吸收的氣體組分供給濃縮柱32，同時(shí)使痕量級(jí)氣體組分在離子色譜儀的濃縮柱32內(nèi)濃縮，一個(gè)分離和分析操作，其中由離子色譜儀將取樣操作中由濃縮柱32濃縮的組分分離成各個(gè)組分。
在本發(fā)明中，提供清潔區(qū)2，該區(qū)利用超凈水清潔收集區(qū)1的試樣管10和擴(kuò)散洗滌器11，可以降低前期測(cè)量的記憶效應(yīng)，從而能夠高精度地監(jiān)測(cè)濃度。尤其，在高濃度氣體取樣后的瞬時(shí)，在以往會(huì)存在高濃度氣體組分沾附到收集區(qū)1的試樣管10和擴(kuò)散洗滌器11上，從而使測(cè)量值高于實(shí)際值的問(wèn)題。然而，采用本發(fā)明，由于能夠消除以往存在的記憶效應(yīng)，所以能夠進(jìn)行高精度的測(cè)量。
圖1表示本發(fā)明的痕量級(jí)氣體分析裝置結(jié)構(gòu)的主要部分的示意圖。
圖2表示本發(fā)明的痕量級(jí)氣體分析系統(tǒng)中操作過(guò)程的流程圖。
圖3表示在預(yù)備操作步驟中本發(fā)明的各部分的狀態(tài)示意圖。
圖4表示在取樣操作過(guò)程中本發(fā)明的各部分的狀態(tài)示意圖。
圖5表示在清潔操作過(guò)程中本發(fā)明的各部分的狀態(tài)示意圖。
圖6表示在清潔液流回收操作過(guò)程中本發(fā)明的各部分的狀態(tài)示意圖。
圖7表示由本發(fā)明的痕量級(jí)氣體分析裝置得到的結(jié)果與由以往的裝置得到的測(cè)量值相比較結(jié)果的曲線圖。
圖8表示本發(fā)明痕量級(jí)氣體分析裝置的其它實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖9表示以往的痕量級(jí)氣體分析裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
下面將參考附圖描述本發(fā)明的痕量級(jí)氣體分析裝置和方法的實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)下面將參考圖1-7說(shuō)明痕量級(jí)氣體分析裝置和方法的第一實(shí)施例。
這些附圖表示一種痕量級(jí)氣體分析裝置，它主要包含一個(gè)擴(kuò)散洗滌器11，用于收集大氣氣體的組分，一個(gè)取樣管10，將空氣導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器11，該裝置具有一個(gè)利用清潔液流22對(duì)擴(kuò)散洗滌器11和取樣管10進(jìn)行清潔的清潔裝置。
這種痕量級(jí)氣體分析裝置的清潔裝置2具有一個(gè)泵浦21，用于將清潔液流22導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器11和取樣管10，并從擴(kuò)散洗滌器11和取樣管10排放清潔液流22，一個(gè)閥23，用于將清潔液流22導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器11和取樣管10，并從他們排出用過(guò)的清潔液流。
下面將詳細(xì)地介紹本發(fā)明的第一實(shí)施例。
由圖1所示的主要管道連接圖表示本發(fā)明的一個(gè)連續(xù)測(cè)量大氣痕量級(jí)氣體的例子，圖2是表示這種操作情況的流程圖。這種痕量級(jí)氣體分析裝置的結(jié)構(gòu)可以分成，一個(gè)從遠(yuǎn)距位置獲取空氣的收集區(qū)1，一個(gè)清潔收集區(qū)內(nèi)的取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11的清潔區(qū)2，一個(gè)在取樣操作過(guò)程分離和分析由濃縮柱32濃縮的氣體組分用的離子色譜儀3，一個(gè)控制器4，用于對(duì)上述的各區(qū)1、2、3進(jìn)行控制，并對(duì)分析數(shù)據(jù)進(jìn)行顯示，儲(chǔ)存和評(píng)估。
下面說(shuō)明收集區(qū)1。
在遠(yuǎn)距離測(cè)量地的任一測(cè)量點(diǎn)設(shè)置取樣管10，在測(cè)量點(diǎn)對(duì)空氣取樣。取樣管10連接到擴(kuò)散洗滌器11。在擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)具有空氣通道和供吸收了空氣組分的吸收液流通過(guò)的吸收通道，空氣通道經(jīng)閥24連接到收集器12。收集器12作為水量收集器，用于收集從擴(kuò)散洗滌器11的吸收液流的泄漏，和對(duì)清潔操作過(guò)程中沾到擴(kuò)散洗滌器11的內(nèi)壁上的水滴的收集。收集器12的設(shè)置位置低于擴(kuò)散洗滌器11的位置。收集器12的輸出連接到質(zhì)流控制器13(MFC)。所述的質(zhì)流控制器13通過(guò)進(jìn)氣泵14調(diào)節(jié)空氣的進(jìn)入量，在收集操作時(shí)設(shè)定為0.5升/分，而在清潔操作(和洗滌器干燥時(shí))設(shè)定為5升/分。
下面說(shuō)明清潔區(qū)2。
清潔區(qū)2由清潔液流(超凈水)22形成，用于清潔取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11的空氣通道的內(nèi)壁，閥門(mén)23，在供液或排液方向切換清潔液流22，一個(gè)可逆清潔泵21，用于提供或回收清潔液流22，在通液流時(shí)，所示的閥門(mén)23和24處于如圖1所示的ON位置，并使清潔泵21工作。在回收清潔液流時(shí)，閥門(mén)23位于圖1所示的OFF位置，使清潔泵21反向操作，從而進(jìn)行液流的排放。
下面說(shuō)明離子色譜儀3的工作。
在離子色譜儀3中，利用洗脫液泵31將洗脫液30供入濃縮柱32，閥門(mén)36，分離柱33，抑制器34和電導(dǎo)率測(cè)量計(jì)35。例如，濃縮柱32(型號(hào)為T(mén)CC-LP1，由Dionex制造)已由日本待審專利NO.8-54380公開(kāi)(KOKAI)，用于濃縮吸收液流內(nèi)的正離子組分，于是將由洗脫液30分離的正離子組分注入到分離柱33內(nèi)，分離柱33將從濃縮液注入的正離子組分分離成氨離子，乙醇胺離子和其它的離子。抑制器34用于降低洗脫液的電導(dǎo)率本底。電導(dǎo)率測(cè)量計(jì)35測(cè)量洗脫液30的電導(dǎo)率，該洗脫液包含由分離柱分離的正離子。
最后，控制器4具有控制閥門(mén)23、24和36，以及清潔泵21，吸收液流泵15，洗脫液泵31和氣泵14的功能，還具有收集電導(dǎo)率計(jì)35的模擬輸出和進(jìn)行氣體組分濃度轉(zhuǎn)換的功能。
參照?qǐng)D3-6所示的各種氣流，清潔液流，吸收液流和洗脫液，采用圖2所示的操作程序?qū)Ρ景l(fā)明進(jìn)行痕量級(jí)氣體分析的方法說(shuō)明如下。
參見(jiàn)圖2-5說(shuō)明下述的清潔操作。
首先，在開(kāi)始測(cè)量后，對(duì)收集區(qū)1的取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11進(jìn)行清潔。如果存在由氣體物質(zhì)或粒子沾污收集區(qū)1，而這種沾污將引起裝置的測(cè)量誤差或失敗的情況下，執(zhí)行該操作，可以阻止痕量級(jí)氣體分析裝置的儲(chǔ)藏問(wèn)題。
下面將參見(jiàn)附圖1和5說(shuō)明不同的閥門(mén)和泵的操作。
為了清潔取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11，需要停止氣泵14工作。將清潔液流22提供到取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11，將閥門(mén)23和24置于ON側(cè)，并使清潔泵21工作。按照事先設(shè)定的作為裝置參數(shù)的取樣管10的長(zhǎng)度來(lái)設(shè)定需要提供的液流總量。在將清潔液流22提供到取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11時(shí)，可以清潔掉已經(jīng)附著在他們的內(nèi)壁上的粒子和水溶性氣體。在進(jìn)行這樣操作時(shí)，將吸收液流16經(jīng)一個(gè)以多孔的氟化物為基體的薄膜提供到擴(kuò)散洗滌器11，并利用吸收液流泵15經(jīng)閥門(mén)36將液流排放。存留在閥門(mén)36，濃縮柱32，分離柱33，抑制器34和電導(dǎo)率測(cè)量計(jì)35內(nèi)的洗脫液30被排放出去，于是逐出在上一次測(cè)量中收集在濃縮柱32和分離柱33內(nèi)的粒子組分。下面將參見(jiàn)圖2和6說(shuō)明清潔液流的回收和干燥。
在清潔操作過(guò)程中，為了回收提供到取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11的清潔液流，可使清潔泵21以與供液時(shí)的操作方向相反的反向運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，閥門(mén)23如圖1所示設(shè)置在OFF側(cè)，進(jìn)行液流排放。在進(jìn)行這種操作后，為了干燥存留在取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)的清潔液流的水滴，將閥門(mén)24設(shè)置到OFF側(cè)，并使氣泵14運(yùn)轉(zhuǎn)，使空氣通過(guò)取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11的內(nèi)部，并對(duì)這些部件進(jìn)行干燥。在收集器12內(nèi)收集水滴，使他們不進(jìn)入質(zhì)流控制器13，為了提高干燥的效率，可以設(shè)置大的質(zhì)流控制器13的流量，取得更快速的干燥。類似于清潔操作，排放吸收液流和洗脫液。
下面參見(jiàn)圖2和圖3說(shuō)明預(yù)備操作。
進(jìn)行該操作的目的是，在流過(guò)擴(kuò)散洗滌器11的空氣的氣體組分透過(guò)多孔的以氟化物為基體的薄膜，并溶入吸收液流16時(shí)，為了穩(wěn)定水溶性氣體組分的滲透性。在這樣做時(shí)，吸入由質(zhì)流控制器13設(shè)定的氣量。類似于清潔操作，將吸收液流16和洗脫液30排出。
下面將參見(jiàn)圖2和4說(shuō)明取樣操作。
該操作是將擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)由吸收液流16所吸收的氣體組分在濃縮柱32內(nèi)進(jìn)行濃縮。氣體吸收操作類似于預(yù)備操作。在擴(kuò)散洗滌器11內(nèi)由吸收液流16所吸收的氣體組分經(jīng)閥門(mén)36利用吸收液流泵15提供到濃縮柱32，并經(jīng)閥門(mén)36排出。洗脫液30由洗脫液泵31泵浦并通過(guò)閥門(mén)36，分離柱33，抑制器34和電導(dǎo)率測(cè)量計(jì)35，之后被排出，于是逐出存留在分離柱33內(nèi)的離子組分。
下面將參見(jiàn)圖2，5和6說(shuō)明分離和分析操作。
分離和分析操作類似于上述的清潔和清潔液流回收操作。為了溶解掉和分離在取樣操作時(shí)已在濃縮柱32內(nèi)濃縮的氣體組分，需要以與取樣操作的方向相反的方向?qū)⑾疵撘?0提供到濃縮柱32。然后，利用分離柱33和抑制器34分離離子組分，降低電導(dǎo)率的本底，之后，用電導(dǎo)率計(jì)35以溶掉離子組分之間的時(shí)間差來(lái)測(cè)量溶掉離子組分的電導(dǎo)率，同時(shí)一個(gè)與電導(dǎo)率值相應(yīng)的模擬信號(hào)輸入到控制器4，在進(jìn)行分離和分析時(shí)，進(jìn)行取樣管10和擴(kuò)散洗滌器11的清潔(圖5)，以及從他們流出的清潔液流的回收(圖6)，以此縮短測(cè)量周期。
控制器1控制閥門(mén)23，24和36，清潔泵21，吸收液流泵15，洗脫液泵31，和氣泵14，并獲取電導(dǎo)率計(jì)35的模擬輸出，同時(shí)進(jìn)行從獲取數(shù)據(jù)到氣體組分濃度轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)處理。
控制器4還在進(jìn)行分離和方向操作過(guò)程中執(zhí)行清潔操作和清潔液流回收操作。即，作出各種操作方式的時(shí)間設(shè)定，從而保持下面的條件。
(分離/分析操作時(shí)間)＝(清潔操作時(shí)間)+(清潔液流回收操作時(shí)間)如圖2的流程圖所示，如果設(shè)定操作時(shí)間，并進(jìn)行滿足上述條件的控制，將可能縮短一次測(cè)量所需的時(shí)間長(zhǎng)度。
圖7是表示由以往的裝置所獲得的測(cè)量結(jié)果與由本發(fā)明的裝置所獲得的測(cè)量結(jié)果之間的比較曲線，圖中清楚地表示本發(fā)明測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果表示實(shí)際的濃度。
如上所述，本發(fā)明的痕量級(jí)氣體分析方法是一種分析空氣中痕量級(jí)氣體組分的方法，其中，經(jīng)取樣管將空氣導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器，同時(shí)將吸收液流引入擴(kuò)散洗滌器，再由離子色譜儀的濃縮柱濃縮吸收液流，于是對(duì)痕量級(jí)氣體組分進(jìn)行分離和分析，該方法包含吸收步驟第一步，清潔擴(kuò)散洗滌器和取樣管；第二步，回收在第一步中使用的清潔液；第三步，使吸收液流在擴(kuò)散洗滌器內(nèi)循環(huán)，以穩(wěn)定在擴(kuò)散洗滌器內(nèi)的收集；第四步，使吸收液流在擴(kuò)散洗滌器和濃縮柱之間循環(huán)，以便在濃縮柱內(nèi)濃縮痕量級(jí)氣體組分；第五步，利用離子色譜儀分析在濃縮柱中濃縮的組分。
尤其，本發(fā)明中的清潔和回收步驟與分析步驟是同時(shí)進(jìn)行的。
(第二實(shí)施例)圖8是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的痕量級(jí)氣體分析裝置構(gòu)成的方框圖。用下述的舉例說(shuō)明本實(shí)施例，其中在部位10收集大氣的痕量級(jí)氣體，在該部位具有四個(gè)取樣和濃縮區(qū)，二個(gè)濃縮柱，并使用一個(gè)離子色譜儀作為分析裝置。
如圖8所示，安裝四個(gè)10-方向的切換閥，將10個(gè)取樣管均與切換閥連接，在測(cè)量位置安裝每個(gè)取樣管。所述的10-方向切換閥從10個(gè)位置中選擇一個(gè)位置來(lái)收集大氣痕量級(jí)物質(zhì)和從中采集的空氣?？刂扑慕M10-方向的閥，以選擇相互不同的空氣收集位置。具有二個(gè)濃縮柱，吸收液流包含在擴(kuò)散洗滌器內(nèi)吸收的痕量級(jí)物質(zhì)，該液流通過(guò)擴(kuò)散洗滌器和濃縮柱循環(huán)和流動(dòng)，從而在濃縮柱中對(duì)其濃縮。由洗脫液從濃縮柱引入的分離柱痕量級(jí)物質(zhì)被分離成個(gè)別的物質(zhì)，利用離子色譜儀對(duì)他們分別進(jìn)行分析。
在圖8中，類似于第一實(shí)施例，將標(biāo)號(hào)2A表示為清潔區(qū)，用于清潔取樣管，10-方向切換閥，和擴(kuò)散洗滌器，在圖8中，使清潔區(qū)2A構(gòu)成可以清潔所有的四個(gè)組。然而，須知也可以用其它的方式對(duì)每個(gè)組分別提供清潔區(qū)。
以合適的方式進(jìn)行清潔操作。
本發(fā)明也可以以其它的方法進(jìn)行，例如采用溶蝕方法或者沖擊濾塵方法。
提供采用上述的技術(shù)構(gòu)成，所示的痕量級(jí)氣體的分析裝置和方法取得了許多效果。
第一個(gè)效果是，降低記憶效應(yīng)，例如，如圖7所示，在高濃度沾污出現(xiàn)的情況，在以往，高濃度組分沾到擴(kuò)散洗滌器或者取樣管上，導(dǎo)致下一次測(cè)量值大于實(shí)際的濃度值。然而，采用本發(fā)明，如采用圖1所示的管路連接和圖2所示的流程圖，提供一個(gè)清潔區(qū)，將先前測(cè)量的組分清除掉，從而使每次均可以得到精確的測(cè)量，不會(huì)受到先前測(cè)量的高濃度組分的影響。
第二個(gè)效果是本發(fā)明的測(cè)量時(shí)間非常短，即使測(cè)量過(guò)程中包含了清潔操作。
權(quán)利要求
1.一種痕量級(jí)氣體分析裝置，包含一個(gè)擴(kuò)散洗滌器，用于收集大氣氣體組分；一個(gè)取樣管，用于將所收集的大氣氣體組分導(dǎo)入所述的擴(kuò)散洗滌器；清潔裝置，用于利用清潔液流清潔所述的擴(kuò)散洗滌器和所述的取樣管。
2.如權(quán)利要求1所述的痕量級(jí)氣體分析裝置，所述的裝置還包含一個(gè)泵，用于將所述的清潔液流供入所述的擴(kuò)散洗滌器和取樣管，并將所述的清潔液流從所述的擴(kuò)散洗滌器和所述的取樣管排出；一個(gè)閥門(mén)，用于將所述的清潔液流導(dǎo)入所述的擴(kuò)散洗滌器和所述的取樣管，并從中將用過(guò)的清潔液流排放。
3.如權(quán)利要求1所述的痕量級(jí)氣體分析裝置，所述的裝置還包含多個(gè)取樣管，用于在多個(gè)部位收集大氣氣體組分；以及，一個(gè)切換閥，設(shè)置在所述的多個(gè)取樣管和所述的擴(kuò)散洗滌器之間，以便選擇任一個(gè)所述的取樣管。
4.如權(quán)利要求1所述的痕量級(jí)氣體分析裝置，其特征是所述的清潔液流是超凈水。
5.一種分析空氣中痕量級(jí)氣體組分的方法，其特征是所述的空氣經(jīng)取樣管導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器，并將吸收液流引入所述的擴(kuò)散洗滌器，所述的吸收液流由離子色譜儀的濃縮柱進(jìn)行濃縮，從而分離和分析大氣痕量級(jí)氣體組分，所述的方法包含下述步驟清潔所述的擴(kuò)散洗滌器和所述的取樣管；回收在所述第一步驟中使用的所述清潔液流；將吸收液流在所述擴(kuò)散洗滌器內(nèi)循環(huán)，以穩(wěn)定在所述擴(kuò)散洗滌器內(nèi)的收集；使吸收液流在所述擴(kuò)散洗滌器和所述濃縮柱之間循環(huán)，以在所述濃縮柱內(nèi)濃縮所述的痕量級(jí)氣體；利用離子色譜儀分析所述濃縮柱內(nèi)濃縮的組分。
6.如權(quán)利要求5所述的分析空氣中痕量級(jí)氣體組分的方法，其特征是，在所述分析步驟，同時(shí)進(jìn)行清潔步驟和回收步驟。
7.如權(quán)利要求5所述的分析空氣中痕量級(jí)氣體組分的方法，其特征是，使用超凈水進(jìn)行清潔步驟。
全文摘要
一種痕量級(jí)氣體分析裝置，具有收集大氣中氣體組分的擴(kuò)散洗滌器11，和將空氣導(dǎo)入擴(kuò)散洗滌器11的取樣管10，該裝置設(shè)置利用清潔液流22清潔擴(kuò)散洗滌器11和取樣管10的清潔裝置。
文檔編號(hào)B01D53/22GK1316645SQ01102340
公開(kāi)日2001年10月10日 申請(qǐng)日期2001年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2000年2月3日
發(fā)明者佐藤右一 申請(qǐng)人:日本電氣株式會(huì)社