專利名稱：三氯氫硅合成廢液汽化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種三氯氫硅合成廢液汽化裝置，特別適用于加壓三氯氫硅合成 尾氣廢液的汽化處理，以防止尾氣中的金屬氯化物沉積于管道內(nèi)產(chǎn)生堵塞。
背景技術(shù)：
目前、國內(nèi)三氯氫硅的合成主要采用濕法除塵法進行制取，通過將三氯氫硅合成 產(chǎn)生的氯硅烷冷凝后的液體對氯硅烷中的金屬氯化物及雜質(zhì)進行淋洗，對淋洗后塔底的廢 液進行排放后進入殘液系統(tǒng)，廢液經(jīng)氫氧化鈉溶液進行淋洗處理。但由于洗滌塔底部廢液 中含有大量的金屬氯化物，比如，氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬雜質(zhì)，此類雜質(zhì)冷凝后容易 變成固體，沉積于管道內(nèi)(據(jù)文獻記載，金屬氯化物的冷凝溫度為80-90°C)。因而，通過管 道輸送殘液時，金屬氯化物很快凝固沉積在管道中，使管道產(chǎn)生堵塞，并且拆卸管道時此類 物質(zhì)容易出現(xiàn)著火閃爆，這些嚴重制約了三氯氫硅合成工藝連續(xù)穩(wěn)定的運行。現(xiàn)有針對三氯氫硅廢液汽化的裝置還沒有報道，本裝置增加了就地與遠傳壓力表 (5，6)，同時增加了安全閥接口 (4)增加了設(shè)備的安全性。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種可 提高三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)的處理能力，減少管道堵塞的三氯氫硅合成廢液汽化裝置。解決本實用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該三氯氫硅合成廢液汽化裝置，包 括殼體和包覆在殼體外的外夾套，所述殼體上設(shè)有廢液進口，殼體頂部設(shè)有廢液汽化出口， 外夾套所包覆的殼體部分處于廢液進口的下方，外夾套為中空夾套，外夾套上部設(shè)有蒸汽 進口，其底部設(shè)有冷凝液出口。優(yōu)選的是，所述殼體底部還設(shè)有排渣檢修口。優(yōu)選的是，所述殼體頂部還設(shè)有安全閥接口，通過所述安全閥接口，使本裝置可與 外部安全閥連接，以防止汽化后壓力較高而造成設(shè)備的損壞。進一步優(yōu)選的是，所述殼體頂部還設(shè)有就地壓力表接口和遠傳壓力表接口，通過 在就地壓力表接口和遠傳壓力表接口上分別裝設(shè)相應的壓力表，以便于在裝置的近端和遠 端都可以隨時觀察裝置內(nèi)部壓力的變化情況。優(yōu)選的是，所述殼體的外形為圓筒狀。優(yōu)選的是，所述殼體的內(nèi)徑為500mm，其高度為1500mm。優(yōu)選的是，所述廢液進口設(shè)于殼體的中部或上部。其中，所述廢液汽化出口可與氫氧化鈉淋洗裝置連接，使用氫氧化鈉溶液對從廢 液汽化出口中排出的汽化后的殘渣進行處理。所述廢液進口可與三氯氫硅合成尾氣處理系 統(tǒng)連接，用于接收合成尾氣處理系統(tǒng)中排出的廢液殘渣。進一步優(yōu)選的是，與所述廢液進口、廢液汽化出口、蒸汽進口、冷凝液出口連接的管道上分別設(shè)有法蘭。并且，所述各個連接的管道采用蒸汽伴熱進行加熱。從三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)排出的廢液進入本實用新型三氯氫硅合成廢液汽 化裝置后，經(jīng)外夾套的高溫蒸汽汽化后，從本裝置頂部的廢液汽化出口排出后，再經(jīng)后續(xù)的 堿液淋洗裝置進行淋洗，通過堿液淋洗實現(xiàn)對此廢液的無污染處理。廢液流經(jīng)本裝置后發(fā)生汽化，因而不會在管道內(nèi)產(chǎn)生沉積，從而減少了管道堵塞， 減少了處理管道時產(chǎn)生閃爆的危險，有效避免了傳統(tǒng)的三氯氫硅合成排液易出現(xiàn)管道堵 塞，難以清理等缺點。同時，提高了三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)的處理能力，大大延長了處 理裝置運行時間。并且，該裝置的造價成本低。本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置可以實現(xiàn)對高壓氫硅合成爐尾氣處理塔 的連續(xù)穩(wěn)定運行，同時可實現(xiàn)對尾氣廢液進行無污染處理。

圖1為本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-外夾套；2-殼體；3-廢液進口 ；4-安全閥接口 ；5-就地壓力表接口 ；6_遠
傳壓力表接口 ；7-廢液汽化出口 ；8-備用口 ；9-蒸汽進口 ；10-冷凝液出口 ；11-排渣檢修□。
具體實施方式
為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實 施方式對本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置作進一步詳細描述。如圖1所示，本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置包括殼體2和包覆在殼體2 外的外夾套1。本實施例中，殼體為圓筒狀，其內(nèi)徑為Φ500πιπι，長度為1500mm。殼體2上設(shè)有廢液進口 3，本實施例中，廢液進口 3設(shè)于殼體的中部。殼體頂部設(shè) 有廢液汽化出口 7，殼體底部設(shè)有排渣檢修口 11，殼體2上還設(shè)有備用口 8。外夾套1所包覆的殼體部分始終都在廢液進口 3的下方。外夾套1為中空夾套， 其內(nèi)部可通入蒸汽。外夾套1上部設(shè)有蒸汽進口 9，其底部設(shè)有冷凝液出口 10。殼體頂部還設(shè)有安全閥接口 4，通過安全閥接口 4可使本裝置與外部安全閥連接， 以防止汽化后壓力較高而造成設(shè)備的損壞。殼體頂部還設(shè)有就地壓力表接口 5和遠傳壓力表接口 6，通過在就地壓力表接口 5 和遠傳壓力表接口 6上分別裝設(shè)相應的壓力表，以便于在裝置的近端和遠端都可以隨時觀 察殼體2內(nèi)部壓力的變化情況。其中，所述廢液進口 3與三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)連接，廢液汽化出口 7與氫氧 化鈉淋洗裝置連接。與本裝置中各個開口連接的管道上分別設(shè)有法蘭，并且，所述各個連接的管道采 用蒸汽伴熱進行加熱。本實用新型裝置工作時，從三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)來的廢液經(jīng)廢液進口 3進 入殼體2內(nèi)，同時高溫蒸汽通過蒸汽進口 9進入外夾套1中，通過外夾套的內(nèi)壁與殼體2的 外壁進行換熱，使廢液汽化，汽化后的廢液從廢液汽化出口 7中排出，并通過使用氫氧化鈉 溶液對汽化后的殘渣進行淋洗處理。外夾套1中經(jīng)換熱后的蒸汽冷凝液通過冷凝液出口 10進行回收。 可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性 實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本 實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實 用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，包括殼體( 和包覆在殼體(2)外 的外夾套(1)，所述殼體( 上設(shè)有廢液進口(3)，殼體頂部設(shè)有廢液汽化出口(7)，外夾套(1)所包覆的殼體部分處于廢液進口( 的下方，外夾套(1)為中空夾套，外夾套(1)上部 設(shè)有蒸汽進口(9)，其底部設(shè)有冷凝液出口(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體( 底部 設(shè)有排渣檢修口(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體( 頂部 設(shè)有安全閥接口 G)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體( 頂部 設(shè)有就地壓力表接口( 和遠傳壓力表接口(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)的外形為圓筒狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體 (2)的內(nèi)徑為500mm，其高度為1500mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述廢液 進口(3)設(shè)于殼體O)的中部或上部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述廢液 汽化出口(7)與氫氧化鈉淋洗裝置連接，所述廢液進口( 與三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng) 連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，與所述廢 液進口(3)、廢液汽化出口(7)、蒸汽進口(9)、冷凝液出口(10)連接的管道上分別設(shè)有法
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述各個連接的 管道采用蒸汽伴熱對其進行加熱。
專利摘要本實用新型提供一種三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其包括殼體(2)和包覆在殼體(2)外的外夾套(1)，所述殼體(2)上設(shè)有廢液進口(3)，殼體頂部設(shè)有廢液汽化出口(7)，外夾套(1)所包覆的殼體部分處于廢液進口(3)的下方，外夾套(1)為中空夾套，外夾套(1)上部設(shè)有蒸汽進口(9)，其底部設(shè)有冷凝液出口(10)。該裝置可提高三氯氫硅合成尾氣處理系統(tǒng)的處理能力，有效避免了傳統(tǒng)的三氯氫硅合成排液易出現(xiàn)管道堵塞，難以清理等缺點。
文檔編號B01D47/06GK201848184SQ20112005146
公開日2011年6月1日 申請日期2011年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月1日
發(fā)明者劉興平, 宋高杰, 楊龍, 王麗春, 陳國輝 申請人:特變電工新疆硅業(yè)有限公司