專利名稱：：微流體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用于引導(dǎo)流體樣品的流動的微流體裝置、引導(dǎo)流體樣品的流動的方法，以及制造微流體裝置的方法。
背景技術(shù)：
：從美國專利申請US2004/0051154Al獲知一種微流體裝置，其具有分別形成在襯底的上下兩部分中的上通道和下通道，其中上下兩部分在裝配時被周圍的一層或多層多孔膜夾在中間。上通道和下通道具有至少一個交叉通道區(qū)域，其中膜設(shè)置在兩通道之間。多孔膜可以具有傳感特性，并且可以提供檢測設(shè)備以測量傳感特性的變化。從US2004/0051154Al獲知的微流體裝置需要兩個大小均勻的部分來形成通道。為了得到不同的上通道和下通道，通道必須具有不同的路線，因為上半部分或下半部分形成上通道或下通道的壁中的一個。在通道彼此交叉的位置自動產(chǎn)生間隙，使得流體能夠在上通道和下通道之間流動。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的是提供與公知的微流體裝置相比得到改進的微流體裝置。本發(fā)明的目的是通過用于引導(dǎo)流體樣品的流動的微流體裝置來解決的，該裝置包括基板，在兩個側(cè)向上延伸并且在垂直方向上具有至少一個全通凹槽；流通單元，至少具有第一和第二流通部位；以及板結(jié)構(gòu)，其中相對于基板的凹槽設(shè)置流通單元，以便允許從該設(shè)置的一側(cè)通過第一和第二流通部位中的每一個到另一側(cè)的垂直流體流動；并且板結(jié)構(gòu)與流通單元彼此相對設(shè)置，以便形成連接通道腔，從而允許從第一流通部位到第二流通部位的橫向流體流動。因此，可以提供多層微流體裝置，其中板結(jié)構(gòu)可以大致與流通單元一樣小，或者甚至比流通單元還小。連接第一和第二流通部位的連接通道腔在第一垂直位置限定橫向通道。如下進一步所述，可以在不同的垂直位置形成第二橫向通道。連接通道腔可以用不同的方式形成，例如利用流通單元或板結(jié)構(gòu)中的凹陷，該凹陷在一側(cè)開口，并且取決于哪一個包括凹陷，通過流通單元或板結(jié)構(gòu)的外側(cè)，從而形成閉合的通道。這可以通過設(shè)置外側(cè)以使其覆蓋通道而很容易地實現(xiàn)?；蛘撸B接通道腔可以利用流通單元和基板中的每一個中的凹陷，并通過設(shè)置這二者使得凹陷相互配合以形成閉合的連接通道腔來形成。此外，可以通過基板中的凹槽的一部分并通過使板結(jié)構(gòu)和流通單元的外側(cè)相配合來形成連接通道腔，其中流通單元和/或板結(jié)構(gòu)可以擇一地具有凹陷，該凹陷與基板的凹槽的所述部分相配合以形成閉合的連接通道腔。微流體器件不是只具有一個流通單元，而是可以在基板上的不同的橫向位置處設(shè)有多個流通單元。在本發(fā)明的一個實施例中，通過在與板結(jié)構(gòu)相對的基板側(cè)上設(shè)置通道結(jié)構(gòu)來形成在連接通道腔以外的不同垂直位置上的另一橫向通道層。通道結(jié)構(gòu)可以和基板一樣大。應(yīng)該注意的是，流通單元和板結(jié)構(gòu)比基板小，特別是小得多。實際上對相配合的通道結(jié)構(gòu)和基板中的通道腔的路線的設(shè)計沒有限制?；蹇梢跃哂信c通道結(jié)構(gòu)的外側(cè)相配合從而形成閉合的通道腔的凹陷；或者通道結(jié)構(gòu)可以具有與基板的外側(cè)相配合從而形成閉合的通道腔的凹陷；或者基板和通道結(jié)構(gòu)可以都具有相互配合形成閉合的通道腔的凹陷。這里，"閉合的通道腔"不應(yīng)該排除提供例如注入塞以便例如使用注射器從微流體裝置的外部給通道腔注入流體樣品。在本發(fā)明的另一個實施例中，微流體器件具有至少一個壁元件，用于防止從第一流通部位到第二流通部位的橫向流動。以這種方式，迫使流體流過流通部位，并且流通單元的選擇特性可以例如用于防止流體的某些成分流過。壁元件可以是通道結(jié)構(gòu)或基板的一部分，或者基板和通道結(jié)構(gòu)可以各自具有相配合的壁元件。6在本發(fā)明的一個實施例中，將流通單元和基板設(shè)置成彼此鄰接。這允許基板和流通單元的獨立制造和容易的裝配(例如通過粘合)，而無需對將流通單元設(shè)置到其中的凹槽和流通單元本身進行精確的測量。為了允許流體流過流通單元的流通部位，基板具有兩個全通凹槽，設(shè)置所述凹槽使得它們的相對位置與流通單元的流通部位的相對位置一致。然后，可以將流通單元設(shè)置成與基板毗鄰，使得流通部位與基板的全通凹槽相一致。在本發(fā)明的另一個實施例中，在板結(jié)構(gòu)中設(shè)置有源元件。這種有源元件可以是傳感器，其用于測量流體特性(例如溫度)或選擇性地測量流體的特定成分(例如特定蛋白質(zhì))的存在和/或頻率。有源元件的另一個例子可以是用于作用于流體從而驅(qū)動其流動的驅(qū)動器。在本發(fā)明的另一個實施例中，流通單元具有至少一個導(dǎo)電孔(導(dǎo)電的直通連接)，用于提供從流通單元的一側(cè)到另一側(cè)的電連接。以這種方式，可以容易地建立數(shù)據(jù)處理器件和電源與設(shè)置在板結(jié)構(gòu)中的有源元件之間的電連接。本發(fā)明還涉及使用根據(jù)權(quán)力要求1所述的微流體器件的方法，該方法包括以下步驟引導(dǎo)在橫向上流過第一通道腔的流動或在第一空間中提供流體樣品；引導(dǎo)在垂直方向上從第一通道腔或從第一空間通過第一流通部位流入到第二通道腔中的流動；引導(dǎo)在橫向上流過第二通道腔的流動；以及引導(dǎo)在垂直方向上從第二通道腔通過第二流通部位流入到第三通道腔或第二空間中的流動。也可以使如上所述的流體流動反向，并且可以重復(fù)使用流體樣P叩o在另一個實施例中，使用微流體裝置的方法還包括測量流體樣品的特性或流體樣品的成分的存在和/或頻率。本發(fā)明還涉及引導(dǎo)流體樣品流過微流體裝置的方法，該方法包括以下步驟引導(dǎo)在橫向上流過第一通道腔的流動或在第一空間中提供流體樣品；引導(dǎo)在垂直方向上從第一通道腔或從第一空間通過第一流通部位流入到第二通道腔中的流動；引導(dǎo)在橫向上流過第二通道腔的流動；以及引導(dǎo)在垂直方向上從第二通道腔通過第二流通部位流入到第三通道腔或第二空間中的流動。本發(fā)明還涉及制造微流體裝置的方法，該方法包括以下步驟提供基板，其在橫向平面中延伸，并且在垂直方向上具有至少一個全通凹槽；相對于基板設(shè)置流通單元，其至少具有第一和第二流通部位，尤其將基板和流通單元設(shè)置成彼此鄰接；相對于彼此設(shè)置板結(jié)構(gòu)和流體單元從而形成連接通道腔，其允許從第一流通部位到第二流通部位的橫向流體流動。這里，可以在相對于基板設(shè)置流通單元之前執(zhí)行相對于彼此設(shè)置板結(jié)構(gòu)和流通單元的步驟。參考在下文中所描述的實施例對本發(fā)明進行說明，本發(fā)明的這些方面和其它方面通過下文所述的實施例將是顯而易見的。在附圖中圖1示出根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的一部分的透視圖；圖2示出圖1所示的微流體裝置的所述部分的截面圖，沿著圖1的直線A-A'來截取該截面；圖3示出根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的第二實施例的截面圖；圖4示出根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的第三實施例；圖5a示出微流體裝置在其制造的第一階段中的截面圖；圖5b示出微流體裝置在其制造的第一階段中的頂視圖；圖6a示出微流體裝置在其制造的第二階段中的截面圖6b示出微流體裝置在其制造的第二階段中的頂視8圖7a示出微流體裝置在其制造的第三階段中的截面圖7b示出微流體裝置在其制造的第三階段中的頂視圖8a示出微流體裝置在其制造的第四階段中的截面圖8b示出微流體裝置在其制造的第四階段中的頂視圖9示出微流體裝置的實施例，其中通過基板的凹槽的一部分以及板結(jié)構(gòu)和流通單元的外側(cè)形成連接通道腔；圖IO示出微流體裝置的實施例，其中通過流通單元中的全通孔形成流通部位之一；圖11示出微流體裝置的實施例，其中通過流通單元中的凹陷與板結(jié)構(gòu)的外側(cè)相配合形成連接通道腔；以及圖12示出微流體裝置的實施例，其中通過相配合的凹陷形成通道腔。具體實施例方式圖1是根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的實施例的一部分的透視圖。所示部分包括基板l、流通單元2和板結(jié)構(gòu)4。這三個部件之間的位置關(guān)系在圖2中更詳細地示出。基板1可以比這里示出的大，并且所示的基板相對于其它部件的大小是非限制性的。在該實施例中，基板具有兩個全通凹槽1.1和1.2，以這樣的方式設(shè)置所述凹槽，即使它們與流通單元的流通部位3.1和3.2的相對位置一致。凹槽1.1和凹槽1.2允許流體從基板1上方的空間流過流通單元2的流通部位3.1和3.2，反之亦然。在該實施例中，流通部位3.1和3.2包括微通道，其中一些可以在凹槽1.1和1.2的底部看到。所示基板1可以使用塑料注入成型技術(shù)來制造。于是一個在塑料注入成型工藝中使用的金屬工具可以用于制造成千上萬的用于微流體裝置的基板?；?也可以用或多或少具有撓性的材料制成，例如由塑料薄片制成?？梢岳帽绢I(lǐng)域技術(shù)人員公知的用于批量生產(chǎn)的薄片處理技術(shù)來制造這種薄片。在薄片很薄(例如為10um)的情況下，可以利用光刻或激光鉆孔形成全通凹槽。圖2是沿直線A-A'截取的圖1所示的微流體裝置的所述部分的截面圖。在該截面中，將基板1切割成三個部分。中心部分是凹槽1.1和1.2之間的橋結(jié)構(gòu)(參考圖1)。在該實施例中，使用粘合劑材料9將流通單元2粘合到基板上，所述粘合劑材料優(yōu)選為生物相容的粘合劑材料，例如樹脂。結(jié)果，與基板1整體地設(shè)置流通單元2，以便將流通部位3.1和3.2設(shè)置在基板1的凹槽1.1和1.2處。使凹槽1.1和1.2朝向流通部位3.1和3.2逐漸變窄以支持分層流體流動(laminarfluidflow)并使回流面積最小化。也可以考慮其它形式的全通凹槽。在該實施例中，流通單元2覆蓋板結(jié)構(gòu)4中的凹陷，從而形成連接第一和第二流通部位3.1和3.2的連接通道腔41。連接通道腔41可以一如下面結(jié)合圖9到圖11進行說明的那樣一通過加工到板結(jié)構(gòu)4中的凹陷和/或流通單元2和/或基板l形成。因此允許從基板1上方的空間穿過微通道流入到連接通道腔41中的垂直流體流動(或者從連接通道腔41流到基板1上方空間的反向流動)。在另一個實施例中，使用多孔薄膜來代替微通道。在另一個實施例中，如下所述，將流通部位之一設(shè)計為單一孔而不是分割孔，例如為了使對流動的阻力最小化(參考圖10)。例如，板結(jié)構(gòu)4可以由硅形成(蝕刻)，或者可以是模制的塑料部件?？梢詫⒂性丛?，例如傳感器或驅(qū)動器或泵等，集成在板結(jié)構(gòu)4中。在所述實施例中，有源元件5被電連接。這是通過在基板上設(shè)置引線12(例如銅引線，將其嵌在基板內(nèi)或印刷到基板上)來實現(xiàn)的。通過導(dǎo)電凸起10將引線耦合到流通單元2中的導(dǎo)電孔11。板結(jié)構(gòu)也具有電耦合到導(dǎo)電孔11的電引線或?qū)Ь€(未示出)，從而可以建立與有源元件5的連接。因此，可以實現(xiàn)供電和數(shù)據(jù)交換。在另一個實施例中，有源元件5通過光學(xué)組件或RF組件通信，并通過天線和/或通過光電二極管接收數(shù)據(jù)和/或功率。任何種類的有源元件5，例如傳感器、驅(qū)動器等，可以用于微流體裝置，尤其可以用于設(shè)計為生物傳感器盒的微流體裝置。限定流通部位3.1和3.2的微通道或多孔膜可以用以各種目的。在氣團(gasbolus)流過微流體裝置的通道腔的情況下，因為氣團不流過流通部位，所以垂直的流通單元2避免了氣團還在有源元件5的上方流過。流通部位3.1和3.2可以用于過濾流體或用于選擇性流體流動，例如，如果流體是血液樣品，則可以選擇通道尺寸，使得血細胞不能流過而只有血漿能在有源元件5的上方流過。微通道也可以特別用于結(jié)合目標(biāo)分子。如果受體分子附著到微通道的壁上，這些受體分子將捕獲目標(biāo)。由于高的表面體積比，可以大量捕獲目標(biāo)分子，這導(dǎo)致高信號，例如，在用熒光標(biāo)記或磁珠來作目標(biāo)分子的標(biāo)簽并且分別利用光學(xué)傳感器(例如光電二極管)或磁性傳感器測量來自標(biāo)簽的信號的情況下。有源元件5可以是這種光學(xué)傳感器或磁性傳感器。在這些情況下，可以在激勵熒光躍遷之后測量到強的熒光信號，或者可以測量到磁特性的偏移。在磁珠附著到目標(biāo)分子的情況下，如在歐洲專利申請no.04102257.5中所述，有源元件5可以是巨磁阻(GMR)傳感器，其用于測量流通部位3.1和3.2之一中的磁特性或這二者中的磁特性。從圖2所示的實施例中，可以看出實際上板結(jié)構(gòu)4具有與流通單元2相同的橫向延伸。板結(jié)構(gòu)4也可以具有稍大的橫向延伸或者稍小的橫向延伸。這允許以節(jié)約成本的方式制造在不同的垂直位置上具有兩個通道層的微流體裝置，如以下進一步詳述。在圖3中示意性示出根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的第一實施例的截面圖。與流通單元2—起整體設(shè)置基板1。這里，通過將流通單元2粘合到基板1的凹槽中來實現(xiàn)所述整體設(shè)置。通過粗線a示出，這種凹槽可以形成為錐形，以使流通單元2能夠容易地粘合到凹槽中。在另一個實施例中，在塑料注入成型工藝過程中將流通單元2結(jié)合到基板l中，在這種情況下，將流通單元2放到用于制造塑料注入成型的基板1的工具中。可以通過使用結(jié)構(gòu)化的界面?zhèn)纫员闶顾芰匣w與所述結(jié)構(gòu)交插在一起來確保流通單元2和基板1之間的強連接。也可以如圖1和圖2所示的那樣實現(xiàn)基板1和流通單元2之間的相對位置設(shè)置。將板結(jié)構(gòu)4設(shè)置成鄰接流通單元2。根據(jù)圖中所示的方向，板結(jié)構(gòu)被設(shè)置在流通元件的下方，以便由板結(jié)構(gòu)4中的凹陷和鄰接的流通單元2的外側(cè)形成連接通道腔41，該連接通道腔41連接第一和第二流通部位3.1和3.2。將通道結(jié)構(gòu)6設(shè)置在基板1的頂上。通道結(jié)構(gòu)6被設(shè)置在基板1的頂部。同樣地，可以通過塑料注入成型工藝形成通道結(jié)構(gòu)6，或者通過其它的本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的技術(shù)，例如通過塑料母板的熱模壓或通過研磨或線腐蝕(wireerosion)技術(shù)，形成通道結(jié)構(gòu)6。通道結(jié)構(gòu)6具有注入塞E，設(shè)置其用于通過注射器對微流體裝置進行注入。通道結(jié)構(gòu)6具有凹陷，其與基板1一起形成通道腔6.1和6.2。在一個實施例中，通道腔6.1與通道腔6.2連接，從而允許在流通單元2的區(qū)域上方的橫向流體流動。在另一個實施例中，可以作為通道結(jié)構(gòu)6的整體部分(例如可以是在塑料注入成型工藝中制造的通道結(jié)構(gòu)6的構(gòu)件)的壁元件7位于通道腔6.1和6.2之間，從而截止從流通部位3.1到流通部位3.2的直接橫向流體流動?；疑摼€箭頭表示當(dāng)壁元件7存在時可能的通過微流體裝置的流體流動。在將流體樣品注入到通道腔6.1中之后，流體樣品首先在通道腔6.1中橫向流到流通部位3.1，然后其垂直流過流通部位3.1，流入到連接通道腔41中。在連接通道腔41中，流體樣品橫向流到流通部位3.2，在該處其垂直流入到通道腔6.2中。從那里流體可以流入到容器腔(未示出)中，以在樣品通過通道系統(tǒng)之后，存儲或進一步處理流體。反向的流體流動也是可能的，在流體樣品被重新利用或用于引導(dǎo)流體樣品重復(fù)流過微流體裝置的情況下尤其如此。在圖4中示出根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的另一個實施例的截面。在該實施例中，在第一流通部位3.1上方的空間8中提供流體樣品。例如，這可以是血液樣品或尿液樣品。通過毛細力或者通過施加低壓使流體樣品在流通部位3.1處垂直流過流通單元2流入到板結(jié)構(gòu)4的通道腔41中，例如通過泵(未示出)吸取或推動液體樣品流入到微流體裝置中并流過連接通道腔41、流通單元2和通道腔6.2。以下參考圖5a、b-8a、b對微流體裝置的制造方法進行說明。在圖5b-8b中示出微流體裝置在其不同的制造步驟中的頂視圖，而在圖5a-8a中示出微流體裝置在相應(yīng)制造步驟中的截面圖，其中每一個截面圖是沿著圖5b示出的直線A-A，截取的。在圖5a、b中，作為第一步，提供基板l?？梢酝ㄟ^塑料注入成型工藝、薄片制造工藝、模壓技術(shù)、研磨工藝等來制造這種基板l。12對于塑料注入工藝，制造金屬工具，其為最終基板的陰模(negative)。可以通過蝕刻和/或研磨和/或線腐蝕精確地制造這種工具。由于塑料的低磨損效應(yīng)，該陰模可以用于成千上萬的塑料注入成型的基板。在該實施例中，基板1具有兩個凹槽1.1和1.2，并且沒有其它的凹陷。這兩個凹槽成錐形。在圖5b中，錐形壁由水平條紋區(qū)域表示。在基板1是非常薄的薄板(例如10Pm)的情況下，可以將其設(shè)置在犧牲支撐結(jié)構(gòu)(未示出)上，以增加穩(wěn)定性。在這種情況下，將首先執(zhí)行如參考圖8a和8b所述的制造步驟，即將通道結(jié)構(gòu)6設(shè)置在基板1的頂部，然后除去犧牲支撐結(jié)構(gòu)，例如通過將其剝離或通過將其化學(xué)溶解。在下一步驟中，如圖6a、b所示，通過使用粘合材料9將流通單元2粘合到基板上。流通單元2具有第一和第二流通部位3.1和3.2。在空間上使第一和第二流通部位3.1和3.2分開。以使第一和第二流通部位3.1和3.2與凹槽1.1和1.2之間的位置一致的方式將流通單元2粘合到基板1上。由于在圖6b中將流通單元2膠合在基板1的下面，所以在該頂視圖中用虛線表示流通單元2的外部水平尺寸(長和寬)。在所示實施例中，通過微通道形成流通部位3.1和3.2，如截面圖(圖6a)中的垂直線和頂視圖(圖6b)中的黑色圓孔所示。在另一個實施例中，微通道不是嚴格地垂直取向，而是傾斜的。在第三步驟中，如圖7a、b所示，將板結(jié)構(gòu)4粘合到流通單元2，使其與基板1相對，從而形成連接通道腔41。在該實施例中，通過板結(jié)構(gòu)4中的凹陷和覆蓋板結(jié)構(gòu)4中的凹陷的流通單元2的鄰接側(cè)形成連接通道腔41。所得閉合的連接通道腔41連接第一和第二流通部位3.1和3.2，以便在其間允許橫向流動。連接通道腔41的水平尺寸(長和寬)在圖7B中由點劃線示出。在所述制造方法的另一個可選方案中，將流通單元2附著到板結(jié)構(gòu)4。在板結(jié)構(gòu)4由硅制成的情況下，可以在晶片級上，例如利用公知的晶片間的結(jié)合工序，來實現(xiàn)該附著。然后，切割夾層的晶片結(jié)構(gòu)，優(yōu)選使流通單元2向下面對載體，以便避免流通單元2的污染。在這種工藝中，可以制造多個粘合的流通單元2和板結(jié)構(gòu)4的夾層結(jié)構(gòu)。然后，取代單獨的流通單元2將每一個夾層結(jié)構(gòu)粘合到如圖5a、b所示的基板1上，實現(xiàn)圖7a、b所示的結(jié)果。在最后的步驟中，如圖8a、b所示，將通道結(jié)構(gòu)6粘合到基板1上。也可以通過塑料注入成型工藝來制造通道結(jié)構(gòu)6。將基板1的頂部(參考圖中的方向)和通道結(jié)構(gòu)6的底部粘合在一起，并形成用于引導(dǎo)流體樣品流動的通道結(jié)構(gòu)。為此目的，通道結(jié)構(gòu)具有當(dāng)粘合到基板1的鄰接側(cè)時形成通道腔6.1和6.2的凹陷。在所形成的通道腔6.1和6.2之間的壁元件7與凹槽1.1和1.2之間的橋結(jié)構(gòu)一致。以這種方式，阻止從通道腔6.1到通道腔6.2的橫向流動，并且迫使可以通過注入塞E注入的流體樣品在第一流通部位3.1處垂直流過流通單元2，流入到連接通道腔41中。在圖8b中的頂視圖中，通道腔6.1和6.2的外部(水平)尺寸如虛線所示。將通道腔6.2形成為T形，以便形成存儲腔。為了簡潔起見，在圖8b中忽略了錐形壁、微通道孔和流通單元2的尺寸。圖5a、b-圖8a、b是示意圖，不認為所示微流體裝置的各種元件的尺寸是限制性的。也不認為下表中給出的各種尺寸的典型值是限制性的。在該表中，"um"表示微米。寬和長是水平尺寸，而高是垂直尺寸。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>結(jié)合圖9-圖12討論根據(jù)本發(fā)明的微流體裝置的另外的實施例。在圖9中示出微流體裝置的實施例，其中將流通單元2粘合到基板l的錐形凹槽中，以便形成平坦的表面，其上設(shè)置通道結(jié)構(gòu)6。由線a表示流通單元的尺寸。在該實施例中，基板比流通單元厚，使得凹槽有一部分保留。設(shè)置平板結(jié)構(gòu)4以覆蓋該凹陷，從而形成連接通道腔41。在該實施例中，連接通道腔41由流通單元2的外側(cè)、基板1的凹槽的保留部分和板結(jié)構(gòu)4的外側(cè)形成。在另一個實施例中，板結(jié)構(gòu)4也具有凹陷，其與基板l中的凹槽一起起作用，從而作為凹陷和凹槽的結(jié)果形成連接通道腔41。在圖10中示出微流體裝置的實施例，其中將第一流通部位3.1設(shè)計為流通單元2中的一個孔?；蛘?，也可以將第一流通部位3.1設(shè)計為很多個尺寸大于流體樣品中的所有成分的孔或通道，以便不允許進行選擇性過濾。將第二流通部位3.2設(shè)計為選擇性過濾流體樣品成分，尤其是細胞，其不能通過小尺寸的微通道。如果細胞具有光學(xué)或磁性標(biāo)簽，則可以利用有源元件5測量其的存在和其它特性，將所述有源元件構(gòu)造成傳感器并將其設(shè)置在第二流通部位3.2的正下方。為了該效果，將第二流通部位3.2的微通道設(shè)計成小于細胞，以便細胞不能流過第二流通部位。因此，利用機械手段將細胞限制在連接通道腔41中的第二流通部位3.2和有源元件5之間的空間中。在圖11中示出微流體裝置的實施例，其中將流通單元2粘合到基板1上。流通單元2在粘合有基板1的側(cè)的相對側(cè)上具有凹陷。在該實施例中，將板結(jié)構(gòu)4設(shè)置成覆蓋流通單元2中的凹陷，以形成連接通道腔41。該實施例與圖8a所出的微流體裝置的實施例相似，其中凹陷只形成在板結(jié)構(gòu)4中。在圖12中示出微流體裝置的另一個實施例。在該實施例中，基板1具有與通道結(jié)構(gòu)6中的凹陷相配合從而形成閉合的通道腔6.1和6.2的凹陷。每一個壁元件7分別是通道結(jié)構(gòu)6和基板1的整體部分，其相互配合以阻止在由通道腔6.1和6.2限定的橫向通道層中第一和第二流通部位3.1和3.2之間的橫向流體流動。另外，在流通單元2以及板結(jié)構(gòu)4中形成凹陷，以便通過這兩個相配合的凹陷形成連接通道腔41。1權(quán)利要求1、用于引導(dǎo)流體樣品的流動的微流體裝置，包括基板(1)，其在兩個側(cè)向上延伸并且在垂直方向上具有至少一個全通凹槽(1.1)；流通單元(2)，其至少具有第一和第二流通部位(3.1、3.2)；以及板結(jié)構(gòu)(4)，其中相對于所述基板(1)的所述凹槽(1.1)設(shè)置所述流通單元(2)，以便允許從該設(shè)置的一側(cè)通過所述第一和第二流通部位(3.1、3.2)中的每一個到相對側(cè)的垂直流體流動；并且所述板結(jié)構(gòu)(4)與所述流通單元(2)彼此相對設(shè)置，以便形成連接通道腔(41)，從而允許從所述第一流通部位到所述第二流通部位(3.1、3.2)的橫向流體流動。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中所述板結(jié)構(gòu)(4)的側(cè)向延伸基本上等于或小于所述流通單元(2)。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中通過所述流通單元(2)中的與所述板結(jié)構(gòu)(4)的外側(cè)相配合的凹陷，或通過所述板結(jié)構(gòu)(4)中的與所述板結(jié)構(gòu)(4)的外側(cè)相配合的凹陷，或通過所述流通單元(2)和所述板結(jié)構(gòu)(4)中的兩個相互配合的凹陷來形成所述連接通道腔(41)，或者通過所述基板(1)的所述凹槽(1.1)的一部分以及相配合的所述流通單元(2)和所述板結(jié)構(gòu)(4)的外側(cè)來形成所述連接通道腔(41)，其中所述外側(cè)中的至少一個可以擇一地作為所述流通單元(2)或所述板結(jié)構(gòu)(4)中的一個中的相配合的凹陷。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中將通道結(jié)構(gòu)(6)設(shè)置在基板(1)和流通單元(2)的布置上，以便通過所述基板(1)中的與所述通道結(jié)構(gòu)(6)的外壁相配合的至少一個凹陷，或通過所述通道結(jié)構(gòu)(6)中的與所述基板(1)的外側(cè)相配合的凹陷，或通過所述基板(1)和所述通道結(jié)構(gòu)(6)中的兩個相配合的凹陷，形成至少一個通道腔(6.1)。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的微流體裝置，其中所述微流體裝置具有至少一個壁元件(7)，其用于阻止所述通道結(jié)構(gòu)(6)中的所述第一和第二流通部位(3.1、3.2)之間的橫向流體流動。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中將所述流通單元(2)和所述基板(1)設(shè)置成彼此垂直鄰接，并且所述基板在所述流通部位(3.1、3.2)的位置處具有至少兩個垂直方向上的全通凹槽(1.1、1.2)。7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中在所述板結(jié)構(gòu)(4)中設(shè)置有源元件(5)。8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流體裝置，其中所述流通單元(2)具有至少一個導(dǎo)電孔，用于提供從所述流通單元(2)的一側(cè)到另一側(cè)的電連接。9、使用根據(jù)權(quán)利要求1-8所述的微流體裝置的方法，包括以下步驟在鄰近所述第一流通部位(3.1)的空間(8)中提供流體樣品，引導(dǎo)所述流體樣品通過所述第一流通部位(3.1)流入到所述連接通道腔(41)中，引導(dǎo)所述流體樣品通過所述連接通道腔(41)從所述第一流通部位(3.1)流到所述第二流通部位(3.2)，引導(dǎo)所述流體樣品通過所述第二流通部位(3.2)流入到通道腔(6.2)中。10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述步驟還包括測量所述流體樣品的特性或所述流體樣品的成分的存在和/或頻率的步驟。11、引導(dǎo)流體樣品流過微流體裝置的方法，包括以下步驟引導(dǎo)以橫向方式通過第一通道腔(6.1)的流動或者在第一空間(8)中提供流體樣品；引導(dǎo)以垂直方式從所述第一通道腔(6.1)或從所述第一空間(8)通過第一流通部位(3.1)流入到第二通道腔(41)中的流動；引導(dǎo)以橫向方式流過所述第二通道腔(41)的流動；以及弓I導(dǎo)以垂直方式從所述第二通道腔(41)通過第二流通部位(3.2)流入到第三通道腔(6.2)或第二空間中的流動。12、制造微流體裝置的方法，包括以下步驟提供基板(l)，其在橫向平面中延伸，并且在垂直方向上具有至少一個全通凹槽(1.1);相對于所述基板(1)設(shè)置流通單元(2)，其至少具有第一和第二流通部位(3.1、3.2)，尤其將所述基板(1)和所述流通單元(2)設(shè)置成彼此鄰接；相對于彼此設(shè)置板結(jié)構(gòu)(4)和所述流體單元(2)從而形成連接通道腔(41)，其允許從所述第一流通部位(3.1)到所述第二流通部位(3.2)的橫向流體流動。全文摘要公開一種用于引導(dǎo)液體樣品的流動的微流體裝置。該微流體裝置包括基板(1)，其在兩個側(cè)向上延伸并且在垂直方向上具有至少一個全通凹槽(1.1)；流通單元(2)，其至少具有第一和第二流通部位(3.1、3.2)；以及板結(jié)構(gòu)(4)。相對于所述基板(1)的所述凹槽(1.1)設(shè)置所述流通單元(2)，以便允許從該設(shè)置的一側(cè)通過所述第一和第二流通部位中的每一個到另一側(cè)的垂直流體流動。此外，所述板結(jié)構(gòu)(4)與所述流通單元(2)彼此相對設(shè)置，以便形成連接通道腔(41)，從而使允許從所述第一流通部位到所述第二流通部位的橫向流體流動。文檔編號B01L3/00GK101437614SQ200580039022公開日2009年5月20日申請日期2005年11月15日優(yōu)先權(quán)日2004年11月16日發(fā)明者約翰納斯·威廉默斯·威克普,緬諾·威廉·喬斯·普林斯申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司