專利名稱:多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，還包括在線清洗裝置，該在線清洗裝置包括第一清洗管道，第一清洗管道的輸入端與鹽水換熱器第二出口連接，第一清洗管道的輸出端與氣氣換熱器第二入口連接，和/或，鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，在線清洗裝置包括第二清洗管道，第二清洗管道的輸入端與鹽水換熱器第二出口連接，第二清洗管道的輸出端與鹽水換熱器第二入口連接。該清洗裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器和/或鹽水換熱器的在線清洗，無(wú)需對(duì)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器和/或鹽水換熱器拆卸，提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用。
【專利說(shuō)明】多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于多晶硅生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的多晶硅生產(chǎn)工藝主要包括三氯氫硅合成工藝、三氯氫硅氫還原工藝、四氯化硅氫還原工藝，上述工藝所產(chǎn)生的尾氣均輸送至尾氣回收冷凝系統(tǒng)進(jìn)行分離回收利用，達(dá)到節(jié)能降耗的目的。上述尾氣主要包括氣相氫氣、氯化氫、氯硅烷和固體硅粉塵，所述氯硅烷包括二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅，其中硅粉塵來(lái)源于三氯氫硅合成工藝帶來(lái)的未反應(yīng)的硅粉顆粒及三氯氫硅氫還原工藝中產(chǎn)生的粉塵硅粉。上述硅粉的產(chǎn)生原理如下:
[0003]三氯氫硅合成工藝，主要反應(yīng)如下:HC1+Si = SiHCl3+H2，其中原料硅粉為固體顆粒，其中，沒(méi)有反應(yīng)完全的硅粉夾帶至尾氣中進(jìn)入尾氣回收冷凝系統(tǒng)。
[0004]三氯氫硅氫還原工藝，在1000°C至1200°C的條件下，在高純硅芯上，用高純氫氣還原高純?nèi)葰涔枭啥嗑Ч璩练e在高純硅芯上，主要反應(yīng)如下:SiHCl3+H2= Si+HCl，在溫度及原料進(jìn)料量增大的情況下生成的多晶硅不能完全沉積在硅芯上，生成的多晶硅就隨著尾氣進(jìn)入尾氣回收冷凝系統(tǒng)。上述硅粉是本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的固體顆粒。
[0005]上述尾氣進(jìn)入尾氣回收冷凝系統(tǒng)，利用低溫介質(zhì)換熱降溫將多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中的氯硅烷冷凝成液體，從而達(dá)到氫氣、氯化氫與氯硅烷分離的目的，在此過(guò)程中尾氣中的固體顆粒也沉積下來(lái)，沉積在多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的設(shè)備及管線上，造成多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的冷凝設(shè)備以及管線堵塞，一方面多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生壓差影響尾氣輸送，另一方面堵塞換熱器后直接導(dǎo)致?lián)Q熱器的換熱效果較差，降低尾氣冷凝效果。在傳統(tǒng)的尾氣回收冷凝系統(tǒng)中，要除去上述沉積在尾氣回收冷凝系統(tǒng)的冷凝設(shè)備以及管線上的固體顆粒，需要整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)停車后拆洗，增加了尾氣回收冷凝系統(tǒng)安全風(fēng)險(xiǎn)，影響尾氣回收冷凝系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)冷凝得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器和/或鹽水換熱器中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器和/或鹽水換熱器的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器和/或鹽水換熱器進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)。
[0007]解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0008]氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝，所述鹽水換熱器第一出口用于排出降溫冷凝得到的液體；
[0009]鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0010]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二出口，
[0011 ] 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0012]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0013]優(yōu)選的是，所述第一清洗管道上設(shè)置有用于控制流量的第一控制閥，所述第二清洗管道上設(shè)置有用于控制流量的第二控制閥。
[0014]本實(shí)用新型還提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0015]氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝;
[0016]鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0017]氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離，所述氣液分離器第一出口用于排出氣液分離得到的液體；
[0018]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氣液分離器還包括氣液分離器第二出口，
[0019]或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述氣液分離器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0020]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述氣液分離器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0021 ] 本實(shí)用新型還提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0022]氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝;
[0023]鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0024]氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離；
[0025]尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝，所述尾氣深冷器第一出口用于排出降溫冷凝得到的液體；
[0026]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述尾氣深冷器還包括尾氣深冷器第二出口，
[0027]或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0028]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0029]本實(shí)用新型還提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0030]氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝;
[0031 ] 鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0032]氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離；
[0033]尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝；
[0034]氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第一出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口用于排出其內(nèi)的液體；
[0035]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氯硅烷儲(chǔ)罐還包括氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口，
[0036]或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0037]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0038]優(yōu)選的是，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口與所述氣氣換熱器的殼程連接，從所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口排出的液體進(jìn)入氣氣換熱器的殼程與氣氣換熱器的管程內(nèi)的尾氣進(jìn)行換熱。
[0039]優(yōu)選的是，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)與所述氣氣換熱器的殼程連接，所述壓縮機(jī)用于將從氣氣換熱器的殼程的排出物進(jìn)行壓縮。
[0040]本實(shí)用新型還提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0041 ] 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝;
[0042]鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0043]氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離；
[0044]尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝；
[0045]氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷；
[0046]過(guò)濾器，所述過(guò)濾器包括過(guò)濾器入口、過(guò)濾器第一出口，所述過(guò)濾器入口與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口連接，所述過(guò)濾器用于過(guò)濾，所述過(guò)濾器第一出口用于排出過(guò)濾后的液體；
[0047]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述過(guò)濾器還包括過(guò)濾器第二出口，
[0048]或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0049]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0050]本實(shí)用新型還提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；
[0051 ] 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝;
[0052]鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝;
[0053]氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離；
[0054]尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝；
[0055]氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷；
[0056]過(guò)濾器，所述過(guò)濾器包括過(guò)濾器入口、過(guò)濾器第一出口，所述過(guò)濾器入口與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口連接，所述過(guò)濾器用于過(guò)濾；
[0057]升壓泵，所述升壓泵包括升壓泵入口、升壓泵第一出口，所述升壓泵入口與所述過(guò)濾器第一出口連接，所述升壓泵用于升壓所述升壓泵第一出口用于排出升壓后得到的液體；
[0058]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述升壓泵還包括升壓泵第二出口，
[0059]或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述升壓泵第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接，
[0060]和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
[0061 ] 本實(shí)用新型中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)冷凝得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器和/或鹽水換熱器中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器和/或鹽水換熱器的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器和/或鹽水換熱器進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器和/或鹽水換熱器的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。

【附圖說(shuō)明】

[0062]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0063]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0064]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例3中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0065]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例4中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0066]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例5中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0067]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例6中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0068]圖中:1-循環(huán)水換熱器；11-循環(huán)水換熱器出口 ；12_循環(huán)水換熱器第一入口 ；13-循環(huán)水換熱器第二入口 ；2_氣氣換熱器；21-氣氣換熱器第一入口 ；22_氣氣換熱器第一出口 ；23_氣氣換熱器第二入口 ；3_鹽水換熱器；31-鹽水換熱器第一入口 ；32_鹽水換熱器第一出口 ；33_鹽水換熱器第二出口 ；34_鹽水換熱器第二入口 ；4_第一清洗管道；5-第二清洗管道；6-氣液分離器；61-氣液分離器入口 ；62_氣液分離器第一出口 ；63_氣液分離器第二出口 ；7_尾氣深冷器；71-尾氣深冷器入口 ；72_尾氣深冷器第一出口 ；73_尾氣深冷器第二出口 ；8_氯硅烷儲(chǔ)罐；81_氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 ；82_氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 ；83_氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 ；84_氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口 ；9_壓縮機(jī)；10-過(guò)濾器；101-過(guò)濾器入口 ；102-過(guò)濾器第一出口 ；103_過(guò)濾器第二出口 ；14_升壓泵；141-升壓泵入口 ；142_升壓泵第一出口 ； 143-升壓泵第二出口 ； 15-第一控制閥；16-第二控制閥；17-第三控制閥。

【具體實(shí)施方式】
[0069]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0070]實(shí)施例1
[0071]如圖1所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0072]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0073]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；其中，所述鹽水換熱器第一出口 32用于排出降溫冷凝得到的液體，該液體主要成分為液態(tài)氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0074]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二出口 33，
[0075]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口 33連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0076]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口 33連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。具體的本實(shí)施例中的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的循環(huán)水換熱器I還包括循環(huán)水換熱器第一入口 12、循環(huán)水換熱器第二入口 13，所述循環(huán)水換熱器第一入口 12用于通入尾氣，所述循環(huán)水換熱器第二入口 13用于通入氫氣，該氫氣用作尾氣的載氣，且多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括第三控制閥17，該第三控制閥17用于控制進(jìn)入到循環(huán)水換熱器第一入口 12的氫氣的流量大小以及開(kāi)閉。同時(shí)對(duì)尾氣回收冷凝系統(tǒng)通入氫氣，依次經(jīng)過(guò)，管道、各個(gè)換熱器等設(shè)備，對(duì)各個(gè)換熱器及其附屬管道進(jìn)行熱氫氣吹掃，為保證上述吹掃干凈徹底，上述氫氣壓力控制在 1.30 ?1.40MPAG。
[0077]現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)使用多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)對(duì)尾氣進(jìn)行降溫，尾氣中的硅粉大多沉積在氣氣換熱器2和鹽水換熱器3上，且經(jīng)過(guò)循環(huán)水換熱器I的一級(jí)降溫冷凝，再經(jīng)過(guò)氣氣換熱器2的二級(jí)降溫冷凝，再經(jīng)過(guò)鹽水換熱器3的三級(jí)降溫冷凝，尾氣中的氣相氯硅烷已經(jīng)有很大一部分降溫冷凝為液態(tài)氯硅烷。本實(shí)施例中，從鹽水換熱器第二出口 33進(jìn)入到氣氣換熱器第二入口 23的液相氯硅烷的壓力為1.8-2.5MPag，從鹽水換熱器第二出口 33進(jìn)入到鹽水換熱器第二入口 34的液相氯硅烷的壓力為1.8-2.5MPag。
[0078]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的鹽水換熱器3后冷凝得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0079]優(yōu)選的是，所述第一清洗管道4上設(shè)置有用于控制流量的第一控制閥15，所述第二清洗管道5上設(shè)置有用于控制流量的第二控制閥16。通過(guò)第一控制閥15可以控制從鹽水換熱器第二出口 33進(jìn)入到氣氣換熱器第二入口 23的液相氯硅烷的流量大小以及開(kāi)閉；通過(guò)第二控制閥16可以控制從鹽水換熱器第二出口 33進(jìn)入到鹽水換熱器第二入口 34的液相氯硅烷的流量大小以及開(kāi)閉。本實(shí)施例中，通過(guò)控制第一控制閥15全開(kāi)保持3-5分鐘，然后關(guān)閉，持續(xù)沖洗3?5小時(shí)可以將氣氣換熱器2沖洗干凈；通過(guò)控制第二控制閥16全開(kāi)保持3-5分鐘，然后關(guān)閉，持續(xù)沖洗3?5小時(shí)可以將鹽水換熱器3沖洗干凈。
[0080]實(shí)施例2
[0081]如圖2所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0082]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0083]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；
[0084]氣液分離器6，所述氣液分離器6包括氣液分離器入口 61、氣液分離器第一出口62，所述氣液分離器入口 61與所述鹽水換熱器第一出口 32連接，所述氣液分離器6用于氣液分離；其中，所述氣液分離器第一出口 62用于排出氣液分離得到的液體，該液體的主要成分為液體氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0085]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氣液分離器6還包括氣液分離器第一出口 63，
[0086]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述氣液分離器第一出口 63連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0087]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述氣液分離器第一出口 63連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。
[0088]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的氣液分離器6后冷凝得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0089]實(shí)施例3
[0090]如圖3所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0091]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0092]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；
[0093]氣液分離器6，所述氣液分離器6包括氣液分離器入口 61、氣液分離器第一出口62，所述氣液分離器入口 61與所述鹽水換熱器第一出口 32連接，所述氣液分離器6用于氣液分離；
[0094]尾氣深冷器7，所述尾氣深冷器7包括尾氣深冷器入口 71、尾氣深冷器第一出口72，所述尾氣深冷器入口 71與所述氣液分離器第一出口 62連接，所述尾氣深冷器7用于四級(jí)降溫冷凝；其中，所述尾氣深冷器第一出口 72用于排出降溫冷凝得到的液體，該液體的主要成分為液相氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0095]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述尾氣深冷器7還包括尾氣深冷器第二出口 73，
[0096]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口 73連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0097]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口 73連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。
[0098]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的尾氣深冷器7后冷凝得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0099]實(shí)施例4
[0100]如圖4所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0101]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0102]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；
[0103]氣液分離器6，所述氣液分離器6包括氣液分離器入口 61、氣液分離器第一出口62、氣液分離器第一出口 63，所述氣液分離器入口 61與所述鹽水換熱器第一出口 32連接，所述氣液分離器6用于氣液分離；
[0104]尾氣深冷器7，所述尾氣深冷器7包括尾氣深冷器入口 71、尾氣深冷器第一出口72，所述尾氣深冷器入口 71與所述氣液分離器第一出口 62連接，所述尾氣深冷器7用于四級(jí)降溫冷凝；
[0105]氯硅烷儲(chǔ)罐8，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81與所述氣液分離器第一出口63連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82與所述尾氣深冷器第一出口 72連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷；其中，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83用于排出其內(nèi)的液體，該液體的主要成分為液態(tài)氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0106]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8還包括氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口 84，
[0107]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口 84連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0108]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口 84連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。
[0109]優(yōu)選的是，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83與所述氣氣換熱器2的殼程連接，從所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83排出的液體進(jìn)入氣氣換熱器2的殼程與氣氣換熱器2的管程內(nèi)的尾氣進(jìn)行換熱。尾氣經(jīng)過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)中的循環(huán)水換熱器I后，此時(shí)得到的尾氣溫度仍舊很高，再進(jìn)入到氣氣換熱器2的管程中的尾氣也就溫度很高，而經(jīng)過(guò)上述四級(jí)降溫冷凝后得到的在氯硅烷儲(chǔ)罐8中的液相氯硅烷為低溫狀態(tài)。將氯硅烷儲(chǔ)罐8中的低溫狀態(tài)的液相氯硅通入到氣氣換熱器2的殼程，可以直接與氣氣換熱器2的管程中的尾氣進(jìn)行熱量的交換，這樣相當(dāng)于節(jié)約了氣氣換熱器2的冷源的能量，而是直接使用了多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)自身降溫冷凝處理得到的液相氯硅烷作為氣氣換熱器2的冷源，從而做到了能量的高效利用。
[0110]優(yōu)選的是，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括壓縮機(jī)9，所述壓縮機(jī)9與所述氣氣換熱器2的殼程連接，所述壓縮機(jī)9用于將從氣氣換熱器2的殼程的排出物進(jìn)行壓縮。經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)9壓縮后得到的液相氯硅烷可以直接送入到吸收塔中進(jìn)行后續(xù)的工藝。多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的作用是將尾氣中的氯硅烷、氫氣及氯化氫進(jìn)行分離，此時(shí)尾氣回收冷凝系統(tǒng)是將尾氣中的氯硅烷變成液體，沒(méi)有被冷凝下來(lái)的氫氣、氯化氫仍然是以氣相的形式存在進(jìn)入壓縮機(jī)9升壓后進(jìn)入吸收塔，吸收塔的作用是將尾氣中的氯化氫進(jìn)行吸收，氫壓機(jī)的目的就是為氫氣、氯化氫加壓，使其達(dá)到吸收塔的高壓操作條件。
[0111]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的氯硅烷儲(chǔ)罐8后得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0112]實(shí)施例5
[0113]如圖5所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0114]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0115]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；
[0116]氣液分離器6，所述氣液分離器6包括氣液分離器入口 61、氣液分離器第一出口62、氣液分離器第一出口 63，所述氣液分離器入口 61與所述鹽水換熱器第一出口 32連接，所述氣液分離器6用于氣液分離；
[0117]尾氣深冷器7，所述尾氣深冷器7包括尾氣深冷器入口 71、尾氣深冷器第一出口72，所述尾氣深冷器入口 71與所述氣液分離器第一出口 62連接，所述尾氣深冷器7用于四級(jí)降溫冷凝；
[0118]氯硅烷儲(chǔ)罐8，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81與所述氣液分離器第一出口 63連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82與所述尾氣深冷器第二出口 73連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷；
[0119]過(guò)濾器10，所述過(guò)濾器10包括過(guò)濾器入口 101、過(guò)濾器第一出口 102，所述過(guò)濾器入口 101與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83連接，所述過(guò)濾器10用于過(guò)濾；其中，所述過(guò)濾器第一出口 102用于排出過(guò)濾后的液體，該液體的主要成分為液相氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0120]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述過(guò)濾器10還包括過(guò)濾器第二出口 103，
[0121]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口 103連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0122]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口 103連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。
[0123]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的過(guò)濾器10后得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0124]實(shí)施例6
[0125]如圖6所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)包括:循環(huán)水換熱器1，所述循環(huán)水換熱器I包括循環(huán)水換熱器出口11，所述循環(huán)水換熱器I用于一級(jí)降溫冷凝；
[0126]氣氣換熱器2，所述氣氣換熱器2包括氣氣換熱器第一入口 21、氣氣換熱器第一出口 22，所述氣氣換熱器第一入口 21與所述循環(huán)水換熱器出口 11連接，所述氣氣換熱器2用于二級(jí)降溫冷凝；
[0127]鹽水換熱器3，所述鹽水換熱器3包括鹽水換熱器第一入口 31、鹽水換熱器第一出口 32，所述鹽水換熱器第一入口 31與所述氣氣換熱器第一出口 22連接，所述鹽水換熱器3用于三級(jí)降溫冷凝；
[0128]氣液分離器6，所述氣液分離器6包括氣液分離器入口 61、氣液分離器第一出口62、氣液分離器第一出口 63，所述氣液分離器入口 61與所述鹽水換熱器第一出口 32連接，所述氣液分離器6用于氣液分離；
[0129]尾氣深冷器7，所述尾氣深冷器7包括尾氣深冷器入口 71、尾氣深冷器第一出口72，所述尾氣深冷器入口 71與所述氣液分離器第一出口 62連接，所述尾氣深冷器7用于四級(jí)降溫冷凝；
[0130]氯硅烷儲(chǔ)罐8，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口 81與所述氣液分離器第一出口 63連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口 82與所述尾氣深冷器第二出口 73連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐8用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷；
[0131]過(guò)濾器10，所述過(guò)濾器10包括過(guò)濾器入口 101、過(guò)濾器第一出口 102，所述過(guò)濾器入口 101與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口 83連接，所述過(guò)濾器10用于過(guò)濾；
[0132]升壓泵14，所述升壓泵14包括升壓泵入口 141、升壓泵第一出口 142，所述升壓泵入口 141與所述過(guò)濾器第一出口 102連接，所述升壓泵14用于升壓；其中，所述升壓泵第一出口 142用于排出升壓后得到的液體，該液體的主要成分為液相氯硅烷再進(jìn)入后續(xù)的解析塔進(jìn)行解析的工藝。
[0133]所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述升壓泵14還包括升壓泵第二出口 143，
[0134]或，所述氣氣換熱器2還包括氣氣換熱器第二入口 23，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的輸入端與所述升壓泵第二出口 143連接，所述第一清洗管道4的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口 23連接，
[0135]和/或，所述鹽水換熱器3還包括鹽水換熱器第二入口 34，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口 33連接，所述第二清洗管道5的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口 34連接。
[0136]本實(shí)施例中，將尾氣通過(guò)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)的升壓泵14后得到的液態(tài)氯硅烷直接通入到氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3中，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的在線清洗，而無(wú)需對(duì)整個(gè)尾氣回收系統(tǒng)停車后拆洗，即無(wú)需將氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3進(jìn)行拆卸，從而提高了尾氣回收冷凝系統(tǒng)的安全風(fēng)險(xiǎn)，保持了整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，且用于在線清洗氣氣換熱器2和/或鹽水換熱器3的液態(tài)氯硅烷為整個(gè)尾氣回收冷凝系統(tǒng)得到的，從而做到了液態(tài)氯硅烷的高效重復(fù)利用，且不會(huì)引入其它的雜質(zhì)。
[0137]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝； 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝；鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝，所述鹽水換熱器第一出口用于排出降溫冷凝得到的液體； 其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，其特征在于，所述第一清洗管道上設(shè)置有用于控制流量的第一控制閥，所述第二清洗管道上設(shè)置有用于控制流量的第二控制閥。3.—種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝； 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝；鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝；氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離，所述氣液分離器第一出口用于排出氣液分離得到的液體； 其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氣液分離器還包括氣液分離器第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述氣液分離器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述氣液分離器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。4.一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝； 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝； 鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝；氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離； 尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝，所述尾氣深冷器第一出口用于排出降溫冷凝得到的液體； 其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述尾氣深冷器還包括尾氣深冷器第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。5.—種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝； 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝；鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝；氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離； 尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝； 氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第一出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口用于排出其內(nèi)的液體； 其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述氯硅烷儲(chǔ)罐還包括氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，其特征在于，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口與所述氣氣換熱器的殼程連接，從所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口排出的液體進(jìn)入氣氣換熱器的殼程與氣氣換熱器的管程內(nèi)的尾氣進(jìn)行換熱。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，其特征在于，還包括壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)與所述氣氣換熱器的殼程連接，所述壓縮機(jī)用于將從氣氣換熱器的殼程的排出物進(jìn)行壓縮。8.—種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝； 氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝；鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝；氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離； 尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝； 氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷； 過(guò)濾器，所述過(guò)濾器包括過(guò)濾器入口、過(guò)濾器第一出口，所述過(guò)濾器入口與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口連接，所述過(guò)濾器用于過(guò)濾，所述過(guò)濾器第一出口用于排出過(guò)濾后的液體；其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述過(guò)濾器還包括過(guò)濾器第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述過(guò)濾器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。9.一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)，包括:循環(huán)水換熱器，所述循環(huán)水換熱器包括循環(huán)水換熱器出口，所述循環(huán)水換熱器用于一級(jí)降溫冷凝；氣氣換熱器，所述氣氣換熱器包括氣氣換熱器第一入口、氣氣換熱器第一出口，所述氣氣換熱器第一入口與所述循環(huán)水換熱器出口連接，所述氣氣換熱器用于二級(jí)降溫冷凝；鹽水換熱器，所述鹽水換熱器包括鹽水換熱器第一入口、鹽水換熱器第一出口，所述鹽水換熱器第一入口與所述氣氣換熱器第一出口連接，所述鹽水換熱器用于三級(jí)降溫冷凝；氣液分離器，所述氣液分離器包括氣液分離器入口、氣液分離器第一出口、氣液分離器第二出口，所述氣液分離器入口與所述鹽水換熱器第一出口連接，所述氣液分離器用于氣液分離； 尾氣深冷器，所述尾氣深冷器包括尾氣深冷器入口、尾氣深冷器第一出口，所述尾氣深冷器入口與所述氣液分離器第一出口連接，所述尾氣深冷器用于四級(jí)降溫冷凝； 氯硅烷儲(chǔ)罐，所述氯硅烷儲(chǔ)罐包括氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口、氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一入口與所述氣液分離器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐第二入口與所述尾氣深冷器第二出口連接，所述氯硅烷儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存通過(guò)所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)降溫冷凝得到的液態(tài)氯硅烷； 過(guò)濾器，所述過(guò)濾器包括過(guò)濾器入口、過(guò)濾器第一出口，所述過(guò)濾器入口與所述氯硅烷儲(chǔ)罐第一出口連接，所述過(guò)濾器用于過(guò)濾； 升壓泵，所述升壓泵包括升壓泵入口、升壓泵第一出口，所述升壓泵入口與所述過(guò)濾器第一出口連接，所述升壓泵用于升壓，所述升壓泵第一出口用于排出升壓后得到的液體；其特征在于，所述多晶硅生產(chǎn)中的尾氣回收冷凝系統(tǒng)還包括在線清洗裝置，所述升壓泵還包括升壓泵第二出口， 或，所述氣氣換熱器還包括氣氣換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的輸入端與所述升壓泵第二出口連接，所述第一清洗管道的輸出端與所述氣氣換熱器第二入口連接， 和/或，所述鹽水換熱器還包括鹽水換熱器第二入口，所述在線清洗裝置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的輸入端與所述鹽水換熱器第二出口連接，所述第二清洗管道的輸出端與所述鹽水換熱器第二入口連接。
【文檔編號(hào)】B01D5-00GK204275550SQ201420692516
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