專利名稱：潔凈室用板式化學過濾器的制作方法
技術領域：
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本實用新型涉及一種凈化氣體的過濾器，尤其是涉及一種在半導體工業(yè)或 醫(yī)療用等使用的、除去空氣中氣態(tài)污染物質的化學過濾器。
技術背景
在半導體制造業(yè)中，粘在集成電路的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接 影響產品的成品率，故對生產環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對空氣過濾器的要求 也苛刻。當今的過濾技術雖可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零的程度，但 仍存在產品質量品質不符合要求的情況，分析其主要原因是空氣中的化學污 染物成了影響成品率的主要危害。例如在鍍銀、鍍銅的工藝中，S02、 H2S氣體 的存在，就是影響產品質量的元兇
實用新型內容
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本發(fā)明的目的，是針對現有技術不足之處而提供一種能有效除去空氣中氣 態(tài)污染物質的化學過濾器。
本發(fā)明的目的是通過以下措施來實現--種潔凈室用板式化學過濾器，具 有外殼、其特殊之處是還有護面網、濾芯、密封膠護面網安裝在進、出風 面的濾芯與外殼間濾芯安裝在外殼內，四周有密封膠罐注密封；所述濾芯的 基體為多孔聚氨酯，其表面粘合一層浸漬活性炭。
所述的濾芯的基體多孔聚氨酯為平面形層狀結構。
所述的濾芯的基體多孔聚氨酯為波浪形層狀結構。
所述的濾芯的基體多孔聚氨酯外表粘附的浸漬活性炭為顆粒炭，所述的浸
3漬活性炭為顆粒狀活性炭浸漬在氣教化鉀水溶液而得。所述的濾芯的基體多孔聚氨酯外表粘附的浸漬活性炭為纖維炭，所述的浸 漬活性炭為纖維狀活性炭浸漬在氣氣化鉀水溶液而得a與現有技術相比，采用了濾芯基體為多孔聚氣酯，并在其表面粘合一層浸 漬活性炭的化學過濾器，特別是所述的浸漬活性炭為顆粒狀活性炭浸漬在氫氣化鉀水溶液而得，這樣空氣中的污染物SOa、 H2S通過濾芯時與濾芯材料上的 化學成分起反應，生成固體成分或無害氣體，本實用新型可廣泛應用在芯片廠、 核工業(yè)、飛機場等場合。
圖1是本實用新型提出的一個實施例的結構簡圖。
具體實施方式
-下面結合附圉對具體實施方式
作詳細說明在圉1所示本實用新型的一個實施例中，潔凈室用板式化學過濾器，具有外殼l、護面網2、濾芯3、密封膠4:護面網2安H在進、出風面的濾芯3與 外殼1間濾芯3安裝在外殼1內，四周有密封膠罐注裙封；所述濾芯3的基 體為多孔聚氣酯，其表面粘合一層浸漬活性炭，本實用新型中采用的多孔聚氛酯為多孔結構，其孔的平均直徑為2-4mm 若孔徑過小，氣體透過時的壓力損失加大，孔徑過大時，氣體與濾芯的接觸變 得不充分，效率降低；其次聚氣酯的總細孔容積為0.566cmVg,當該值過小時， 單位載面積的透過氣體量變小，過大時聚鲺酯的強度將下降，也是不理想的 再次，聚氨酯的厚度tt^范圍為5-30mm,其衡i的指標是氣體既可順利流通， 又具有充分的機械強度。多孔聚氨脂選定后，將水溶性膠噴灑在多孔聚氨脂中，然后再將浸漬活性 炭均勻灑在聚氨脂上，活性炭會滲透到聚氨脂孔隙中，進ff烘千。
本實用新型中采用的浸漬活性炭為顆粒狀，顆粒狀的活性炭具有廣譜性，
特別是浸漬在氫氧化鉀溶液后，氫氧化鉀依附在活性炭的表面，當S02、 H2S 氣體經過表面后，會發(fā)生如化學反應-
KOH+H2S=KHS+H20
S02+H20=H2S03
2KOH+H2S04+H20
通過上述化學反應，有效地除去S02、 H2S等有害氣體。 裝配本實用新型時，濾芯3安裝在外殼1內，濾芯四周用密封膠4罐注密
封，這樣化學過濾器安裝在管道中，密封性好，不會產生漏氣。
上述實施例并不構成對本實用新型的限制，無論是多孔聚氨酯制成平面狀
還是波形狀，活性炭制成顆粒狀或纖維狀，或其組合，本領域技術人員可以在
所附權利要求的范圍內做出各種變形或修改。
權利要求1. 一種潔凈室用板式化學過濾器，具有外殼(1)、其特征是還有護面 網(2)、濾芯(3)、密封膠(4);護面網(2)安裝在進、出風面的濾芯(3) 與外殼(1)間；濾芯(3)安裝在外殼(1)內，四周有密封膠(4)罐注密封; 所述濾芯(3)的基體為多孔聚氨酯，其表面粘合一層浸漬活性炭。
2. 根據權利要求1所述的一種潔凈室用板式化學過濾器，其特征是所述 的濾芯(3)的基體多孔聚氨酯為平面形層狀結構。
3. 根據權利要求1所述的一種潔凈室用板式化學過濾器，其特征是所述 的濾芯(3)的基體多孔聚氨酯為波浪形層狀結構。
專利摘要本實用新型涉及一種凈化氣體的過濾器，尤其是涉及一種在半導體工業(yè)或醫(yī)療用等使用的、除去空氣中氣態(tài)污染物質的化學過濾器。它具有外殼、護面網、濾芯、密封膠；護面網安裝在進、出風面的濾芯與外殼間；濾芯安裝在外殼內，四周有密封膠罐注密封；所述濾芯的基體為多孔聚氨酯，其表面粘合一層浸漬活性炭。與現有技術相比，采用了濾芯基體為多孔聚氨酯，并在其表面粘合一層浸漬活性炭的化學過濾器，特別是所述的浸漬活性炭為顆粒狀活性炭浸漬在氫氧化鉀水溶液而得，這樣空氣中的污染物SO<sub>2</sub>、H<sub>2</sub>S通過濾芯時與濾芯材料上的化學成分起反應，生成固體成分或無害氣體。本實用新型可廣泛應用在芯片廠、核工業(yè)、飛機場等場合。
文檔編號B01D46/10GK201154269SQ20072007382
公開日2008年11月26日 申請日期2007年8月20日 優(yōu)先權日2007年8月20日
發(fā)明者劉志光 申請人:上海金宇泰凈化設備有限公司