專利名稱：合成三氯氫硅的尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣處理裝置。
背景技術(shù)：
三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣中含有5. 4%的氯硅烷、30%的氯 化氫氣體、0. 2%的氮氣和64. 2%的氫氣，其他氣體占0. 2%。這部分尾氣直接排空將會對 環(huán)境造成污染，因此有必要設(shè)計一種尾氣處理裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)狀，旨在提供一種能吸收尾氣中的大部分氯硅烷 和氯化氫，進行再利用，又有利于環(huán)保的合成三氯氫硅的尾氣處理裝置。本實用新型目的的實現(xiàn)方式為，合成三氯氫硅的尾氣處理裝置，由用管道串接的 隔膜壓縮機、機前水冷冷凝器、機后深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔和降膜吸收塔組成，隔膜壓縮 機有尾氣進料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，機后深冷冷凝器的塔體上、下部有上端封頭、下端封頭，上端封頭上有氣體進口、 氣體出口，塔體中設(shè)冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水進口，下端封頭下有液體 出口，上端封頭和塔體中間設(shè)有隔板，冷凝器中的降溫管按正三角形分布排列，循環(huán)吸收塔的吸收塔下連循環(huán)吸收罐，循環(huán)吸收罐一側(cè)有循環(huán)吸收液出口、循環(huán) 吸收液進口，一側(cè)連屏蔽泵，屏蔽泵通過管道與冷凝器相連，冷凝器與吸收塔的冷凝器進吸 收塔管口相連，連接管道端接有噴頭，吸收塔下部有進氣口，內(nèi)有環(huán)矩鞍填料層，環(huán)矩鞍填 料層之間有再分布器，吸收塔頂部的氣體上升管、上側(cè)部的液體回流管與除霧器相連，除霧 器內(nèi)有硅油浸漬玻璃棉，頂部有氣體出口，再分布器的分布板上有多個再分布孔。本實用新型工作時，三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣經(jīng)隔膜壓縮機 加壓壓縮處理后，依次通過水冷冷凝器、深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔三級吸收系統(tǒng)回收氯硅 烷。循環(huán)吸收塔吸收后的尾氣經(jīng)過兩級降膜吸收塔回收尾氣中的氯化氫，制成30 %的鹽酸。 經(jīng)降膜吸收塔吸收后的尾氣基本是氫氣，其中只有少量的氮氣，可直接放空。本實用新型能回收99. 5%的氯硅烷和氯化氫。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為機后深冷冷凝器結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為機后深冷冷凝器中的冷凝器結(jié)構(gòu)剖示圖。圖4為循環(huán)吸收塔結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為循環(huán)吸收塔塔體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參照圖1，本實用新型由用管道串接的隔膜壓縮機1、機前水冷冷凝器3、機后深冷 冷凝器4、循環(huán)吸收塔5和降膜吸收塔6組成，隔膜壓縮機有尾氣進料口 2，降膜吸收塔有出 料口 7和放空口 8。其中隔膜壓縮機1、機后水冷冷凝器3和降膜吸收塔6采用現(xiàn)在生產(chǎn)線中所用裝置。機后深冷冷凝器4和循環(huán)吸收塔5采用本申請人研制的裝置。參照圖2，機后深冷冷凝器4的塔體上下部有上端封頭14、下端封頭10，上端封頭 14上有氣體進口 18、氣體出口 15，塔體中設(shè)冷凝器12，冷凝器上下部有冷凝水出口 13、冷凝 水進口 16，下端封頭10下有液體出口 9，上端封頭14和塔體中間設(shè)有隔板17。參照圖3，冷凝器中的降溫管12按正三角形分布排列。參照圖4、5，循環(huán)吸收塔5中的吸收塔22下連循環(huán)吸收罐20，循環(huán)吸收罐20 —側(cè) 有循環(huán)吸收液出口 9、循環(huán)吸收液進口沈，一側(cè)連屏蔽泵19，屏蔽泵19通過管道與循環(huán)吸收 冷凝器21相連，循環(huán)吸收冷凝器21通過管道在循環(huán)吸收冷凝器進吸收塔管口 33處與吸收 塔22連接，連接管道頂端接有噴頭M，吸收塔22下部有吸收塔進氣口 27，內(nèi)有環(huán)矩鞍填料 層23，環(huán)矩鞍填料層23之間有再分布器32，吸收塔22頂部的氣體上升管管口 35、上側(cè)部 的液體回流管管口 34分別通過氣體上升管25、液體回流管觀與除霧器四相連，除霧器內(nèi) 有硅油浸漬玻璃棉30，頂部有循環(huán)吸收塔氣體出口 31。再分布器的分布板上有多個再分布 孔。本實用新型工作時，三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣經(jīng)隔膜壓縮機 加壓壓縮處理后，依次通過機后水冷冷凝器冷凝，機后深冷冷凝器深冷凝，循環(huán)吸收塔吸 收，并回收氯硅烷。循環(huán)吸收塔吸收后的尾氣經(jīng)過兩級降膜吸收塔回收尾氣中的氯化氫，制 成30%的鹽酸。經(jīng)降膜吸收塔吸收后的尾氣基本是氫氣，其中只有少量的氮氣，可直接放空。根據(jù)實際生產(chǎn)操作，本實用新型能回收99. 5%的氯硅烷和氯化氫。隔膜壓縮機的壓力0· 5 0. 8Mpa，機后水冷冷凝器冷凝，機后深冷冷凝器深冷凝，冷凝溫度-30°C _25°C，循環(huán)吸收塔溫度-25°C -20°C，壓力0· 5 0. 55Mpa降膜吸收塔溫度-l5°C 0°C，壓力0. 1 0. 25Mpa采用本實用新型，一方面回收了尾氣中的大部分氯硅烷和氯化氫，進行再利用 ’另 一方面處理后的尾氣達(dá)到環(huán)保要求，可直接放空，降低了企業(yè)的環(huán)保壓力，有利于環(huán)保。
權(quán)利要求1.合成三氯氫硅的尾氣處理裝置，其特征在于由用管道串接的隔膜壓縮機、機前水冷 冷凝器、機后深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔和降膜吸收塔組成，隔膜壓縮機有尾氣進料口，降膜 吸收塔有出料口和放空口，機后深冷冷凝器的塔體上、下部有上端封頭、下端封頭，上端封頭上有氣體進口、氣體 出口，塔體中設(shè)冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水進口，下端封頭下有液體出 口，上端封頭和塔體中間設(shè)有隔板，冷凝器中的降溫管按正三角形分布排列，循環(huán)吸收塔的吸收塔下連循環(huán)吸收罐，循環(huán)吸收罐一側(cè)有循環(huán)吸收液出口、循環(huán)吸收 液進口，一側(cè)連屏蔽泵，屏蔽泵通過管道與冷凝器相連，冷凝器與吸收塔的冷凝器進吸收塔 管口相連，連接管道端接有噴頭，吸收塔下部有進氣口，內(nèi)有環(huán)矩鞍填料層，環(huán)矩鞍填料層 之間有再分布器，吸收塔頂部的氣體上升管、上側(cè)部的液體回流管與除霧器相連，除霧器內(nèi) 有硅油浸漬玻璃棉，頂部有氣體出口，再分布器的分布板上有多個再分布孔。
專利摘要本實用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)中的尾氣處理裝置，由用管道串接的隔膜壓縮機、機后水冷冷凝器、機后深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔和降膜吸收塔組成。隔膜壓縮機有尾氣進料口，降膜吸收塔有出料口和放空口。工作時，三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣經(jīng)隔膜壓縮機加壓壓縮處理后，依次通過水冷冷凝器、深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔三級吸收系統(tǒng)回收氯硅烷。循環(huán)吸收塔吸收后尾氣經(jīng)過兩級降膜吸收塔回收尾氣中的氯化氫，制成30％的鹽酸。經(jīng)降膜吸收塔吸收后的尾氣基本是氫氣，其中只有少量的氮氣，可直接放空。本實用新型能回收99.5％的氯硅烷和氯化氫。采用本實用新型，既回收了尾氣中的大部分氯硅烷和氯化氫進行再利用，又有利于環(huán)保。
文檔編號B01D53/18GK201899898SQ20102065379
公開日2011年7月20日 申請日期2010年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者徐智, 楊霖, 石明勝, 羅濤, 閔運豪 申請人:湖北江鉆天祥化工有限公司