專(zhuān)利名稱(chēng)：準(zhǔn)分子光照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子光照射裝置，特別是涉及在半導(dǎo)體或液晶 基板的制造工序中用于清潔基板等的準(zhǔn)分子燈裝置，制作該清潔時(shí)的 氛圍的結(jié)構(gòu)具有特點(diǎn)的準(zhǔn)分子光照射裝置。
背景技術(shù)：
近來(lái)的半導(dǎo)體或液晶基板的制造工序中，作為除去硅晶片或玻璃 基板表面上附著的有機(jī)化合物等污物的方法，廣泛利用使用紫外線(xiàn)進(jìn) 行干式清潔的方法。尤其在利用準(zhǔn)分子燈放射出的真空紫外線(xiàn)的臭氧 等活性氧進(jìn)行清潔的方法中，提出了種種清潔裝置，能夠更高效率地 在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行清潔。作為現(xiàn)有的這種技術(shù)，例如公知的有特開(kāi)
2001-137800號(hào)公報(bào)等。
根據(jù)該公報(bào)，記載了清潔基板表面的基板處理裝置，在變?yōu)榈獨(dú)?氛圍的燈殼內(nèi)，配置有多根準(zhǔn)分子燈，從該準(zhǔn)分子燈放射的紫外線(xiàn)照 射由輥帶傳送到該燈殼內(nèi)的基板上，并利用臭氧等活性氧分解有機(jī)物， 變換為揮發(fā)物質(zhì)并除去。
但是，在這種基板處理裝置中，在要進(jìn)行處理的基板搬入該基板 處理裝置時(shí)，會(huì)有在搬入的入口部處巻入氧氣而產(chǎn)生處理偏差的問(wèn)題。 并且，在該入口部和該出口處，氛圍氣體內(nèi)的氧氣濃度不均勻，存在 無(wú)法進(jìn)行整體均勻的處理的問(wèn)題。進(jìn)而，隨著液晶玻璃基板等作為處 理對(duì)象物的該基板的大型化，利用平板狀窗玻璃本身成為大問(wèn)題。這 些問(wèn)題是處理隨著大型化變得麻煩，由于玻璃自重而產(chǎn)生彎曲，為了 防止彎曲而增加厚度時(shí)，由于吸收的問(wèn)題產(chǎn)生照度降低，相對(duì)于裝置， 窗玻璃本身的成本變得非常大等。
鑒于上述問(wèn)題，在利用準(zhǔn)分子燈的準(zhǔn)分子光照射裝置中，也逐漸 開(kāi)發(fā)不利用窗玻璃的裝置。作為這種技術(shù)，例如公知的有特開(kāi)
2001-113163號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2006-134983號(hào)公報(bào)等。根據(jù)該特開(kāi) 2001-113163號(hào)公報(bào)，記載了一種對(duì)作為被處理物的基板面照射紫外線(xiàn) 來(lái)進(jìn)行處理的紫外線(xiàn)照射裝置，具有在大氣中保持該基板的支撐臺(tái)； 放射175nm以下波長(zhǎng)的光的光源；以及使不活潑氣體流入該基板面上 方的大氣中的空間的不活潑氣體流入裝置。并且，根據(jù)特開(kāi) 2006-134983號(hào)公報(bào)，記載了一種將從準(zhǔn)分子燈放射的準(zhǔn)分子光向被處
理物照射的裝置，其形成有不活潑氣體流通部，所述不活潑氣體流通 部具有將不活潑氣體排出到并列配置的多根該準(zhǔn)分子燈之間的噴出
口。以下表示現(xiàn)有準(zhǔn)分子光照射裝置的概要。
圖8表示現(xiàn)有準(zhǔn)分子光照射裝置的概要圖。在準(zhǔn)分子光照射裝置 101中，在燈殼103中并列配置多根圓筒狀的準(zhǔn)分子燈102。在該燈殼 103中，設(shè)有上板111和側(cè)板112，該燈殼103下方采用不具有玻璃窗 的結(jié)構(gòu)。在該燈殼103內(nèi)設(shè)置的該準(zhǔn)分子燈102之間設(shè)有具有噴出不 活潑氣體的噴出口 105的不活潑氣體流通部104。并且，向該準(zhǔn)分子光 照射裝置101下方傳輸基板115，利用該準(zhǔn)分子燈102放射的準(zhǔn)分子光 進(jìn)行清潔處理。并且，在該準(zhǔn)分子光照射裝置101的燈殼103內(nèi)設(shè)置 的該不活潑氣體流通部104中，作為不活潑氣體流有氮?dú)狻Ｔ摰獨(dú)鈴?該噴出口 105噴出到該準(zhǔn)分子光照射裝置101下方，吹到該基板115 上。在該準(zhǔn)分子光照射裝置101下方且在該基板115的周邊，通過(guò)從 該噴出口 105噴出的氮?dú)?，形成真空紫外區(qū)的光可以透過(guò)的氧氣濃度 低的置換空間。
但是，在將氮?dú)獯档皆摶?15上的現(xiàn)有技術(shù)中，存在不活潑氣 體的使用量很大，不僅制造成本高，并且搬運(yùn)液晶玻璃基板等時(shí)，該 基板的前端部、中央及后端部的氧氣濃度不均勻，產(chǎn)生處理偏差的問(wèn) 題。并且，在圖8所示的現(xiàn)有裝置中，也存在該不活潑氣體流通部上
方的空間不會(huì)由氮?dú)獾戎脫Q，因此吹到基板面上的氮?dú)庵袔喨氲难鯕?濃度產(chǎn)生較嚴(yán)重的不均勻，還產(chǎn)生與氧氣濃度的不均勻相應(yīng)的嚴(yán)重的 處理偏差的問(wèn)題。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本專(zhuān)利公布2001 — 137800號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利公布2001 — 113163號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本專(zhuān)利公布2006—134983號(hào)公報(bào)
本發(fā)明要解決的問(wèn)題是提供一種準(zhǔn)分子光照射裝置，在利用準(zhǔn)分 子光的液晶面板用玻璃基板等的清潔裝置中，即使是未配置大面積的 板狀玻璃窗的裝置，也能使氫氣置換時(shí)的氣體使用量變少。進(jìn)而，提 供一種準(zhǔn)分子光照射裝置，即使對(duì)大型基板進(jìn)行清潔，也能減少清潔 偏差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，對(duì)被搬運(yùn)的基板照射準(zhǔn)分子光，其 特征在于在燈殼內(nèi)并列配置有多根大致棒狀的準(zhǔn)分子燈，具有傳送 基板的搬運(yùn)裝置，在所述燈殼內(nèi)設(shè)有間隔壁部件，在該間隔壁部件和 各個(gè)準(zhǔn)分子燈之間形成狹窄部，在該比燈殼內(nèi)的該狹窄部靠該準(zhǔn)分子 燈上方形成第一置換空間，在比該狹窄部靠該準(zhǔn)分子燈下方即基板側(cè) 形成第二置換空間，在該第一置換空間側(cè)設(shè)有噴出包括不活潑氣體的 氣體的噴出口。
并且，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特征 在于所述間隔壁部件兼用作包括不活潑氣體的氣體流通的噴氣管， 在該噴氣管上，噴出氣體的噴出口在該噴氣管長(zhǎng)邊方向上隔開(kāi)間隔設(shè) 置。
進(jìn)而，所述燈殼具有第一置換空間和第二置換空間，所述第一置 換空間由配置在該準(zhǔn)分子燈兩側(cè)的所述噴氣管的各個(gè)側(cè)壁、配置在其
間的準(zhǔn)分子燈的外壁的上表面部分、以及配置在該準(zhǔn)分子燈上方的燈 殼內(nèi)的間隔壁形成，所述第二置換空間由所述噴氣管的一個(gè)下壁、配 置在其兩側(cè)的準(zhǔn)分子燈外壁的下表面部分、以及搬運(yùn)的基板形成，從 該噴氣管向該第一置換空間噴出不活潑氣體。
并且，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特 征在于所述第一置換空間的體積大于所述第二置換空間的體積。
進(jìn)而，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特 征在于所述第一置換空間對(duì)應(yīng)于該燈殼內(nèi)配置的每個(gè)準(zhǔn)分子燈形成， 流入各個(gè)置換空間內(nèi)的氣體流量不同。
并且，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特 征在于流入所述第一置換空間中的氣體流量在該燈殼外側(cè)附近比該 燈殼中央附近多。
進(jìn)而，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特 征在于在形成該第二置換空間之前，流入所述第一置換空間中的氣 體流量小于規(guī)定量，通過(guò)基板的搬運(yùn)而形成該第二置換空間時(shí)，流入 所述第一置換空間中的氣體流量為預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量。
并且，本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，在所述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，其特 征在于所述第一置換空間通過(guò)傳感器檢測(cè)由基板的搬運(yùn)而引起的所 述第二置換空間的形成或消失，對(duì)應(yīng)于該第二置換空間的形成或消失， 控制流入該第一置換空間中的氣體流量。
發(fā)明效果
本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置利用設(shè)在燈殼內(nèi)的間隔壁部件，在該 燈殼內(nèi)設(shè)置的準(zhǔn)分子燈和該間隔壁部件之間形成狹窄部，由此將該燈 殼內(nèi)的空間兩分為第一置換空間和第二置換空間。由此，即使基板側(cè)的第二置換空間由于該基板的搬出而與大氣接觸，氧氣也不會(huì)混入該 第一置換空間，接著在該基板搬入時(shí)，僅在該第二置換空間進(jìn)行置換 即可進(jìn)行處理。并且，向該第二置換空間的置換將燈殼內(nèi)的空間分為 二份，因此實(shí)質(zhì)的容積變小，置換快速進(jìn)行，處理速度提高，因此能 夠減少置換所用的氫氣等的氣體使用量。進(jìn)而，在第一置換空間側(cè)設(shè) 有包括不活潑氣體的氣體的噴出口 ，因此能夠切實(shí)地抑制該第一置換 空間的氧氣巻入或回流，能夠基板處理時(shí)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的氧氣濃度。由此 具有降低處理偏差的效果。
進(jìn)而，該間隔壁兼作噴氣管，形成在該噴氣管上的噴出口在該噴 氣管的長(zhǎng)度方向上隔開(kāi)間隔設(shè)置，因此能夠在該準(zhǔn)分子燈的燈軸方向 上提供均勻的氣體流量。并且，通過(guò)使置換用氣體的噴出方向向著例 如相鄰的該噴氣管的方向即側(cè)面方向，而不是向著基板側(cè)，由此，即 使置換用氣體緩慢流動(dòng)，也能在置換所需的空間內(nèi)進(jìn)行充分置換。并 且，如果該噴出口的設(shè)置位置取在該側(cè)面方向，則能夠快速排出該第 一置換空間內(nèi)殘留的氧氣，也能縮短該準(zhǔn)分子光照射裝置延遲(立^ 上D )的時(shí)間。
本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，其燈殼內(nèi)的空間被分為第一置換空 間和第二置換空間，第一置換空間為大致密閉地分隔的空間，不管有 無(wú)基板，通過(guò)從噴氣管向第一置換空間噴出的氣體而被置換，第二置 換空間通過(guò)從該第一置換空間溢出的氣體而被置換。因此，該基板搬 運(yùn)時(shí)能夠快速形成適用于準(zhǔn)分子燈和該基板之間的清潔的氛圍，具有 提高清潔效果并降低清潔偏差的效果。
進(jìn)而，該第一置換空間的體積被設(shè)置成大于第二置換空間。由此， 無(wú)論有無(wú)基板的搬運(yùn)(是否形成第二置換空間)，第一置換空間都可 以穩(wěn)定地存在。并且，從該第二置換空間側(cè)觀察時(shí)，與第一置換空間 的體積相比，第二置換空間的體積非常小。由此，從該基板被搬入開(kāi) 始經(jīng)過(guò)短時(shí)間就可以置換第二置換空間，形成適用于清潔的氛圍，因
此，具有能夠?qū)⒌獨(dú)獾戎脫Q氣體的使用量抑制到非常小的效果。
并且，通過(guò)作為被照射物的基板形成關(guān)閉的空間，該空間作為第 二置換空間，因此不使用大的平板玻璃用作間隔與燈之間的間隔窗部， 來(lái)自準(zhǔn)分子燈的光也能到達(dá)該基板，能夠提高清潔效果。進(jìn)而，設(shè)置 覆蓋該準(zhǔn)分子燈外周的保護(hù)管，在該保護(hù)管和該準(zhǔn)分子燈之間的空間 利用不活潑氣體進(jìn)行置換時(shí)，具有如下所述優(yōu)點(diǎn)即使在該噴氣管流 出的不活潑氣體中添加反應(yīng)性氣體，也具有能夠抑制配置在該準(zhǔn)分子 燈外表面的網(wǎng)狀電極和鏡面的劣化、能夠高效地將該準(zhǔn)分子燈放射的 真空紫外線(xiàn)照射到該基板上。
并且，在對(duì)應(yīng)于每個(gè)該準(zhǔn)分子燈形成該第一置換空間，因此在置 換氣體時(shí)可以迅速置換。進(jìn)而，由于流入各個(gè)置換空間的氣體流量不
同，能夠調(diào)整處理的基板上的氧氣濃度分布，能夠進(jìn)行沒(méi)有偏差的均 勻處理。
進(jìn)而，流入該第一置換空間中的氣體流量中，靠近該燈殼外側(cè)的 流量比該燈殼中央附近的流量大，由此能夠抑制氧氣從外部混入。尤 其在該基板搬運(yùn)時(shí)，隨著該基板的移動(dòng)，氧氣會(huì)巻入等，但由于搬入 口側(cè)的氣體流量較多，因此即使巻入有氧氣，也能迅速排出。由此， 具有能夠以預(yù)定的氧氣濃度迅速形成第二置換空間的優(yōu)點(diǎn)。
并且，在基板被搬運(yùn)之前，以比該基板處理時(shí)少的氣體流量抑制 氧氣侵入該第一置換空間，該基板被搬入時(shí)，流入預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量 的氣體，由此具有能夠在該第二置換空間確保預(yù)定的氧氣濃度，消除 偏差、均勻且迅速地進(jìn)行處理的優(yōu)點(diǎn)。并且，還具有形成第二置換空 間所使用的氣體使用量減少的優(yōu)點(diǎn)。
進(jìn)而，通過(guò)傳感器檢測(cè)該基板被搬運(yùn)的時(shí)刻，隨著該第二控制空 間的形成、消失，控制流入該第一置換空間中的氣體流量。由此，將
氣體使用量最佳化，且能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的處理。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的概要剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的第一實(shí)施例中配置的準(zhǔn)分子燈的方式的剖視圖。
圖3是表示本發(fā)明的第一實(shí)施例中配置的噴氣管的方式的剖視圖。
圖4是表示本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴氣管的方式的剖視圖。
圖5是表示本發(fā)明的第三實(shí)施例的概要圖。 圖6是表示本發(fā)明的第四實(shí)施例的概要圖。 圖7是表示本發(fā)明的第五實(shí)施例的概要圖。 圖8是表示現(xiàn)有基板處理裝置的概要剖視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置具有向并列配置有多根準(zhǔn)分子燈的燈 殼內(nèi)噴出至少包括氮?dú)獾臍怏w的噴氣管，具有由該噴氣管與該準(zhǔn)分子 燈上表面部分及該燈殼的間隔壁所包圍的第一置換空間、以及該噴氣 管與該準(zhǔn)分子燈下表面部分及搬運(yùn)的基板所包圍的第二置換空間，通 過(guò)從該噴氣管向該第一置換空間噴出不活潑氣體，形成該第一置換空 間。并且，通過(guò)使該第二置換空間的體積小于該第一置換空間，在利 用氮?dú)獾戎脫Q該基板側(cè)的氛圍時(shí)，能夠高效進(jìn)行置換，能夠在短時(shí)間 內(nèi)高效進(jìn)行該基板的處理。
第一實(shí)施例
作為第一實(shí)施例，圖l表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置。圖l-a) 是以垂直于多根并列配置的大致棒狀的準(zhǔn)分子燈2的管軸方向的面切 斷的準(zhǔn)分子光照射裝置1的概要剖視圖。在該準(zhǔn)分子光照射裝置1中， 多根準(zhǔn)分子燈2在燈殼3內(nèi)并列配置。在該燈殼3內(nèi)，多根準(zhǔn)分子燈2 并列配置。在該燈殼3內(nèi)設(shè)有間隔壁4，該間隔壁4上并列配置多根噴
出包括氮?dú)獾炔换顫姎怏w的氣體的噴氣管5，在該噴氣管之間配置該準(zhǔn)
分子燈2。并且，以各噴氣管5與該準(zhǔn)分子燈2之間形成狹窄部8的方 式配置在該燈殼3內(nèi)。在該間隔壁4的上方設(shè)有冷卻塊6，在該冷卻塊 6內(nèi)配置流過(guò)冷卻流體的冷卻流體通路6a，在該冷卻塊6上方設(shè)有向 該準(zhǔn)分子燈2供電的產(chǎn)生高頻高壓的電裝部7。并且，在該準(zhǔn)分子燈2 下方，作為搬運(yùn)被處理物基板IO的搬運(yùn)系統(tǒng)，使用輥帶ll，作為該基 板10，例如可以將液晶面板用的玻璃基板等搬運(yùn)到該準(zhǔn)分子光照射裝 置1內(nèi)。
并且，在該噴氣管5中，多個(gè)噴出包括氮?dú)獾炔换顫姎怏w的氣體 的噴出口 9在長(zhǎng)邊方向上以大致等間隔設(shè)置，設(shè)置在該噴氣管5的側(cè) 壁5a上，從該噴氣管5向第一置換空間噴出氣體。進(jìn)而，在該噴氣管 5上設(shè)有氣體導(dǎo)入口42，從該氣體導(dǎo)入口 42經(jīng)由控制閥74，與氣體供 給源連接。
并且，該準(zhǔn)分子光照射裝置1具有第一置換空間13和第二置換空 間14。在圖l-b)中，為了對(duì)第一置換空間13和第二置換空間14進(jìn)行 說(shuō)明，表示僅將該第一置換空間13和該第二置換空間14的部分示意 性放大的放大圖。該第一置換空間13是由相對(duì)的該噴氣管5的側(cè)壁5a、 該準(zhǔn)分子燈2的上表面部分2a以及該燈殼3的間隔壁4所包圍的部分 構(gòu)成的空間，該噴氣管5和該準(zhǔn)分子燈2之間的狹窄部8由以最短距 離橫穿該噴氣管5和該準(zhǔn)分子燈2的假想線(xiàn)劃分。另一方面，第二置 換空間14是該噴氣管5的下壁5b、配置在其兩側(cè)的準(zhǔn)分子燈2的下表 面部分2b及被搬運(yùn)的基板10所包圍的部分構(gòu)成的空間，該噴氣管5 和該準(zhǔn)分子燈2之間的狹窄部8由以最短距離橫穿該噴氣管5和該準(zhǔn) 分子燈2的假想線(xiàn)劃分，該準(zhǔn)分子燈2與該基板10間的間隙由以最短 距離連接該準(zhǔn)分子燈2的下表面部分2b和該基板10的假想線(xiàn)15劃分。 在本發(fā)明中，該第二置換空間14的體積小于該第一置換空間13的體 積。并且，此處的體積是指，圖l-b)所示的剖視圖中的面積乘以該準(zhǔn) 分子燈2的管軸方向的長(zhǎng)度(到未圖示的側(cè)面間隔板為止的長(zhǎng)度)而
得到的體積。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能夠形成適用于清潔該準(zhǔn)分子燈2和該基板10之 間的氛圍，具有提高清潔效果并且降低清潔偏差的效果。尤其是通過(guò) 使該第二置換空間的體積形成得比該第一置換空間的體積小很多，從 該基板10被搬入開(kāi)始，在短時(shí)間內(nèi)，置換第二置換空間，能夠形成適 用于清潔的氛圍，因此，還具有例如氮?dú)獾戎脫Q氣體的使用量被抑制 為非常小的效果。
接著，作為圖2，表示第一實(shí)施例所示的該準(zhǔn)分子光照射裝置1
所具有的準(zhǔn)分子燈2。圖2是沿著該準(zhǔn)分子燈2的管軸方向切斷的管軸 方向剖視圖，該準(zhǔn)分子燈2由發(fā)光管部21、外管部22以及燈頭部23 構(gòu)成。該發(fā)光管部21由石英玻璃構(gòu)成的燈泡部24;配置在該燈泡部 24外周的網(wǎng)狀電極25;與該網(wǎng)狀電極25成對(duì)的內(nèi)部電極26;以及在 該燈泡部24內(nèi)以包圍該內(nèi)部電極26的方式配置的石英玻璃構(gòu)成的內(nèi) 部管27構(gòu)成。進(jìn)而，在該燈泡部24內(nèi)，作為準(zhǔn)分子發(fā)光用氣體例如 封入有氤氣。該內(nèi)部電極26的端部與供電銷(xiāo)28連接，該供電銷(xiāo)28的 另一端與鉬構(gòu)成的金屬箔29連接，在該燈泡部24兩端夾緊密封。并 且，該金屬箔29的另一端與外部導(dǎo)線(xiàn)30連接，從外部向該內(nèi)部電極 26供給高頻高壓。與該內(nèi)部電極26成對(duì)的該網(wǎng)狀電極25通過(guò)配置在 該燈頭部23的供電部31接地。
該發(fā)光管部21在該內(nèi)部電極26和該網(wǎng)狀電極25之間經(jīng)由該燈泡 部24和該內(nèi)部管27這兩個(gè)電介體施加高頻高壓，由此，封入在該燈 泡部24內(nèi)部的氙氣發(fā)生準(zhǔn)分子放電，通過(guò)受激準(zhǔn)分子的生成、分解， 產(chǎn)生準(zhǔn)分子光。并且，外管部22也由石英玻璃構(gòu)成，作為該發(fā)光管部 21發(fā)出的光(是氙氣的情況下為波長(zhǎng)172nm的真空紫外線(xiàn))從該外管 部22向外部放射的窗而起作用。并且，在設(shè)在該發(fā)光管部21和該外 管部22之間的空間中充滿(mǎn)氮?dú)?，從該發(fā)光管部21放射的真空紫外線(xiàn) 不會(huì)接受氧氣的吸收而衰減地放射到該外管部22的外部。
并且，在該發(fā)光管部21及該外管部22的兩端設(shè)有該燈頭部23， 保持該發(fā)光管部21和該外管部22。該發(fā)光管部21插入固定在該燈頭 部23內(nèi)的保持用凸緣部32內(nèi)，直至該網(wǎng)狀電極25的端部部分。進(jìn)而， 在該燈頭部23中央設(shè)有供電線(xiàn)取出用孔33，向該發(fā)光管部21供電的 供電線(xiàn)34從該供電線(xiàn)取出用孔33取出到外部。進(jìn)而，設(shè)有使該外管 部22內(nèi)充滿(mǎn)的氮?dú)饬魅?、排出的氣體流通口35。
通過(guò)將這種結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子燈2配置在該準(zhǔn)分子光照射裝置1上， 具有即使不設(shè)置大型的平板玻璃窗，也能高效取出從該準(zhǔn)分子燈2放 射的真空紫外線(xiàn)的優(yōu)點(diǎn)。進(jìn)而，該保護(hù)管的形狀為圓筒狀，因此具有 即使該保護(hù)管的壁厚較薄，也能得到足夠的機(jī)械強(qiáng)度，不會(huì)由于保護(hù) 管的厚度引起照度降低，能夠得到高效的照射裝置的優(yōu)點(diǎn)。并且，由 于該保護(hù)管自身涉及的成本比大型平板玻璃便宜很多，因此還具有將 裝置整體價(jià)格降低的優(yōu)點(diǎn)。
接著，作為圖3，表示第一實(shí)施例所示的該準(zhǔn)分子光照射裝置1 所具有的噴氣管5。圖3-a)是沿著該噴氣管5的管軸方向切斷的管軸 方向的剖視圖，圖3-b)是以垂直于圖3-a)的該管軸方向的面切斷的 A-A截面的剖視圖。在圖3-a)中，在該噴氣管5的側(cè)壁5a上設(shè)有多 個(gè)噴出氣體的小孔的噴出口 9。并且，在該噴氣管5的上表面壁5c側(cè)， 設(shè)有向該噴氣管5供給氣體的氣體導(dǎo)入口 42。在圖3-b)中，該噴氣管 5的A-A截面為長(zhǎng)方形，例如該上表面壁5c、及該下壁5b的長(zhǎng)度為 20mm,該側(cè)壁5a的長(zhǎng)度為30mm。并且，設(shè)在該側(cè)壁5a上的該噴出 口 9為4)0.7mm的圓形，從該噴出口 9中心到中心的距離以10mm間 距形成在該側(cè)壁5a上。例如，如果該噴氣管5的全長(zhǎng)為2m，在一個(gè) 該側(cè)壁5a上形成200個(gè)該噴出口 9。并且，在本實(shí)施例的該噴氣管5 中，該噴氣管5的截面積s (該側(cè)壁5a的長(zhǎng)度X該下壁5b的長(zhǎng)度)為 該噴出口 9的總面積(例如4)0.7的面積X200 (個(gè)數(shù)))的2.5倍以上 的大小。通過(guò)具有這樣的面積比，噴出的氣體的流速在各個(gè)噴出口 9
變得均勻。
通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，從該噴氣管5噴出的氣體在該噴氣管5整體 上均勻地噴出，能夠均勻地保持裝置整體的氛圍。其結(jié)果是得到如下 效果該準(zhǔn)分子光照射裝置1可以在對(duì)該基板IO進(jìn)行清潔處理時(shí)保持 均勻的氣體氛圍，能夠進(jìn)行沒(méi)有偏差的清潔處理。并且，通過(guò)極力縮 小該第二置換空間的體積，能夠在該基板搬運(yùn)時(shí)，在短時(shí)間內(nèi)置換為 處理氛圍，能夠充分抑制從外部巻入氧氣，因此還具有氮?dú)獾炔换顫?氣體的使用量變少的優(yōu)點(diǎn)。
例如，在本實(shí)施例的情況下，第二置換空間的體積大約為100cm—3 (容積大致為1L)，從該噴氣管流過(guò)來(lái)的氮?dú)獾牧髁繛?5L/分左右。 在該情況下，從基板被搬運(yùn)開(kāi)始，大約以2.4秒完成置換。并且，置換 完成時(shí)的殘留氧氣濃度實(shí)現(xiàn)200ppm左右的非常低的值。通常，置換時(shí) 的殘留氧氣濃度為1000ppm左右即足夠，如果不考慮置換所需要的時(shí) 間，對(duì)于容積1L，如果是13L/分左右的氣體流量，殘留氧氣濃度可以 實(shí)現(xiàn)1000ppm以下。
第二實(shí)施例
圖4是作為本發(fā)明的第二實(shí)施例，表示其他該氣體噴氣管的形狀 的剖視圖。圖4-a)所示的噴氣管51中，為了噴出氣體而設(shè)置的噴出 口的形狀從該噴氣管51的長(zhǎng)邊方向端部開(kāi)始分別按照噴出口 9a、 9b、 9c、 9d的順序，孔徑減小。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，從該噴氣管51噴出的 氣體的流量在該噴氣管51的長(zhǎng)邊方向上不同，與該噴氣管51中央附 近相比，端部附近噴出的氣體的流量變多。通過(guò)將該噴氣管51組裝入 本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置中，與該準(zhǔn)分子光照射裝置的燈殼的該準(zhǔn) 分子燈管軸方向中央附近相比，可以使流至該燈殼外側(cè)附近的流量變 多。這具有能夠降低從準(zhǔn)分子光照射裝置外部巻入的不能控制的氧氣
混入的優(yōu)點(diǎn)。
圖4-b)所示的噴氣管52中，為了噴出氣體而設(shè)置的噴出口的孔
徑相同，但從該噴氣管52的長(zhǎng)邊方向的端部側(cè)開(kāi)始逐漸改變排列間隔，
在該端部側(cè)設(shè)置得較密，在中央部側(cè)設(shè)置得較疏。具體來(lái)說(shuō)，從中央
部開(kāi)始，噴出口9A、 9B、 9C、 9D的孔與孔的間隔53逐漸變窄。通過(guò) 采用這種結(jié)構(gòu)，與該噴氣管52的中央附近相比，端部附近噴出的氣體 的流量也可以變多。與該噴氣管51的情況同樣地，將該噴氣管52組 裝入本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置，由此與該準(zhǔn)分子光照射裝置的燈殼 的該準(zhǔn)分子燈管軸方向中央附近相比，可以使流至該燈殼外側(cè)附近的 氣體的流量變多。這具有能夠降低從準(zhǔn)分子光照射裝置外部巻入的不 能控制的氧氣混入的優(yōu)點(diǎn)。并且，通過(guò)將噴出口的排列和孔徑排列在 任意位置上，也可以形成具有所希望的氧氣濃度分布的處理空間。
第三實(shí)施例
圖5表示本發(fā)明的第三實(shí)施例。在該第三實(shí)施例中，表示使流入 該第一置換空間中的氣體流量為對(duì)應(yīng)每個(gè)該準(zhǔn)分子燈形成的每個(gè)第一 置換空間中的不同流量的情況。圖5所示的該準(zhǔn)分子光照射裝置1是 從該裝置上方觀察并列配置有3根準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C的該準(zhǔn)分子 光照射裝置1的燈殼內(nèi)的圖。并且，表示了在該準(zhǔn)分子光照射裝置1 以外并列多根輥帶11構(gòu)成的傳送路徑、和在該傳送路徑上向箭頭63 的方向搬運(yùn)基板10的狀態(tài)。該基板10從該準(zhǔn)分子光照射裝置1的搬 運(yùn)口 62A搬入，從搬出口 62B搬出。在從該搬運(yùn)口 62A到搬出口 62B 之間，準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C相互并列配置，在各個(gè)準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C兩側(cè)面上配置有噴氣管5A、 5B、 5C、 5D。例如，在準(zhǔn)分子燈2A 的兩側(cè)面上配置有噴氣管5A和噴氣管5B，形成與各個(gè)準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C對(duì)應(yīng)的第二置換空間13A、 13B、 13C。并且，該第一置換空間 13A、 13B、 13C在該準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C的管軸方向上，由側(cè)面間 隔板61間隔開(kāi)，向由該側(cè)面間隔板61、該噴氣管5A、 5B、 5C、 5D 與該準(zhǔn)分子燈2A、 2B、 2C所間隔開(kāi)的空間中流入氮?dú)獾戎脫Q用氣體。
作為流入該第一置換空間13A、 13B、 13C的氣體流量，在基板IO的搬入口 62A側(cè)(13A)流量變多，在中央附近(13B)減少，再次 在該基板10的搬出口 62B側(cè)(13C)流量變多。在本實(shí)施例中，該噴 氣管5A內(nèi)的氣壓高于相鄰噴氣管5B，并且相對(duì)的噴氣管5B的該第一 置換空間13A側(cè)的側(cè)壁5ab上的噴出口 (未圖示)的孔徑比另一側(cè)壁 5ac上的噴出口 (未圖示)的孔徑大。由此，流至該第一置換空間13A 側(cè)的氣體量多于相鄰第一置換空間13B。
接著，對(duì)于該第一置換空間13B，由于分別設(shè)在該噴氣管5B的側(cè) 壁5ac、該噴氣管5C的側(cè)壁5ad上的噴出口 (未圖示)的孔徑比設(shè)在 相鄰第一置換空間13A或13C側(cè)的孔徑小，因此流入該第一置換空間 13B的氣體的流量變小。進(jìn)而，該第一置換空間13C與該第一置換空 間13A的情況相同。S卩，該噴氣管5C的該第一置換空間13C側(cè)的側(cè) 壁5ae上設(shè)置的噴出口 (未圖示)的孔徑與側(cè)壁5ab相同。進(jìn)而，該噴 氣管5D上設(shè)置的噴出口的孔徑與該噴氣管5A相同，施加在該噴氣管 5D上的氣壓也與該噴氣管5A為相同程度，比該噴氣管5B、 5C的氣 壓高。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，第一置換空間13A、 13B、 13C的氣體流量在該 燈殼外側(cè)附近比燈殼中央附近多。
第四實(shí)施例
圖6表示作為本發(fā)明的第四實(shí)施例，具有對(duì)流入該第一置換空間 13和該第二置換空間14中的流量進(jìn)行控制的機(jī)構(gòu)的該準(zhǔn)分子光照射裝 置1。該準(zhǔn)分子光照射裝置1在燈殼3內(nèi)配置有多根并列配置的準(zhǔn)分子 燈2、在該準(zhǔn)分子燈2兩側(cè)面并列配置的噴氣管5、以及具有將從該準(zhǔn) 分子燈2放射的光向基板10側(cè)反射的功能的間隔壁4。在本實(shí)施例中， 僅記載了該燈殼3的一部分。并且，從將基板IO搬入該準(zhǔn)分子光照射 裝置1的搬運(yùn)口 62A側(cè)，基板10的一部分通過(guò)輥帶11被搬運(yùn)到該準(zhǔn) 分子光照射裝置1內(nèi)。在該輥帶11下方依次配置有光傳感器71A、71B、 71C、 71D。來(lái)自該光傳感器71A、 71B、 71C、 71D的信號(hào)與信號(hào)處理 部72連接。輸入到該信號(hào)處理部72的該光傳感器71A、 71B、 71C、 71D的信號(hào)與控制信號(hào)輸出部73連接，從該控制信號(hào)輸出部73輸入
到控制閥74A、 74B、 74C、 74D。該控制閥74A、 74B、 74C、 74D與 該噴氣管5連接，控制置換用氣體的氣體流量和氣壓，形成該第一置 換空間13A、 13B、 13C、 13D以及該第二置換空間14A、 14B等。并 且，14C、 14D由于處在搬運(yùn)基板10的中途，因此處于形成第二置換 空間前的狀態(tài)，是隨著該基板10的搬運(yùn)而形成第二置換空間的區(qū)域。
接著，表示氣體流量的控制。最初是在該準(zhǔn)分子光照射裝置1內(nèi) 沒(méi)有處理對(duì)象基板的狀態(tài)。此時(shí)，該第一置換空間13A、 13B、 13C、 13D的各個(gè)空間中流入比預(yù)先設(shè)定的基板處理時(shí)的規(guī)定量少的量的置 換用氣體。接著，該基板IO搬入該準(zhǔn)分子光照射裝置1內(nèi)時(shí)，通過(guò)該 光傳感器71A，檢測(cè)到該基板10被搬入，檢測(cè)信號(hào)被輸入到信號(hào)處理 部72，接著從控制信號(hào)輸出部73向箭頭Q和R送出控制氣體流量的 信號(hào)。接收到該控制信號(hào)的控制閥74A、 74B將流入該第一置換空間 13A中的氣體流量增加到預(yù)先設(shè)定的基板處理時(shí)的規(guī)定量。由此能夠 在極短時(shí)間內(nèi)，形成該第二置換空間14A，形成適于預(yù)先設(shè)定的該基 板IO的處理的氛圍。
如圖6所示，在基板10搬運(yùn)到該第二置換空間14C中途的狀態(tài)下， 各空間的氣體流量如下。該第二置換空間14A、 14B中流入預(yù)先設(shè)定的 基板處理時(shí)的規(guī)定量的氣體。在該第二置換空間14C中，在該光傳感 器71C檢測(cè)到該基板10的搬運(yùn)之后，馬上將流入該第二置換空間14C 的氣體量控制成小于相鄰的該第二置換空間14B。并且，同樣地，在將 成為該第二置換空間14D的空間中，由于沒(méi)有基板10被搬運(yùn)，因此在 該光傳感器71D檢測(cè)到該基板10的搬入之前，流入比第二置換空間 14A、 14B少量的置換用氣體。
通過(guò)采用這種控制機(jī)構(gòu)，在形成第二置換空間之前，流入比規(guī)定 量少量的氣體，仍然保持第一置換空間的氛圍，能夠減少來(lái)自外部的 氧氣等的混入。并且，檢測(cè)到基板10搬入，使氣體流量增加，流入適 用于預(yù)定的處理的規(guī)定量氣體。隨之，形成該第二置換空間，流入最
適用于處理的流量，由此能夠高效地處理該基板10。并且，該基板被 搬出，該第二置換空間消失時(shí)，再次流入小于規(guī)定量的氣體，由此能 夠一邊防止來(lái)自外部的氧氣混入， 一邊待機(jī)，在下一次搬入處理的基 板時(shí)，能夠在短時(shí)間內(nèi)形成處理氛圍。
圖7表示本發(fā)明的第五實(shí)施例。作為第五實(shí)施例的準(zhǔn)分子光照射 裝置81表示在垂直于準(zhǔn)分子燈2的燈管軸方向的方向上切斷的剖視
圖。在燈殼3內(nèi)設(shè)有間隔壁部件82，多根該準(zhǔn)分子燈2并列配置，在 各個(gè)準(zhǔn)分子燈2和該間隔壁部件82之間形成狹窄部83。并且，在該準(zhǔn) 分子燈2上方設(shè)有具有冷卻流體流通路徑6a的冷卻塊6。在該冷卻塊 6上方配置有電裝部7。并且，在該冷卻塊6上具有向該準(zhǔn)分子燈2側(cè) 的空間噴出包括不活潑氣體的氣體的噴出口 82，該噴出口 82經(jīng)由控制 閥74從連接的氣體供給源噴出氮?dú)獾葰怏w。該準(zhǔn)分子燈2上方由該間 隔壁部件82和該準(zhǔn)分子燈2包圍的空間形成第一置換空間13。并且， 該準(zhǔn)分子燈2下方的基板10側(cè)的空間成為第二置換空間14。該第二置 換空間14是由該準(zhǔn)分子燈2與該基板IO及該間隔壁部件82包圍的空 間，通過(guò)該狹窄部83與該第一置換空間分開(kāi)。
本實(shí)施例的準(zhǔn)分子光照射裝置81在第一置換空間13內(nèi)設(shè)置噴出 包括不活潑氣體的氣體(本情況下為氮?dú)?的噴出口 84，因此第一置 換空間最先被置換。其后，充滿(mǎn)在該第一置換空間13內(nèi)的置換用氣體 (氮?dú)?通過(guò)狹窄部83，流到第二置換空間14。通過(guò)該漏出的氣體形 成第二置換空間14。并且，第二置換空間14通過(guò)利用輥帶11搬入基 板IO而形成，通過(guò)基板被搬出而消失。消失時(shí)形成該第二置換空間14 的空間暴露在大氣中，但該狹窄部83抑制氧氣向第一置換空間回流或 巻入。并且，在該基板IO被搬入之前的待機(jī)時(shí)，向該第一置換空間13 內(nèi)流入比基板處理時(shí)少量的置換用氣體(氮?dú)?，由此能夠維持該第 一置換空間13。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子光照射裝置，對(duì)被搬運(yùn)的基板照射準(zhǔn)分子光，其特征在于在燈殼內(nèi)并列配置有多根大致棒狀的準(zhǔn)分子燈，具有傳送基板的搬運(yùn)裝置，在所述燈殼內(nèi)設(shè)有間隔壁部件，在該間隔壁部件和各個(gè)準(zhǔn)分子燈之間形成狹窄部，在該比燈殼內(nèi)的該狹窄部靠該準(zhǔn)分子燈上方形成第一置換空間，在比該狹窄部靠該準(zhǔn)分子燈下方即基板側(cè)形成第二置換空間，在該第一置換空間側(cè)設(shè)有噴出包括不活潑氣體的氣體的噴出口。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特征在于 所述間隔壁部件兼用作包括不活潑氣體的氣體流通的噴氣管，在該噴氣管上，噴出氣體的噴出口在該噴氣管長(zhǎng)邊方向上隔開(kāi)間隔設(shè)置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特征在于-所述燈殼具有第一置換空間和第二置換空間，所述第一置換空間由配置在該準(zhǔn)分子燈兩側(cè)的所述噴氣管的各個(gè)側(cè)壁、配置在其間的準(zhǔn) 分子燈的外壁的上表面部分、以及配置在該準(zhǔn)分子燈上方的燈殼內(nèi)的 間隔壁形成，所述第二置換空間由所述噴氣管的一個(gè)下壁、配置在其 兩側(cè)的準(zhǔn)分子燈外壁的下表面部分、以及搬運(yùn)的基板形成，從該噴氣 管向該第一置換空間噴出不活潑氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特征在于:所述第一置換空間的體積大于所述第二置換空間的體積。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特 征在于:所述第一置換空間對(duì)應(yīng)于該燈殼內(nèi)配置的每個(gè)準(zhǔn)分子燈形成，流 入各個(gè)置換空間內(nèi)的氣體流量不同。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特 征在于流入所述第一置換空間中的氣體流量在該燈殼外側(cè)附近比該燈殼 中央附近多。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特 征在于在形成該第二置換空間之前，流入所述第一置換空間中的氣體流 量小于規(guī)定量，通過(guò)基板的搬運(yùn)而形成該第二置換空間時(shí)，流入所述 第一置換空間中的氣體流量為預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子光照射裝置，其特 征在于所述第一置換空間通過(guò)傳感器檢測(cè)由基板的搬運(yùn)而引起的所述第 二置換空間的形成或消失，對(duì)應(yīng)于該第二置換空間的形成或消失，控 制流入該第一置換空間中的氣體流量。
全文摘要
本發(fā)明要解決的問(wèn)題是提供一種準(zhǔn)分子光照射裝置，在利用準(zhǔn)分子光清潔液晶面板用玻璃基板等的清潔裝置中，可以進(jìn)行高效的清潔，能夠無(wú)偏差地清潔大型基板。本發(fā)明的準(zhǔn)分子光照射裝置在并列配置有多根準(zhǔn)分子燈的燈殼內(nèi)具有噴出至少包括氮?dú)獾炔换顫姎怏w的氣體的噴氣管，具有由該噴氣管和該準(zhǔn)分子燈上表面部分及該燈殼的間隔壁包圍而成的第一置換空間、以及由該噴氣管和該準(zhǔn)分子燈下表面部分及搬運(yùn)的基板包圍而成的第二置換空間，通過(guò)從該噴氣管向該第一置換空間噴出不活潑氣體，形成該第一置換空間。
文檔編號(hào)B01J19/12GK101199923SQ20071014966
公開(kāi)日2008年6月18日 申請(qǐng)日期2007年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月12日
發(fā)明者小柳博, 遠(yuǎn)藤真一 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社