專利名稱：廢液過濾方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢液處理，特別涉及ー種能夠過濾掉廢液中絕大多數(shù)固含物或不純物質(zhì)的廢液過濾方法。
背景技術(shù)：
在一般エ業(yè)エ藝的過程中，常常會(huì)產(chǎn)生含有固含物的廢液，例如光電業(yè)半導(dǎo)體エ藝中切削硅晶塊的程序，會(huì)使用線型刀片并搭配混有鉆石或碳化硅(俗稱金剛砂)磨粒的切削液，在刀片高速旋轉(zhuǎn)下將硅晶塊切割成硅芯片，而在切割硅晶塊的過程中所產(chǎn)生的破片和碎屑，就會(huì)混雜在切削液中并逐漸累積，導(dǎo)致切削液固含物含量太高無法繼續(xù)利用而成為廢液，最終只能丟棄，不僅不環(huán)保且不符合經(jīng)濟(jì)效益。 雖然有業(yè)者將前述廢液通過濾布，嘗試去除廢液中的固含物，但因固含物會(huì)阻塞濾布，導(dǎo)致過濾效果不顯著，過濾后的廢液仍舊無法達(dá)到重復(fù)使用的經(jīng)濟(jì)效益。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能夠有效去除廢液中固含物的過濾方法。本發(fā)明的另一目的在于提供ー種廢液過濾方法，能有效將廢液純化，避免污染環(huán)境或可回收使用。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明所提供的廢液過濾方法，包括有下列步驟(a)將含有助濾材的液體通過ー濾布,使助濾材堆棧覆蓋于該濾布表面并形成一助濾層，以及(b)將欲過濾的廢液通過堆棧覆蓋有該助濾材的濾布。上述的廢液過濾方法，其中，于步驟(a)中該助濾材為硅藻土、活性碳、蛇紋石粉、離子交換樹脂、石英砂、錳砂或其混合物。上述的廢液過濾方法，其中，于步驟(a)中該助濾材包含有至少50wt%的活性碳粉末。上述的廢液過濾方法，其中，至少80wt%的該活性碳粉末的粒徑介于50 200 μ m。上述的廢液過濾方法，其中，至少80wt%的該活性碳粉末的粒徑介于61 165 μ m0上述的廢液過濾方法，其中，該活性碳粉末的碘值介于O 500mg/g。上述的廢液過濾方法，其中，該助濾層的厚度不小于O. 8_。上述的廢液過濾方法，其中，該活性碳為煤質(zhì)活性碳。上述的廢液過濾方法，其中，該廢液包含有固含物，且至少80wt%以上的該固含物的粒徑介于I 15 μ m，于步驟(b)之后獲得固含物低于O. 5wt%的回收液。上述的廢液過濾方法，其中，于步驟(a)中該濾布的透氣度介于O. I lc. c. /cm2 · min0藉此，廢液中的固含物能有效地被堆棧的助濾材所阻擋，因此能有效地去除廢液中的固含物，可避免污染環(huán)境且可回收使用。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。


圖I為本發(fā)明一較佳實(shí)施例所使用的裝置的示意圖；以及圖2為本發(fā)明該較佳實(shí)施例的過濾方法的示意圖。其中，附圖標(biāo)記· 10裝置20助濾材容置桶 21助濾材23液體 30助濾材注入管路31廢液管路 33回收液管路35回流管路 40板框式壓濾機(jī)41濾布 43助濾層50廢液容置捅 51固含物53廢液60回收液儲(chǔ)存桶61回收液
具體實(shí)施例方式為了更了解本發(fā)明的特征，以下列舉ー較佳實(shí)施例并配合

于后。請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明該較佳實(shí)施例的廢液過濾方法所使用的裝置10，主要包括有一助濾材容置桶20，其內(nèi)盛裝包含有助濾材21的液體23如硅晶塊切削液，該助濾材容置桶20經(jīng)由一助濾材注入管路30連接于ー設(shè)置有濾布41的板框式壓濾機(jī)40的入口，此外，一廢液容置桶50經(jīng)由ー廢液管路31而連接于該設(shè)置有濾布41的板框式壓濾機(jī)40的入口，該廢液容置桶50內(nèi)盛裝包含有固含物51的廢液53，該板框式壓濾機(jī)40的出口則分別與一回收液管路33以及一回流管路35相連接，該回收液管路33連通于一回收液儲(chǔ)存桶60，而該回流管路35連通于該助濾材容置桶20。在以下實(shí)施例中，是以光電業(yè)半導(dǎo)體エ藝所使用的硅晶塊切削液舉例說明，然而實(shí)際上并不局限于此。本發(fā)明的廢液過濾方法，如圖I與圖2所示，主要是先將含有助濾材21的液體23通過ー濾布41，使助濾材21堆棧覆蓋于該濾布41表面并形成一助濾層43，之后再將欲過濾的廢液53通過堆棧覆蓋有該助濾層43的濾布41，通過該助濾層43阻擋廢液53中的固含物51，以獲得回收液61。本發(fā)明的廢液過濾方法中所使用的助濾材21可為硅藻土、活性碳、蛇紋石粉、離子交換樹脂、石英砂、錳砂或其混合物。并且，若欲過濾的廢液為硅晶塊切削液時(shí)，則該助濾材21宜為活性碳。其次,本實(shí)施例中，該助濾材21中宜包含有至少50wt%的活性碳粉末。再者，該活性碳粉末中，宜至少有80wt%的活性碳粉末具有50 200 μ m的粒徑，最好具有61 165 μ m的粒徑。若活性碳粉末的粒徑較小，如小于50 μ m,就需搭配透氣度更低但價(jià)格昂貴的濾布41，不符經(jīng)濟(jì)效益；若活性碳粉末的粒徑較大，如大于200 μ m,則需要形成更厚的助濾層才能有較佳的過濾效果，同樣不符經(jīng)濟(jì)效益。另外，于本實(shí)施例中該活性碳為碘值約200mg/g的煤質(zhì)活性碳,該活性碳粉末的碘值介于O 500mg/g亦可。若活性碳粉末的碘值高于500mg/g，則可能會(huì)改變回收液61中的離子成分，使回收液61失去原本的功能。本發(fā)明的廢液過濾方法中所使用的濾布41,最好具有O. I lc. c. /cm2 *min的透氣度。若濾布41的透氣度低于O. lc. c. /cm2 ·π η，則價(jià)格昂貴且液體通過時(shí)的摩擦力較大，過濾效率差；若濾布41的透氣度高于lc. c. /cm2 · min,則助濾材21會(huì)穿過濾布41而無法堆棧附著于濾布41，導(dǎo)致無法形成助濾層43，于本實(shí)施例中是采用O. 8c. c. /cm2 · min的濾布。 另外，于本實(shí)施例中，該廢液53為包含有硅(Si)與碳化硅(SiC)粒子等固含物51的硅晶圓(硅片)切削液，硅晶塊切削液中固含物的含量約為40wt%，且至少有80wt%以上的固含物51具有I 15 μ m的粒徑。接著請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)DI與圖2，開始過濾前，先使添加有助濾材21的干凈切削液23經(jīng)由該助濾材注入管路30注入設(shè)置有該濾布41的板框式壓濾機(jī)40，使切削液23通過濾布41并經(jīng)由該回流管路35而流回該助濾材容置桶20，經(jīng)多次循環(huán)后，該切削液23中的助濾材21會(huì)逐漸堆棧覆蓋于該濾布41表面，形成厚度不小于O. 8mm的助濾層43，本實(shí)施例中所形成的助濾層43厚度即約為O. 8_，當(dāng)由回流管路35回流的液體逐漸變?yōu)槌吻逡后w后，即可停止前述循環(huán)，并開始進(jìn)行步驟(b)。過濾時(shí)，使含有固含物51的廢硅晶塊切削液53，經(jīng)由該廢液管路31注入堆棧覆蓋有助濾層43的濾布41，通過助濾層43阻擋固含物51，以有效地過濾廢液53中的固含物51，需特別說明的是，本實(shí)施例中作為助濾材21的活性碳粉末本身即具有多數(shù)孔隙，因此，不僅各活性碳粉末之間的縫隙可攔截廢液53中粒徑較大的固含物51，各活性碳粉末本身的孔隙亦可攔截粒徑較小的固含物51，最后，獲得的固含物51含量低于O. 5wt%的回收液61會(huì)經(jīng)由該回收液管路33而流至該回收液儲(chǔ)存桶60。綜上所述，由于本發(fā)明的過濾方法能夠利用堆棧于濾布表面的助濾材來阻擋廢液中的固含物，因此能夠有效率地去除掉廢液中絕大多數(shù)的固含物，且不會(huì)造成濾布阻塞，使回收液能夠重復(fù)再利用，因此極具經(jīng)濟(jì)效益且兼具環(huán)保優(yōu)勢(shì)。利用本發(fā)明的過濾方法，如選用不同顆粒大小或不同成分的助濾材，可達(dá)到不同的過濾效果，例如選用離子交換樹脂或碘值高于500mg/g的活性碳作為助濾材，可將廢液中特定的離子予以移除，即改變廢液的化學(xué)成分或?qū)U液純化，以達(dá)避免污染環(huán)境或可回收使用的功效。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.ー種廢液過濾方法，其特征在于，包含有以下步驟 (a)將含有助濾材的液體通過ー濾布,使助濾材堆棧覆蓋于該濾布表面并形成一助濾層；以及 (b)將欲過濾的廢液通過堆棧覆蓋有該助濾層的濾布。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的廢液過濾方法，其特征在干，于步驟(a)中該助濾材為硅藻土、活性碳、蛇紋石粉、離子交換樹脂、石英砂、錳砂或其混合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的廢液過濾方法，其特征在干，于步驟(a)中該助濾材包含有至少50wt%的活性碳粉末。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的廢液過濾方法，其特征在于，至少SOwt%的該活性碳粉末的粒徑介于50 200 u m。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的廢液過濾方法，其特征在于，至少SOwt%的該活性碳粉末的粒徑介于61 165 u m。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任意ー項(xiàng)所述的廢液過濾方法，其特征在于，該活性碳粉末的碘值介于0 500mg/g。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任意ー項(xiàng)所述的廢液過濾方法，其特征在于，該助濾層的厚度不小于0. 8mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任意ー項(xiàng)所述的廢液過濾方法，其特征在于，該活性碳為煤質(zhì)活性碳。
9.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任意ー項(xiàng)所述的廢液過濾方法，其特征在于，該廢液包含有固含物，且至少80wt%以上的該固含物的粒徑介于I 15 ym，于步驟(b)之后獲得固含物低于0. 5wt%的回收液。
10.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任意ー項(xiàng)所述的廢液過濾方法，其特征在干，于步驟(a)中該濾布的透氣度介于0. I lc. c. /cm2 min。
全文摘要
一種廢液過濾方法，先將包含有助濾材的液體通過一濾布，使助濾材堆棧覆蓋于該濾布表面以形成一助濾層，之后再使欲過濾的廢液通過堆棧覆蓋有該助濾層的濾布，以過濾該廢液。藉此，可有效過濾掉廢液中絕大多數(shù)的固含物或不純物質(zhì)，使過濾后的回收液能夠循環(huán)再利用，極富經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號(hào)B01D37/02GK102847373SQ201110189249
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2011年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月30日
發(fā)明者張瓊文, 林家嘉 申請(qǐng)人:張瓊文, 林家嘉