專利名稱：工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于工業(yè)廢氣的處理技術(shù)，是一種利用等離子體技術(shù)來處理工業(yè)廢氣的裝置，具體涉及一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置。
背景技術(shù)：
近十年來，隨著工業(yè)化的發(fā)展，我國的環(huán)境污染越來越嚴(yán)重，各種環(huán)境問題日益突出，已開始制約到我國經(jīng)濟(jì)的有序發(fā)展。大氣污染主要是由人類活動(dòng)造成的。工業(yè)生產(chǎn)對大氣的影響最大，除了排放顆粒物外還排放氣態(tài)污染物，后者在全世界每年排入大氣的污染物中占75％以上。氣態(tài)污染物又可分為無機(jī)污染物和有機(jī)污染物。隨著近代有機(jī)合成工業(yè)以及石油工業(yè)的不斷發(fā)展，能源的不斷消耗，大氣中的有機(jī)污染物越來越多，主要是低沸點(diǎn)易揮發(fā)的有機(jī)物，即VOCs。它的毒性、刺激性、致癌性和特殊的氣味性，會(huì)影響皮膚和黏膜，對人體產(chǎn)生急性損害。
VOCs控制技術(shù)基本分為兩大類第一類是以改進(jìn)工藝技術(shù)、更換設(shè)備和防止泄漏為主的預(yù)防性措施，第二類是以末端治理為主的控制性措施。末端控制技術(shù)基本又分為兩類，一是采用物理方法將VOCs回收，二是通過生化反應(yīng)將VOCs氧化分解為無毒或低毒物質(zhì)。回收方法主要有吸附法、吸收法、冷凝法、膜分離法。VOCs氧化分解方法主要包括燃燒法、生物法，還有新興的等離子體處理技術(shù)以及紫外線輻射氧化法等。
等離子體被稱為物質(zhì)的第4種形態(tài)，是空氣凈化領(lǐng)域近幾年興起的一種的新技術(shù)。它是由電子、離子、自由基和中性粒子組成的導(dǎo)電性流體。等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，高能電子通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，同時(shí)部分分子被電離成為活性基團(tuán)，然后這些活性基團(tuán)與原子或分子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。研究表明，等離子體是一種效率高、能耗低、使用范圍廣的污染物凈化手段。這一技術(shù)包括下邊幾種主要類型1)電子束輻照法電子束輻照法煙氣治理技術(shù)的研究工作始于20實(shí)際70年代初期。目前該工藝較多運(yùn)用于脫硫脫硝工藝，其反應(yīng)機(jī)理是利用電子加速器產(chǎn)生的高能電子束，產(chǎn)生大量的活性離子與硫氮化合物反應(yīng)，從而氧化去除。電子束發(fā)生裝置是電子束脫硫脫氮工藝的核心技術(shù)，由發(fā)生電子束的直流高壓電源，電子加速器及窗靶冷卻裝置組成。
雖然電子束法具有很好的發(fā)展前景，但它也存在著一些缺陷a產(chǎn)生X射線，工業(yè)應(yīng)用中必須有混凝土防輻射工程；b冷卻窗用壓縮空氣冷卻，電子線照射產(chǎn)生臭氧，對裝置有腐蝕，對周圍環(huán)境也有害；c由于電子束法產(chǎn)生的高能電子對于煙氣中任何氣體分子均可破壞其化學(xué)鍵，使煙氣分子電離產(chǎn)生離子，因而煙氣中含量最高的氮?dú)夂投趸嫉葰怏w分子將被分解和電離，浪費(fèi)了能量，造成工藝的能耗過大；d采用的電子槍價(jià)格昂貴，電子槍及靶窗的壽命短，設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
2)脈沖電暈放電法電暈放電是使用曲率半徑很小的電極，如針狀電極或細(xì)線狀電極，并在電極上加高電壓，由于電極的曲率半徑很小，而靠近電極區(qū)域的電場特別強(qiáng)，電子逸出陽極，發(fā)生非均勻放電，稱為電暈放電。在大氣污染物的治理上，電暈放電法多用于煙道氣脫硫和脫硝，也有用電暈放電法去除空氣中揮發(fā)行有機(jī)氣體，硫化氫，鹵代烷烴以及對印刷廢水脫色等。
脈沖電暈法是在直流高電壓上接一脈沖電壓形成超高壓脈沖放電。由于這種脈沖前后沿陡峭、峰值高，使電暈極附近發(fā)生激烈、高頻率的脈沖電暈放電，但放電區(qū)域有限，只有在電極附近才有較好的處理效果。并且這種尖端放電容易發(fā)生擊穿，影響廢氣處理的正常進(jìn)行。另外，脈沖放電電極容易損壞，需要經(jīng)常更換。
3)介質(zhì)擋阻放電法(DBD)介質(zhì)阻擋放電是有絕緣介質(zhì)插入放電空間的一種氣體放電。介質(zhì)可以覆蓋在電極上或者懸掛在放電空間里，這樣，當(dāng)在放電電極上施加足夠高的交流電壓時(shí)，電極間的氣體，即使在很高氣壓下也會(huì)被擊穿而形成所謂的介質(zhì)阻擋放電。這種放電表現(xiàn)為很均勻、漫散和穩(wěn)定、貌似低氣壓下的輝光放電，但實(shí)際上它是由大量細(xì)微的快脈沖放電通道構(gòu)成的。通常放電空間的氣體壓強(qiáng)可達(dá)105Pa或更高，所以這種放電屬于高氣壓下的非熱平衡放電。
該法雖然在臭氧產(chǎn)生領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，同時(shí)在脫硫、脫硝方面也有一定的效果，但是該法能耗高，對VOCs的降解缺乏有效性。
本實(shí)用新型采用的是容性耦合等離子體，既克服了上述方法中反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、易損壞、處理氣體量有限等缺點(diǎn)，該項(xiàng)技術(shù)處理有機(jī)廢氣還具有以下優(yōu)點(diǎn)①能耗低，可在室溫下與催化劑反應(yīng)，無需加熱，極大地節(jié)約了能源；②使用便利，設(shè)計(jì)時(shí)可以根據(jù)風(fēng)量變化以及現(xiàn)場條件進(jìn)行調(diào)節(jié)；③副產(chǎn)物少，催化劑可選擇性地降解等離子體反應(yīng)中所產(chǎn)生的副產(chǎn)物；④不產(chǎn)生放射物；⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風(fēng)量的氣體。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，以解決已有等離子體處理廢氣方法中相對能耗高、效率低、處理氣體不完全的缺點(diǎn)，同時(shí)又能克服原有反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、易損壞、處理氣體量有限等缺點(diǎn)。
本實(shí)用新型的流程圖如附圖1所示，其核心部分是容性耦合等離子體發(fā)生器3，它有一個(gè)相匹配的高頻電源6；整個(gè)裝置包括集氣罩1、除塵過濾器2、等離子體發(fā)生器3、高頻電源6，旋片式真空泵4、主煙道5六個(gè)部分；上述集氣罩1與除塵過濾器2相通，除塵過濾器2的另一端通過管道18與等離子體發(fā)生器3的進(jìn)氣口8連通，高頻電源6與等離子體發(fā)生器3并聯(lián)，等離子體發(fā)生器3的出氣口13與旋片式真空泵4相連，真空泵4的另一端連接主煙道5，主煙道5與大氣相通。
該裝置的核心為容性耦合等離子體發(fā)生器3，其結(jié)構(gòu)示意圖如附圖2所示，它的組件包括進(jìn)氣口8、鋼蓋板9、放電電極10、石英管12、出氣口13、墊圈14、O形密封圈15、支柱16、固定螺母17。
上述進(jìn)氣口8與鋼蓋板9相連，采用焊接方式，進(jìn)氣口為圓管。如附圖3所示，鋼蓋板外形為矩形鋼板，中間有圓柱形凹凸，貌似壺蓋狀。
上述兩鋼蓋板9套裝在石英管12上，密封采用三條O形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的矩形密封槽內(nèi)，O形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的剖面圖如附圖8所示。O形密封圈15上下布置，最大可能的減小漏氣的可能性，其壓縮前及壓縮后的圖如附圖4和附圖5所示，O形密封圈15的壓縮量為22.5％。
上述石英管12端口與鋼蓋板9接觸處設(shè)有墊圈14，利于石英管12和鋼蓋板9的吻合，進(jìn)一步保證密封。
上述等離子反應(yīng)器3主體是圓柱狀石英管12，采用外極式反應(yīng)器，環(huán)狀電極10以適當(dāng)?shù)奈恢瞄g隔配置在石英管外側(cè)，加在電極上的高頻電源能透過石英管壁使管內(nèi)的氣體放電形成等離子體。
上述兩個(gè)放電電極10之間放置催化劑11，催化劑11放置在石英管12內(nèi)，用以加速廢氣的處理速度，提高處理效率。催化劑采用BaTiO3和Al2O3的混合物，混合比例為重量比3∶1，或單獨(dú)使用BaTiO3或Al2O3作為催化劑。
上述出氣口13與鋼蓋板9之間同樣采用焊接方式連接。
上述鋼蓋板9的俯視圖如附圖6所示，外邊緣為矩形鋼板。進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板9之間由四個(gè)支柱16相連，支柱16與鋼蓋板9之間由四個(gè)角上的四個(gè)固定螺母17固定，螺母的放大圖如附圖7所示。反應(yīng)過程中，四個(gè)螺母螺緊，保證反應(yīng)器的壓力保持穩(wěn)定。
上述裝置將其中的高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3，真空泵4放置在自行設(shè)計(jì)的長方體鋼制設(shè)備箱7內(nèi)。工作箱7的具體布置正視圖、側(cè)視圖、俯視圖如附圖9、附圖10、附圖11所示。工作箱7分為上下兩層，上層放置真空泵4和等離子反應(yīng)器3，反應(yīng)器由支撐臺(tái)19支撐。下層放置電源6，兩層之間用鋼板隔開，下層留有足夠的空間，這樣布置主要是為了防止真空泵4在工作狀態(tài)下放出的熱量對高頻電源6造成影響。下層留有足夠的空間，以利于電源散熱。進(jìn)氣口8與集氣罩1之間設(shè)有止回閥20。工作箱設(shè)置一扇門，所有儀器，包括電源功率表，電壓表，電流表，壓力表等都布置在門上，一方面是便于工作時(shí)操作，另一方面是便于里邊幾個(gè)設(shè)備的修理和維護(hù)。
本實(shí)用新型的有益效果在于利用了容性耦合等離子體，容性耦合等離子體具有放電效率高，可在空間上產(chǎn)生大體積的、純凈的、均勻發(fā)光的低溫等離子體、等離子體點(diǎn)燃、維持比較容易的特點(diǎn)。等離子體反應(yīng)器3具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、密封性好、可處理大流量的有機(jī)廢氣、廢氣的處理效率高、加入催化劑進(jìn)一步提高效率、減少副產(chǎn)物的產(chǎn)生等特點(diǎn)。另外，工藝布置緊湊合理，既節(jié)約了空間又方便操作。本實(shí)用新型適用于大流量有機(jī)廢氣的處理。
以下結(jié)合
本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)圖1為本實(shí)用新型的工藝流程圖。
圖2為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器的鋼蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器密封結(jié)構(gòu)示意圖(壓縮前)。
圖5為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器密封結(jié)構(gòu)示意圖(壓縮后)。
圖6為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器鋼蓋板示意圖。
圖7為本實(shí)用新型的圖6中C的放大圖，即固定螺母示意圖。
圖8為本實(shí)用新型等離子發(fā)生器圖2中的A-A剖面圖。
圖9為本實(shí)用新型的系統(tǒng)布置正視圖。
圖10為本實(shí)用新型的系統(tǒng)布置側(cè)視圖。
圖11為本實(shí)用新型的系統(tǒng)布置俯視圖。
其中1-集氣罩2-除塵過濾器 3-等離子發(fā)生器4-旋片式真空泵5-主煙道6-高頻電源7-設(shè)備箱 8-進(jìn)氣口9-鋼蓋板10-放電電極 11-催化劑 12-石英管13-出氣口 14-墊圈 15-O形密封圈 16-支柱17-螺母 18-管道 19-反應(yīng)器支撐臺(tái) 20-截止閥具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的如附圖1所示，整個(gè)裝置包括集氣罩1、除塵過濾器2、容性耦合等離子體發(fā)生器3、高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3、真空泵4、主煙道5六個(gè)部分。上述集氣罩1與除塵過濾器2相通，除塵過濾器2的另一端通過管道18與等離子體發(fā)生器3的進(jìn)氣口8連通，高頻電源6與等離子體發(fā)生器3并聯(lián)，等離子體發(fā)生器3的出氣13與旋片式真空泵4相連，真空泵4的另一端連接主煙道5，主煙道5與大氣相通。
本裝置采用無邊圓形平口側(cè)吸式集氣罩1，喇叭口罩長度宜取風(fēng)管直徑的三倍。
由于車間空氣中含有灰塵，若隨有害氣體直接進(jìn)入等離子體反應(yīng)器，將會(huì)降低催化劑的催化效果，甚至?xí)斐纱呋瘎┲卸尽Ｒ虼?，本裝置采用一套簡單的除塵過濾器2進(jìn)行預(yù)處理，這一裝置主要是根據(jù)布袋式除塵器的工作原理，通過過濾纖維除去氣流中的灰塵。除塵箱的尺寸為500mm×150mm×150mm(長×寬×高)，纖維尺寸為140mm×150mm(長×高)。
高頻電源6是產(chǎn)生等離子體的電場能量來源，本裝置采用的是JG-500W-B型晶控高頻電源。主要技術(shù)指標(biāo)為a輸出功率0-500W連續(xù)可調(diào)，b輸出阻抗50Ω，c輸出頻率13560KHz等幅波，d頻率穩(wěn)定度≥1.0≥1.0×10-6，e供電方式220V兩相三線制。
該裝置的核心為容性耦合等離子體發(fā)生器3，其結(jié)構(gòu)示意圖如附圖2所示，它的組件包括進(jìn)氣口8、鋼蓋板9、放電電極10、石英管12、出氣口13、墊圈14、O形密封圈15、支柱16、固定螺母17。進(jìn)氣口8與鋼蓋板9相連，采用焊接方式，進(jìn)氣口為圓管。如附圖3所示，鋼蓋板外邊緣為矩形鋼板，中間有圓柱形凹凸，貌似壺蓋狀。鋼蓋板9與石英管12相連，密封采用三條O形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的矩形密封槽內(nèi)，O形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的剖面圖如附圖8所示。O形密封圈15上下布置，最大可能的減小漏氣的可能性，其壓縮前及壓縮后的圖如附圖四和附圖5所示，O形密封圈15的壓縮量為22.5％。石英管12端口與鋼蓋板9接觸處設(shè)有墊圈14，利于石英管12和鋼蓋板9的吻合，進(jìn)一步保證密封。等離子反應(yīng)器3主體是圓柱狀石英管12，采用外極式反應(yīng)器，環(huán)狀電極10以適當(dāng)?shù)奈恢瞄g隔配置在石英管外側(cè)，加在電極上的高頻電源能透過石英管壁使管內(nèi)的氣體放電形成等離子體。出氣口13與鋼蓋板9之間同樣采用焊接方式連接。鋼蓋板9的俯視圖如附圖六所示，外邊緣為矩形鋼板。進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板9之間由四個(gè)支柱16相連，支柱16與鋼蓋板9之間由四個(gè)角上的四個(gè)固定螺母17固定，螺母的放大圖如附圖7所示。反應(yīng)過程中，四個(gè)螺母螺緊，保證反應(yīng)器的壓力保持穩(wěn)定。本工藝選取的石英玻璃管12，長為500mm，內(nèi)徑為900mm，外徑100mm，放電電極10為30mm寬的銅片，兩電極距離為3cm。兩個(gè)放電電極10之間放置催化劑11，催化劑11放置在石英管12內(nèi)，用以加速廢氣的處理速度，提高處理效率，催化劑采用BaTiO3和Al2O3的混合物，混合比例為重量比3∶1，或單獨(dú)使用BaTiO3或Al2O3作為催化劑。
整個(gè)裝置的壓力是由一臺(tái)ZX-15型旋片式真空泵4調(diào)節(jié)的，系統(tǒng)壓力的測量采用北京新華真空儀表廠生產(chǎn)的DJ-3AK型低真空計(jì)測量。真空管采用涂金鎢絲、陶瓷金屬封結(jié)、不銹鋼外殼，具有良好的穩(wěn)定性、結(jié)果牢固、抗污染能力強(qiáng)。
考慮到管道的耐用性和成本問題，本裝置采用普通鋼板制作的管道18，其優(yōu)點(diǎn)是堅(jiān)固、耐用、造價(jià)低、易于制作安裝等。管道的厚度為0.5mm，一般管道系統(tǒng)的異形部件，其所用鋼板厚度應(yīng)比直管段加厚1mm，因此本裝置各異形部件的厚度為1.5mm。
在布置上本裝置將其中的高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3，真空泵4放置在自行設(shè)計(jì)的長方體鋼制設(shè)備箱7內(nèi)，其尺寸規(guī)格為1200×2000×1200(長×寬×高mm)。工作箱7的具體布置正視圖、側(cè)視圖、俯視圖如附圖9、附圖10、附圖11所示。工作箱7分為上下兩層，上層放置真空泵4和等離子反應(yīng)器3，反應(yīng)器由支撐臺(tái)19支撐。下層放置電源6，兩層之間用一鋼板隔開，進(jìn)氣口8與集氣罩1之間設(shè)有止回閥20。工作箱設(shè)置一扇門，所有儀器，包括電源功率表，電壓表，電流表，壓力表等都布置在門上。
工藝的流程為車間的有害氣體通過集氣罩1收集后首先進(jìn)入的是除塵過濾2，除去大顆粒的污染物質(zhì)，然后由管道18、近氣口13進(jìn)入等離子反應(yīng)器3進(jìn)行催化反應(yīng)；與此同時(shí)和等離子反應(yīng)器3相匹配的高頻電源6與繞在等離子反應(yīng)器3外的放電電極10相連，使等離子反應(yīng)器內(nèi)持續(xù)產(chǎn)生容性耦合等離子體；另外石英管12與鋼蓋板9之間的O形密封圈15、石英管12與鋼蓋板9之間的墊圈14、兩個(gè)鋼蓋板9之間的支柱16固定螺母17共同作用，保證了等離子反應(yīng)器3的內(nèi)部壓力保持穩(wěn)定；反應(yīng)后的氣體通過真空泵4進(jìn)入主煙道5，最后排入大氣。
使用本實(shí)用新型處理甲烷氣體當(dāng)輸入甲烷體積濃度為500ppm的干空氣，若我們定義能量密度(kJ/L)＝輸入功率(kW)/氣體流量(L/s)，則當(dāng)能量密度為0.8kJ/L時(shí)，去除率已經(jīng)達(dá)到了83％，當(dāng)能量密度為0.8kJ/L4kJ/L時(shí)，甲烷分解率達(dá)到96％。使用本實(shí)用新型處理甲苯氣體當(dāng)輸入甲苯的體積濃度為3000ppm的干空氣，能量密度為8kJ/L時(shí)，甲苯的分解率可以達(dá)到55％以上。
權(quán)利要求1.一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置， 其特征在于包括集氣罩(1)、除塵過濾器(2)、等離子體發(fā)生器(3)、高頻電源(6)、旋片式真空泵(4)、主煙道(5)六個(gè)部分；上述集氣罩(1)與除塵過濾器(2)相通，除塵過濾器(2)的另一端通過管道(18)與等離子體發(fā)生器(3)的進(jìn)氣口(8)連通，高頻電源(6)與等離子體發(fā)生器(3)并聯(lián)，等離子體發(fā)生器(3)的出氣口(13)與旋片式真空泵(4)相連，真空泵(4)的另一端連接主煙道(5)，主煙道(5)與大氣相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述等離子體發(fā)生器(3)、高頻電源(6)、旋片式真空泵(4)安裝放置在長方體鋼制設(shè)備箱(7)內(nèi)；設(shè)備箱(7)分為上下兩層，上層放置旋片式真空泵(4)和等離子反應(yīng)器(3)，等離子反應(yīng)器(3)由支撐臺(tái)(19)支撐；下層放置高頻電源(6)，兩層之間用鋼板隔開。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述離子體發(fā)生器(3)的組件有進(jìn)氣口(8)、鋼蓋板(9)、放電電極(10)、石英管(12)、出氣口(13)、墊圈(14)、O形密封圈(15)、支柱(16)、固定螺母(17)；其中進(jìn)氣口(8)、出氣口(13)分別安裝在鋼蓋板(9)端頭，兩鋼蓋板(9)套裝在石英管(12)上，密封采用三條O形密封圈(15)鑲嵌在鋼蓋板(9)內(nèi)側(cè)的矩形密封槽內(nèi)，石英管(12)端口與鋼蓋板(9)接觸處設(shè)有墊圈(14)；環(huán)狀放電電極(10)環(huán)繞在石英管(12)外側(cè)，兩個(gè)放電電極(10)之間在石英管(12)內(nèi)放置催化劑(11)；鋼蓋板(9)的外邊緣為矩形鋼板，中間凹進(jìn)貌似茶壺蓋，進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板(9)之間由四個(gè)支柱(16)相連，支柱(16)與鋼蓋板(9)之間由四個(gè)固定螺母(17)固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述催化劑(11)采用BaTiO3和Al2O3的混合物，混合比例為重量比3∶1，或單獨(dú)使用BaTiO3或Al2O3作為催化劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置， 其特征在于上述進(jìn)氣口(8)與集氣罩(1)之間設(shè)有截止閥(20)；設(shè)備箱(7)設(shè)置一扇門，電源功率表、電壓表、電流表、壓力表分別安裝在門上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，包括集氣罩、除塵過濾器、等離子體發(fā)生器、高頻電源、旋片式真空泵、主煙道六個(gè)部分；上述集氣罩與除塵過濾器相通，除塵過濾器的另一端通過管道與等離子體發(fā)生器的進(jìn)氣口連通，高頻電源與等離子體發(fā)生器并聯(lián)，等離子體發(fā)生器的出氣口與旋片式真空泵相連，真空泵的另一端連接主煙道，主煙道與大氣相通；本裝置利用了容性耦合等離子體，容性耦合等離子體具有放電效率高，可在空間上產(chǎn)生大體積的、純凈的、均勻發(fā)光的低溫等離子體、等離子體點(diǎn)燃、維持比較容易的特點(diǎn)；本裝置布置緊湊合理，既節(jié)約了空間又方便操作，適用于大流量有機(jī)廢氣的處理。
文檔編號(hào)B01D50/00GK2910334SQ20062006150
公開日2007年6月13日 申請日期2006年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月11日
發(fā)明者黃海濤, 劉芳, 劉少衛(wèi), 林美強(qiáng), 唐蘭 申請人:廣東工業(yè)大學(xué)