專利名稱：超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備，特別是其配套的導(dǎo)入器。
背景技術(shù)：
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學(xué)性質(zhì)分析和宇宙開 發(fā)的基本環(huán)境。為了實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，離不開 對(duì)樣品的傳輸和操縱。樣品在傳輸和操縱過程中，由于真空設(shè)備要求 的密封性高，操縱都需要在大氣側(cè)進(jìn)行，很多情況樣品需要按軸線圓 周運(yùn)動(dòng)導(dǎo)入，而且在驅(qū)動(dòng)時(shí)要保證真空設(shè)備與驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入器的密封性 能，以保證真空環(huán)境，目前的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入裝置驅(qū)動(dòng)復(fù)雜，精度有待提高， 而且均是剛性部件，密封性能差。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種超高真空旋轉(zhuǎn) 導(dǎo)入器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，旋轉(zhuǎn)的角度和方向無限制，密封效果佳。
本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是超高真空旋轉(zhuǎn) 導(dǎo)入器，外管內(nèi)裝有波紋管、驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒，驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒均由 軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管一端焊接在可動(dòng)法蘭 上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭上，真空設(shè)備連接法蘭固定裝有 外管一端，且中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸，外管另一端通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動(dòng) 法蘭兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸和 導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同軸心。
所述真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成， 軸套一端連接法蘭板，另一端連接外筒連接套，外筒連接套通過固定 法蘭與外管固定連接。
所述驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手，把手上裝有定位螺釘。 本實(shí)用新型超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器是實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中樣品精 確旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的重要手段。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒平行軸心 線一體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，輕松實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，采用成型波紋管端頭可動(dòng)法蘭在大
氣和真空一側(cè)分別安裝一個(gè)軸承，起到內(nèi)外旋轉(zhuǎn)傳遞的目的，波紋管 密封效果佳，使得旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)順暢、自由，和真空接觸的部件全部采用 不銹鋼材料，達(dá)到放出氣體少的要求，有利于維持超高真空，可耐高 溫烘烤，而且旋轉(zhuǎn)角度位置可以控制，采用金屬刀口法蘭，適合超高 真空的密封。


圖l是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型真空設(shè)備連接法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型可動(dòng)法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)桿結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是本實(shí)用新型導(dǎo)入棒結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1導(dǎo)入棒；2真空設(shè)備連接法蘭；3固定法蘭；4可動(dòng)法蘭；5外管；6把手；7定位螺釘；8驅(qū)動(dòng)桿；9軸承；10波紋管； ll導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸；12導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸；13法蘭板；14軸套；15外筒 連接套；16驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸；17驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸。
具體實(shí)施方式
如圖1所示的超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，外管5內(nèi)裝有波紋管10、 驅(qū)動(dòng)桿8和導(dǎo)入棒1，驅(qū)動(dòng)桿8和導(dǎo)入棒1均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸 和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管一端焊接在可動(dòng)法蘭4上，另一端焊接在 真空設(shè)備連接法蘭2上，真空設(shè)備連接法蘭由法蘭板13、軸套14和 外筒連接套15 —體構(gòu)成，軸套一端連接法蘭板，另一端連接外筒連 接套，外筒連接套通過固定法蘭3與外管焊接固定，真空設(shè)備連接法 蘭2中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸11，外管另一端通過軸承9 安裝驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸16，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動(dòng) 法蘭4兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸 17和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸12，驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同軸心，驅(qū)動(dòng) 桿自轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手6，操作方便，把手6上裝有定位螺釘7， 旋轉(zhuǎn)到設(shè)定位置后旋緊定位螺釘。
使用時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)把手，通過旋轉(zhuǎn)把手使驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)驅(qū)動(dòng) 桿繞轉(zhuǎn)軸以自轉(zhuǎn)軸軸心線為中心繞轉(zhuǎn)，可動(dòng)法蘭和波紋管隨驅(qū)動(dòng)桿繞 轉(zhuǎn)，同時(shí)可動(dòng)法蘭帶動(dòng)導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸繞轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)超高真空內(nèi)部的導(dǎo)入 棒自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，波紋管和可動(dòng)法蘭實(shí)現(xiàn)超高真空和外部空氣的分離。
權(quán)利要求1、超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，其特征是超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，外管內(nèi)裝有波紋管、驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒，驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管一端焊接在可動(dòng)法蘭上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭上，真空設(shè)備連接法蘭固定裝有外管一端，且中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸，外管另一端通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動(dòng)法蘭兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同軸心。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，其特征是真 空設(shè)備連接法蘭由法蘭板、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成，軸套一端連 接法蘭板，另一端連接外筒連接套，外筒連接套通過固定法蘭與外管 固定連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，其特征是 驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手，把手上裝有定位螺釘。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，外管內(nèi)裝有波紋管、驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒，驅(qū)動(dòng)桿和導(dǎo)入棒均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管一端焊接在可動(dòng)法蘭上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭上，真空設(shè)備連接法蘭固定裝有外管一端，且中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸，外管另一端通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)桿自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動(dòng)法蘭兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承安裝驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動(dòng)桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同軸心。本實(shí)用新型超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器是實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中樣品精確旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的重要手段。
文檔編號(hào)B01J3/02GK201384944SQ20092001104
公開日2010年1月20日 申請(qǐng)日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請(qǐng)人:大連齊維科技發(fā)展有限公司