專利名稱：尾氣吸收塔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型主要涉及一種化學(xué)氣相沉積法中，用于尾氣排放的裝置，具體涉及一種尾氣吸收塔。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)， 是在相當(dāng)高的溫度下，混合氣體與基體表面相互作用，使混合氣體中的某些成分分解，并在基體上形成一種金屬或化合物的固態(tài)薄膜或鍍層。近年來，為了提高金屬切削工具及金屬材料的耐磨性，也采用CVD技術(shù)進(jìn)行表面薄膜或鍍層。在CVD方法中，基本組成包含初始?xì)庠?，而初始起源包括惰性氣體(如氮或氬)，還原氣體(如氫氣)以及各種反應(yīng)氣體(如甲烷、 二氧化碳、水蒸氣、氨)。大量混合氣體進(jìn)入反應(yīng)室，CVD的反應(yīng)溫度通常為900 2000°C， 因此，高溫下，產(chǎn)生大量的酸性氣體，如果將這些尾氣直接排入大氣中，勢必對環(huán)境造成很大的破壞。
發(fā)明內(nèi)容為了解決以上問題，本實(shí)用新型提供一種凈化尾氣，減少對環(huán)境造成危害的尾氣吸收塔。本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的尾氣吸收塔，包括塔體，塔體上、下兩端分別設(shè)有尾氣入口和尾氣出口，其特征在于塔體下端設(shè)有吸收液出口，點(diǎn)火裝置安裝在尾氣入口的下端，在塔體內(nèi)尾氣入口的上端安裝傘形擋板，傘形擋板上端安裝噴淋裝置I，尾氣出口通過管路與引風(fēng)機(jī)連接。上述的尾氣吸收塔，為了進(jìn)一步凈化進(jìn)入大氣中的尾氣，在塔體內(nèi)還設(shè)有噴淋裝置II，噴淋裝置II安裝在尾氣出口的下端。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型由于設(shè)置了點(diǎn)火裝置，CVD反應(yīng)產(chǎn)生的尾氣經(jīng)管道進(jìn)入點(diǎn)火裝置，點(diǎn)火后產(chǎn)生的煙氣，在引風(fēng)機(jī)的作用下，從尾氣入口進(jìn)入塔體內(nèi)。 由于設(shè)有噴淋裝置，由噴淋裝置噴淋堿性中和液，吸收煙氣，吸收液順著傘形擋板流向塔體下端，經(jīng)吸收液出口收集，集中處理，因此凈化了尾氣。由于在尾氣出口處設(shè)置第二道噴淋裝置，進(jìn)一步凈化了尾氣，減少對大氣造成的破壞。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，尾氣吸收塔，包括塔體(3)，塔體(3)上、下兩端分別設(shè)有尾氣入口(6) 和尾氣出口(1)，塔體(3)下端設(shè)有吸收液出口(9)，點(diǎn)火裝置(8)安裝在尾氣入口(6)的下端，在塔體(3)內(nèi)尾氣入口(6)的上端安裝傘形擋板(5)，傘形擋板(5)上端安裝噴淋裝置I(4)，尾氣出口(1)通過管路與引風(fēng)機(jī)(10)連接。上述的尾氣吸收塔，設(shè)有噴淋裝置II (2)，噴淋裝置II (2)安裝在尾氣出口(1)的下端。本實(shí)用新型的工作原理是CVD反應(yīng)產(chǎn)生的尾氣經(jīng)管道(7)進(jìn)入點(diǎn)火裝置，點(diǎn)火后產(chǎn)生的煙氣，在引風(fēng)機(jī)的作用下，從尾氣入口和傘形擋板之間的空隙進(jìn)入塔體內(nèi)。由噴淋裝置噴淋堿性中和液，吸收煙氣，吸收液順著傘形擋板流向塔體下端，經(jīng)吸收液出口收集，集中處理，因此凈化了尾氣。
權(quán)利要求1.尾氣吸收塔，包括塔體(3)，塔體(3)上、下兩端分別設(shè)有尾氣入口(6)和尾氣出口(1)，其特征在于塔體(3)下端設(shè)有吸收液出口(9)，點(diǎn)火裝置(8)安裝在尾氣入口(6)的下端，在塔體(3)內(nèi)尾氣入口(6)的上端安裝傘形擋板(5)，傘形擋板(5)上端安裝噴淋裝置 I (4)，尾氣出口(1)通過管路與引風(fēng)機(jī)(10)連接。
2.按照權(quán)利要求1所述的尾氣吸收塔，其特征在于設(shè)有噴淋裝置II(2)，噴淋裝置II(2)安裝在尾氣出口(1)的下端。
專利摘要本實(shí)用新型涉及尾氣吸收塔。采用的技術(shù)方案是包括塔體，塔體上、下兩端分別設(shè)有尾氣入口和尾氣出口，其特征在于塔體下端設(shè)有吸收液出口，點(diǎn)火裝置安裝在尾氣入口的下端，在塔體內(nèi)尾氣入口的上端安裝傘形擋板，傘形擋板上端安裝噴淋裝置Ⅰ，尾氣出口通過管路與引風(fēng)機(jī)連接。本實(shí)用新型由于設(shè)置了點(diǎn)火裝置，CVD反應(yīng)產(chǎn)生的尾氣經(jīng)管道進(jìn)入點(diǎn)火裝置，點(diǎn)火后產(chǎn)生的煙氣，在引風(fēng)機(jī)的作用下，從尾氣入口進(jìn)入塔體內(nèi)。由于設(shè)有噴淋裝置，由噴淋裝置噴淋堿性中和液，吸收煙氣，吸收液順著傘形擋板流向塔體下端，經(jīng)吸收液出口收集，集中處理，因此凈化了尾氣。由于在尾氣出口處設(shè)置第二道噴淋裝置，進(jìn)一步凈化了尾氣，減少對大氣造成的破壞。
文檔編號B01D53/78GK202224041SQ20112030085
公開日2012年5月23日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者樸萬成, 李成哲, 李權(quán)星, 梁旭光, 王宏剛, 王樹才, 申光哲, 金上萬, 金哲男, 黃宇哲 申請人:沈陽金研機(jī)床工具有限公司