專利名稱：顯示裝置制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種顯示裝置制造系統(tǒng)，尤其涉及一種能夠有效地過(guò)濾工作流體中浮游物的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前廣泛使用的顯示裝置，具體有液晶顯示器、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器等各種裝置。
其中，所述液晶顯示裝置由形成有電場(chǎng)產(chǎn)生電極的兩塊顯示基板及夾在所述基板之間的液晶層構(gòu)成。其通過(guò)向電極施加電壓，重新排列液晶層的液晶分子，從而調(diào)節(jié)透過(guò)液晶層的光線穿透率。
制造這種液晶顯示裝置需經(jīng)過(guò)對(duì)基板進(jìn)行蒸鍍(deposition)、清洗(cleaning)、涂覆光致抗蝕劑(photo resist coating)、曝光(exposure)、顯影(development)、蝕刻(etching)、以及剝離光致抗蝕劑(photo resiststrip)等一系列工序。
其中，所述光致抗蝕劑分為正性和負(fù)性光致抗蝕劑。具體來(lái)說(shuō)，為防止經(jīng)過(guò)曝光工序圖形化的光致抗蝕劑在隨后的顯影工序中被顯影液剝落，在高溫下，所述正性光致抗蝕劑則在其中未曝光部分被硬化，而所述負(fù)性光致抗蝕劑則在其中曝光部分被硬化。
另外，用于剝離圖形化光致抗蝕劑的系統(tǒng)，包括剝離腔室，其用于接納顯示基板；注入器，其用于向剝離腔室內(nèi)注入剝離液，而所述剝離液用于溶解顯示基板上的圖形化光致抗蝕劑；過(guò)濾裝置，其用于過(guò)濾從剝離腔室排出的剝離液中光致抗蝕劑成分；以及儲(chǔ)存槽，其用于儲(chǔ)存已濾除光致抗蝕劑成分的剝離液。
但是，現(xiàn)有的制造系統(tǒng)存在以下缺陷。
為了防止經(jīng)曝光工序圖形化的光致抗蝕劑在后續(xù)顯影工序中被顯影液剝落，在高溫下對(duì)光致蝕刻劑層進(jìn)行硬化處理，因此圖形化的光致抗蝕劑的溶解性降低，而熱特性、耐化學(xué)性等性能會(huì)大幅提高。由此，剝離時(shí)間將會(huì)延長(zhǎng)，且在剝離過(guò)程中，剝離液中將會(huì)懸浮幾μm至幾百μm大小的光致抗蝕劑微粒。
由于所述浮游物的堵塞將會(huì)縮短過(guò)濾裝置的使用壽命。因此，需要經(jīng)常更換價(jià)格昂貴的過(guò)濾裝置，這將導(dǎo)致費(fèi)用的大幅增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題而作，其目的在于提供一種在通過(guò)過(guò)濾裝置過(guò)濾工作流體之前除去流體中浮游物的顯示裝置制造系統(tǒng)。
本發(fā)明的顯示裝置制造系統(tǒng)，包括工作腔室，在其內(nèi)部利用工作流體去除形成在顯示面板上的工作層中多余部分；浮游物過(guò)濾單元，其接收工作腔室所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中、并由所述工作層產(chǎn)生的浮游物；過(guò)濾裝置，其接收浮游物過(guò)濾單元所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中的所述工作層成分；流體儲(chǔ)存槽，其用于儲(chǔ)存通過(guò)過(guò)濾裝置濾除工作層成分后的工作流體。
而且，所述浮游物過(guò)濾單元包括箱體，其內(nèi)部形成有主腔室；過(guò)濾器，其安裝于主腔室內(nèi)，且內(nèi)部形成有輔助腔室，且其表面上形成有至少兩個(gè)網(wǎng)眼；流入管，其用于將從工作腔室排出的含有浮游物的工作流體導(dǎo)入輔助腔室；流出管，其用于將通過(guò)過(guò)濾器的工作流體導(dǎo)入過(guò)濾裝置；排出單元，其用于將未通過(guò)過(guò)濾器的浮游物排放到外部。
另外，所述排出單元還包括刷子，其與過(guò)濾器內(nèi)表面可接觸地裝配；驅(qū)動(dòng)裝置，其用于驅(qū)動(dòng)刷子，以去除蓄積在過(guò)濾器內(nèi)表面上的浮游物；排出管，其用于將從過(guò)濾器內(nèi)表面上被刷子刷落的浮游物排放到外部。
此外，過(guò)濾器呈圓筒狀，而驅(qū)動(dòng)裝置為旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)，且安裝在箱體的一端，排出管則安裝在箱體的另一端，而且刷子可以是螺旋狀，用于將從過(guò)濾器內(nèi)表面被刷落的浮游物移送至排出管。
而且，排出單元可進(jìn)一步包括檢測(cè)裝置，其用于測(cè)出蓄積在過(guò)濾器內(nèi)表面上的浮游物清除時(shí)機(jī)；控制裝置，其根據(jù)檢測(cè)裝置測(cè)得的數(shù)據(jù)來(lái)控制驅(qū)動(dòng)裝置。
另外，檢測(cè)裝置還可以是安裝在流出管上的流量傳感器。
而且，控制裝置還可以包括根據(jù)設(shè)定程序運(yùn)行的至少一個(gè)微處理器，且設(shè)定程序可執(zhí)行以下步驟比較由所述流量傳感器所測(cè)得的檢測(cè)流量與設(shè)定流量，及當(dāng)所述檢測(cè)流量大于所述設(shè)定流量時(shí)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
此外，為防止浮游物通過(guò)排出管隨時(shí)被排出到外部，排出單元可進(jìn)一步包括閥門，而所述設(shè)定程序可進(jìn)一步執(zhí)行，從所述驅(qū)動(dòng)裝置被啟動(dòng)起預(yù)定時(shí)間之后打開閥門的步驟。
另外，所述工作腔室可以是用于將已完成顯影的光致抗蝕劑從蒸鍍膜剝離的腔室，而工作流體可以為剝離液，浮游物則可以是未被剝離液溶解而殘存的光致抗蝕劑顆粒。
此外，過(guò)濾器可由不銹鋼材料制成。
采用本發(fā)明可不會(huì)直接向過(guò)濾裝置通過(guò)含有浮游物的工作流體，而是通過(guò)浮游物過(guò)濾單元除去浮游物之后，再將經(jīng)過(guò)過(guò)濾的工作流體通過(guò)過(guò)濾裝置，因此可延長(zhǎng)過(guò)濾裝置的使用壽命，進(jìn)而可縮短過(guò)濾裝置的更換周期，從而降低費(fèi)用。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例所涉及的顯示裝置制造系統(tǒng)的概略示意圖。
圖2是圖1所示顯示裝置制造系統(tǒng)之浮游物過(guò)濾單元示意圖。
圖3是用以說(shuō)明圖2所示浮游物過(guò)濾單元中的流量傳感器、控制裝置、旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)、閥門之間關(guān)系的方框圖。
圖中
300工作腔室100浮游物過(guò)濾單元110箱體120過(guò)濾器130流入管140流出管150排出單元151刷子152驅(qū)動(dòng)裝置153排出管154閥門155檢測(cè)裝置(流量傳感器)156控制裝置500過(guò)濾裝置700流體儲(chǔ)存槽900浮游物儲(chǔ)存槽具體實(shí)施方式
下面，參照附圖，在本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)嵤┍景l(fā)明實(shí)施例的范圍內(nèi)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。但本發(fā)明并不局限于下述實(shí)施例。
圖1是本發(fā)明一實(shí)施例所涉及的顯示裝置制造系統(tǒng)示意圖。
如圖1所示，顯示裝置制造系統(tǒng)包括工作腔室300、浮游物過(guò)濾單元100、過(guò)濾裝置500、流體儲(chǔ)存槽700。
在工作腔室300中，利用工作流體去除形成在顯示面板(未圖示)上的工作層中多余部分。例如，工作腔室300可以是利用剝離液從蒸鍍膜層剝離已完成顯影的光致抗蝕劑的腔室。此時(shí)，所述工作腔室300是從蒸鍍膜層(未圖示)剝離已完成顯影的光致抗蝕劑的剝離腔室，而所述工作流體可以是剝離液。又如，工作腔室300可以是利用顯影液進(jìn)行顯影的腔室。
浮游物過(guò)濾單元100接收工作腔室300所排出的工作流體，并濾除工作流體中所包含的浮游物。尤其是，當(dāng)工作腔室300為所述剝離腔室時(shí)，浮游物是未被剝離液溶解而殘存的光致抗蝕劑微粒。
過(guò)濾裝置500接收由浮游物過(guò)濾單元100排出的工作流體(已濾除工作層浮游物，只含有工作層成分)，并濾除工作流體中的工作層成分。
流體儲(chǔ)存槽700用于儲(chǔ)存通過(guò)過(guò)濾裝置500已濾除工作層成分的工作流體。尤其是，能夠再利用儲(chǔ)存于流體儲(chǔ)存槽700的工作流體。浮游物儲(chǔ)存槽900用于儲(chǔ)存浮游物。
下面，參照?qǐng)D2詳細(xì)說(shuō)明所述浮游物過(guò)濾單元100。
圖2表示本發(fā)明一實(shí)施例所涉及的顯示裝置制造系統(tǒng)之浮游物過(guò)濾單元100。
如圖2所示，所述浮游物過(guò)濾單元100包括箱體110、過(guò)濾器120、流入管130、流出管140、排出單元150。
箱體110內(nèi)部形成有主腔室111。
過(guò)濾器120安裝在主腔室111內(nèi)，其內(nèi)部形成有輔助腔室121，而且其表面上還形成有至少兩個(gè)網(wǎng)眼122。所述網(wǎng)眼122的直徑根據(jù)浮游物(未圖示)的大小，可以設(shè)定為幾μm至幾百μm。而且，為防止浮游物粘著在表面上，過(guò)濾器120可由光滑的不銹鋼材料制成。
流入管130將從工作腔室(參照?qǐng)D1的300)排出的含有浮游物的工作流體導(dǎo)入到過(guò)濾器120的輔助腔室121。具體而言，流入管130安裝于箱體110上，且與過(guò)濾器120的輔助腔室121相通。
流出管140將通過(guò)過(guò)濾器120過(guò)濾的工作流體導(dǎo)入到過(guò)濾裝置500。具體而言，流出管140安裝于箱體110的底部，并且與主腔室111連通。排出單元150將未能通過(guò)過(guò)濾器120的浮游物排放到浮游物儲(chǔ)存槽900中。
下面，參照?qǐng)D2詳細(xì)說(shuō)明所述排出單元150。
排出單元150包括刷子151、驅(qū)動(dòng)裝置152、排出管153。未能通過(guò)過(guò)濾器120的浮游物蓄積在過(guò)濾器120內(nèi)表面上，為了順利清除蓄積在過(guò)濾器120內(nèi)表面上的浮游物，與過(guò)濾器120內(nèi)表面可接觸地裝配刷子151。
驅(qū)動(dòng)裝置152用于驅(qū)動(dòng)刷子151，以去除積累在過(guò)濾器120內(nèi)表面上的浮游物。排出管153將從過(guò)濾器120內(nèi)表面被刷落的浮游物導(dǎo)入浮游物儲(chǔ)存槽900中。
尤其是，為了通過(guò)排出單元150更加順利地將蓄積在過(guò)濾器120內(nèi)表面上的浮游物移送到浮游物儲(chǔ)存槽900，最好將過(guò)濾器120設(shè)成圓筒狀；驅(qū)動(dòng)裝置152為旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)，且安裝于箱體110的一端；排出管153位于箱體110的另一端；刷子151呈螺旋狀，使其能夠?qū)倪^(guò)濾器內(nèi)表面被刷落的浮游物移送至排出管153。
而且，為防止浮游物通過(guò)排出管153隨時(shí)被排放到浮游物儲(chǔ)存槽900，排出單元150可進(jìn)一步包括安裝在排出管153上的閥門154。
下面，參照?qǐng)D3進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明所述排出單元150。尤其是，可將排出單元150設(shè)計(jì)成能夠自動(dòng)控制的裝置。
圖3是用于表示本發(fā)明一實(shí)施例所涉及的顯示裝置制造系統(tǒng)之浮游物過(guò)濾單元中流量傳感器、控制裝置、旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)、閥門之間關(guān)系的方框圖即，排出單元150可進(jìn)一步包括檢測(cè)裝置155和控制裝置156。具體而言，所述檢測(cè)裝置155用于測(cè)出蓄積在過(guò)濾器120內(nèi)表面上的浮游物清除時(shí)機(jī)，作為所述檢測(cè)裝置155可使用流量傳感器?？刂蒲b置156根據(jù)檢測(cè)裝置155測(cè)得的數(shù)據(jù)來(lái)控制驅(qū)動(dòng)裝置152。
所述控制裝置156可以是根據(jù)設(shè)定程序運(yùn)行的至少一個(gè)微處理器，而所述設(shè)定程序包括可執(zhí)行下述各步驟的一系列指令。
首先，由控制裝置156比較流量傳感器155測(cè)得的檢測(cè)流量與設(shè)定流量。當(dāng)檢測(cè)流量大于設(shè)定流量時(shí)，控制裝置156就會(huì)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置152。
而且，從驅(qū)動(dòng)裝置152被啟動(dòng)起經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間以后，控制裝置156將打開安裝在排出管153上的閥門154，并把被刷子151刷落的浮游物排放到浮游物儲(chǔ)存槽900中。
另外，雖然圖3中未圖示，浮游物過(guò)濾單元100還可采用將含有浮游物的工作流體灌入儲(chǔ)存槽中，使浮游物沉淀的方式。
雖然在上面詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍并不局限于此，在本發(fā)明技術(shù)思想的基礎(chǔ)上所作之各種修飾及變更，均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，包括工作腔室，在其內(nèi)部利用工作流體去除形成在顯示面板上的工作層中多余部分；浮游物過(guò)濾單元，其接收工作腔室所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中、并由所述工作層產(chǎn)生的浮游物；過(guò)濾裝置，其接收浮游物過(guò)濾單元所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中的所述工作層成分；流體儲(chǔ)存槽，其用于儲(chǔ)存通過(guò)過(guò)濾裝置濾除工作層成分后的工作流體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于所述浮游物過(guò)濾單元包括箱體，其內(nèi)部形成有主腔室；過(guò)濾器，其安裝在所述主腔室內(nèi)，且內(nèi)部形成有輔助腔室，且其表面上形成有至少兩個(gè)網(wǎng)眼；流入管，其用于將從工作腔室排出的含有浮游物的工作流體導(dǎo)入所述輔助腔室；流出管，其用于將通過(guò)過(guò)濾器的工作流體導(dǎo)入過(guò)濾裝置；排出單元，其用于將未通過(guò)過(guò)濾器的浮游物排放到外部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于所述排出單元包括刷子，其與過(guò)濾器內(nèi)表面可接觸地裝配；驅(qū)動(dòng)裝置，其用于驅(qū)動(dòng)刷子，而刷子則用于去除蓄積在過(guò)濾器內(nèi)表面的浮游物；排出管，其用于將從過(guò)濾器內(nèi)表面被刷落的浮游物排放到外部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于所述過(guò)濾器為圓筒狀；所述驅(qū)動(dòng)裝置為旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)，且位于箱體的一端；所述排出管位于箱體的另一端；所述刷子為螺旋狀，其用于將從過(guò)濾器內(nèi)表面被刷落的浮游物移送到排出管。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述排出單元進(jìn)一步包括檢測(cè)裝置，其用于測(cè)出蓄積在過(guò)濾器內(nèi)表面的浮游物清除時(shí)機(jī)；控制裝置，其根據(jù)檢測(cè)裝置測(cè)得的數(shù)據(jù)來(lái)控制驅(qū)動(dòng)裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)裝置為安裝在流出管上的流量傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置包括根據(jù)設(shè)定程序運(yùn)行的至少一個(gè)微處理器，所述設(shè)定程序執(zhí)行以下步驟比較由所述流量傳感器所測(cè)得的流量和設(shè)定流量，當(dāng)所述流量大于設(shè)定流量時(shí)啟動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述排出單元進(jìn)一步包括安裝在排出管上的閥門，所述閥門用于防止浮游物通過(guò)排出管隨時(shí)被排放到外部，所述設(shè)定程序進(jìn)一步執(zhí)行以下步驟從所述驅(qū)動(dòng)裝置被啟動(dòng)起預(yù)定時(shí)間以后打開閥門。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述工作腔室為剝離腔室，其用于從蒸鍍膜層剝離已完成顯影的光致抗蝕劑；所述工作流體為剝離液；所述浮游物是未被剝離液溶解而殘存的光致抗蝕劑微粒。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顯示裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，所述過(guò)濾器由不銹鋼材料制成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種在通過(guò)過(guò)濾裝置過(guò)濾流體之前除去流體中浮游物的顯示裝置制造系統(tǒng)。本發(fā)明的顯示裝置制造系統(tǒng)包括工作腔室，在其內(nèi)部利用工作流體去除顯示面板上工作層中的多余部分；浮游物過(guò)濾單元，其接收由工作腔室所排出的工作流體，并濾除工作流體中所含有的工作層浮游物；過(guò)濾裝置，其接收由浮游物過(guò)濾單元所排出的工作流體，并濾除工作流體中所含有的工作層成分；流體儲(chǔ)存槽，其用于儲(chǔ)存通過(guò)過(guò)濾裝置濾除工作層成分后的工作流體。
文檔編號(hào)B01D29/00GK101051191SQ20071009033
公開日2007年10月10日 申請(qǐng)日期2007年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月4日
發(fā)明者樸熙珍, 金圣培, 尹錫壹, 鄭宗鉉, 許舜范, 辛成健, 鄭世桓, 許鉉, 金柄郁 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東進(jìn)世美肯