專利名稱：液體濃縮回收系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液體濃縮回收系統(tǒng)，特別涉及一種可提升濃縮回收效率 的液體濃縮回收系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般來說，光致抗蝕劑已普遍應(yīng)用于光電半導(dǎo)體工藝之中。在光電半導(dǎo) 體工藝中，光致抗蝕劑通常會被回收再利用，以降低制造成本。
光致抗蝕劑回收再利用的品質(zhì)大致上會由下列因素所影響(1 )在光致抗 蝕劑涂布工藝開始前，玻璃基板必須預(yù)先以與光致抗蝕劑具有相容性的化學 品(例如，EBR)來濕潤；(2)在光致抗蝕劑涂布工藝結(jié)束后，承載玻璃基板的 承載平臺必須使用與光致抗蝕劑具有相容性的清洗劑清洗；(3)光致抗蝕劑在 開封使用后會吸取空氣中的水份。如上所述，在不同工藝階段所收集到的未 完全使用的光致抗蝕劑可能會含有化學藥品或水份，因而會影響光致抗蝕劑 是否能夠被回收再生或回收再生的品質(zhì)。因此，在光致抗蝕劑的回收再生過 程中，如何將不同工藝階段所摻入的化學藥品或水份徹底去除，已成為決定 光致抗蝕劑是否可以再生使用的重要關(guān)鍵。
目前市場上并沒有專門針對光電化學藥品特性所開發(fā)的濃縮回收設(shè)備。 因此，光致抗蝕劑的回收再生^l能遷就目前市場上的濃縮回收i殳備。然而， 由于光致抗蝕劑具有熱敏感、懼光、易吸附粉塵及水分等特性，故目前的濃 縮回收設(shè)備無法精密掌控濃縮作業(yè)的時間及效果，因而會影響到光致抗蝕劑 回收再生的處理時間及調(diào)配成本。
此外，就目前市場上的濃縮回收設(shè)備而言，其皆是采用一大廂體來濃縮 被濃縮物。換句話說，被濃縮物是被置于大廂體之內(nèi)，而干燥氣體會與被濃 縮物接觸，因而可將被濃縮物中的水份或溶劑移除。在此，干燥氣體與被濃 縮物的接觸可分為流動與不流動兩種模式。
就傳統(tǒng)廂型固定床式冷風濃縮設(shè)備而言，干燥氣體乃是接觸非流動的被 濃縮物表面，以將被濃縮物中的水份或溶劑移除。然而，由于沒有令被濃縮物產(chǎn)生流動來與干燥氣體接觸，故只有被濃縮物的表面會接觸到用以吹除溶 劑或水份的干燥氣體。因此，被濃縮物的表面往往容易形成干膜，因而使得 被濃縮物的濃縮均勻性、實際濃縮效率及濃縮作業(yè)時間均無法被精確控制。
上述傳統(tǒng)廂型固定床式冷風濃縮設(shè)備的例子可如中國臺灣專利第471624號 所4皮露。此外，以傳統(tǒng)廂型固定床式冷風濃縮設(shè)備實際測試，其對^1濃縮物 所提供的濃縮效率約為2.35g/min。
就傳統(tǒng)廂型流動床式冷風濃縮設(shè)備而言，其主要是在解決固定床式冷風 濃縮設(shè)備的濃縮均勻性的缺點。干燥氣體會接觸流動的被濃縮物表面，以增 加氣液接觸表面積。然而，由于被濃縮物與控制冷排及熱排溫度的裝置皆是 位于同一廂體之內(nèi)，故廂體內(nèi)會隨時保持氣液相濃度平衡，因而無法進行有 效換氣的濃縮作業(yè)。此外，傳統(tǒng)廂型流動床式冷風濃縮設(shè)備，為解決干燥氣 體只接觸未流動的被濃縮物的表面以致形成表面干膜，因而使得被濃縮物的 濃縮均勻性、實際濃縮效率及濃縮作業(yè)時間無法一皮精確控制的問題。另外， 傳統(tǒng)廂型流動床式冷風濃縮設(shè)備對被濃縮物所提供的濃縮效率約為 6.12g/min。
有鑒于此，本發(fā)明提供一種液體濃縮回收系統(tǒng)，其可使欲被濃縮的液體 產(chǎn)生薄膜狀流動并與用來吹除溶劑或水份的干燥氣體接觸，以及以連續(xù)循環(huán) 處理的方式來提升液體的濃縮回收效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明基本上采用如下所詳述的特征，來解決先前技術(shù)所遭遇的問題。 也就是說，本發(fā)明適用于光電半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的有機溶劑及化學品的回收再利 用工藝，并且包括氣體干燥機，具有濕氣入口及干氣出口，用以收集濕氣及 輸出干氣；至少一傾斜密閉腔體，具有至少一干氣入口、濕氣出口、回流入 口、回流出口及溝槽狀流動床板，其中，該干氣入口相對于該濕氣出口，并 且連接于該氣體干燥機的該干氣出口 ，該濕氣出口連接于該氣體干燥機的該 濕氣入口，該回流入口相對于該回流出口 ，并且鄰4妄于該濕氣出口，該回流 出口鄰^接于該干氣入口 ，該溝槽狀流動床^反i殳置于該回流入口與該回流出口 之間，該氣體干燥機所輸出的干氣經(jīng)由該干氣出口及該干氣入口輸送至該傾 斜密閉腔體之中，以及流經(jīng)該傾斜密閉腔體的濕氣經(jīng)由該濕氣出口及該濕氣 入口輸送至該氣體干燥機之中；收集容器，連接于該傾斜密閉腔體的該回流出口，用以容納液體；以及泵浦，連接于該收集容器與該傾斜密閉腔體的該 回流入口之間，其中，該收集容器中的該液體通過該泵浦的輸送而經(jīng)由該回 流入口輸送至該傾斜密閉腔體中的該溝槽狀流動床板之上，以及流經(jīng)該溝槽 狀流動床4反的該液體經(jīng)由該回流出口而回流至該收集容器之中。
同時，根據(jù)本發(fā)明的液體濃縮回收系統(tǒng)，還包括溫度感測器，電性連接 于該氣體干燥機，并且設(shè)置于該傾斜密閉腔體的該干氣入口之中，用以感測 輸送至該傾斜密閉腔體中的干氣的溫度。
又在本發(fā)明中，該溝槽狀流動床板具有多個槽谷及多個槽峰，該等槽谷 及該等槽峰交錯排列，以及該液體流動于該等槽谷之中。
又在本發(fā)明中，每一槽谷的深度、每一槽谷的寬度與每一槽峰的寬度的 比值為卜5: 3 8: 1~5。
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施 例并配合附圖做詳細說明。


圖1顯示本發(fā)明的第一實施例的液體濃縮回收系統(tǒng)的平面構(gòu)造示意圖: 圖2顯示根據(jù)圖1的A-A剖面示意圖； 圖3顯示根據(jù)圖2的放大示意圖；以及
圖4顯示本發(fā)明的第二實施例的液體濃縮回收系統(tǒng)的平面構(gòu)造示意圖 附圖標記說明
100、 100， 液體濃縮回收系統(tǒng)
111 濕氣入口
120 傾斜密閉腔體
122~濕氣出口
124~回流出口
125a 槽谷
130 收集容器
150 溫度感測器
161 第一干氣入口
163 第一回流入口
165~第 一 溝槽狀流動床板
110 氣體干燥才幾
112~干氣出口
121 干氣入口
123~回流入口
125 溝槽狀流動床板
125b 槽峰
140 泵浦
160 第一傾斜密閉腔體 162 第一濕氣出口 164 第一回流出口 170 第二傾斜密閉腔體171-第二干氣入口 173 第二回流入口 175~第二溝槽狀流動床板 190 第二溫度感測器
172-第二濕氣出口 174-第二回流出口 180 第一溫度感測器 S 液體
具體實施例方式
茲配合圖式說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。 第一實施例
請參閱圖1,本實施例的液體濃縮回收系統(tǒng)IOO主要包括有氣體干燥機 110、傾斜密閉腔體120、收集容器130、泵浦140及溫度感測器150。
氣體干燥機IIO具有濕氣入口 lll及干氣出口 112，其可用來收集濕氣 (潮濕氣體)及輸出干氣(千燥氣體)。更詳細的來說，氣體干燥機110內(nèi)可具有 能控制冷排溫度的冷卻裝置(未顯示)及能控制熱排溫度的加熱裝置(未顯 示)。因此，當濕氣經(jīng)由濕氣入口 111進入氣體干燥機IIO之中后，冷卻裝置 可對濕氣進行冷卻除濕以形成干氣，而干氣隨后即可經(jīng)由干氣出口 112輸出。 此外，氣體干燥機110內(nèi)的加熱裝置還可對輸出的干氣進行加熱，以使得輸 出的干氣能具有特定溫度。
傾斜密閉腔體120是傾斜于地表面，并且其具有干氣入口 121、濕氣出 口 122、回流入口 123、回流出口 124及溝槽狀流動床板125。干氣入口 121 是相對于濕氣出口 122,并且干氣入口 121是連接于氣體干燥機110的干氣 出口 112。濕氣出口 122是連接于氣體干燥機110的濕氣入口 111?；亓魅?口 123是相對于回流出口 124，并且回流入口 123是鄰4婁于濕氣出口 122。 回流出口 124是鄰接于千氣入口 121。溝槽狀流動床板125是設(shè)置于回流入 口 123與回流出口 124之間。更詳細的來說，如圖2及圖3所示，溝槽狀流 動床板125具有多個槽谷125a及多個槽峰125b，以及多個槽谷125a及多個 槽峰125b是彼此交錯排列。在本實施例之中，每一個槽谷125a的深度、每 一個槽谷125a的寬度與每一個槽峰125b的寬度的比值可以是1~5: 3 8: 1~5。 舉例來說，每一個槽谷125a的深度為lmm,每一個槽谷125a的寬度為5mm， 以及每一個槽峰125b的寬度為2mm。此外，在本實施例之中，傾斜密閉腔 體120的體積可以是介于4000cm3與20000 cmS之間。
如圖1所示，收集容器130是連接于傾斜密閉腔體120的回流出口 124,其可用來容納欲被濃縮回收的液體S(例如，光致抗蝕劑)。
泵浦140是連接于收集容器130與傾斜密閉腔體120的回流入口 123之間。
溫度感測器150是電性連接于氣體干燥機110，并且溫度感測器150是 設(shè)置于傾斜密閉腔體120的干氣入口 121之中，其可用來感測輸送至傾斜密 閉腔體120中的干氣的溫度。
接下來說明液體濃縮回收系統(tǒng)100的運作方式。
當名夂濃縮回收液體(例如，光致抗蝕劑)或去除液體(例如，光致抗蝕劑) 中的溶劑或水份時，收集容器130中的液體S是通過泵浦140的輸送而經(jīng)由 回流入口 123輸送至傾斜密閉腔體120中的溝槽狀流動床板125之上。此時， 液體S會通過地心引力作用而流過溝槽狀流動床一反125。在此，通過控制液 體S的流量(例如，0.5L/min至3L/min)，使得液體僅會流動于溝槽狀流動床 板125的多個淺槽谷125a之中，因而形成薄膜狀的流動。接著，流過溝槽 狀流動床^反125的液體S是經(jīng)由傾斜密閉腔體120的回流出口 124而回流至 收集容器130之中。如上所述，通過泵浦140的連續(xù)輸送運作，即可使得液 體S達到連續(xù)循環(huán)的效果。
在另一方面，氣體干燥機110所輸出的干氣會經(jīng)由干氣出口 112及干氣 入口 121輸送至傾斜密閉腔體120之中。在此，從氣體干燥機110所輸出的 干氣可先經(jīng)由其內(nèi)的加熱裝置加熱而具有25。C至4(TC的溫度，以及從氣體 干燥機110所輸出的千氣在傾斜密閉腔體120中可具有1.5m/sec至6.5m/sec 的流動速度。此外，值得注意的是，在傾斜密閉腔體120之中，干氣的流動 方向是與液體S的流動方向相反。
如上所述，通過具有特定溫度的干氣來吹拂以薄膜狀流動的液體S,液 體S中的水份或溶劑即可快速地被干氣所帶離或移除。接著，流經(jīng)傾斜密閉 腔體120的含有水份或溶劑的濕氣會經(jīng)由濕氣出口 122及濕氣入口 111輸送 至氣體干燥機110之中，以進行冷卻除濕來形成干氣的循環(huán)作用。
此外，由于某些液體S的結(jié)構(gòu)在超過特定溫度時即會遭到破壞(例如， 光致抗蝕劑的結(jié)構(gòu)在超過40°C時即會遭到破壞)，故設(shè)置于傾斜密閉腔體120 的千氣入口 121中的溫度感測器150可將感測到的干氣溫度傳送至氣體干燥 機110之中，以使氣體干燥機IIO控制所輸出的干氣的溫度不致于過高而破 壞液體S的結(jié)構(gòu)。
9如上所述，整個液體濃縮回收系統(tǒng)100可持續(xù)不斷運作，直到收集容器
130中的液體S的濃縮目標達到所需要求時為止。
此外，為了更加增進液體S的濃縮回收效率，液體濃縮回收系統(tǒng)100亦 可選擇性地包括有多個并聯(lián)的傾斜密閉腔體120。同樣地，每一個傾斜密閉 腔體120的干氣入口 121皆是連接于氣體干燥機110的干氣出口 112，每一 個傾斜密閉腔體120的濕氣出口 122皆是連接于氣體干燥機110的濕氣入口 111,每一個傾斜密閉腔體120的回流入口 123皆是鄰接于其濕氣出口 122 及連接于泵浦140，以及每一個傾斜密閉腔體120的回流出口 124皆是鄰接 于其干氣入口 121及連接于收集容器130。
第二實施例
在本實施例中，與第一實施例相同的元件均標示以相同的符號。
請參閱圖4，本實施例與第一實施例的最大差別是在于本實施例的液體 濃縮回收系統(tǒng)IOO，包括有多個串聯(lián)的傾斜密閉腔體。在此，為了方便說明起 見，本實施例的液體濃縮回收系統(tǒng)100 ，是以兩個彼此串聯(lián)的傾斜密閉腔體(第 一傾斜密閉腔體及第二傾斜密閉腔體)來做舉例說明。
如圖4所示，液體濃縮回收系統(tǒng)IOO，主要包括有氣體干燥機110、第一 傾斜密閉腔體160、第二傾斜密閉腔體170、收集容器130、泵浦140、第一 溫度感測器180及第二溫度感測器190。
氣體干燥機IIO具有濕氣入口 lll及干氣出口 112，其可用來收集濕氣 (潮濕氣體)及輸出干氣(干燥氣體)。同樣地，氣體干燥機IIO內(nèi)可具有能控制 冷排溫度的冷卻裝置(未顯示)及能控制熱排溫度的加熱裝置(未顯示)。因此， 當濕氣經(jīng)由濕氣入口 111進入氣體干燥機110之中后，冷卻裝置可對濕氣進 行冷卻除濕以形成干氣，而干氣隨后即可經(jīng)由干氣出口 112輸出。此外，氣 體干燥機IIO內(nèi)的加熱裝置還可對輸出的干氣進行加熱，以使得輸出的干氣 能具有特定溫度。
第一傾斜密閉腔體160是傾斜于地表面，并且其具有第一干氣入口 161、 第一濕氣出口 162、第一回流入口 163、第一回流出口 164及第一溝槽狀流 動床板165。第一干氣入口 161是相對于第一濕氣出口 162,并且第一干氣 入口 161是連接于氣體干燥機110的干氣出口 112。第一濕氣出口 162是連 接于氣體干燥機110的濕氣入口 111。第一回流入口 163是相對于第一回流 出口 164,并且第一回流入口 163是鄰接于第一濕氣出口 162。第一回流出口 164是鄰接于第一干氣入口 161。第一溝槽狀流動床板165是設(shè)置于第一 回流入口 163與第一回流出口 164之間。同樣地，第一溝槽狀流動床板165 亦具有多個槽谷及多個槽峰，以及多個槽谷及多個槽峰是彼此交錯排列。在 本實施例之中，每一個槽谷的深度、每一個槽谷的寬度與每一個槽峰的寬度 的比值可以是1 5: 3~8: 1 5。舉例來說，每一個槽谷的深度為lmm,每一 個槽谷的寬度為5mm,以及每一個槽峰的寬度為2mm。此外，第一傾斜密 閉腔體160的體積亦可以是介于4000cm3與20000 cn^之間。
第二傾斜密閉腔體170亦是傾斜于地表面，并且其具有第二干氣入口 171、第二濕氣出口 172、第二回流入口 173、第二回流出口 174及第二溝槽 狀流動床板175。第二干氣入口 171是相對于第二濕氣出口 172，并且第二 干氣入口 171亦是連接于氣體干燥機110的干氣出口 112。第二濕氣出口 172 亦是連接于氣體干燥機110的濕氣入口 111。第二回流入口 173是相對于第 二回流出口 174，并且第二回流入口 173是鄰接于第二濕氣出口 172。值得 注意的是，第二回流入口 173乃是連接于第一傾斜密閉腔體160的第一回流 出口 164。第二回流出口 174是鄰接于第二干氣入口 171。第二溝槽狀流動 床板175是設(shè)置于第二回流入口 173與第二回流出口 174之間。同樣地，第 二溝槽狀流動床板175亦具有多個槽谷及多個槽峰，以及多個槽谷及多個槽 峰是彼此交錯排列。在本實施例之中，每一個槽谷的深度、每一個槽谷的寬 度與每一個槽峰的寬度的比值可以是1 5: 3~8: 1~5。舉例來說，每一個槽 谷的深度為lmm，每一個槽谷的寬度為5mm,以及每一個槽峰的寬度為 2mm。此外，第二傾斜密閉腔體170的體積亦可以是介于4000cn^與20000 cm3之間。
收集容器130是連接于第二傾斜密閉腔體170的第二回流出口 174，其 可用來容納欲被濃縮回收的液體S (例如，光致抗蝕劑)。
泵浦140是連接于收集容器130與第 一傾斜密閉腔體160的第 一回流入 口 163之間。
第一溫度感測器180是電性連接于氣體干燥機110，并且第一溫度感測 器180是設(shè)置于第一傾斜密閉腔體160的第一干氣入口 161之中，其可用來 感測輸送至第 一傾斜密閉腔體160中的干氣的溫度。
第二溫度感測器190亦是電性連接于氣體干燥機110，并且第二溫度感 測器190是設(shè)置于第二傾斜密閉腔體170的第二干氣入口 171之中，其可用來感測輸送至第二傾斜密閉腔體170中的干氣的溫度。 4妄下來說明液體濃縮回收系統(tǒng)100，的運作方式。
當名夂濃縮回收液體(例如，光致抗蝕劑)或去除液體(例如，光致抗蝕劑) 中的溶劑或水份時，收集容器130中的液體S是通過泵浦140的輸送而經(jīng)由 第一回流入口 163輸送至第一傾斜密閉腔體160中的第一溝槽狀流動床板 165之上。同樣地，液體S會通過地心引力作用而流過第一溝槽狀流動床板 165。在此，通過控制液體S的流量(例如，0.5L/min至3L/min),使得液體S 僅會流動于第一溝槽狀流動床板165的多個淺槽谷之中，因而形成薄膜狀的 流動。然后，流經(jīng)第一溝槽狀流動床板165的液體S會經(jīng)由第一回流出口 164及第二回流入口 173而輸送至第二傾斜密閉腔體170中的第二溝槽狀流 動床板175之上。同樣地，液體S會通過地心引力作用而流過第二溝槽狀流 動床板175，并且液體S僅會流動于第二溝槽狀流動床板175的多個淺槽谷 之中，因而形成薄膜狀的流動。接著，流過第二溝槽狀流動床板175的液體 S是經(jīng)由第二傾斜密閉腔體170的第二回流出口 174而回流至收集容器130 之中。如上所述，通過泵浦140的連續(xù)輸送運作，即可使得液體S達到連續(xù) 循環(huán)的效果。
在另一方面，氣體干燥機110所輸出的干氣會經(jīng)由干氣出口 112及第一 干氣入口 161輸送至第一傾斜密閉腔體160之中以及經(jīng)由干氣出口 112及第 二干氣入口 171輸送至第二傾斜密閉腔體170之中。同樣地，從氣體干燥機 110所輸出的干氣可先經(jīng)由其內(nèi)的加熱裝置加熱而具有25。C至40。C的溫度， 以及從氣體干燥機110所輸出的干氣在第一傾斜密閉腔體160及第二傾斜密 閉腔體170中可具有1.5m/sec至6.5m/sec的流動速度。此外，值得注意的是， 在第一傾斜密閉腔體160及第二傾斜密閉腔體170之中，干氣的流動方向是 與液體S的流動方向相反。
如上所述，通過具有特定溫度的干氣來吹拂以薄膜狀流動的液體S,液 體S中的水份或溶劑即可快速地被干氣所帶離或移除。
接著，流經(jīng)第一傾斜密閉腔體160的含有水份或溶劑的濕氣會經(jīng)由第一 濕氣出口 162及濕氣入口 111輸送至氣體干燥機110之中，以及流經(jīng)第二傾 斜密閉腔體170的含有水份或溶劑的濕氣會經(jīng)由第二濕氣出口 172及濕氣入 口 111輸送至氣體干燥機110之中，以進行冷卻除濕來形成干氣的循環(huán)作用。
同樣地，由于某些液體S的結(jié)構(gòu)在超過特定溫度時即會遭到破壞(例如，
12光致抗蝕劑的結(jié)構(gòu)在超過40。C時即會遭到破壞)，故設(shè)置于第一傾斜密閉腔 體160的第一干氣入口 161中的第一溫度感測器180及設(shè)置于第二傾斜密閉 腔體170的第二干氣入口 171中的第二溫度感測器190可分別將感測到的干 氣溫度傳送至氣體干燥機110之中，以使氣體干燥機IIO控制所輸出的干氣 的溫度不致于過高而破壞液體S的結(jié)構(gòu)。
如上所述，整個液體濃縮回收系統(tǒng)IOO，可持續(xù)不斷運作，直到收集容器 130中的液體S的濃縮目標達到所需要求時為止。
綜上所述，本發(fā)明所披露的液體濃縮回收系統(tǒng)可具有以下的優(yōu)點
(1) 可控制適當流動的液體(光致抗蝕劑)流量來與吹除溶劑或水份的干 燥氣體接觸，并通過溝槽狀流動床板以形成均勻分布的液體薄膜，因而可有 效解決液體流動分布不均勻的現(xiàn)象，進而可提高濃縮回收的效率。
(2) 由于傾斜密閉腔體及收集容器采用分離式的設(shè)計，故在達到液體濃 縮回收的目標時，通過切換收集容器管線即可達成連續(xù)式量產(chǎn)或運作，進而 還可避免液體接觸外在環(huán)境而受污染。
(3) 由于傾斜密閉腔體(或溝槽狀流動床板)是獨立于氣體干燥機之外， 并且傾斜密閉腔體(或溝槽狀流動床板)可依需求而增加或減少，故其不會受 限于氣體干燥機(或其他冷風濃縮設(shè)備廂體)內(nèi)的空間范圍。
(4) 經(jīng)實驗量測，本發(fā)明所4皮露的液體濃縮回收系統(tǒng)對被濃縮物(液體 S)所提供的濃縮效率約為12.68g/min，其遠高于傳統(tǒng)廂型固定床式冷風濃縮 設(shè)備所提供的2.35g/min以及傳統(tǒng)廂型流動床式冷風濃縮設(shè)備所提供的 6.12g/min。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例披露于上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與潤飾，因 此本發(fā)明的保護范圍當視后附的權(quán)利要求所界定的為準。
權(quán)利要求
1. 一種液體濃縮回收系統(tǒng)，包括氣體干燥機，具有濕氣入口及干氣出口，用以收集濕氣及輸出干氣；至少一傾斜密閉腔體，具有干氣入口、濕氣出口、回流入口、回流出口及溝槽狀流動床板，其中，該干氣入口相對于該濕氣出口，并且連接于該氣體干燥機的該干氣出口，該濕氣出口連接于該氣體干燥機的該濕氣入口，該回流入口相對于該回流出口，并且鄰接于該濕氣出口，該回流出口鄰接于該干氣入口，該溝槽狀流動床板設(shè)置于該回流入口與該回流出口之間，該氣體干燥機所輸出的干氣經(jīng)由該干氣出口及該干氣入口輸送至該傾斜密閉腔體之中，以及流經(jīng)該傾斜密閉腔體的濕氣經(jīng)由該濕氣出口及該濕氣入口輸送至該氣體干燥機之中；收集容器，連接于該傾斜密閉腔體的該回流出口，用以容納液體；以及泵浦，連接于該收集容器與該傾斜密閉腔體的該回流入口之間，其中，該收集容器中的該液體通過該泵浦的輸送而經(jīng)由該回流入口輸送至該傾斜密閉腔體中的該溝槽狀流動床板之上，以及流經(jīng)該溝槽狀流動床板的該液體經(jīng)由該回流出口而回流至該收集容器之中。
2. 如權(quán)利要求1所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，還包括溫度感測器，電性連 接于該氣體干燥機，并且設(shè)置于該傾斜密閉腔體的該干氣入口之中，用以感 測輸送至該傾斜密閉腔體中的干氣的溫度。
3. 如權(quán)利要求1所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，該溝槽狀流動床板具 有多個槽谷及多個槽峰，該等槽谷及該等槽峰交錯排列，以及該液體流動于該等槽谷之中。
4. 如權(quán)利要求2所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，每一槽谷的深度、每 一槽谷的寬度與每一槽峰的寬度的比值為1 5: 3~8: 1~5。
5. —種液體濃縮回收系統(tǒng)，包括氣體干燥機，具有濕氣入口及干氣出口，用以收集濕氣及輸出干氣； 第一傾斜密閉腔體，具有第一干氣入口、第一濕氣出口、第一回流入口、 第一回流出口及第一溝槽狀流動床板，其中，該第一干氣入口相對于該第一 濕氣出口，并且連接于該氣體干燥機的該干氣出口，該第一濕氣出口連接于 該氣體干燥機的該濕氣入口 ，該第一回流入口相對于該第一回流出口 ，并且鄰接于該第一濕氣出口，該第一回流出口鄰接于該第一干氣入口，該第一溝 槽狀流動床板設(shè)置于該第一回流入口與該第一回流出口之間，該氣體干燥機 所輸出的干氣經(jīng)由該干氣出口及該第一干氣入口輸送至該第一傾斜密閉腔 體之中，以及流經(jīng)該第一傾斜密閉腔體的濕氣經(jīng)由該第一濕氣出口及該濕氣入口輸送至該氣體干燥機之中；第二傾斜密閉腔體，具有第二干氣入口、第二濕氣出口、第二回流入口、 第二回流出口及第二溝槽狀流動床板，其中，該第二干氣入口相對于該第二 濕氣出口，并且連接于該氣體干燥機的該干氣出口，該第二濕氣出口連接于 該氣體干燥機的該濕氣入口，該第二回流入口相對于該第二回流出口，并且 鄰接于該第二濕氣出口 ，該第二回流入口連接于該第一傾斜密閉腔體的該第 一回流出口，該第二回流出口鄰接于該第二干氣入口，該第二溝槽狀流動床 板設(shè)置于該第二回流入口與該第二回流出口之間，該氣體干燥機所輸出的干 氣經(jīng)由該干氣出口及該第二干氣入口輸送至該第二傾斜密閉腔體之中，以及 流經(jīng)該第二傾斜密閉腔體的濕氣經(jīng)由該第二濕氣出口及該濕氣入口輸送至 該氣體干燥機之中；收集容器，連接于該第二傾斜密閉腔體的該第二回流出口，用以容納液 體；以及泵浦，連接于該收集容器與該第 一傾斜密閉腔體的該第一回流入口之 間，其中，該收集容器中的該液體通過該泵浦的輸送而經(jīng)由該第一回流入口 輸送至該第一傾斜密閉腔體中的該第一溝槽狀流動床板之上，流經(jīng)該第一溝 槽狀流動床板的該液體經(jīng)由該第一回流出口及該第二回流入口而輸送至該 第二傾斜密閉腔體中的該第二溝槽狀流動床板之上，以及流經(jīng)該第二溝槽狀 流動床4反的該液體經(jīng)由該第二回流出口而回流至該收集容器之中。
6. 如權(quán)利要求5所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，還包括第一溫度感測器及第 二溫度感測器，其中，該第一溫度感測器電性連接于該氣體干燥機，并且設(shè) 置于該第 一傾斜密閉腔體的該第 一干氣入口之中，用以感測輸送至該第 一傾 斜密閉腔體中的干氣的溫度，以及該第二溫度感測器電性連接于該氣體干燥 機，并且設(shè)置于該第二傾斜密閉腔體的該第二干氣入口之中，用以感測輸送 至該第二傾斜密閉腔體中的干氣的溫度。
7. 如權(quán)利要求5所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，該第一溝槽狀流動床 板具有多個槽谷及多個槽峰，該等槽谷及該等槽峰交錯排列，以及該液體流動于該等槽谷之中。
8. 如權(quán)利要求7所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，每一槽谷的深度、每 一槽谷的寬度與每一槽峰的寬度的比值為1~5: 3 8: 1~5。
9. 如權(quán)利要求5所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，該第二溝槽狀流動床 板具有多個槽谷及多個槽峰，該等槽谷及該等槽峰交錯排列，以及該液體流 動于該等槽谷之中。
10. 如權(quán)利要求9所述的液體濃縮回收系統(tǒng)，其中，每一槽谷的深度、每 一槽谷的寬度與每一槽峰的寬度的比值為1 5: 3~8: 1~5。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液體濃縮回收系統(tǒng)，包括氣體干燥機、傾斜密閉腔體、收集容器及泵浦。氣體干燥機具有濕氣入口及干氣出口。傾斜密閉腔體具有干氣入口、濕氣出口、回流入口、回流出口及溝槽狀流動床板。干氣入口相對于濕氣出口，并連接于氣體干燥機的干氣出口。濕氣出口連接于氣體干燥機的濕氣入口?；亓魅肟谙鄬τ诨亓鞒隹?，并鄰接于濕氣出口?；亓鞒隹卩徑佑诟蓺馊肟?。溝槽狀流動床板設(shè)置于回流入口與回流出口之間。收集容器連接于傾斜密閉腔體的回流出口。泵浦連接于收集容器與傾斜密閉腔體的回流入口之間。
文檔編號B01D1/00GK101474488SQ20081000161
公開日2009年7月8日 申請日期2008年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月4日
發(fā)明者朱志弘, 楊炎勝, 沈克鵬, 鄭承熙 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院