專利名稱：一種尾氣處理器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種尾氣處理器，特別是一種用于硅外延反應(yīng)氣體的尾氣 處理裝置，屬晶體硅制備尾氣處理裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
硅外延反應(yīng)氣體的處理過(guò)程中，從硅外延反應(yīng)室出來(lái)的氣體經(jīng)進(jìn)氣口而進(jìn)
入SiHCl3水幕，在和水接觸過(guò)程中，SiHCl3和水反應(yīng)成為二氧化硅和溶于水的 鹽酸，因?yàn)槎趸璨蝗苡谒?，?huì)漂浮在水里或吸附在箱體內(nèi)壁，在循環(huán)水泵 抽水時(shí)，很容易隨水而進(jìn)入泵體，造成泵體堵塞而發(fā)生故障。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種尾氣處理器，通過(guò)對(duì)現(xiàn)有尾氣 處理器的結(jié)構(gòu)改造，減少循環(huán)水泵的磨損及堵塞現(xiàn)象的發(fā)生，延長(zhǎng)其使用壽命， 從而延長(zhǎng)尾氣處理裝置的使用周期。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是 一種尾氣處理器，其結(jié)構(gòu)中包括兩個(gè)相互連通的密閉水箱，水箱頂部設(shè) 置用于處理SiHCl3的水幕和處理HC1的處理塔，水幕上開(kāi)設(shè)進(jìn)氣.口，處理塔上 部連通負(fù)壓管，水幕和處理塔連分別通循環(huán)水泵，負(fù)壓管連通負(fù)壓水泵，循環(huán) 水泵和負(fù)壓水泵的進(jìn)水口連接水箱，在循環(huán)水泵的進(jìn)水口設(shè)置一過(guò)濾器。
本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)在于過(guò)濾器結(jié)構(gòu)中包括 一多孔 腔體，腔體內(nèi)部裝滿起過(guò)濾作用的過(guò)濾圈或過(guò)濾球，
由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型取得的技術(shù)進(jìn)步是 本實(shí)用新型通過(guò)在循環(huán)水泵的前面加一過(guò)濾裝置，從而使固溶物不能進(jìn)入 泵體，減少循環(huán)水泵的磨損及堵塞現(xiàn)象的發(fā)生，延長(zhǎng)其使用壽命，降低設(shè)備維 修率，減少生產(chǎn)成本。


圖l是新型尾氣處理器結(jié)構(gòu)原理示意圖； 圖2是圖1中過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)示意剖視圖。
其中1、出氣口， 2.、循環(huán)水泵，3、負(fù)壓水泵，4、閥門(mén)，5、負(fù)壓管，6、 水箱，7、處理塔，8、水箱，9、進(jìn)氣口， 10、水幕，11、過(guò)濾器，11-1、多孔 腔體，11-2、過(guò)濾3求。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明
如圖1所示，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)包括，兩個(gè)相互連通的密閉水箱6、 8,水箱 6頂部設(shè)置用于處理SiHCl3的水幕10和處理HC1的處理塔7，水幕10上開(kāi)設(shè)進(jìn) 氣口 1,處理塔7上部連通負(fù)壓管5,水幕10和處理塔7分別連通循環(huán)水泵2， 負(fù)壓管5連通負(fù)壓水泵3,循環(huán)水泵2和負(fù)壓水泵3的進(jìn)水口分別連接水箱6、 8，其特征在于在循環(huán)水泵2的進(jìn)水口設(shè)置一過(guò)濾器11。
圖2所示，過(guò)濾器11結(jié)構(gòu)中包括 一多孔腔體11-1,腔體內(nèi)部裝滿起過(guò)濾 作用的過(guò)濾圈或過(guò)濾球11-2。
在尾氣處理過(guò)程中，循環(huán)水泵2的進(jìn)水通過(guò)過(guò)濾器11的過(guò)濾，可有效防止 固溶物進(jìn)入泵體。
權(quán)利要求1、一種尾氣處理器，其結(jié)構(gòu)中包括兩個(gè)相互連通的密閉水箱，水箱頂部設(shè)置用于處理SiHCl3的水幕和處理HCl的處理塔，水幕上開(kāi)設(shè)進(jìn)氣口，處理塔上部連通負(fù)壓管，水幕和處理塔分別連通循環(huán)水泵，負(fù)壓管連通負(fù)壓水泵，循環(huán)水泵和負(fù)壓水泵的進(jìn)水口分別連接水箱，其特征在于在循環(huán)水泵的進(jìn)水口設(shè)置一過(guò)濾器。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理器，其特征在于所述過(guò)濾器結(jié)構(gòu) 中包括一多孔腔體，腔體內(nèi)部裝滿過(guò)濾圈或過(guò)濾球。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種尾氣處理器，特別是一種用于硅外延反應(yīng)氣體的尾氣處理裝置，屬晶體硅制備尾氣處理裝置技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)中包括兩個(gè)相互連通的密閉水箱，水箱頂部設(shè)置用于處理SiHCl₃的水幕和處理HCl的處理塔，水幕上開(kāi)設(shè)進(jìn)氣口，處理塔上部連通負(fù)壓管，水幕和處理塔分別連通循環(huán)水泵，負(fù)壓管連通負(fù)壓水泵，循環(huán)水泵和負(fù)壓水泵的進(jìn)水口分別連接水箱，其特征在于在循環(huán)水泵的進(jìn)水口設(shè)置一過(guò)濾器。該特征可防止固溶物進(jìn)入泵體，減少循環(huán)水泵的磨損及堵塞現(xiàn)象的發(fā)生，延長(zhǎng)其使用壽命，降低設(shè)備維修率，減少生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B01D53/78GK201260933SQ20082010568
公開(kāi)日2009年6月24日 申請(qǐng)日期2008年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月1日
發(fā)明者趙麗霞 申請(qǐng)人:河北普興電子科技股份有限公司