專(zhuān)利名稱(chēng)：含氮氟化物氣體的凈化劑及凈化方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及含氮氟化物氣體的凈化劑及凈化方法。更詳細(xì)地說(shuō)是涉及有效地凈化從半導(dǎo)體制造工序排出的、含有氮氟化物氣體的凈化劑及凈化方法，其凈化劑在空氣中比較穩(wěn)定且容易保存、使用，在凈化中或凈化后的后處理中不伴有危險(xiǎn)，另外不排出NOx。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工業(yè)中，作為硅、硅氧化物等的干腐蝕氣體和CVD裝置的室清凈氣體，使用著三氟化氮。已經(jīng)被認(rèn)識(shí)的三氟化氮，對(duì)于水的溶解度小，與酸或堿幾乎都不反應(yīng)，在室溫下相當(dāng)穩(wěn)定，對(duì)于地球溫室化效應(yīng)的影響較大，除此之外有報(bào)告其容許濃度達(dá)到10ppm，當(dāng)其毒性較高，直接排放到大氣中時(shí)，對(duì)于人體及環(huán)境有害，因此在半導(dǎo)體制造工序使用后必需進(jìn)行凈化。
另外，雖然三氟化氮在常溫、常壓下穩(wěn)定，但在干腐蝕和清凈工序中，通過(guò)熱、放電等生成四氟化二氮、二氟化二氮、六氟化二氮等的氮氟化物。由于這些氣體比三氟化氮的毒性還強(qiáng)，所以與三氟化氮必須同樣進(jìn)行凈化。
以往，作為氮氟化物的凈化劑，開(kāi)發(fā)了將鈣和/或鎂作為有效成份的凈化劑(日本第99033/1994號(hào)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào))、將金屬鋅、金屬鋁或兩者的混合物作為主成份的凈化劑(日本第134256/1994號(hào)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào))、由鋯或鋯系合金構(gòu)成的凈化劑(日本第238128/1994號(hào)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào))、將氧化亞錫作為有效成份的凈化劑(日本第5018/1999號(hào)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào))等。由于氮氟化物在常溫下穩(wěn)定，所以即使在使用任何凈化劑時(shí)都要進(jìn)行加熱、凈化處理。
另外，作為其他的凈化方法，有將含有氮氟化物的氣體導(dǎo)入到使用氫氣、甲烷、丙烷的燃燒爐的火焰中燃燒的方法、在加熱下與金屬氧化物接觸凈化的方法等。
可是，將鈣和/或鎂作為有效成份的凈化劑或者將金屬鋅、金屬鋁或兩者的混合物作為主成份的凈化劑，由于有效成份、主成份容易與氧或者水反應(yīng)，所以除了保存、使用上困難之外，對(duì)于凈化后的未反應(yīng)凈化劑的后處理時(shí)，有急劇放熱、產(chǎn)生有害氣體等的危險(xiǎn)。另外，由鋯或鋯系合金構(gòu)成的凈化劑，雖然在常溫的空氣中穩(wěn)定，但在凈化溫度附近的高溫下與氧劇烈反應(yīng)。進(jìn)而，由于三氟化氮的濃度高等引起高溫時(shí)，則與通常作為三氟化氮的稀釋氣體使用的氮也進(jìn)行劇烈反應(yīng)，有引起熱擊穿的危險(xiǎn)。
另外，將氧化亞錫作為有效成份的凈化劑，從常溫到高溫的空氣中是比較穩(wěn)定的，但由于含有三氟化氮的氣體凈化而生成的SnF2的密度比作為有效成份的SnO小，所以?xún)艋瘎┰趦艋磻?yīng)結(jié)束的部分產(chǎn)生膨脹，引起凈化筒內(nèi)的壓力損失的增加或者閉塞，盡管還殘留有凈化能力，但是也必需更換成新的凈化劑繼續(xù)凈化。
進(jìn)而，將含有氮氟化物的氣體導(dǎo)入到燃燒爐的火焰中燃燒的方法、在加熱下與金屬氧化物接觸凈化的方法，都有排出NOx的不良現(xiàn)象。
因此，本發(fā)明要解決的課題在于提供凈化劑及使用它的凈化方法，其凈化劑在含有三氟化氮等的氮氟化物的氣體凈化中，可在空氣中比較穩(wěn)定且容易保存、使用，在凈化中不發(fā)生由于稀釋氣體的種類(lèi)引起熱擊穿，或者在凈化后的后處理中的急劇放熱和產(chǎn)生有害氣體等的危險(xiǎn)，另外，在凈化中不會(huì)引起凈化筒內(nèi)的壓力損失增加或者閉塞，并且不排出NOx，可高效地凈化含有氮氟化物的氣體。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明者們?yōu)榱私鉀Q這些課題進(jìn)行銳意地研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)了含有氧化亞錫及由堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽組成選出的1種以上的化合物作為有效成份的凈化劑，在空氣中比較穩(wěn)定，容易保存、使用。另外，本發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)通過(guò)將含有氮氟化物作為有害成份的氣體在加熱下與上述凈化劑接觸，在凈化中不會(huì)發(fā)生由于稀釋氣體的種類(lèi)引起熱擊穿，或者在凈化后的后處理中引起急劇的放熱和發(fā)生有害氣體等，另外，在凈化中不會(huì)引起凈化筒內(nèi)的壓力損失增加或者引起閉塞，進(jìn)而不排出NOx，可高效地凈化含有氮氟化物的氣體，從而完成了本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化劑及凈化方法。
即，本發(fā)明是含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是作為有效成份含有氧化亞錫，以及從堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物。
另外，本發(fā)明也是含有氮氟化物的氣體的凈化方法，其特征是將含有氮氟化物作為有害成份的氣體，在加熱下，與凈化劑接觸，進(jìn)行凈化，作為凈化劑的有效成份含有氧化亞錫，以及堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物。
本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化劑可容易地進(jìn)行其保存、使用等。另外，本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化方法，在凈化中不發(fā)生由于稀釋氣體的種類(lèi)引起熱擊穿、或者在凈化后的后處理中不引起劇烈的放熱和有害氣體的發(fā)生等，另外，在凈化中，在凈化筒內(nèi)不會(huì)發(fā)生壓力損失的增加或者閉塞，進(jìn)而，不排出NOx，可高效地凈化含有氮氟化物的氣體。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化劑及凈化方法，適用于凈化含在氮、氬、氦等的氣體中的三氟化氮、四氟化二氮、二氟化二氮、六氟化二氮等的氮氟化物的凈化劑及凈化方法。
本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化劑是作為有效成份含有氧化亞錫及從堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物的凈化劑。
另外，本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化方法，是將含有氮氟化物的氣體，在加熱下，與上述凈化劑接觸、凈化的凈化方法。
以下，對(duì)于本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化劑進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
在本發(fā)明的凈化劑中，作為有效成份之一使用的氧化亞錫(SnO)，是市售的粉末等狀態(tài)、純度98％以上的，所以通常可使用這些的市售品。
另外，上述以外的作為有效成份的堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽，可舉出鈹、鎂、鈣、鍶、鋇、鑭、鈰、鐠、釹、釤、銪等的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽，但從價(jià)廉且容易得到的點(diǎn)上看，優(yōu)選的是使用鎂、鈣、鍶或鑭的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽。另外，這些的堿土類(lèi)金屬化合物、鑭系元素化合物可單獨(dú)使用也可2種以上并用。
本發(fā)明的凈化劑，配制時(shí)將含在凈化劑中的錫的原子數(shù)和、堿土類(lèi)金屬的原子數(shù)及鑭系元素的原子數(shù)的合并原子數(shù)的比作成1∶0.1～2.0，優(yōu)選的是1∶0.3～1.0。堿土類(lèi)金屬的原子數(shù)及鑭系元素的合并原子數(shù)，不足錫的原子數(shù)10％時(shí)，在含有三氟化氮的氣體的凈化中，會(huì)引起將主成份的SnO變換成SnF2的反應(yīng)。SnF2的密度是4.57g/cm3，與作為主成份的SnO(密度是6.95g/cm3)相比是小的，所以?xún)艋瘎┑膬艋磻?yīng)終了的部分膨脹，引起凈化筒內(nèi)的壓力損失增加或者閉塞的不良現(xiàn)象。另外，堿土類(lèi)金屬的原子數(shù)及鑭系元素的原子數(shù)的合并原子數(shù)，在超過(guò)錫的原子數(shù)的2.0倍時(shí)，產(chǎn)生排出NOx的不良現(xiàn)象。
另外，本發(fā)明的凈化劑，為了提高造粒時(shí)的成型性和成型強(qiáng)度，除了有效成份之外可添加成型助劑。作為這樣的成型助劑，可使用氟化鋰、氟化鈉、氟化鉀、氟化鎂、氟化鈣、氟化鑭等的金屬氟化物，但是其中，在提高成型強(qiáng)度的效果優(yōu)良的點(diǎn)上，特別優(yōu)選的是使用氟化鉀。這些可以單獨(dú)或者混合2種以上使用。這些成型助劑的加入，可在配制凈化劑時(shí)添加、混煉到有效成份中。成型助劑的添加量，根據(jù)成型條件而不同，不能一概地特定，過(guò)少時(shí)，得不到作為成型助劑的效果，若過(guò)多時(shí)，凈化能力降低，所以通常對(duì)于凈化劑總重量是0.1～10wt％、優(yōu)選的是0.5～5wt％。
另外，本發(fā)明的凈化劑也可以含有對(duì)于氮氟化物的凈化不給予壞影響的雜質(zhì)、惰性物質(zhì)等。進(jìn)而，使用前的凈化劑也可以含有水分，但優(yōu)選的是不含水的，通常凈化劑中的水分配制成2wt％以下。另外，即使含有這些成型助劑、雜質(zhì)、惰性物質(zhì)、水分等時(shí)，但是凈化劑中的有效成份的含量，通常也需在70wt％以上、優(yōu)選的是90wt％以上。
本發(fā)明的凈化劑的成型方法沒(méi)有特別限制，例如可在凈化劑成份中加入水作成漿液或餅狀后，擠出成型、切成適當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度、干燥的方法或者用壓片成型將凈化劑成份造粒的方法。
另外，本發(fā)明的凈化劑可以通過(guò)將氧化亞錫等和由上述的堿土類(lèi)金屬化合物及鑭的化合物選出的1種以上的化合物等混合、成型進(jìn)行配制，也可將氧化亞錫等成型的同時(shí)，將從堿土類(lèi)金屬化合物及鑭系元素的化合物選出的1種以上的化合物等也成型后，混合這些而進(jìn)行配制。
在本發(fā)明的凈化劑中，在任何一種配制方法中，通常需要成型成直徑1～10mm左右的球狀或者直徑0.5～5mm左右而長(zhǎng)度2～20mm左右的圓柱狀或者類(lèi)似它的形狀或相當(dāng)它的大小及形狀后，再配制。
以下，對(duì)于本發(fā)明的含有氮氟化物的氣體的凈化方法進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
本發(fā)明的凈化方法，是在加熱下將含有氮氟化物的氣體與上述的凈化劑接觸來(lái)凈化的方法。但是作為凈化劑的有效成份的一部分，使用堿土類(lèi)金屬的氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氫氧化物、碳酸鹽時(shí)，上述中的一些的化合物在加熱時(shí)成為氧化物，發(fā)揮堿土類(lèi)金屬的氧化物、鑭系元素的氧化物的效果。
用本發(fā)明的凈化方法，將含有三氟化氮的氣體，與作為有效成份含有氧化亞錫及氧化鈣物的凈化劑接觸而凈化時(shí)，可推測(cè)發(fā)生以下的(式1)(式2)或(式3)的反應(yīng)。在本發(fā)明的凈化方法中，從這些的反應(yīng)式中明顯知道生成CaSnF6、SnO2、CaF2，但由于這些反應(yīng)生成物的合并體積和反應(yīng)前的凈化劑的有效成份的體積的差很小，所以不用擔(dān)心引起凈化筒的填充材料(凈化劑及反應(yīng)生成物)膨脹后，在凈化筒內(nèi)壓力損失的增加或者閉塞。例如，在(式3)的反應(yīng)時(shí)，作為凈化劑的有效成份的SnO、CaO的密度分別是6.95g/cm3、3.37g/cm3，作為反應(yīng)生成物的SnO2、CaF2的密度分別是7.0g/cm3、3.08g/cm3，由于這些是等摩爾比的，兩者的平均密度的差小，體積的差也小。
(式1)(式2)(式3)另外，在上述反應(yīng)中，在使用La2O3等的鑭系元素化合物代替CaO等的堿土類(lèi)金屬化合物時(shí)，按照上述反應(yīng)式，可凈化含有氮氟化物的氣體。
在本發(fā)明的凈化方法中，使含有氮氟化物的氣體與凈化劑接觸的溫度，通常是200～800℃、優(yōu)選的是250～600℃。在溫度比200℃低時(shí)，氮氟化物的凈化能力下降。另外溫度高于800℃時(shí)，不能使用不銹鋼作凈化筒，而必須使用耐熱性更高的材質(zhì)。
另外，進(jìn)行凈化時(shí)的凈化筒內(nèi)的壓力，通常是常壓，但例如也可從1KPa的減壓到0.2MPa(絕對(duì)壓力)的加壓下進(jìn)行。
在本發(fā)明的凈化方法中，用于填充凈化劑的凈化筒，通常是圓筒狀，大小通常是內(nèi)徑10～500mm、長(zhǎng)度20～2000mm左右。填充于凈化筒的凈化劑的填充長(zhǎng)度，通常是10～1000mm左右、優(yōu)選的是50～500mm左右。凈化劑的填充長(zhǎng)度是10mm以下時(shí)，含有氮氟化物的氣體的凈化不充分，在1000mm以上時(shí)，壓力損失變大。另外，作為用于加熱凈化筒的手段，通常是在凈化筒的外側(cè)設(shè)置加熱器，通過(guò)外部的控制裝置控制溫度。另外，在本發(fā)明的凈化方法中，除了將凈化劑作為固定床使用外，也可作為移動(dòng)床、流動(dòng)床使用。
對(duì)于使用本發(fā)明的凈化方法時(shí)的含有氮氟化物的氣體流速?zèng)]有特別限制，但一般優(yōu)選的是含在氣體中的氮氟化物的濃度越高將流速變得越小。氮氟化物的濃度通常在1％以下，但流量小時(shí)，可以進(jìn)行含有更高濃度的氮氟化物的氣體的凈化處理。
凈化筒是根據(jù)氮氟化物的濃度、流量等進(jìn)行設(shè)計(jì)的，但優(yōu)選的是在氮氟化物的濃度是0.1％以下的比較低濃度時(shí)，空筒線速度(LV)是0.5～50cm/sec、氮氟化物的濃度是0.1％～1％左右時(shí)，LV是0.05～20cm/sec、氮氟化物的濃度是1％以上的高濃度時(shí)，是10cm/sec以下的范圍內(nèi)設(shè)計(jì)的。
實(shí)施例以下，用實(shí)施例對(duì)于本發(fā)明的含有氮氟化物氣體的凈化劑及凈化方法進(jìn)行具體地說(shuō)明。
實(shí)施例1(凈化劑的配制)將市售的氧化亞錫(純度99％)及氧化鈣(純度99％)粉碎到100μm以下，使原子數(shù)的比(Sn∶Ca)達(dá)到1∶0.5地進(jìn)行混合。將混合物裝入內(nèi)徑20mm、高度5mm的模具內(nèi)后，使用油壓頂用150～160kg/cm2的壓力加壓10秒鐘成型后，破碎得到的劑，進(jìn)而用篩將通過(guò)3.36mm的篩孔、通不過(guò)2.00mm的篩孔的劑作為凈化劑。
(凈化試驗(yàn))將上述的凈化劑填充到內(nèi)徑23.9mm、長(zhǎng)度200mm的SUS316L制的凈化筒的內(nèi)部，使填充長(zhǎng)度成為100mm。將凈化筒的凈化劑的溫度加熱到400℃后，將含有NF3(流量13.46ml/min)的氮(合計(jì)流量1346ml/min)導(dǎo)入到凈化筒中凈化含有NF3的氣體。
此時(shí)，每10分鐘采取從凈化筒的排出口排出的凈化氣體的一部分，用氣相色譜法(檢測(cè)下限10ppm)進(jìn)行分析，測(cè)定直到檢測(cè)NF3的時(shí)間，求出對(duì)于每1L(升)凈化劑的NF3的凈化處理量(L)(凈化處理能力)的同時(shí)，用檢測(cè)管((株)瓦斯特科(ガステツク)制)檢查有無(wú)NOx的排出。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例2、3除了將實(shí)施例1的凈化劑的氧化亞錫和氧化鈣的混合比按原子數(shù)的比(Sn∶Ca)分別達(dá)到1∶0.3、1∶0.75進(jìn)行混合外，其他與實(shí)施例1相同地配制凈化劑。使用這些凈化劑，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例4、5除了將實(shí)施例1的凈化試驗(yàn)的NF3的濃度分別變成0.2％、2.0％之外，其他與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例6、7除了將實(shí)施例1的配制凈化劑的氧化鈣分別替換成氫氧化鈣、碳酸鈣之外，其他與實(shí)施例1相同地配制凈化劑。使用這些凈化劑，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例8、9除了將實(shí)施例1的配制凈化劑的氧化鈣分別替換成氧化鎂、氧化鍶之外，其他與實(shí)施例1相同地配制凈化劑。使用這些凈化劑，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例10(凈化劑的配制)將市售的氧化亞錫(純度99％)及氧化鑭(純度99％)粉碎到100μm以下，使原子數(shù)的比(Sn∶La)達(dá)到1∶0.5地進(jìn)行混合。通過(guò)將混合物裝入內(nèi)徑20mm、高度5mm的模具后，使用油壓頂用150～160kg/cm2的壓力加壓10秒鐘成型后，粉碎得到的劑，進(jìn)而用篩將通過(guò)3.36mm的篩孔、通不過(guò)2.00mm的篩孔的劑作為凈化劑。
(凈化試驗(yàn))將上述的凈化劑填充到內(nèi)徑23.9mm、長(zhǎng)度200mm的SUS316L制的凈化筒的內(nèi)部使填充長(zhǎng)度成為100mm。將凈化筒的凈化劑的溫度加熱到400℃后，將含有NF3(流量13.46ml/min)的氮(合計(jì)流量1346ml/min)導(dǎo)入到凈化筒中凈化含有NF3的氣體。
此時(shí)，每10分鐘采取從凈化筒的排出口排出的凈化氣體的一部分，用氣相色譜法(檢測(cè)下限10ppm)進(jìn)行分析，測(cè)定直到檢測(cè)NF3的時(shí)間，求出對(duì)于每1L(升)凈化劑的NF3的凈化處理量(L)(凈化處理能力)的同時(shí)，用檢測(cè)管((株)瓦斯特科制)檢查有無(wú)NOx的排出。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例11、12除了將配制實(shí)施例10的凈化劑的氧化亞錫和氧化鑭的混合比按原子數(shù)的比(Sn∶La)分別達(dá)到1∶0.3、1∶0.75進(jìn)行混合外，其他與實(shí)施例10相同地配制凈化劑。使用這些凈化劑，與實(shí)施例10相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例13、14除了將實(shí)施例10的凈化試驗(yàn)的NF3的濃度分別變成0.2％、2.0％之外，其他與實(shí)施例10相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例15、16除了將實(shí)施例10的配制凈化劑的氧化鑭分別替換成氫氧化鑭、碳酸鑭之外，其他與實(shí)施例10相同地配制凈化劑。使用這些凈化劑，與實(shí)施例10相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例17(凈化劑的配制)
將市售的氧化亞錫(純度99％)及氧化鈣(純度99％)及氧化鑭(純度99％)粉碎到100μm以下，使原子數(shù)的比(Sn∶Ca∶La)達(dá)到1∶0.3∶0.2地進(jìn)行混合。通過(guò)將混合物裝入到內(nèi)徑20mm、高度5mm的模具后，使用油壓頂用150～160kg/cm2的壓力加壓10秒鐘成型后，粉碎得到的劑，進(jìn)而用篩將通過(guò)3.36mm的篩孔、通不過(guò)2.00mm的篩孔的劑作為凈化劑。
(凈化試驗(yàn))將上述的凈化劑填充到內(nèi)徑23.9mm、長(zhǎng)度200mm的SUS316L制的凈化筒的內(nèi)部，使填充長(zhǎng)度成為100mm。將凈化筒的凈化劑的溫度加熱到400℃后，將含有NF3(流量13.46ml/min)的氮(合計(jì)流量1346ml/min)導(dǎo)入到凈化筒中凈化含有NF3的氣體。
此時(shí)，每10分鐘采取從凈化筒的排出口排出的凈化氣體的一部分，用氣相色譜法(檢測(cè)下限10ppm)進(jìn)行分析，測(cè)定直到檢測(cè)NF3的時(shí)間，求出對(duì)于每1L(升)凈化劑的NF3的凈化處理量(L)(凈化處理能力)的同時(shí)，用檢測(cè)管((株)瓦斯特科制)檢查有無(wú)NOx的排出。其結(jié)果如表1所示。
實(shí)施例18除了將實(shí)施例17配制的凈化劑的氧化亞錫、氧化鈣、氧化鑭的混合比達(dá)到原子數(shù)的比(Sn∶Ca∶La)為1∶0.2∶0.3進(jìn)行混合之外，其他與實(shí)施例17相同地配制凈化劑，使用這些凈化劑，與實(shí)施例17相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)。其結(jié)果如表1所示。
比較例1(凈化劑的配制)在市售的氧化亞錫(純度99％)1000g中，加入將氟化鉀(KF、關(guān)東化學(xué)(株)制、試藥特級(jí))50g溶解到65g水中的水溶液進(jìn)行混合。用擠出成型機(jī)將得到的餅狀物從直徑1.6mm的噴嘴板擠出，切斷得到的成型物，作成長(zhǎng)度3～5mm左右的顆粒，在氮?dú)夥諊逻吋訜岬?20℃邊干燥約12小時(shí)配制凈化劑。
(凈化試驗(yàn))除了使用上述的凈化劑之外，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)?？墒?，由于在檢測(cè)NF3之前凈化筒的壓力損失變大，所以終止了凈化試驗(yàn)。將有無(wú)NOx的排出情況，和從終止了凈化試驗(yàn)的時(shí)間求出對(duì)于每1L(升)凈化劑的NF3的凈化處理量(L)(凈化處理能力)的結(jié)果如表1所示。
比較例2將市售的氧化鈣(純度99％)粉碎到100μm以下，裝入到內(nèi)徑20mm、高度5mm的模具后，使用油壓頂用150～160kg/cm2的壓力加壓10秒鐘成型后，粉碎得到的劑，進(jìn)而用篩將通過(guò)3.36mm的篩孔、通不過(guò)2.00mm的篩孔的劑作為凈化劑。
除了使用上述的凈化劑之外，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)?？墒?，由于在凈化試驗(yàn)開(kāi)始后立即確認(rèn)排出數(shù)千ppm的NO，所以終止了凈化試驗(yàn)。
比較例3將市售的氧化鑭(純度99％)粉碎到100μm以下，裝入到內(nèi)徑20mm、高度5mm的模具后，使用油壓頂用150～160kg/cm2的壓力加壓10秒鐘成型后，粉碎得到的劑，進(jìn)而用篩將通過(guò)3.36mm的篩孔、通不過(guò)2.00mm的篩孔的劑作為凈化劑。
除了使用上述的凈化劑之外，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行NF3的凈化試驗(yàn)?？墒牵捎谠趦艋囼?yàn)開(kāi)始后立即確認(rèn)排出數(shù)千ppm的NO，所以終止了凈化試驗(yàn)。
表1

權(quán)利要求
1.含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是作為有效成份，含有氧化亞錫，以及從堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是堿土類(lèi)金屬是鎂、鈣或者鍶。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是鑭系元素是鑭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是有效成份在凈化劑中的重量比是70％以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是含有在凈化劑中錫的原子數(shù)和、堿土類(lèi)金屬的原子數(shù)及鑭系元素的原子數(shù)的合并原子數(shù)的比是1∶0.1～2.0。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是含有有效成份的同時(shí)還含有作為成型助劑的金屬氟化物。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是金屬氟化物為氟化鉀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有氮氟化物的氣體的凈化劑，其特征是氮氟化物為從三氟化氮、四氟化二氮、二氟化二氮、六氟化二氮中選擇出的1種以上。
9.含有氮氟化物的氣體的凈化方法，其特征是將含有作為有害成份的氮氟化物的氣體，在加熱下，與將含有氧化亞錫及從堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物作為有效成份的凈化劑接觸，進(jìn)行凈化。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的含有氮氟化物的氣體的凈化方法，其特征是含有氮氟化物的氣體和凈化劑的接觸溫度是200～800℃。
全文摘要
本發(fā)明提供含有氮氟化物的氣體的凈化劑及凈化方法，在凈化劑中，作為有效成份含有氧化亞錫，以及從堿土類(lèi)金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、鑭系元素的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽中選出的1種以上的化合物，在凈化方法中，使含有氮氟化物的氣體在加熱下與上述凈化劑接觸而進(jìn)行凈化。該凈化劑可容易地進(jìn)行其保存、使用，在凈化中不發(fā)生由于稀釋氣體的種類(lèi)引起熱擊穿、或者在凈化后的后處理中的劇烈的放熱和有害氣體的生成等，另外，在凈化中，在凈化筒內(nèi)不會(huì)發(fā)生壓力損失的增加或者閉塞，進(jìn)而，不排出NO
文檔編號(hào)B01D53/34GK1468646SQ0313736
公開(kāi)日2004年1月21日 申請(qǐng)日期2003年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月25日
發(fā)明者大塚健二, 名和洋二, 二, 大 健二 申請(qǐng)人:日本派歐尼株式會(huì)社