專(zhuān)利名稱(chēng)：納米線(xiàn)過(guò)濾器、其制作方法、除去吸附在其上的材料的方法及具有其的過(guò)濾設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及過(guò)濾器，更具體而言涉及納米線(xiàn)過(guò)濾器、其制作方法、具有 其的過(guò)濾設(shè)備、以及除去吸附在該納米線(xiàn)過(guò)濾器上的材料的方法。
背景技術(shù)：
由于工業(yè)化結(jié)果而產(chǎn)生的危險(xiǎn)有機(jī)物、類(lèi)似新房的新建建筑物中使用的 微粒危險(xiǎn)材料和危險(xiǎn)有機(jī)物、在半導(dǎo)體工藝中需要的對(duì)人體致命的氣體、在 吸煙時(shí)或空氣中或施工現(xiàn)場(chǎng)發(fā)現(xiàn)的致癌物質(zhì)等等，對(duì)人類(lèi)生活具有巨大影響 并引起人類(lèi)壽命縮短。
過(guò)濾這些基本的危險(xiǎn)有機(jī)物材料和氣體、顆粒等的設(shè)備是過(guò)濾器。作為
這些過(guò)濾器，HEPA (高效微?？諝?過(guò)濾器和木炭過(guò)濾器已被使用。HEPA 過(guò)濾器用于過(guò)濾空氣中的顆粒。木炭過(guò)濾器用于過(guò)濾有機(jī)物例如氣態(tài)物質(zhì)。
然而，隨著工業(yè)化的加速，對(duì)人體致命的材料通過(guò)復(fù)雜方式包含在空氣 中。具體而言，這些材料具有兩種物理性能，即，以氣態(tài)和微粒兩種形式存 在。因此，對(duì)于根據(jù)每一物理性能獨(dú)立地使用傳統(tǒng)HEPA過(guò)濾器或木炭過(guò)濾 器，存在一些限制。因此迫切需要一種同時(shí)過(guò)濾氣體和顆粒的過(guò)濾器。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題
因此，本發(fā)明的目的是提供一種納米線(xiàn)過(guò)濾器及其制作方法，其同時(shí)過(guò) 濾微粒和氣態(tài)的危險(xiǎn)材料。
本發(fā)明的另 一 目的是提供一種具有該納米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾設(shè)備。
本發(fā)明的再一目的是提供一種通過(guò)穩(wěn)定地分離吸附在納米線(xiàn)過(guò)濾器上 的材料來(lái)除去吸附材料的方法，其提高了納米線(xiàn)過(guò)濾器的效率。
本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)下述說(shuō)明書(shū)來(lái)理解，且參考本發(fā)明的 實(shí)施例變得顯而易見(jiàn)。此外，本發(fā)明所述領(lǐng)域技術(shù)人員顯見(jiàn)，本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)如所主張的手段或其組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。 技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明一方面，提供了一種過(guò)濾器，包含支持件；以及多個(gè)納米 線(xiàn)，支承在該支持件上并布置于結(jié)晶態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明又一方面，提供了一種過(guò)濾器制作方法，包含步驟提供支 持件；以及布置多個(gè)結(jié)晶納米線(xiàn)在該支持件上。
根據(jù)本發(fā)明又一方面，提供了一種除去吸附在過(guò)濾設(shè)備的過(guò)濾器上的材 料的方法，包含步驟應(yīng)用熱到該過(guò)濾器；以及注入非揮發(fā)性氣體或空氣到 主體的入口內(nèi)。
如上所述，傳統(tǒng)上，木炭過(guò)濾器被用作過(guò)濾危險(xiǎn)有機(jī)氣體的過(guò)濾器以及 HEPA過(guò)濾器被用作過(guò)濾微粒危險(xiǎn)材料的過(guò)濾器。然而，同時(shí)過(guò)濾氣態(tài)和微 粒材料的過(guò)濾器尚未提出。
相應(yīng)地，本發(fā)明提供一種能夠過(guò)濾化學(xué)氣體和物理氣體即微粒材料的過(guò) 濾器以及其制作方法。作為用于實(shí)施上述內(nèi)容的手段，使用了納米線(xiàn)，即， 結(jié)構(gòu)被晶化的納米線(xiàn)以及與材料堆疊的具有不同于基本納米線(xiàn)的形狀或結(jié) 構(gòu)的納米線(xiàn)，且納米線(xiàn)結(jié)構(gòu)之間的間隙形成為空白的以用作過(guò)濾器。
例如，在氧化釩(v2o5)納米線(xiàn)的結(jié)構(gòu)中，氧化釩納米線(xiàn)在兩側(cè)保持晶 體形式，水(H20)填充在其間。在這種結(jié)構(gòu)中，填充在氧化釩納米線(xiàn)之間 的材料即水可以容易地從氧化釩納米線(xiàn)之間釋放，且該空間的尺寸占據(jù)氧化 釩納米線(xiàn)的總表面積的大部分。 一般氣態(tài)材料容易吸附在水釋放留下的空間 內(nèi)，且物理上，具有顆粒特性的材料由于動(dòng)量減小而吸附在不同納米線(xiàn)之間。
在本發(fā)明中，通過(guò)前述技術(shù)原理制作納米線(xiàn)過(guò)濾器。此外，通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié) 果數(shù)據(jù)已經(jīng)證明，如此制作的納米線(xiàn)過(guò)濾器通過(guò)使通常且廣泛已知的危險(xiǎn)有 機(jī)氣體和顆粒流到其而工作為過(guò)濾器。
此外，本發(fā)明中提出的納米線(xiàn)過(guò)濾器制作成具有板狀結(jié)構(gòu)，其中其表面 積大于通常為多孔材料的木炭過(guò)濾器的表面積，由此使過(guò)濾效果最大化。
本發(fā)明中使用的納米線(xiàn)具有板狀結(jié)構(gòu)，其中一種氧化釩材料形成一個(gè)板 且另一氧化釩材料形成另一個(gè)板，使水(H20)存在于兩個(gè)板之間。這里， 水可以容易地排出。將水排出到外部時(shí)產(chǎn)生的表面積接近納米線(xiàn)的總面積。 此外，即使納米線(xiàn)之間的水未排出，水不會(huì)均勻地分布在整個(gè)表面上而是在 其中維持空白空間。當(dāng)有機(jī)氣體或顆粒收集在該空白空間內(nèi)時(shí)，其可以用作材料過(guò)濾器。
本發(fā)明將具有這種結(jié)構(gòu)的納米線(xiàn)制作成膜形式并將其用作過(guò)濾器。通過(guò) 使用具有若干微米至幾百微米的孔的通常多孔玻璃或?yàn)V紙或海綿或者具有 這種結(jié)構(gòu)的材料作為支持件，并將納米線(xiàn)附著在其頂部或底部上或者其整個(gè) 結(jié)構(gòu)上，由此制作此處使用的過(guò)濾器。具有這種結(jié)構(gòu)的過(guò)濾器附著到危險(xiǎn)有 機(jī)物或氣態(tài)或微粒材料的填充開(kāi)口并工作為過(guò)濾器。
此處使用的措辭"納米線(xiàn)" 一般指任何拉長(zhǎng)的金屬或半導(dǎo)體材料，其包
含小于500nm且優(yōu)選小于100nm的至少一個(gè)截面尺寸，以及大于10，優(yōu)選 大于50且更優(yōu)選大于IOO的縱橫比(長(zhǎng)度寬度)。納米線(xiàn)的示例包括半導(dǎo) 體納米線(xiàn)、碳納米線(xiàn)以及相似尺寸的其它拉長(zhǎng)金屬或半導(dǎo)體。具體而言，優(yōu) 選納米線(xiàn)包含半導(dǎo)體納米線(xiàn)，其由選自例如下述組成的群組的半導(dǎo)體材料制 成Si、 Ge、 Sn、 Se、 Te、 B、 C (包含金剛石)、P、 B-C、 B-P(BP6)、 B畫(huà)Si、 Si-C、 Si-Ge、 Si-Sn and Ge漏Sn、 SiC、 BN/BP/BAs、 AlN/AlP/AlAs/AlSb、 GaN/GaP/GaAs/GaSb、 InN/InP/InAs/InSb 、 BN/BP/BAs、 AlN/AIP/AlAs/AlSb、 GaN/GaP/GaAs/GaSb 、 InN/InP/InAs/InSb 、 ZnO/ZnS/ZnSe/ZnTe 、 CdS/CdSe/CdTe、 HgS/HgSe/HgTe、 BeS/BeSe/BeTe/MgS/MgSe、 GeS、 GeSe、 GeTe、 SnS、 SnSe、 SnTe、 PbO、 PbS、 PbSe、 PbTe、 CuF、 CuCl、 CuBr、 Cul、 AgF、 AgCl、 AgBr、 Agl、 BeSiN2、 CaCN2、 ZnGeP2、 CdSnAs2、 ZnSnSb2、 CuGeP3、 CuSi2P3、 (Cu, Ag)(Al, Ga, In, Ti， Fe)(S, Se， Te)2、 Si3N4、 Ge3N4、 A1203、 (A1， Ga, In)2(S, Se， Te)3、 Al2CO以及兩種或更多種這些半導(dǎo)體的恰當(dāng)組合。
盡管措辭"納米線(xiàn)，，在說(shuō)明書(shū)通篇用于說(shuō)明的目的，其旨在也包括使用 納米管。納米管可以形成為單獨(dú)納米管或者與納米線(xiàn)的組合/薄膜，如針對(duì)納 米線(xiàn)所描述，由此提供此處所述的性能和優(yōu)點(diǎn)。
此外應(yīng)注意，本發(fā)明的納米線(xiàn)薄膜可以是"非均質(zhì)，，膜，其涵蓋半導(dǎo)體 納米線(xiàn)、納米管、或者不同組成和/或結(jié)構(gòu)特性的納米線(xiàn)和/或納米管。
此外，本發(fā)明的納米線(xiàn)可以生長(zhǎng)或附著在基板，例如管的內(nèi)外表面、例 如微孔介質(zhì)的內(nèi)外表面、例如網(wǎng)狀微孔金屬、氧化物、陶瓷或其它組合的多 孔介質(zhì)，或者可以吸附在海綿形狀支持材料上。
有益效果
如上所述，才艮據(jù)本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)下述效果。
第一，根據(jù)本發(fā)明，化學(xué)或者物理精細(xì)微粒和氣態(tài)材料可以通過(guò)使用納
7米線(xiàn)制作的濾波器被穩(wěn)定地過(guò)濾，使得通常且廣泛已知的危險(xiǎn)有機(jī)物、揮發(fā) 性有機(jī)物、有害顆粒、以及有害生物體和細(xì)菌被過(guò)濾，由此向使用者提供清 潔環(huán)境。
第二，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)提供具有串聯(lián)、并聯(lián)或者串并聯(lián)布置的多個(gè)納 米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾設(shè)備，可以進(jìn)一 步提高危險(xiǎn)有機(jī)物的過(guò)濾率。
第三，根據(jù)本發(fā)明，在其中布置有多個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾設(shè)備中，多 個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器按這種方式制作，納米線(xiàn)高密度布置的濾波器和納米線(xiàn)較低 密度布置的濾波器分離地制作，使得它們串聯(lián)或并聯(lián)布置以相互面對(duì)，由此 選擇性地過(guò)濾微粒材料和氣態(tài)材料。
第四，根據(jù)本發(fā)明，在布置有多個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾設(shè)備中，過(guò)濾設(shè) 備的多個(gè)流體流動(dòng)路徑被提供，多個(gè)閥布置在每個(gè)流體流動(dòng)路徑中，且如此 排列的閥的工作受控以控制流體流動(dòng)，使得納米線(xiàn)過(guò)濾器的使用可以視危險(xiǎn) 有機(jī)物的的量而適當(dāng)調(diào)整，由此提高納米線(xiàn)過(guò)濾器的壽命，同時(shí)提高過(guò)濾率。
第五，根據(jù)本發(fā)明，諸如氮?dú)夂涂諝獾姆菗]發(fā)性氣體被引入到納米線(xiàn)過(guò) 濾器，熱應(yīng)用到其上吸附有有機(jī)危險(xiǎn)材料的納米線(xiàn)過(guò)濾器，或者吸附在納米 線(xiàn)過(guò)濾器上的有機(jī)危險(xiǎn)材料通過(guò)過(guò)濾設(shè)備的輸入部和輸出部之間的壓力差 而被穩(wěn)定地除去，由此大幅提高納米線(xiàn)過(guò)濾器的再使用率并反過(guò)來(lái)提高納米 線(xiàn)過(guò)濾器的效用。
收集在納米線(xiàn)過(guò)濾器上的丙酮的實(shí)驗(yàn)結(jié)果的圖示。
圖5為示出當(dāng)使用兩個(gè)本發(fā)明納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)測(cè)量的丙酮的量的實(shí)驗(yàn)結(jié) 果圖。
圖6為示出當(dāng)使用兩個(gè)本發(fā)明納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)測(cè)量的曱苯的量的實(shí)驗(yàn)結(jié) 果圖。
具體實(shí)施例方式


圖1為用于解釋本發(fā)明第 圖2為用于解釋本發(fā)明第 圖3為示出本發(fā)明的納米
實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備的配置圖。 實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備的配置圖。下文將詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，使得本領(lǐng)域技術(shù)人員可以容易地 實(shí)施本發(fā)明。在下文描述中，相同參考符號(hào)在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中表示相同元件。 第一實(shí)施例
圖1為用于解釋本發(fā)明第一實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備的配置圖。
參考圖1,本發(fā)明第一實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備10包含過(guò)濾器11，其中多個(gè)
結(jié)晶納米線(xiàn)規(guī)則或不規(guī)則布置以具有存在于相應(yīng)納米線(xiàn)之間的空白空間。此 時(shí)，過(guò)濾器11還可包含分子材料，該分子材料填充部分或全部的結(jié)晶狀態(tài) 布置納米線(xiàn)之間的空白空間。
由構(gòu)成過(guò)濾器11的多個(gè)納米線(xiàn)組成的納米線(xiàn)薄膜可以形成于寬廣范圍
的可能表面區(qū)域。例如，納米線(xiàn)薄膜可以形成為具有大于lmm2、大于lcm2、 大于10cm2、大于lm2、以及甚至更大或更小區(qū)域的功能區(qū)域。
納米線(xiàn)薄膜包含多個(gè)相互緊密定位的單獨(dú)納米線(xiàn)。納米線(xiàn)薄膜可具有等 于或大于單個(gè)納米線(xiàn)厚度的各種厚度量。在一個(gè)示例中，納米線(xiàn)薄膜的納米 線(xiàn)布置成得其長(zhǎng)軸通常相互平行。在另一示例中，納米線(xiàn)薄膜的單獨(dú)納米
納米線(xiàn)薄膜可以通過(guò)使用旋涂、利用吸液管或分液器(spuit)的吸附、 以及噴涂工藝來(lái)形成。
在一個(gè)示例中，使用旋涂的方法是通過(guò)旋涂技術(shù)將納米線(xiàn)吸附或附著在 例如海綿的多孔材料或者網(wǎng)狀材料上的方法。此時(shí)，通過(guò)恰當(dāng)?shù)卦黾有看?br> 數(shù)來(lái)制作具有復(fù)雜堆疊結(jié)構(gòu)的納米線(xiàn)薄膜。這種情況下，納米線(xiàn)薄膜按照這 種方式制作，通過(guò)旋涂將納米線(xiàn)吸附在多孔材料上，將另一多孔材料堆疊在 其頂部上，隨后再次旋涂納米線(xiàn)。
在另 一示例中，噴涂工藝是通過(guò)將納米線(xiàn)噴射在多孔材料或者網(wǎng)狀材料 上成噴涂圖案來(lái)制作薄膜的方法。具體而言，噴涂工藝這樣制作薄膜，通過(guò) 將噴射納米線(xiàn)成噴涂圖案而將納米線(xiàn)吸附在多孔材料上，將另一多孔材料堆 疊在其頂部上，隨后再次噴射納米線(xiàn)成噴射圖案，正如旋涂方法那樣。
此外，納米線(xiàn)過(guò)濾器可以通過(guò)分子或表面處理來(lái)制作，用于恰當(dāng)?shù)貙⒓{ 米線(xiàn)吸附在支持件上從而提高吸附優(yōu)越性以及減小在將納米線(xiàn)吸附在支持 件上時(shí)的可除去性。也就是說(shuō)，在將納米線(xiàn)布置在支持件上之前或之后，使 用諸如粘合劑的材料，使得納米線(xiàn)可以容易且牢固地緊固到支持件。
例如，粘合劑可包含具有硅烷基團(tuán)的任何化學(xué)材料，其包含氨丙基三乙200780036103.1 氧基硅烷(APTES)和(3-氨丙基)三曱氧基硅烷(APTMS),這些材料 包含提高親水性能的分子。將這些化學(xué)材料的分子吸附在支持件的表面上以 使得支持件的表面親水以及隨后布置納米線(xiàn)，由此制作過(guò)濾器。備選地，通 過(guò)使用等離子體方法例如02灰化使得表面親水并布置納米線(xiàn)，可以由此制 作過(guò)濾器?；蛘?，通過(guò)將氧基團(tuán)附著在支持件上并隨后布置納米線(xiàn)，可以由 此制作過(guò)濾器。
此外，通過(guò)前述方法在支持件上布置納米線(xiàn)之后，粘合劑可以填充在納 米線(xiàn)之間，使得納米線(xiàn)通過(guò)納米線(xiàn)之間的連接而不容易除去。此時(shí)，粘合劑 包含聚合物、油類(lèi)或半導(dǎo)體材料。聚合物包含導(dǎo)電和不導(dǎo)電聚合物，油類(lèi)包 含具有粘合性的每種油，以及半導(dǎo)體材料包含在包含噴涂和沉積的半導(dǎo)體制 作工藝?yán)鏑VD和PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝中使用的每 種材料?？赏ㄟ^(guò)前述沉積方法被吸附的材料都可以使用。
此外，在通過(guò)前述方法制作納米線(xiàn)薄膜之后，所制作的納米線(xiàn)薄膜可以 通過(guò)垂直或橫向地壓縮而制成板狀。另外，如此制作的單一納米線(xiàn)板可以通 過(guò)相互結(jié)合而制成多個(gè)板。再者，納米線(xiàn)可以通過(guò)上述方法吸附或附著在單 一納米線(xiàn)板上或者多個(gè)板上。
納米線(xiàn)薄膜的另 一形成方法是僅使用納米線(xiàn)將其形成桿狀結(jié)構(gòu)。該方法 需要能夠垂直或橫向地緊固納米線(xiàn)的支持件。該方法也可以形成多層結(jié)構(gòu)。
另一方面，用于填充過(guò)濾器11中布置成非結(jié)晶狀態(tài)的納米線(xiàn)之間空白 空間的分子材料沒(méi)有限制，在納米線(xiàn)之間可以容易吸附和除去的任何材料都 可以使用。例如，可以使用空氣分子、水分子或者氮?dú)夥肿印?br> 此外，如圖1所示，本發(fā)明第一實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備IO還包含過(guò)濾器11 插入和緊固于其中的過(guò)濾器主體12。過(guò)濾器主體12形成為筒形結(jié)構(gòu)，其中 頂部和底部相互連通，入口設(shè)置在頂部上用于引入危險(xiǎn)有機(jī)物和氣體以及微 粒有機(jī)物，出口設(shè)置在底部上用于過(guò)濾由過(guò)濾器11通過(guò)吸入口引入的危險(xiǎn) 氣體和顆粒并將其排出。此外，各種氣流設(shè)備可以安裝在吸入口從而控制引 入到該吸入口中的危險(xiǎn)氣體和顆粒的進(jìn)入速度。此時(shí)應(yīng)理解，該氣流設(shè)備包 含能夠控制氣流的每一種設(shè)備。
盡管過(guò)濾器主體12如圖1所示制成圓形結(jié)構(gòu)，這僅僅是一個(gè)示例且用 于穩(wěn)定地緊固過(guò)濾器11的任意類(lèi)型均可使用。例如，如果過(guò)濾器ll通過(guò)使 用多孔材料或網(wǎng)狀材料制成支持件，則該過(guò)濾器制成為具有該多孔材料或網(wǎng)
10狀材料能夠穩(wěn)定地插入和緊固的形狀。備選地，如果納米線(xiàn)制成桿狀，則該
過(guò)濾器可以制成為使得過(guò)濾器主體12 (其用作納米線(xiàn)的支持件)可具有能夠 沿著過(guò)濾器主體12內(nèi)圍面穩(wěn)定地布置納米線(xiàn)的形狀。例如，該過(guò)濾器可以 制成具有多邊形結(jié)構(gòu)例如三角形、矩形、六角形、八角形等的各種形狀。
此外，過(guò)濾器11的效用需要通過(guò)再次使用過(guò)濾器11來(lái)提高，而不是使 用一次后丟棄該過(guò)濾器11。為此，本發(fā)明第一實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備IO還包含 作為加熱件的加熱網(wǎng)13，從而除去在過(guò)濾過(guò)程中吸附在過(guò)濾器11上的材料。
加熱網(wǎng)13制成網(wǎng)狀形式并沿與過(guò)濾器11相對(duì)的方向安裝在前部(或后 部)。加熱網(wǎng)13通過(guò)將不相互接觸的多條熱電阻絲(hot wire)規(guī)則或不規(guī) 則地布置成二維或三維結(jié)構(gòu)而形成網(wǎng)，并響應(yīng)于從電源單元(未示出)供應(yīng) 的電壓而產(chǎn)生熱。也就是說(shuō)，加熱網(wǎng)13將從電源單元供應(yīng)的電能轉(zhuǎn)換成熱 能并應(yīng)用熱到過(guò)濾器11。
此外，本發(fā)明第一實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備10還包含作為加熱件的熱電阻絲 14從而直接應(yīng)用熱到過(guò)濾器11。熱電阻絲14安裝在過(guò)濾器主體12的與過(guò) 濾器ll對(duì)應(yīng)的部分。換言之，通過(guò)沿過(guò)濾器主體12外圍面纏繞產(chǎn)生熱的電 阻絲或線(xiàn)圈并將過(guò)濾器11插入和緊固在其中，以及從電源單元供應(yīng)電壓到 如此纏繞的電阻絲或線(xiàn)圈，熱電阻絲14由此產(chǎn)生熱。
下文將描述通過(guò)4吏用加熱網(wǎng)13和熱電阻絲l4來(lái)除去^^及附在過(guò)濾器11 上的材料的方法。
首先，從電源單元供應(yīng)電力到加熱網(wǎng)13和熱電阻絲14。隨后，加熱網(wǎng) 13和熱電阻絲14通過(guò)將從電源單元供應(yīng)的電能轉(zhuǎn)換成熱能而產(chǎn)生熱。這種 狀態(tài)下，例如包含氧氣(02)、氮?dú)?N2)、氦氣(He)和氬氣(Ar)的惰 性氣體以及空氣的氣體引入到過(guò)濾器主體12的入口。
隨后，引入到過(guò)濾器主體12入口的惰性氣體和空氣被從力。熱網(wǎng)13應(yīng)用 的熱所加熱，使得其溫度上升高于被引入到入口之前的溫度。此時(shí)，過(guò)濾器 11也被熱電阻絲14加熱而具有更高溫度。因此，吸附在過(guò)濾器11上的材料 由于過(guò)濾器11溫度上升而具有特定程度的勢(shì)能。這種狀態(tài)下，具有高溫度 且具有勢(shì)能的吸附材料被通過(guò)過(guò)濾器11的惰性氣體從過(guò)濾器11除去。
此外，用于提供壓力差的推進(jìn)裝置(包含真空設(shè)備)在過(guò)濾設(shè)備10中 附著到出口側(cè)以除去吸附材料。例如，過(guò)濾設(shè)備10的入口被阻擋，且用于 排氣的設(shè)備即例如真空設(shè)備的設(shè)備僅安裝在出口側(cè)并被驅(qū)動(dòng)，由此通過(guò)入口和出口之間的壓力差而除去吸附材料。
此外，過(guò)濾設(shè)備10中存在的過(guò)濾器11的數(shù)目沒(méi)有限制。也就是說(shuō)，多 個(gè)過(guò)濾器可以串聯(lián)或并聯(lián)地安裝從而提高過(guò)濾率。
第二實(shí)施例
圖2為用于解釋本發(fā)明第二實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備的配置的圖示。在圖2， 示例性地解釋具有串聯(lián)安裝的三個(gè)過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)。
參考圖2，本發(fā)明第二實(shí)施例的過(guò)濾設(shè)備具有安裝在過(guò)濾器主體22中的 多個(gè)過(guò)濾器21A、 21B和21C,過(guò)濾器主體22中設(shè)有多個(gè)流體路徑。此時(shí)， 過(guò)濾器21A、 21B和21C按照與本發(fā)明第一實(shí)施例所述相同的配置和方法來(lái) 制作，并沿著彼此相對(duì)的方向串聯(lián)布置。
此外，至少一個(gè)閥23A、 23B、 23C、 23D、 23E和23F可以安裝在設(shè)于 過(guò)濾器主體22中的多個(gè)流體路徑。具體而言，閥23A、 23B和23C的每一 個(gè)安裝在過(guò)濾器21A、 21B和21C的每一個(gè)的前側(cè)，由此控制過(guò)濾器主體 22內(nèi)的流體流動(dòng)。
在圖2所示結(jié)構(gòu)中，流體在通過(guò)入口引入之后，通過(guò)兩個(gè)方向排放到出 口。第一流體流動(dòng)方向(見(jiàn)點(diǎn)線(xiàn)箭頭)為穿過(guò)所有三個(gè)過(guò)濾器^A、 "B和 21C的方向，以及第二流體流動(dòng)方向(見(jiàn)實(shí)線(xiàn)箭頭)為僅穿過(guò)一個(gè)過(guò)濾"A 或兩個(gè)過(guò)濾器21A和21B的方向。通過(guò)恰當(dāng)?shù)乜刂崎y23A、 23B、 23C、 23D、 23E和23F ，實(shí)現(xiàn)這些不同的流體路徑方向。
險(xiǎn)材料，第二、第三和第四閥23B、 23C和BD打開(kāi)，從而由第二和第三過(guò) 濾器21B和21C過(guò)濾未被第一過(guò)濾器21A過(guò)濾的危險(xiǎn)材料。在另一示例中， 如果第一過(guò)濾器21A具有過(guò)濾所引入的任何危險(xiǎn)材料的能力，則第二閥23B 關(guān)閉且第五閥23E打開(kāi)，由此通過(guò)第五閥23E排放經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾器21A的 流體，即危險(xiǎn)材料被除去的流體。
這樣，過(guò)濾器的數(shù)目和過(guò)濾器的性能可以通過(guò)分步吸附來(lái)調(diào)整。 此外，藉由改變過(guò)濾器主體22的結(jié)構(gòu)，考慮過(guò)濾器的位置和形狀而將 過(guò)濾器布置成串聯(lián)、并聯(lián)和交疊結(jié)構(gòu)，以及在過(guò)濾器主體22的正確位置安 裝閥，通過(guò)控制流體流動(dòng)而可以最大化過(guò)濾器的過(guò)濾率。
如上所述的本發(fā)明實(shí)施例的納米線(xiàn)過(guò)濾器使用下述特性。
當(dāng)比較氣體相對(duì)于納米線(xiàn)過(guò)濾器的收集能力時(shí)，化學(xué)反應(yīng)性弱的氣體例如氦氣、氮?dú)夂脱鯕獾氖占芰︼@著低于化學(xué)反應(yīng)性強(qiáng)的氣體的收集能力， 化學(xué)反應(yīng)性強(qiáng)的氣體例如為包含丙酮、曱醇、苯乙烯、苯、曱苯、曱醛、二 曱苯、乙基苯、肼、二氯曱等及其復(fù)合物質(zhì)的危險(xiǎn)有機(jī)化合物；毒性氣體； 煙草煙霧等等。如此，通過(guò)利用納米線(xiàn)過(guò)濾器對(duì)于每種氣體的收集能力差異， 可以過(guò)濾毒性氣體和危險(xiǎn)有機(jī)化合物氣體。
在一個(gè)示例中，對(duì)于氧化釩納米線(xiàn)過(guò)濾器的情形，毒性氣體和危險(xiǎn)有機(jī) 化合物可以收集在用水填充的空間中。此外，對(duì)于微粒毒性材料，當(dāng)這些毒 性微粒材料與納米線(xiàn)碰撞時(shí)，毒性微粒材料的動(dòng)量轉(zhuǎn)移到納米線(xiàn)且其固有動(dòng) 量損失，使得毒性微粒材料被收集在構(gòu)成納米線(xiàn)過(guò)濾器的單獨(dú)納米線(xiàn)之間的 空白空間內(nèi)。
下文將通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果數(shù)據(jù)證明本發(fā)明的工作效果。
圖3為示出本發(fā)明的納米線(xiàn)過(guò)濾器對(duì)于丙酮的過(guò)濾率的圖示。在圖3, 310為示出將約10sccm氮?dú)鈿怏w與丙酮混合以及隨后將約1000sccm氮?dú)鈿?體與之混合來(lái)稀釋的混合氣體中測(cè)量到的丙酮的量的曲線(xiàn)圖，以及320為示
出將該混合氣體通過(guò)該納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾丙酮之后測(cè)量到的丙酮的量的 曲線(xiàn)圖。此外，330為示出將約20sccm氮?dú)鈿怏w與丙酮混合以及隨后將約 1000sccm氮?dú)鈿怏w與之混合來(lái)稀釋的混合氣體中測(cè)量到的丙酮的量的曲線(xiàn) 圖，以及340為示出將該混合氣體通過(guò)該納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾丙酮之后測(cè)量 到的丙酮的量的曲線(xiàn)圖。
參考圖3，約1000sccm氮?dú)鈿怏w引入納米線(xiàn)過(guò)濾器，當(dāng)約10sccm氮?dú)?氣體與丙酮的混合氣體51入納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)，與310相同量的丙酮被探測(cè)到。 在該量的丙酮通過(guò)納米線(xiàn)過(guò)濾器被過(guò)濾之后，與320相同量的丙酮被探測(cè)到。 也就是說(shuō)，可以看出，約3/4的丙酮吸附在納米線(xiàn)過(guò)濾器上，以及約l/4的 丙酮排放到排放口。
此外，當(dāng)與310相比丙酮的量進(jìn)一步增加，且如此增加的丙酮與約 20sccm氮?dú)獾幕旌蠚怏w再次使用約1000sccm氮?dú)鈦?lái)混合并隨后引入納米線(xiàn) 過(guò)濾器時(shí)，與330相同量的丙酮祐」探測(cè)到。在該量的丙酮通過(guò)納米線(xiàn)過(guò)濾器 被過(guò)濾之后，與340相同量的丙酮被探測(cè)到。這種情況下，也可以看到，約 3/4的丙酮^C納米線(xiàn)過(guò)濾器收集和過(guò)濾。
基于該實(shí)驗(yàn)結(jié)果，證明了該納米線(xiàn)過(guò)濾器收集丙酮。
此外，圖4 "i正明另一重要因素。也就是il，當(dāng)1000sccm氮?dú)鈿怏w引入時(shí)，丙酮的量410隨時(shí)間逐漸減小。
圖4為示出由本發(fā)明納米線(xiàn)過(guò)濾器過(guò)濾丙酮和氮?dú)饣旌蠚怏w且隨后除去 收集在納米線(xiàn)過(guò)濾器上的丙酮的結(jié)果的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖。從圖4可以看出，丙酮 的量410隨時(shí)間逐漸減小。這里使用的方法為，通過(guò)在納米線(xiàn)過(guò)濾器的入口 僅滴下約1000sccm氮?dú)鈿怏w而非丙酮，不斷地測(cè)量丙酮的量。
具體地，如果收集在納米線(xiàn)過(guò)濾器上的丙酮不除去而是任其存在于納米 線(xiàn)過(guò)濾器中，納米線(xiàn)過(guò)濾器的收集能力退化并因此無(wú)法再次使用。因此，當(dāng) 約1000sccm的氮?dú)鈿怏w滴在丙酮被收集的納米線(xiàn)過(guò)濾器上時(shí)，丙酮的量隨 時(shí)間逐漸減小。這是因?yàn)殡S著氮?dú)獾蜗拢诩{米線(xiàn)過(guò)濾器中收集的丙酮逐漸 與收集部分離并因此排放到外部。此外，當(dāng)通過(guò)加熱網(wǎng)或熱電阻絲同時(shí)應(yīng)用 熱時(shí)，收集在納米線(xiàn)過(guò)濾器上的丙酮的分離程度變得更大。
圖5為示出當(dāng)使用兩個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)測(cè)量的丙酮的量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖。 在圖5中，與圖3類(lèi)似，510為示出將約10sccm氮?dú)鈿怏w與丙酮混合以及 隨后將約1000sccm氮?dú)鈿怏w與之混合來(lái)稀釋的混合氣體中測(cè)量到的丙酮的 量的曲線(xiàn)圖，以及520為示出將該混合氣體通過(guò)第 一納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾丙 酮之后測(cè)量到的丙酮的量的曲線(xiàn)圖。此外，530為示出將已經(jīng)通過(guò)第一納米 線(xiàn)過(guò)濾器的該混合氣體通過(guò)第二納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾丙酮之后測(cè)量到的丙 酮的量的曲線(xiàn)圖。
參考圖5,約1000sccm氮?dú)鈿怏w引入納米線(xiàn)過(guò)濾器，當(dāng)約10sccm氮?dú)?氣體與丙酮的混合氣體引入納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)，與510相同量的丙酮被探測(cè)到。 在該量的丙酮通過(guò)第一納米線(xiàn)過(guò)濾器被過(guò)濾之后，與WO相同量的丙酮被探 測(cè)到，以及在該量的丙酮通過(guò)第二納米線(xiàn)過(guò)濾器被過(guò)濾之后，與530相同量 的丙酮被探測(cè)到。也就是說(shuō)，可以看出，在經(jīng)過(guò)兩個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾之 后，未被任何納米線(xiàn)過(guò)濾器過(guò)濾的丙酮的量減小至初始量的約1/100。
目前為止，已經(jīng)通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果描述了納米線(xiàn)過(guò)濾器對(duì)丙酮的收集能力。 下文將解釋納米線(xiàn)過(guò)濾器對(duì)另 一危險(xiǎn)有機(jī)物例如曱苯的收集能力。 圖6為示出在與圖5相同條件下使用滴下氮?dú)鈿怏w的方法測(cè)量到的曱苯 的量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖，不同在于危險(xiǎn)有機(jī)物從丙酮變?yōu)闀醣健Ｔ趫D6中，在與 圖5相同的條件下，610為示出將約10sccm氮?dú)鈿怏w與甲苯混合以及隨后 將約1000sccm氮?dú)鈿怏w與之混合來(lái)稀釋的混合氣體中測(cè)量到的甲苯的量的 曲線(xiàn)圖，以及620為示出將該混合氣體通過(guò)第一納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾曱苯之
14后測(cè)量到的曱苯的量的曲線(xiàn)圖。此外，630為示出將已經(jīng)通過(guò)第一納米線(xiàn)過(guò) 濾器的該混合氣體通過(guò)第二納米線(xiàn)過(guò)濾器以過(guò)濾曱苯之后測(cè)量到的曱苯的 量的曲線(xiàn)圖。參考圖6,約1000sccm氮?dú)鈿怏w引入納米線(xiàn)過(guò)濾器，當(dāng)約10sccm氮?dú)?氣體與曱苯的混合氣體引入納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)，與610相同量的曱苯被探測(cè)到。 在該量的曱苯通過(guò)第一納米線(xiàn)過(guò)濾器被過(guò)濾之后，與620相同量的甲笨被探 測(cè)到，以及在該量的甲苯通過(guò)第二納米線(xiàn)過(guò)濾器被過(guò)濾之后，與630相同量 的曱苯被探測(cè)到。也就是說(shuō)，可以看出，在經(jīng)過(guò)兩個(gè)納米線(xiàn)過(guò)濾器的過(guò)濾之 后，未被任何納米線(xiàn)過(guò)濾器過(guò)濾的曱苯的量減小至初始量的約1/25。如上所述，如在使用丙酮和曱苯的實(shí)驗(yàn)的結(jié)果，可以看出當(dāng)危險(xiǎn)有機(jī)物 引入納米線(xiàn)過(guò)濾器時(shí)，出口中危險(xiǎn)有機(jī)物顯著減少。在分布有較少量危險(xiǎn)有 機(jī)物的日常環(huán)境中，這導(dǎo)致更大的程度。此外，如果在本發(fā)明實(shí)施例所述納米線(xiàn)過(guò)濾器的制作時(shí)調(diào)整組成過(guò)濾器 的納米線(xiàn)的密度，則微粒材料和氣態(tài)材料可以同時(shí)被吸附。也就是說(shuō)，納米 線(xiàn)密度不高的過(guò)濾器過(guò)濾微粒材料，而納米線(xiàn)密度高的過(guò)濾器過(guò)濾危險(xiǎn)有機(jī) 物。然而該方法并不意味著，在納米線(xiàn)不密集的部分中氣體不被吸附，以及 在納米線(xiàn)密集的部分中顆粒不被吸附。換言之，上述方法可以解讀為，在納米線(xiàn)過(guò)濾器制作方法中通過(guò)串聯(lián)連 接不同密度的過(guò)濾器，可以同時(shí)過(guò)濾顆粒和氣體兩種物理性能類(lèi)型。此外， 上述方法包含高密度過(guò)濾器和低密度過(guò)濾器相互交叉以及將它們串聯(lián)或并 聯(lián)，或者串聯(lián)連接多個(gè)高密度過(guò)濾器或者串聯(lián)連接多個(gè)低密度過(guò)濾器，且其 結(jié)構(gòu)不限于此處建議的方法。此外，本發(fā)明的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖中建議的納米線(xiàn)過(guò)濾器特性不限于所示的曱 苯和丙酮過(guò)濾器的特性，任何化學(xué)危險(xiǎn)材料以及微粒危險(xiǎn)材料均可以被過(guò) 濾。此外，通過(guò)在分布有有害生物體和細(xì)菌的病房以及需要潔凈的其它空間 中使用該納米線(xiàn)過(guò)濾器，可以減小有害細(xì)菌和有害生物體的量。盡管已經(jīng)參考具體實(shí)施例描述了本發(fā)明，不過(guò)本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解， 可以進(jìn)行各種變化和調(diào)整而不背離如下述權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神 和范圍。
權(quán)利要求
1.一種過(guò)濾器，包含支持件；以及多個(gè)納米線(xiàn)，支承在該支持件上并布置于結(jié)晶態(tài)。
2. 權(quán)利要求1的過(guò)濾器，還包含分子材料，該分子材料填充在納米線(xiàn) 之間形成的空白空間的 一些部分。
3. 權(quán)利要求2的過(guò)濾器，其中該材料為選自空氣分子、水分子和氮?dú)?分子的任意一種。
4. 權(quán)利要求1的過(guò)濾器，其中該納米線(xiàn)包含半導(dǎo)體納米線(xiàn)或金屬納米線(xiàn)。
5. 權(quán)利要求1的過(guò)濾器，其中該納米線(xiàn)由選自下述群組的任意一種材 料制成Si、 Ge、 Sn、 Se、 Te、 B、 C、 P、 B-C、 B-P(BP6)、 B國(guó)Si、 Si-C、 Si-Ge、 Si-Sn和Ge-Sn、 SiC、 BN/BP/BAs、 AlN/AlP/AlAs/AlSb 、 GaN/GaP/GaAs/GaSb、 InN/InP/InAs/InSb、 BN/BP/BAs、 AlN/AIP/AlAs/AlSb、 GaN/GaP/GaAs/GaSb、 InN/InP/InAs/InSb、 ZnO/ZnS/ZnSe/ZnTe、 CdS/CdSe/CdTe、 HgS/HgSe/HgTe、 BeS/BeSe/BeTe/MgS/MgSe、 GeS、 GeSe、 GeTe、 SnS、 SnSe、 SnTe、 PbO、 PbS、 PbSe、 PbTe、 CuF、 CuCl、 CuBr、 Cul、 AgF、 AgCl、 AgBr、 Agl、 BeSiN2、 CaCN2、 ZnGeP2、 CdSnAs2、 ZnSnSb2、 CuGeP3、 CuSi2P3、 (Cu, Ag)(Al, Ga， In, Ti， Fe)(S, Se, Te)2、 Si3N4、 Ge3N4、 A1203、 (Al, Ga, In)2(S, Se， Te)3、 Al2CO以 及兩種或更多種這些材料的適當(dāng)組合。
6. 權(quán)利要求l的過(guò)濾器，其中該納米線(xiàn)由氧化釩制成。
7. 權(quán)利要求l的過(guò)濾器，其中該支持件由多孔材料或網(wǎng)狀材料制成。
8. —種過(guò)濾設(shè)備，包含過(guò)濾器，該過(guò)濾器具有支持件和多個(gè)納米線(xiàn)，該納米線(xiàn)支承在該支持件 上并布置于結(jié)晶態(tài)；以及主體，該過(guò)濾器插入并緊固到該主體中，該主體具有將所引入的流體引 導(dǎo)到該過(guò)濾器的入口以及將通過(guò)該過(guò)濾器被過(guò)濾的流體排放到外部的出口 。
9. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，還包含安裝在該過(guò)濾器的前部或后部用于 應(yīng)用熱到該過(guò)濾器的加熱件。
10. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，其中該加熱件形成為網(wǎng)狀形式。
11. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，還包含沿著該主體的外圍面纏繞用于應(yīng)用熱到該過(guò)濾器的加熱件。
12. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，其中該主體還包含用于在過(guò)濾器的前部和 后部之間引起壓力差的壓力產(chǎn)生件。
13. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，其中該主體設(shè)有多個(gè)路徑，該流體通過(guò)該 多個(gè)路徑在該入口和該出口之間移動(dòng)。
14.權(quán)利要求13的過(guò)濾設(shè)備，其中至少一個(gè)過(guò)濾器安裝在該路徑。
15. 權(quán)利要求13的過(guò)濾設(shè)備，其中至少一個(gè)閥安裝在該路徑從而控制 該流體的流動(dòng)。
16. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，其中多個(gè)過(guò)濾器安裝在該主體。
17. 權(quán)利要求16的過(guò)濾設(shè)備，其中該多個(gè)過(guò)濾器具有以相同密度或者 以不同密度布置的該納米線(xiàn)。
18. 權(quán)利要求8的過(guò)濾設(shè)備，其中該過(guò)濾器形成為薄膜或者形成為板狀 結(jié)構(gòu)。
19. 一種過(guò)濾器制作方法，包含步驟 提供支持件；以及布置多個(gè)結(jié)晶納米線(xiàn)在該支持件上。
20. 權(quán)利要求19的方法，還包含在布置納米線(xiàn)的步驟之前，附著粘合 件于該支持件的表面上使得該納米線(xiàn)容易且牢固地緊固到該支持件的步驟。
21. 權(quán)利要求19的方法，還包含在布置納米線(xiàn)的步驟之后，填充該粘 合件從而防止布置在該支持件上的納米線(xiàn)之間的連接容易脫落的步驟。
22. 權(quán)利要求20的方法，其中具有硅烷基團(tuán)的化學(xué)材料用作該粘合件。
23. 權(quán)利要求22的方法，其中具有硅烷基團(tuán)的該化學(xué)材料為氨丙基三 乙氧基硅烷(APTES )或(3 -氨丙基)三曱氧基硅烷(APTMS )。
24. 權(quán)利要求19的方法，還包含在布置納米線(xiàn)的步驟之前，通過(guò)02灰 化工藝或者通過(guò)將氧附著在該支持件的表面上來(lái)使該支持件的表面親水的 步驟。
25. 權(quán)利要求19的方法，還包含在布置納米線(xiàn)的步驟之后，填充分子 材料于在納米線(xiàn)之間形成的空白空間的一些部分內(nèi)的步驟。
26. 權(quán)利要求25的方法，其中該材料為選自空氣分子、水分子和氮?dú)?分子的任意一種。
27. 權(quán)利要求19的方法，其中布置納米線(xiàn)的步驟通過(guò)旋涂方法、利用分液器或吸液管的吸附方法以及噴涂方法中的任意一種來(lái)實(shí)施。
28. 權(quán)利要求19的方法，其中該納米線(xiàn)以膜形式布置在該支持件的內(nèi) 圍面上。
29. 權(quán)利要求19的方法，其中該納米線(xiàn)包含半導(dǎo)體納米線(xiàn)或金屬納米線(xiàn)。
30. 權(quán)利要求19的方法，其中該納米線(xiàn)由選自下述群組的任意一種材 料制成Si、 Ge、 Sn、 Se、 Te、 B、 C、 P、 B-C、 B-P(BP6)、 B畫(huà)Si、 Si-C、 Si-Ge、 Si-Sn and Ge-Sn 、SiC 、BN/BP/BAs 、AlN/AlP/AlAs/AlSb 、 GaN/GaP/GaAs/GaSb、 InN/InP/InAs/InSb、 BN/BP/BAs、 AlN/AIP/AlAs/AlSb、 GaN/GaP/GaAs/GaSb 、I週nP/InAs/InSb 、ZnO/ZnS/ZnSe/ZnTe 、 CdS/CdSe/CdTe、 HgS/HgSe/HgTe、 BeS/BeSe/BeTe/MgS/MgSe 、 GeS、 GeSe、 GeTe、 SnS、 SnSe、 SnTe、 PbO、 PbS、 PbSe、 PbTe、 CuF、 CuCl、 CuBr、 Cul、 AgF、 AgCl、 AgBr、 Agl、 BeSiN2、 CaCN2、 ZnGeP2、 CdSnAs2、 ZnSnSb2、 CuGeP3、 CuSi2P3、 (Cu, Ag)(Al, Ga, In, Ti, Fe)(S， Se, Te)2、 Si3N4、 Ge3N4、 A1203、 (A1， Ga, In)2(S， Se, Te)3、 Al2CO以及兩種或更多種這些材料的適當(dāng)組合。
31. 權(quán)利要求19的方法，其中該納米線(xiàn)由氧化釩制成。
32. 權(quán)利要求19的方法，其中該支持件由多孔材料或網(wǎng)狀材料制成。
33. 權(quán)利要求19的方法，還包含在布置納米線(xiàn)的步驟之后，壓縮所布 置的納米線(xiàn)的步驟。
34. 權(quán)利要求33的方法，還包含在壓縮所布置的納米線(xiàn)的步驟之后， 在壓縮板上布置納米線(xiàn)的步驟。
35. —種除去吸附在過(guò)濾設(shè)備的過(guò)濾器上的材料的方法，包含步驟 應(yīng)用熱到該過(guò)濾器；以及 注入非揮發(fā)性氣體或空氣到主體的入口內(nèi)。
36. 權(quán)利要求35的方法，其中該過(guò)濾器的前部的壓力低于該過(guò)濾器的 后部的壓力。
37. 權(quán)利要求35的方法，其中該非揮發(fā)性氣體為氧氣、氮?dú)?、氦氣?氬氣中的任意一種。
38. —種除去吸附在過(guò)濾設(shè)備的過(guò)濾器上的材料的方法，包含步驟 在過(guò)濾器的前部的壓力低于該過(guò)濾器的后部的壓力時(shí)，注入非揮發(fā)性氣體或空氣到主體的入口內(nèi)。
全文摘要
提供了一種納米線(xiàn)過(guò)濾器、其制作方法、具有其的過(guò)濾設(shè)備、以及除去吸附在納米線(xiàn)過(guò)濾器上的材料的方法。該過(guò)濾設(shè)備包含過(guò)濾器，該過(guò)濾器具有支持件和多個(gè)納米線(xiàn)，該納米線(xiàn)支承在該支持件上并布置于結(jié)晶態(tài)；以及主體，該過(guò)濾器插入并緊固到該主體中，該主體具有將所引入的流體引導(dǎo)到該過(guò)濾器的入口以及將通過(guò)該過(guò)濾器被過(guò)濾的流體排放到外部的出口。
文檔編號(hào)B01D46/00GK101568367SQ200780036103
公開(kāi)日2009年10月28日 申請(qǐng)日期2007年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月27日
發(fā)明者劉漢泳, 安昌根, 李誠(chéng)宰, 梁鐘憲, 白寅福, 鄭泰亨, 金安順, 阿七成 申請(qǐng)人:韓國(guó)電子通信研究院