專利名稱：一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方 法。
背景技術(shù)：
在多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，在氫氣壓縮機壓力填料外側(cè)通入電解氫，從而起到阻止工 藝介質(zhì)氣體經(jīng)氣缸填料箱和活塞桿之間的縫隙泄漏的作用，此處電解氫在工業(yè)中稱為氫氣 壓縮機氫氣密封氣體，即氫封。這部分氣體在經(jīng)壓縮機后主要成分是氫氣、氯化氫和少量的 氯硅烷。在現(xiàn)有技術(shù)中(美國CDI公司)，活塞式氫壓機泄漏出的氣體含有固體顆粒(填料) 和腐蝕性氣體(HCl和氯硅烷)，以及氫氣易燃易爆，回收不易，氫封出口氣體從壓縮機排出 后作為廢氣，送往回收工序PSV (安全閥)收集罐，經(jīng)堿液對其中的酸性成分進行中和處理， 氫氣排空。浪費掉的氫氣增加了生產(chǎn)成本。且氯硅烷與堿液發(fā)生放熱反應(yīng)，產(chǎn)生的熱量經(jīng) 常會使得氫氣爆燃，對安全生產(chǎn)帶來一定的威脅，并造成環(huán)境污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方 法，可以回收氫氣壓縮機氫封出口氣體，減少環(huán)境污染。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種氫氣壓縮機氫封出口氣 體回收利用的方法，包括以下步驟從氫壓機氫封出口來的氫封氣體經(jīng)增壓后，與尾氣回收 裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端；
通過上述步驟實現(xiàn)氫壓機氫封氣的回收利用。氫封氣體經(jīng)增壓前設(shè)有過濾步驟。在氫封氣體增壓前設(shè)有進口緩沖罐。在氫封氣體經(jīng)增壓后設(shè)有后冷卻器和出口緩沖器。增壓后的氫封氣體壓強為0. 4 0. 5 MPaG。本發(fā)明提供的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，將現(xiàn)有技術(shù)中排入 大氣中的氫封氣體，引入到尾氣回收裝置，實現(xiàn)回收利用，可以有效改善現(xiàn)場環(huán)境，減少安 全隱患、節(jié)約生產(chǎn)成本。


下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明 圖1是本發(fā)明的工藝流程示意圖。圖2是氫氣壓縮機的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1，氫壓機氫封出口 ；2，進口過濾器；3，進口緩沖罐；4，隔膜壓縮機； 5，后冷卻器；6，出口緩沖器；7，低壓冷凝端；8，冷凝后的多晶硅尾氣；
9，壓縮后的多晶硅尾氣；10，氫封氣入口 ；11，活塞；12，氫封氣出口 ；13，壓力填料。
具體實施例方式在現(xiàn)有技術(shù)中，如圖2所示，經(jīng)氫氣壓縮機入口的冷凝后的多晶硅尾氣8壓強為 0. 4 0. 5MPaG,經(jīng)活塞11壓縮后的多晶硅尾氣9壓強為1. 2MPaG,為避免工藝介質(zhì)氣體經(jīng) 氣缸填料箱和活塞桿之間的縫隙泄漏，在壓力填料13外側(cè)從氫封氣入口 10充入電解氫，即 氫封氣，壓強為0. 2MPaG，從氫封氣出口 12排出到大氣，壓強為0. 02MPaG?；厥展ば蛭矚饣厥昭b置是利用物質(zhì)的沸點不同來初步分離氫氣、氯化氫、氯硅烷 等化學(xué)物質(zhì)的。因系統(tǒng)內(nèi)壓力不同，可將尾氣回收裝置分為兩部分，分別為0.4 0.5 MPaG 的低壓冷凝端和1. 2MPaG的高壓端。而這兩部分之間就是通過氫氣壓縮機來對物料氣體進 行加壓的。而氫封出口氣體與尾氣回收裝置低壓冷凝端的進氣成分基本相同，故可將氫封出 口氣體回收重新進入低壓冷凝端，實現(xiàn)再循環(huán)處理。但氫封出口氣體壓力約為0. 02MPaG，低 于低壓冷凝端壓力，為保證回氣順暢，需將氫封出口氣體引入隔膜壓縮機，經(jīng)隔膜壓縮機對 其加壓后達到0. 4 0. 5 MPaG，再與尾氣回收裝置進氣匯集，從而實現(xiàn)氫封出口氣體的回 收再利用。如圖1所示，一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，包括以下步驟從氫 壓機氫封出口 1來的氫封氣經(jīng)隔膜壓縮機增壓至0. 4 0. 5MpaG,略高于尾氣回收裝置低壓 端壓力(管損)，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端。通過上述步驟實現(xiàn)氫壓機氫封氣的回收利用。氫封氣體經(jīng)增壓前設(shè)有過濾步驟，在氫封氣體增壓前設(shè)有進口緩沖罐3，在氫封氣 體經(jīng)增壓后設(shè)有后冷卻器5和出口緩沖器6。
權(quán)利要求
1.一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在于包括以下步驟從氫壓 機氫封出口(1)來的氫封氣體經(jīng)增壓后，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回 收裝置低壓端；通過上述步驟實現(xiàn)氫壓機氫封氣體的回收利用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于氫封氣體經(jīng)增壓前設(shè)有過濾步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于在氫封氣體增壓前設(shè)有進口緩沖罐(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于在氫封氣體經(jīng)增壓后設(shè)有后冷卻器(5)和出口緩沖器(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于增壓后的氫封氣體壓強為0. 4 0. 5 MPaG。
全文摘要
一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，包括以下步驟從氫壓機氫封出口來的氫封氣體經(jīng)增壓，略高于尾氣回收裝置低壓端壓力(管損)，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端；通過上述步驟實現(xiàn)氫壓機氫封氣體的回收利用。本發(fā)明提供的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，將現(xiàn)有技術(shù)中排入空氣中的氫封氣體，引入到回收裝置低壓端，實現(xiàn)回收利用，可以有效改善現(xiàn)場環(huán)境，減少安全隱患、節(jié)約生產(chǎn)成本。
文檔編號B01D5/00GK102091434SQ20101060821
公開日2011年6月15日 申請日期2010年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月28日
發(fā)明者吳學(xué)林, 田正澤, 胡征頻, 韓俊, 高明, 魯克勤 申請人:宜昌南玻硅材料有限公司