專利名稱：空調(diào)箱及空氣清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及空調(diào)技術(shù)，特別涉及一種空調(diào)箱(MAU)、以及一種空氣清洗裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體加工中的部分工藝需要在無塵室內(nèi)完成，其中，這里所述的無塵主要是指 空氣中的硫化物含量應(yīng)當(dāng)盡可能保持在0. 75納克/升(ng/1)左右。 然而，空氣中實(shí)際的硫化物含量通常會(huì)在20 40ng/l之間，因此，為了保持無塵
室內(nèi)的無塵，就需要在空氣流入至無塵室內(nèi)之前先由空調(diào)箱利用水霧進(jìn)行清洗。 現(xiàn)有用于半導(dǎo)體加工的空調(diào)箱通常包括溫度調(diào)節(jié)裝置、以及與溫度調(diào)節(jié)裝置連通
并利用水霧清洗空氣的空氣清洗裝置。 如圖1所示，現(xiàn)有空調(diào)箱中的空氣清洗裝置包括清洗倉(cāng)10、以及供無塵室外部空 氣流入至清洗倉(cāng)10的入風(fēng)口 11、供空氣從清洗倉(cāng)10流出至無塵室內(nèi)的出風(fēng)口 12。
其中，清洗倉(cāng)10內(nèi)在靠近出風(fēng)口 12的一側(cè)，垂直于空氣流入流出方向順序排列M 個(gè)與加壓泵101連通的入水管102，由于角度關(guān)系，在圖1中僅能夠顯示一個(gè)入水管102，且 每個(gè)入水管102自上至下設(shè)置有N個(gè)朝向入風(fēng)口 11的水霧噴嘴100，即構(gòu)成朝向入風(fēng)口 11 的MXN個(gè)水霧噴嘴陣列，M和N均為大于1的正整數(shù)。 這樣，由加壓泵101為流入至入水管102的水流施加一定的壓力，使得水流自各水 霧噴嘴100噴射在清洗倉(cāng)10內(nèi)部并形成水霧。那么經(jīng)入風(fēng)口 11流入至清洗倉(cāng)10內(nèi)的外 部空氣中的硫化物會(huì)被水霧中的水顆粒吸附，并隨水顆粒下落至清洗倉(cāng)10底部，從而實(shí)現(xiàn) 對(duì)外部空氣的清洗。 此外，由于吸附有硫化物的水顆粒會(huì)下落至清洗倉(cāng)10底部，那么為了避免清洗倉(cāng) 10底部沉積過多的水，清洗倉(cāng)10底部還與排水管103連通。 現(xiàn)有空調(diào)箱中如圖1所示的空氣清洗裝置雖然能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)外部空氣的清洗，但 是，該空氣清洗裝置中的全部水霧噴嘴100均朝向入風(fēng)口 11這一個(gè)方向，從而使得清洗倉(cāng) 10中具有未飄浮水霧的死角，使得部分外部空氣未經(jīng)水霧清洗即通過出風(fēng)口 12流入至無 塵室內(nèi)；而且，現(xiàn)有技術(shù)中也未針對(duì)如何能夠使得水霧有效吸附硫化物而提供加壓泵101 所需要驅(qū)動(dòng)的合理總循環(huán)水量。 這樣，就使得清洗后的空氣中的硫化物含量只能夠降低至約8. 48納克/升，即相 比于清洗前的20 40納克/升，清洗效率、硫化物移除效率只有72%左右。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供了一種空調(diào)箱、以及一種空氣清洗裝置，能夠提高空氣清洗效率。 本發(fā)明提供的一種空調(diào)箱，包括溫度調(diào)節(jié)裝置、以及與溫度調(diào)節(jié)裝置連通并利用 水霧清洗空氣的空氣清洗裝置，其中， 所述空氣清洗裝置包括清洗倉(cāng)、以及供空氣流入至清洗倉(cāng)的入風(fēng)口、供空氣從清
4洗倉(cāng)流出的出風(fēng)口；
其特征在于， 清洗倉(cāng)內(nèi)靠近入風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的一列入水管，且該列中每個(gè)入水 管具有朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴； 清洗倉(cāng)內(nèi)靠近出風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的另一列入水管，且該另一列中每 個(gè)入水管具有朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴。 靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管、以及靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管，均垂直于 清洗倉(cāng)內(nèi)空氣流動(dòng)方向等間隔地排列。 靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管中，每個(gè)入水管朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間等 間隔排列； 且，靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管中，每個(gè)入水管朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴 之間等間隔排列。
A^xG 《Xh所述壓力泵驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水量a =^^><^^ ，其中， Ng為預(yù)設(shè)的硫化物移除效率的統(tǒng)計(jì)指數(shù)；
Ga為自所述入風(fēng)口流入的風(fēng)量； Kg為預(yù)設(shè)的單位空氣質(zhì)流量的硫化物作用系統(tǒng)量；
Vw為所述清洗倉(cāng)的容積； dg為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生滿足預(yù)設(shè)硫化物移除效率的水顆粒大??； Vf為所述水顆粒的平均下落速度； Y s為所述水顆粒的預(yù)設(shè)表面積系數(shù)； n為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的效率。 所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括通過排水管與所述清洗倉(cāng)底部連通的蓄水池，所述
加壓泵自所述蓄水池抽水； 且，所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括 設(shè)置于所述排水管的電導(dǎo)率傳感器； 設(shè)置于所述蓄水池的液位計(jì)； 以及，與所述電導(dǎo)率傳感器和所述液位計(jì)電連接的控制器，該控制器在所述電導(dǎo) 率傳感器輸出的信號(hào)表示所述排水管排出的水的電導(dǎo)率高于預(yù)設(shè)第一閾值時(shí)，控制所述蓄 水池連通至外部排泄口的排水閥開啟；在所述液位計(jì)輸出的信號(hào)表示所述蓄水池內(nèi)的水量 低于預(yù)設(shè)第二閾值時(shí)，控制所述蓄水池連通自外部供水系統(tǒng)的補(bǔ)水閥開啟。
本發(fā)明提供的一種空氣清洗裝置，包括清洗倉(cāng)、以及供空氣流入至清洗倉(cāng)的入風(fēng) 口、供空氣從清洗倉(cāng)流出的出風(fēng)口 ； 清洗倉(cāng)內(nèi)靠近入風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的一列入水管，且該列中每個(gè)入水 管具有朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴； 清洗倉(cāng)內(nèi)靠近出風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的另一列入水管，且該另一列中每 個(gè)入水管具有朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴。 靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管、以及靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管，均垂直于 清洗倉(cāng)內(nèi)空氣流動(dòng)方向等間隔地排列。
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靠近入風(fēng)口 一例的一列入水管中，每個(gè)入水管朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間等 間隔排列； 且，靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管中，每個(gè)入水管朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴 之間等間隔排列。
所述壓力泵驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水量a -"^rx^f ，其中， Ng為預(yù)設(shè)的硫化物移除效率的統(tǒng)計(jì)指數(shù)；
Ga為自所述入風(fēng)口流入的風(fēng)量； Kg為預(yù)設(shè)的單位空氣質(zhì)流量的硫化物作用系統(tǒng)量；
Vw為所述清洗倉(cāng)的容積； dg為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生滿足預(yù)設(shè)硫化物移除效率的水顆粒大小； Vf為所述水顆粒的平均下落速度； Y s為所述水顆粒的預(yù)設(shè)表面積系數(shù)； n為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的效率。 所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括通過排水管與所述清洗倉(cāng)底部連通的蓄水池，所述
加壓泵自所述蓄水池抽水； 且，所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括 設(shè)置于所述排水管的電導(dǎo)率傳感器； 設(shè)置于所述蓄水池的液位計(jì)； 以及，與所述電導(dǎo)率傳感器和所述液位計(jì)電連接的控制器，該控制器在所述電導(dǎo)
率傳感器輸出的信號(hào)表示所述排水管排出的水的電導(dǎo)率高于預(yù)設(shè)第一閾值時(shí)，控制所述蓄
水池連通至外部排泄口的排水閥開啟；在所述液位計(jì)輸出的信號(hào)表示所述蓄水池內(nèi)的水量
低于預(yù)設(shè)第二閾值時(shí)，控制所述蓄水池連通自外部供水系統(tǒng)的補(bǔ)水閥開啟。 由上述技術(shù)方案可見，在本發(fā)明中，空氣清洗裝置的清洗倉(cāng)在靠近入風(fēng)口一側(cè)設(shè)
置一列具有朝向出風(fēng)口方向的水霧噴嘴的入水管、在靠近出風(fēng)口一側(cè)設(shè)置另一列具有朝向
入風(fēng)口方向的水霧噴嘴的入水管，由于兩列入水管的水霧噴嘴的噴水方向沿著空氣流動(dòng)路
徑相對(duì)，因而能夠在從入風(fēng)口流入至出風(fēng)口的路徑上基本不會(huì)存在未飄浮水霧的死角，即
減少清洗倉(cāng)中未飄浮水霧的死角，從而減少未經(jīng)水霧清洗即通過出風(fēng)口流入至無塵室內(nèi)的
空氣流量，進(jìn)而提高空氣清洗效率。 而且，本發(fā)明還可以針對(duì)如何能夠使得水霧有效吸附硫化物，提供加壓泵所驅(qū)動(dòng) 的具體的總循環(huán)水量，以保證水霧中盡可能多地包含更易吸附空氣中硫化物的水顆粒，進(jìn)
一步提高空氣清洗效率。


圖1為現(xiàn)有空氣清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明實(shí)施例中空氣清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對(duì)
6本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。 在本發(fā)明中，設(shè)置清洗倉(cāng)中的各水霧噴嘴分別朝向不同的方向，而不是都只朝向 入風(fēng)口這一個(gè)方向，以減少清洗倉(cāng)中未飄浮水霧的死角。此外，本發(fā)明還針對(duì)如何能夠使得 水霧有效吸附硫化物，而提供了水霧噴嘴的合理噴水量。 圖2為本發(fā)明實(shí)施例中空氣清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí)施例中空調(diào)箱 中的空氣清洗裝置包括清洗倉(cāng)20、以及供無塵室外部空氣流入至清洗倉(cāng)20的入風(fēng)口 21、 供空氣從清洗倉(cāng)20流出至無塵室內(nèi)的出風(fēng)口 22。 清洗倉(cāng)20內(nèi)靠近入風(fēng)口 21 —側(cè)的預(yù)設(shè)第一位置，垂直于空氣流入流出的方向 (即垂直于清洗倉(cāng)20內(nèi)第一位置處的空氣流動(dòng)方向)、且等間隔地順序排列有與加壓泵201 連通的一列P個(gè)入水管202a ;每個(gè)入水管202a自上至下等間隔地設(shè)置有R個(gè)朝向出風(fēng)口 22的水霧噴嘴200a，即構(gòu)成朝向出風(fēng)口 22的一個(gè)PXR水霧噴嘴陣列，P和R均為大于1的 正整數(shù)。 清洗倉(cāng)20內(nèi)靠近出風(fēng)口 22 —側(cè)的預(yù)設(shè)第二位置，垂直于空氣流入流出方向(即 垂直于清洗倉(cāng)20內(nèi)第二位置處的空氣流動(dòng)方向)、且等間隔地還順序排列有與加壓泵201 連通的另一列Q個(gè)入水管202b ;每個(gè)入水管202b自上至下等間隔地設(shè)置有S個(gè)朝向入風(fēng) 口 21的水霧噴嘴200b，即構(gòu)成朝向入風(fēng)口 22的另一個(gè)QXS水霧噴嘴陣列，Q和S均為大 于1的正整數(shù)。 需要說明的是，由于角度關(guān)系，在圖2中僅能夠顯示一個(gè)入水管202a和一個(gè)入水 管202b ;且圖2中僅僅是以R和S取5為例。 這樣，由加壓泵201為流入至入水管202a和入水管202b的水流施加一定的壓力， 使得水流自各水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b噴射在清洗倉(cāng)20內(nèi)部并形成水霧。那么經(jīng) 入風(fēng)口 21流入至清洗倉(cāng)20內(nèi)的外部空氣中的硫化物會(huì)被水霧中的水顆粒吸附，并隨水顆 粒下落至清洗倉(cāng)20底部，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)外部空氣的清洗。 且，由于PXR水霧噴嘴陣列的噴射方向朝向出風(fēng)口 22、QXS水霧噴嘴陣列的噴射 方向與其相對(duì)地朝向入風(fēng)口 21方向，因此，在從入風(fēng)口 21流入至出風(fēng)口 22的路徑上基本 不會(huì)存在未飄浮水霧的死角，從而能夠提高清洗效率。 當(dāng)然，上述的所有"等間隔排列"并非必須，僅僅是為了使得PXR水霧噴嘴陣列、 以及QXS水霧噴嘴陣列的分布更為均勻，以更加有效地避免從入風(fēng)口 21流入至出風(fēng)口 22 的路徑上存在未飄浮水霧的死角而已。 而且，本實(shí)施例還針對(duì)如何能夠使得水霧有效地吸附硫化物，為上述空氣清洗裝 置提供了加壓泵201所驅(qū)動(dòng)的具體的總循環(huán)水量，以保證水霧中盡可能多地包含更易吸附 空氣中硫化物的水顆粒，進(jìn)一步提高空氣清洗效率。 1)、首先需要確定水霧中的水顆粒能夠吸附硫化物的有效水面積比系數(shù)，該有效
水面積比系數(shù)"-^^r，其中， Ng為預(yù)設(shè)的硫化物移除效率的統(tǒng)計(jì)指數(shù)，預(yù)設(shè)的硫化物移除效率等于1-6~ ;
Ga為自入風(fēng)口 21流入的風(fēng)量，Ga可以通過"(單位時(shí)間流入清洗倉(cāng)20的空氣體X 空氣密度)/氣的平均分子量"換算得到，且Ga的物理單位可以為千摩爾/小時(shí)、即kmo1/ hr，或摩爾/秒、即mol/s等；
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則確定有效水面積比系數(shù)"= ，,,—3nl_—、" 0j = 1 L23 Kg為預(yù)設(shè)的單位空氣質(zhì)流量的硫化物作用系統(tǒng)量，Kg可以為根據(jù)各種統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來
設(shè)置，由于Kg為本領(lǐng)域技術(shù)人員所知曉的現(xiàn)有參數(shù)，因此Kg的具體設(shè)置方式在此不再贅述，
且Kg的物理單位可以為千摩爾/ (立方米 小時(shí))、即kmol/ (m3 hr)等； Vw為清洗倉(cāng)20的容積，即空氣與水霧的有效接觸體積，對(duì)于立方體形狀的清洗倉(cāng)
來說，其容積就是長(zhǎng)X高X寬。 假設(shè) 基于如圖2所示結(jié)構(gòu)，需要相比于現(xiàn)有技術(shù)的72%，將硫化物移除效率提高至
90%，則Ng取2. 3 ; 63取2680kmol/hr ; 以硫化物為二氧化硫?yàn)槔?，Kg取59kmo1/ (m3 hr)等；
Vw取12.768m3;
2.3x3680^mo〃/;r 59/tmo〃(m3C^)xl2.768mJ
2)、其次需要依據(jù)有效水面積比系數(shù)a，確定所有水霧噴嘴200a和水霧 噴嘴200b所產(chǎn)生水霧中，能夠?qū)嶋H吸附空氣中硫化物的有效水量，該有效水量 《xvvVV。xG" 《Xvf
K&《 ^ 八T， dg為水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b能夠產(chǎn)生滿足預(yù)設(shè)硫化物移除效率的水顆粒 大小，dg通常小于500微米(ii m)、且取決于水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b的實(shí)際物理特 性，當(dāng)然dg越小、水顆粒越容易吸附硫化物； vf為大小為《的水顆粒在清洗倉(cāng)20內(nèi)的平均下落速度，Vf可以通過實(shí)際測(cè)量得 到，且Vf的物理單位可以為米/秒； Y s為大小為dg的水顆粒的預(yù)設(shè)表面積系數(shù)，Y s可以根據(jù)各種統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來設(shè)定， 由于Ys為本領(lǐng)域技術(shù)人員所知曉的現(xiàn)有參數(shù)，因而具體設(shè)置方式在此不再贅述，且Ys的 物理單位為1/米，即l/m。
假設(shè) dg取500 ii m、vf取1. 2m/s、 Y s取6，且基于之前的假設(shè)，確定有效水面積比系數(shù)a 取11. 23， 則有效水量込- 11.23x00005mXl.2/""= 0.001123w3 〃 = 4.04m3 /Ar 。
6(1 / m) 3)、最后再依據(jù)有效水量確定加壓泵201所驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水量，該總循環(huán)水量
<formula>formula see original document page 8</formula> n為水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的效率，n取 決于水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b的實(shí)際物理特性。 假設(shè)，n取4% ，且基于之前的假設(shè)，確定有效水量取4. 04mVhr， 則該總循環(huán)水量<formula>formula see original document page 8</formula> 也就是說，本實(shí)施例中壓力泵201驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水量Q,，即可依據(jù)公式<formula>formula see original document page 9</formula>
來設(shè)定。 由此一來，只要設(shè)定l-e 為高于現(xiàn)有硫化物移除效率的任意值，那么基于如圖2
所示結(jié)構(gòu)、以及上述總循環(huán)水量Q,，即可在理論上得到該任意值的硫化物移除效率、即空氣 清洗效率。 那么確定了總循環(huán)水量Qz，即可選定能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的水霧噴嘴作為 水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b ，并根據(jù)選定的水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b的物理特性 所決定的單個(gè)水霧噴嘴噴水量，確定實(shí)際需要的水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b數(shù)量。
假設(shè)，水霧噴嘴200a和水霧噴嘴200b的單個(gè)水霧噴嘴噴水量均為600Kg/hr、即 0. 6mVhr，且基于之前的假設(shè)，確定總循環(huán)水量Qz為101m3/hr，則需要總共169個(gè)水霧噴嘴 200a和水霧噴嘴200b 。 當(dāng)然，如果清洗倉(cāng)20在入風(fēng)口 21與出風(fēng)口 22之間的長(zhǎng)度足夠、以滿足空氣與水 霧在清洗倉(cāng)20內(nèi)入風(fēng)口 21與出風(fēng)口 22之間的接觸長(zhǎng)度大于800米，則能夠再進(jìn)一步地提 高硫化物移除效率、即空氣清洗效率。 按照上述假設(shè)的各參數(shù)具體取值，同時(shí)還滿足空氣與水霧在清洗倉(cāng)20內(nèi)入風(fēng)口 21與出風(fēng)口 22之間的接觸長(zhǎng)度大于800米，并基于如圖2所示結(jié)構(gòu)、以及上述總循環(huán)水量 Qz，經(jīng)實(shí)驗(yàn)測(cè)得的硫化物移除效率如表1所示。
實(shí)驗(yàn)次數(shù)清洗前空氣中的 硫化物含量(ng/1)清洗后空氣中的 硫化物含量(ng/1)實(shí)際測(cè)得的硫化 物移除效率
116. 031. 6090%
221. 231. 3893%
319. 74.08696%
413. 421. 3390%
521. 181. 6492%
平均值92% 表1 由表1可見，基于如圖2所示結(jié)構(gòu)、以及上述總循環(huán)水量Qz，能夠進(jìn)一步明顯地提 高硫化物移除效率。 且，經(jīng)實(shí)驗(yàn)測(cè)得，以其他方式設(shè)置清洗倉(cāng)中的各水霧噴嘴分別朝向不同的方向，并 提高清洗效率的效果并不明顯；即便設(shè)置更多列的入水管，其提高清洗效率的效果基本相 同，即沒有明顯提高，只是可以在入水管202a和入水管202b、各水霧噴嘴200a和水霧噴嘴 200b無法分擔(dān)加壓泵201所提供的水壓時(shí)，再增加至少一列水霧噴嘴朝向任意方向的入水
9管。 實(shí)際應(yīng)用中，為了防止清洗倉(cāng)20內(nèi)的水霧飄浮至清倉(cāng)外，即保證清洗倉(cāng)20內(nèi)易吸 附硫化物的水粒子飄浮至清倉(cāng)外，入風(fēng)口 21和出風(fēng)口 22均可設(shè)置僅允許氣體穿過的擋水 板，再進(jìn)一步地提高硫化物移除效率。 此外，由于吸附有硫化物的水顆粒會(huì)下落至清洗倉(cāng)20底部，那么為了避免清洗倉(cāng) 20底部沉積過多的水，清洗倉(cāng)20底部還與排水管203連通，以將吸附有硫化物的水排出。
相應(yīng)地，如圖2所示的空氣清洗裝置還可進(jìn)一步包括通過排水管203與清洗倉(cāng) 20底部連通的蓄水池204，用以容納吸附有硫化物的水。 實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)空氣實(shí)現(xiàn)清洗并吸附有硫化物的水中，硫化物的含量可能會(huì)比較 低，即吸附有硫化物的水仍可重復(fù)利用、并實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣的清洗，即相比于加壓泵201從外部 的供水系統(tǒng)抽取未清洗過空氣的清潔水，重復(fù)利用吸附有硫化物的水可節(jié)省水資源。
那么此時(shí)，如圖2所示，本實(shí)施例中的空氣清洗裝置中，加壓泵201可以不從外部 的供水系統(tǒng)抽取未清洗過空氣的清潔水，而是可自蓄水池204抽水、以對(duì)空氣實(shí)現(xiàn)清洗并 吸附有硫化物的水重復(fù)利用。 相應(yīng)地，如圖2所示，可選地，該空氣清洗裝置中還可進(jìn)一步包括 設(shè)置于排水管的電導(dǎo)率傳感器205，用以檢測(cè)排水管203排出的水的電導(dǎo)率是否
高于預(yù)設(shè)的表示水中硫含量飽和的第一閾值，以檢測(cè)到，從而避免對(duì)其重復(fù)利用。 以及與電導(dǎo)率傳感器205電連接的控制器206，該控制器206在電導(dǎo)率傳感器205
輸出的信號(hào)表示排水管203排出的水的電導(dǎo)率高于預(yù)設(shè)第一閾值時(shí)，獲知對(duì)空氣實(shí)現(xiàn)清洗
并吸附有硫化物的水中、由于硫化物含量過高而無法再次實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣的有效清洗，并控制
蓄水池204連通至外部排泄口的排水閥(圖中未示出)開啟，從而使得自排水管203排出、
并收容于蓄水池204中的廢水被排泄到外部。 當(dāng)然，如果蓄水池204中的廢水被排出，那么加壓泵201就可能無法自蓄水池204
中抽取到滿足需要的總循環(huán)水量的水，因而還需要實(shí)現(xiàn)對(duì)蓄水池204補(bǔ)水。 由此，如圖2所示，可選地，該空氣清洗裝置中還可進(jìn)一步包括設(shè)置于蓄水池204
的液位計(jì)207，用以檢測(cè)蓄水池204中的水位是否低于能夠滿足加壓泵201額定的總循環(huán)水
量的水位的第二閾值。 且，控制器206還與液位計(jì)207電連接的控制器，并在液位計(jì)207輸出的信號(hào)表示 蓄水池內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)第二閾值時(shí)，控制蓄水池204連通自外部供水系統(tǒng)的補(bǔ)水閥(圖 中未示出)開啟。 實(shí)際應(yīng)用中，考慮到對(duì)加壓電機(jī)201的保護(hù)，加壓電機(jī)201通常都是位于清洗倉(cāng)20 外部例如電機(jī)室等與潮濕空氣隔離之處；可選地，本實(shí)施例還可在加壓電機(jī)201下方墊一 水盤(圖中未示出)、用以收容加壓電機(jī)201泄露出的水并排放至遠(yuǎn)離該加壓電機(jī)201的外 部，從而降低了加壓電機(jī)201受潮濕空氣影響而發(fā)生故障，從而提高空氣清洗裝置的可靠 性。 上述空氣清洗裝置可設(shè)置在現(xiàn)有用于半導(dǎo)體加工的空調(diào)箱內(nèi)，也可設(shè)置于其他用 途的設(shè)備中。如果如圖2所示的空氣清洗裝置設(shè)置在上述空調(diào)箱內(nèi)，則該空調(diào)箱內(nèi)的溫度 調(diào)節(jié)裝置可設(shè)置在該的空氣清洗裝置的入風(fēng)口 21或出風(fēng)口 22內(nèi)。 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換以及改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種空調(diào)箱，包括溫度調(diào)節(jié)裝置、以及與溫度調(diào)節(jié)裝置連通并利用水霧清洗空氣的空氣清洗裝置，其中，所述空氣清洗裝置包括清洗倉(cāng)、以及供空氣流入至清洗倉(cāng)的入風(fēng)口、供空氣從清洗倉(cāng)流出的出風(fēng)口；其特征在于，清洗倉(cāng)內(nèi)靠近入風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的一列入水管，且該列中每個(gè)入水管具有朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴；清洗倉(cāng)內(nèi)靠近出風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的另一列入水管，且該另一列中每個(gè)入水管具有朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴。
2. 如權(quán)利要求1所述的空調(diào)箱，其特征在于，靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管、以及靠近 出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管，均垂直于清洗倉(cāng)內(nèi)空氣流動(dòng)方向等間隔地排列。
3. 如權(quán)利要求2所述的空調(diào)箱，其特征在于，靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管中，每個(gè)入水管朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間等間隔 排列；且，靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管中，每個(gè)入水管朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間 等間隔排列。
4. 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的空調(diào)箱，其特征在于，所述壓力泵驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水 暈a-"1~~^，苴中，Ng為預(yù)設(shè)的硫化物移除效率的統(tǒng)計(jì)指數(shù)； Ga為自所述入風(fēng)口流入的風(fēng)量；Kg為預(yù)設(shè)的單位空氣質(zhì)流量的硫化物作用系統(tǒng)量； Vw為所述清洗倉(cāng)的容積；dg為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生滿足預(yù)設(shè)硫化物移除效率的水顆粒大小； vf為所述水顆粒的平均下落速度； Y s為所述水顆粒的預(yù)設(shè)表面積系數(shù)； n為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的效率。
5. 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的空調(diào)箱，其特征在于，所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包 括通過排水管與所述清洗倉(cāng)底部連通的蓄水池，所述加壓泵自所述蓄水池抽水；且，所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括 設(shè)置于所述排水管的電導(dǎo)率傳感器； 設(shè)置于所述蓄水池的液位計(jì)；以及，與所述電導(dǎo)率傳感器和所述液位計(jì)電連接的控制器，該控制器在所述電導(dǎo)率傳 感器輸出的信號(hào)表示所述排水管排出的水的電導(dǎo)率高于預(yù)設(shè)第一閾值時(shí)，控制所述蓄水池 連通至外部排泄口的排水閥開啟；在所述液位計(jì)輸出的信號(hào)表示所述蓄水池內(nèi)的水量低于 預(yù)設(shè)第二閾值時(shí)，控制所述蓄水池連通自外部供水系統(tǒng)的補(bǔ)水閥開啟。
6. —種空氣清洗裝置，包括清洗倉(cāng)、以及供空氣流入至清洗倉(cāng)的入風(fēng)口、供空氣從清 洗倉(cāng)流出的出風(fēng)口；其特征在于，清洗倉(cāng)內(nèi)靠近入風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的一列入水管，且該列中每個(gè)入水管具有朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴；清洗倉(cāng)內(nèi)靠近出風(fēng)口一側(cè)排列有與加壓泵連通的另一列入水管，且該另一列中每個(gè)入 水管具有朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴。
7. 如權(quán)利要求6所述的空氣清洗裝置，其特征在于，靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管、以及靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管，均垂直于清洗倉(cāng)內(nèi)空氣流動(dòng)方向等間隔地排列。
8. 如權(quán)利要求7所述的空氣清洗裝置，其特征在于，靠近入風(fēng)口一側(cè)的一列入水管中，每個(gè)入水管朝向出風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間等間隔 排列；且，靠近出風(fēng)口一側(cè)的另一列入水管中，每個(gè)入水管朝向入風(fēng)口的若干水霧噴嘴之間 等間隔排列。
9. 如權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的空氣清洗裝置，其特征在于，所述壓力泵驅(qū)動(dòng)的總循環(huán)水量2z = ~^~~~^ ,苴中，Ng為預(yù)設(shè)的硫化物移除效率的統(tǒng)計(jì)指數(shù)； Ga為自所述入風(fēng)口流入的風(fēng)量；Kg為預(yù)設(shè)的單位空氣質(zhì)流量的硫化物作用系統(tǒng)量； Vw為所述清洗倉(cāng)的容積；dg為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生滿足預(yù)設(shè)硫化物移除效率的水顆粒大??； vf為所述水顆粒的平均下落速度；Y s為所述水顆粒的預(yù)設(shè)表面積系數(shù)；n為所述水霧噴嘴能夠產(chǎn)生大小為dg的水顆粒的效率。
10. 如權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的空氣清洗裝置，其特征在于，所述空氣清洗裝置 進(jìn)一步包括通過排水管與所述清洗倉(cāng)底部連通的蓄水池，所述加壓泵自所述蓄水池抽水；且，所述空氣清洗裝置進(jìn)一步包括 設(shè)置于所述排水管的電導(dǎo)率傳感器； 設(shè)置于所述蓄水池的液位計(jì)；以及，與所述電導(dǎo)率傳感器和所述液位計(jì)電連接的控制器，該控制器在所述電導(dǎo)率傳 感器輸出的信號(hào)表示所述排水管排出的水的電導(dǎo)率高于預(yù)設(shè)第一閾值時(shí)，控制所述蓄水池 連通至外部排泄口的排水閥開啟；在所述液位計(jì)輸出的信號(hào)表示所述蓄水池內(nèi)的水量低于 預(yù)設(shè)第二閾值時(shí)，控制所述蓄水池連通自外部供水系統(tǒng)的補(bǔ)水閥開啟。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種空調(diào)箱以及空氣清洗裝置。在本發(fā)明中，空氣清洗裝置的清洗倉(cāng)在靠近入風(fēng)口一側(cè)設(shè)置一列具有朝向出風(fēng)口方向的水霧噴嘴的入水管、在靠近出風(fēng)口一側(cè)設(shè)置另一列具有朝向入風(fēng)口方向的水霧噴嘴的入水管，由于兩列入水管的水霧噴嘴的噴水方向沿著空氣流動(dòng)路徑相對(duì)，因而在從入風(fēng)口流入至出風(fēng)口的路徑上基本不會(huì)存在未飄浮水霧的死角，減少未經(jīng)水霧清洗即通過出風(fēng)口流入至無塵室內(nèi)的空氣流量，提高空氣清洗效率。而且，本發(fā)明還可以針對(duì)如何能夠使得水霧有效吸附硫化物，提供加壓泵所驅(qū)動(dòng)的具體的總循環(huán)水量，進(jìn)而可以確定各水霧噴嘴的合理噴水量，以保證水霧中盡可能多地包含更易吸附空氣中硫化物的水顆粒，進(jìn)一步提高空氣清洗效率。
文檔編號(hào)B01D47/06GK101782254SQ20091004559
公開日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者顧小劍 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司