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      吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法

      文檔序號:4997231閱讀:263來源:國知局
      專利名稱:吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域,特別是多晶硅生產(chǎn)尾氣回收工序中的吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法。
      背景技術(shù)
      在多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中,尾氣回收工序的工藝流程主要包括冷凝單元、壓縮單元、 再生氣處理。吸收和脫吸單元包含吸附塔和脫吸塔,主要流程是利用液態(tài)氯硅烷經(jīng)氟利昂冷卻到-40°C 士5°C后,進入吸收塔吸收氣體氯化氫成為富液,然后輸送到脫吸塔,經(jīng)再沸器加熱到125°C 士5°C,解吸出氯化氫氣體后氯硅烷(貧液)用泵打回吸收塔,構(gòu)成循環(huán)。在現(xiàn)有技術(shù)中(美國CDI公司設(shè)計),氯化氫在脫吸單元中解吸出來,通過氟利昂深冷液化后收集在回流罐中,然后通過電加熱器加熱使液態(tài)氯化氫氣化,以氣態(tài)的形式送往下工序使用, 如圖2中所示。氯化氫在脫吸過程中,溶解的氫氣隨著氯化氫脫吸出來,經(jīng)過氟利昂深冷液化,氯化氫能液化,但此溫度不足以使氫氣液化,氫氣在回流罐中以氣體的形式返回到壓縮單元。而下一工序需要的是氣態(tài)的常溫的氯化氫,壓力為0. 5兆帕左右。所以氯化氫必須經(jīng)過深冷液化后再氣化,送到下一工序。如果將氯化氫脫吸后不經(jīng)冷凝,直接送到下一工序, 會帶走部分氫氣,而且氯化氫的純度也無法滿足下一工序的生產(chǎn)要求。
      存在的問題是1、由于氯化氫氣化吸熱及電加熱器反應(yīng)滯后等原因,造成電加熱器內(nèi)部溫度分布不均勻,溫差很大,使得電加熱管容易應(yīng)力變形,加熱管碰壁。
      2、電加熱器內(nèi)局部高溫將加熱管熔斷,造成泄漏起火的危險。
      3、電加熱器一旦出現(xiàn)故障,液態(tài)氯化氫無法被下工序使用,將造成的減產(chǎn)甚至停車隱患ο
      4、電加熱器氣化出來的氯化氫氣體溫度較低,管道結(jié)冰嚴(yán)重,增加管道負(fù)荷。
      5、液態(tài)氯化氫的冷量沒有得到利用。發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,可以克服現(xiàn)有技術(shù)中電加熱器易失效的技術(shù)難題,并實現(xiàn)熱能綜合利用。
      為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,包括以下步驟一、將回流罐中的液態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器的殼程,脫吸塔上部的氣態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器的管程;二、然后將從第一管殼式換熱器殼程出來的氯化氫導(dǎo)入第二管殼式換熱器的殼程,氯硅烷貧液導(dǎo)入第二管殼式換熱器的管程使氯化氫與氯硅烷貧液換熱;通過上述步驟得到氣態(tài)的氯化氫。
      在步驟一中,控制第一管殼式換熱器的殼程壓力為0. 5-0. 7兆帕,使液態(tài)氯化氫在殼程中閃蒸吸熱。
      本發(fā)明提供的一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,可以取消電加熱器,克服了現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,降低冷凍機負(fù)荷,實現(xiàn)熱能綜合利用,有效改善現(xiàn)場環(huán)境,消除安全隱患、節(jié)約生產(chǎn)成本。


      下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明 圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
      圖2是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。
      圖中脫吸塔1,回流罐2,氟利昂冷卻器3,加熱器4,第一管殼式換熱器5,第二管殼式換熱器6,第二脫吸塔7,脫吸塔氣態(tài)氯化氫入口 8,閃蒸氯化氫出口 9,液態(tài)氯化氫入口 10,脫吸塔氣態(tài)氯化氫出口 11,氯硅烷貧液出口 12,氯硅烷貧液入口 13,氣化后的氯化氫出 Π 14。
      具體實施方式
      如圖1中,一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,包括以下步驟一、將回流罐2中的液態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器5的殼程,脫吸塔1上部的氣態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器5的管程;二、然后將從第一管殼式換熱器5殼程出來的氯化氫導(dǎo)入第二管殼式換熱器6的殼程, 氯硅烷貧液導(dǎo)入第二管殼式換熱器6的管程使氯化氫與氯硅烷貧液換熱;通過上述步驟得到氣態(tài)的氯化氫。
      在步驟一中,控制第一管殼式換熱器5的殼程壓力為0. 5-0. 7兆帕,優(yōu)化的為0. 6 兆帕,使液態(tài)氯化氫在殼程中閃蒸吸熱。
      氯化氫被貧液加熱后再導(dǎo)入空氣換熱器中,使氣態(tài)的氯化氫進一步升溫。
      權(quán)利要求
      1.一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,其特征在于包括以下步驟一、將回流罐(2)中的液態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器(5)的殼程,脫吸塔(1)上部的氣態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器(5)的管程;二、然后將從第一管殼式換熱器(5)殼程出來的氯化氫導(dǎo)入第二管殼式換熱器(6)的殼程,氯硅烷貧液導(dǎo)入第二管殼式換熱器(6)的管程使氯化氫與氯硅烷貧液換熱;通過上述步驟得到氣態(tài)的氯化氫。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,其特征在于在步驟一中,控制第一管殼式換熱器(5)的殼程壓力為0. 5-0. 7兆帕,使液態(tài)氯化氫在殼程中閃蒸吸熱。
      全文摘要
      一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,包括以下步驟一、將回流罐中的液態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器的殼程,脫吸塔上部的氣態(tài)氯化氫導(dǎo)入第一管殼式換熱器的管程;二、然后將從第一管殼式換熱器殼程出來的氯化氫導(dǎo)入第二管殼式換熱器的殼程,氯硅烷貧液導(dǎo)入第二管殼式換熱器的管程使氯化氫與氯硅烷貧液換熱;通過上述步驟得到氣態(tài)的氯化氫。本發(fā)明提供的一種吸收和脫吸單元熱能綜合利用方法,可以取消電加熱器,克服了現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,降低冷凍機負(fù)荷,實現(xiàn)熱能綜合利用,有效改善現(xiàn)場環(huán)境,消除安全隱患、節(jié)約生產(chǎn)成本。
      文檔編號B01D53/18GK102512911SQ20111039399
      公開日2012年6月27日 申請日期2011年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月2日
      發(fā)明者劉茂松, 吳學(xué)林, 樊晶, 胡征頻, 高明, 魯克勤 申請人:宜昌南玻硅材料有限公司
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