專利名稱：氣體除去系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及將包含在成為處理對(duì)象的空氣中的水蒸汽、其它的氣體成分除去以達(dá)到目標(biāo)濃度的氣體除去系統(tǒng)。更詳細(xì)地說(shuō)，涉及用于在除去水蒸氣時(shí)獲得低露點(diǎn)空氣的系統(tǒng)，用于在除去其它的氣體成分時(shí)將揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)等除去而獲得清潔的空氣的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，對(duì)具有低露點(diǎn)的氣氛的低濕度室的需求不斷增加。此低濕度室，例如在醫(yī)藥品制造過(guò)程、鋰電池的制造過(guò)程中被利用。冷卻減濕方法，為獲得這樣的低濕度室要求的減濕空氣的公知的方法。然而，在此冷卻減濕方法中，不能應(yīng)對(duì)一 5°C 一 10°C的程度以下的低露點(diǎn)。這是因?yàn)榇嬖诶鋮s裝置部分結(jié)凍的危險(xiǎn)。因此，冷卻除濕方法，主要在露點(diǎn)為OV左右以上的情況下被采用。在供給低露點(diǎn)的減濕空氣的空調(diào)機(jī)、空調(diào)系統(tǒng)中，使用了所謂干式減濕裝置。此干式減濕裝置，例如被公開(kāi)在日本國(guó)專利公開(kāi)公報(bào)06 - 63344號(hào)公報(bào)中。此干式減濕裝置，具有旋轉(zhuǎn)式的轉(zhuǎn)輪。旋轉(zhuǎn)式的轉(zhuǎn)輪，以蜂窩狀具有多個(gè)孔。在此轉(zhuǎn)輪中，浸潰了氯化鋰、氯化鈣等吸收液，或內(nèi)裝硅膠、沸石等吸附材料。轉(zhuǎn)輪的端面?zhèn)?，被分隔成減濕區(qū)域和再生區(qū)域。在減濕區(qū)域，處理對(duì)象空氣通過(guò)轉(zhuǎn)輪，由此生成被干燥了的空氣。在再生區(qū)域，高溫的空氣通過(guò)轉(zhuǎn)輪。在此再生區(qū)域，由高溫的空氣從在減濕區(qū)域吸收或吸附了水蒸汽等的吸收液、吸附材料使水分蒸發(fā)。由此，轉(zhuǎn)輪被再生。轉(zhuǎn)輪的各區(qū)域，由旋轉(zhuǎn)重復(fù)移送到減濕區(qū)域和再生區(qū)域。因此，在轉(zhuǎn)輪的各區(qū)域，減濕和再生被重復(fù)，干式減濕裝置能夠連續(xù)地進(jìn)行減濕處理。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題然而，在將轉(zhuǎn)輪的存在區(qū)域分割成這樣的減濕區(qū)域和再生區(qū)域的干式減濕裝置中，轉(zhuǎn)輪在仍為高溫的狀態(tài)下被轉(zhuǎn)移到處理系統(tǒng)，即減濕區(qū)域。如轉(zhuǎn)輪的高溫區(qū)域轉(zhuǎn)移到減濕區(qū)域，則在其剛轉(zhuǎn)移后通過(guò)減濕區(qū)域的處理對(duì)象空氣的溫度上升，所以，有時(shí)不能充分地減濕。本發(fā)明就是為了消除上述那樣的問(wèn)題而作出的發(fā)明，其目的在于提供一種能夠提供更高清潔度的空氣的氣體除去系統(tǒng)。用于解決課題的技術(shù)手段為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施方式的干式氣體除去裝置，為使包含在處理對(duì)象空氣中的水蒸汽或氣體狀物質(zhì)的濃度降低到規(guī)定以下的氣體除去系統(tǒng)。此氣體除去系統(tǒng)，具有繞軸旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置的轉(zhuǎn)輪，該轉(zhuǎn)輪對(duì)上述水蒸汽或氣體狀物質(zhì)進(jìn)行吸附。此轉(zhuǎn)輪，其存在區(qū)域被分隔成多個(gè)空氣通過(guò)區(qū)域。一個(gè)空氣通過(guò)區(qū)域，為對(duì)轉(zhuǎn)輪進(jìn)行加熱的空氣通過(guò)的再生區(qū)域。再生區(qū)域的相鄰的空氣通過(guò)區(qū)域，為對(duì)轉(zhuǎn)輪進(jìn)行預(yù)備冷卻的清洗空氣通過(guò)的第一清洗區(qū)域。第一清洗區(qū)域的相鄰的空氣通過(guò)區(qū)域，為處理對(duì)象空氣通過(guò)的減氣區(qū)域。減氣區(qū)域和上述再生區(qū)域的相鄰的空氣通過(guò)區(qū)域，為對(duì)轉(zhuǎn)輪進(jìn)行預(yù)備加熱的清洗空氣通過(guò)的第二清洗區(qū)域。第一清洗區(qū)域與第二清洗區(qū)域，由清洗空氣流動(dòng)的封閉系的循環(huán)路徑相連。在此循環(huán)路徑上，在一個(gè)部位設(shè)有冷卻裝置。冷卻裝置，對(duì)在第一清洗區(qū)域吸熱、通過(guò)上述第二清洗區(qū)域，并再次流入第一清洗空氣之前的清洗空氣進(jìn)行冷卻。按照此氣體除去系統(tǒng)，清洗空氣以封閉系在第一清洗區(qū)域和第二清洗區(qū)域循環(huán)。此清洗空氣，通過(guò)第一清洗區(qū)域，對(duì)轉(zhuǎn)輪進(jìn)行冷卻。由從轉(zhuǎn)輪的吸熱升溫了的清洗空氣，被導(dǎo)入第二清洗區(qū)域。在通過(guò)第二清洗區(qū)域的時(shí)候，清洗空氣被冷卻。另一方面，轉(zhuǎn)輪被加熱。因此，轉(zhuǎn)輪在進(jìn)入接下來(lái)的再生區(qū)域之前被加熱。由這樣的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)在再生區(qū)域的加熱量的減少。接著，通過(guò)了再生區(qū)域的轉(zhuǎn)輪，由被清洗空氣用冷卻裝置降低了溫度的清洗空氣，在第一清洗區(qū)域進(jìn)行冷卻。因?yàn)樵趶脑偕鷧^(qū)域轉(zhuǎn)移到減氣區(qū)域之前轉(zhuǎn)輪被冷卻，所以，能夠使在減氣區(qū)域的水蒸汽或其它的氣體的吸附或吸收能力增加。另外，再生區(qū)域的壓力Pa、第一清洗區(qū)域的壓力Pb、減氣區(qū)域的壓力Pc，以及第二清洗區(qū)域的壓力Pd，也可為Pc > PbN Pd > Pa。另外，氣體除去系統(tǒng)，也可以還具備例如對(duì)再生區(qū)域、第一清洗區(qū)域、減氣區(qū)域，以及第二清洗區(qū)域的各壓力進(jìn)行檢測(cè)的各傳感器，對(duì)通過(guò)再生區(qū)域的空氣進(jìn)行限制的第一節(jié)氣閥，對(duì)通過(guò)減氣區(qū)域的處理對(duì)象空氣進(jìn)行限制的第二節(jié)氣閥，以及根據(jù)各傳感器檢測(cè)出的各壓力對(duì)第一節(jié)氣閥和第二節(jié)氣閥的開(kāi)度進(jìn)行控制的控制器。按照此氣體除去系統(tǒng)，能夠構(gòu)成為，使得空氣從對(duì)再生區(qū)域、第一清洗區(qū)域、減氣區(qū)域以及第二清洗區(qū)域的各部進(jìn)行劃分的清洗扇形體與轉(zhuǎn)輪部的間隙通過(guò)各個(gè)區(qū)域的泄漏成為一個(gè)方向。其結(jié)果，能夠以更高精度獲得低露點(diǎn)的水蒸汽或其它的氣體含有量更少的處理空氣。發(fā)明效果按照本發(fā)明，能夠提供更高清潔度的空氣，并且與以往相比能量消耗少。


圖I為表示本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的第I實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的圖。圖2為表示本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的第I實(shí)施方式的重要部分的結(jié)構(gòu)的圖。圖3為表示本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的圖。圖4為表示本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的第2實(shí)施方式的變型例的結(jié)構(gòu)的圖。圖5為表示本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的第2實(shí)施方式的各區(qū)域間的壓力差的圖。圖6為表示另一干式減濕裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照?qǐng)DI至圖6說(shuō)明本發(fā)明的氣體除去系統(tǒng)的具體的實(shí)施方式。(I 一 I)第I實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)首先，對(duì)用于本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)的干式氣體除去裝置(以下稱為氣體除去裝置)1進(jìn)行說(shuō)明。圖I及圖2所示干式氣體除去裝置I，通過(guò)將包含在處理對(duì)象空氣中的水蒸汽或其它的氣體狀物質(zhì)除去，降低水蒸汽及其它的氣體狀物質(zhì)的濃度。處理對(duì)象空氣，為向低濕度室18供給的空氣，為成為將水蒸汽或其它的氣體狀物質(zhì)除去的對(duì)象的空氣。此干式氣體除去裝置1，具備可繞軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)輪40。轉(zhuǎn)輪，具有滾筒形狀，為了使空氣通過(guò)，以蜂窩狀形成有多個(gè)孔。并且，在此轉(zhuǎn)輪40中，浸潰了吸收液，或內(nèi)裝有吸附劑。作為吸收液，可列舉出氯化鋰、氯化鈣等。作為吸附劑，可列舉出硅膠、沸石等。此轉(zhuǎn)輪40存在的區(qū)域，被劃分成多個(gè)區(qū)域，在轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)方向依次被分配成再生區(qū)域2a、第一清洗區(qū)域2b、減氣區(qū)域2c，以及第二清洗區(qū)域2d。S卩，位于轉(zhuǎn)輪40的端面的空氣的通過(guò)區(qū)域，由外殼或分隔壁，在轉(zhuǎn)輪40的旋轉(zhuǎn)方向依次分隔成再生區(qū)域2a、第一清洗區(qū)域2b、減氣區(qū)域2c，以及第二清洗區(qū)域2d。再生區(qū)域2a，被分配給轉(zhuǎn)輪40的存在區(qū)域的一分區(qū)。第一清洗區(qū)域2b，被分配給再生區(qū)域2a的相鄰的分區(qū)，面臨再生區(qū)域2a的終端側(cè)。終端，為區(qū)域的終點(diǎn)，指旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)輪上的一個(gè)部位脫出的一側(cè)。減氣區(qū)域2c，被分配給第一清洗區(qū)域2b的相鄰的分區(qū)，面臨第一清洗區(qū)域2b的終端側(cè)。第二清洗區(qū)域2d，被分配給減氣區(qū)域2c與再生區(qū)域2a之間的分區(qū)，面臨第一清洗區(qū)域2b的始端及減氣區(qū)域2c的終端。始端，為區(qū)域的起點(diǎn)，指旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)輪上的一個(gè)部位進(jìn)行突入的那一側(cè)。此再生區(qū)域2a，為使轉(zhuǎn)輪40的吸附或吸收功能再生的區(qū)域。向再生區(qū)域2a，導(dǎo)入由再生空氣用風(fēng)扇21引導(dǎo)至了供氣管道22的外氣。在吸氣管道22上，安裝加熱裝置23。外氣，由加熱裝置23加熱成規(guī)定的溫度，其后，作為高溫的空氣被導(dǎo)入再生區(qū)域2a。被轉(zhuǎn)輪40吸附或吸收了的水蒸汽、其它的氣體狀物質(zhì)，由此高溫的空氣蒸發(fā)，轉(zhuǎn)輪40的吸附或吸收功能被再生。減氣區(qū)域2c，為轉(zhuǎn)輪40對(duì)水蒸汽、其它的氣體狀物質(zhì)進(jìn)行吸附或吸收的除去區(qū)域。向減氣區(qū)域2c，導(dǎo)入由空氣取入用風(fēng)扇12引導(dǎo)至了導(dǎo)入管道11的處理對(duì)象空氣。第一清洗區(qū)域2b，為對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行預(yù)備冷卻的區(qū)域。對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行冷卻的清洗空氣通過(guò)到第一清洗區(qū)域2b。第二清洗區(qū)域2d，為對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行預(yù)備加熱的區(qū)域。對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行加熱的清洗空氣通過(guò)第二清洗區(qū)域2d。在此第一清洗區(qū)域2b與第二清洗區(qū)域2d之間，設(shè)置封閉系的循環(huán)路徑3。清洗空氣，通過(guò)此循環(huán)路徑3，一邊使溫度變化，一邊在第一清洗區(qū)域2b和第二清洗區(qū)域2d循環(huán)。在循環(huán)路徑3上，設(shè)置清洗空氣用冷卻裝置4及清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇5?？諝庋h(huán)用風(fēng)扇5產(chǎn)生的清洗空氣，以第I清洗區(qū)域2b、第2清洗區(qū)域2d，以及清洗空氣用冷卻裝置4的順序流動(dòng)。通過(guò)了第一清洗區(qū)域2b的清洗空氣，通過(guò)第二清洗區(qū)域2d，其后由清洗空氣用冷卻裝置4冷卻，再次通過(guò)第一清洗區(qū)域2b。在具備上述那樣的氣體除去裝置I的本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)中，處理對(duì)象空氣被從導(dǎo)入管道11導(dǎo)入本系統(tǒng)。導(dǎo)入了本系統(tǒng)的處理對(duì)象空氣，由空氣取入用風(fēng)扇12送往預(yù)冷卻器13。處理對(duì)象空氣，由此預(yù)冷卻器13冷卻或冷卻除濕成了規(guī)定的溫度后，被導(dǎo)入氣體除去裝置I的減氣區(qū)域2c。另外，處理對(duì)象空氣因?yàn)橥ㄟ^(guò)減氣區(qū)域2c，所以，水蒸汽及其它的氣體成分被除去。通過(guò)了減氣區(qū)域2c的空氣，由室內(nèi)空氣循環(huán)用風(fēng)扇16，經(jīng)供給管道17供給到低濕度室18。在供給管道17上，設(shè)有冷卻裝置14及加熱裝置15。通過(guò)供給管道17的空氣，由冷卻裝置14及加熱裝置15調(diào)節(jié)成規(guī)定的溫度，然后，到達(dá)低濕度室18。另外，從低濕度室18排出了的空氣，由環(huán)氣管道19，導(dǎo)入減氣區(qū)域2c的下游側(cè)。另一方面，向再生區(qū)域2a，導(dǎo)入由再生空氣用風(fēng)扇21送到了供氣管道22的外氣。此外氣，由加熱裝置23預(yù)先加熱成規(guī)定的溫度。由轉(zhuǎn)輪40吸附或吸收了的水蒸汽、氣體狀物質(zhì)，由此被加熱了的空氣蒸發(fā)，轉(zhuǎn)輪40的吸附或吸收功能恢復(fù)。另外，在再生區(qū)域2a，設(shè)有排氣管道24。此排氣管道24，與外部連通。從再生區(qū)域2a出來(lái)了的空氣，通過(guò)排氣管道24全被排出到外部。另外，在此氣體除去系統(tǒng)中，在清洗空氣用冷卻裝置4的下游側(cè)設(shè)置溫度傳感器4a，在預(yù)冷卻器13的下游側(cè)設(shè)置溫度傳感器13a，在加熱裝置23的下游側(cè)設(shè)置溫度傳感器23a。另外，此氣體除去系統(tǒng)，具有對(duì)各種設(shè)備的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制器25，溫度傳感器4a的測(cè)量值、溫度傳感器13a的測(cè)量值、溫度傳感器23a的測(cè)量值，以及溫度計(jì)20的測(cè)量值，被輸入此控制器25。 控制器25，相應(yīng)于溫度傳感器4a的測(cè)量值對(duì)由清洗空氣冷卻裝置4獲得的冷卻溫度進(jìn)行控制，相應(yīng)于溫度傳感器13a的測(cè)量值對(duì)由預(yù)冷卻器13獲得的冷卻溫度進(jìn)行控制，相應(yīng)于溫度傳感器23的測(cè)定值對(duì)加熱裝置23的加熱溫度進(jìn)行控制。作為加熱裝置23，主要可使用由蒸氣對(duì)空氣進(jìn)行加熱的加熱盤(pán)管。在此情況下，控制器25對(duì)向加熱盤(pán)管供給的蒸氣的流量進(jìn)行調(diào)整。另外，在低濕度室18，設(shè)有溫度計(jì)20?？刂破?8，相應(yīng)于溫度計(jì)20的測(cè)量值對(duì)冷卻裝置14及加熱裝置15的冷卻溫度及加熱溫度進(jìn)行控制。作為冷卻裝置14，可使用由循環(huán)的冷水對(duì)空氣進(jìn)行冷卻及除濕的冷卻盤(pán)管。作為加熱裝置15，可使用由循環(huán)的溫水對(duì)空氣進(jìn)行加熱的加熱盤(pán)管。控制器18，對(duì)向這些冷卻盤(pán)管或加熱盤(pán)管供給的冷水或溫水的流量進(jìn)行調(diào)整。另外，通常的低濕度室要求的條件為“露點(diǎn)溫度* 以下”這一條件。但是，在處理后的空氣的供給對(duì)象室如環(huán)境試驗(yàn)室那樣附加了將溫度及濕度設(shè)定為“干球溫度**°c ±* *°c”及“露點(diǎn)溫度* *°c ±* *°c”這一上下限的條件的情況下，也可除了冷卻裝置14及加熱裝置15外還追加加濕器，調(diào)節(jié)成了規(guī)定的溫濕度后，被供給到對(duì)象室內(nèi)。另外，冷卻裝置14或加熱裝置15或加濕裝置，除了將上述冷水、溫水設(shè)為熱源以外，也可為使用制冷劑的直膨方式、電或蒸氣的熱源的裝置。(I — 2)第I實(shí)施方式的作用、效果本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)，如以下那樣作用。即，清洗空氣，以封閉系在第一清洗區(qū)域2b和第二清洗區(qū)域2d循環(huán)。此清洗空氣，通過(guò)第一清洗區(qū)域2b，對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行冷卻。接下來(lái)，由從轉(zhuǎn)輪40的吸熱升溫了的清洗空氣，被導(dǎo)入第二清洗區(qū)域2d。此第二清洗區(qū)域2d，為減氣區(qū)域2c的接下來(lái)的區(qū)域。因此，通過(guò)第一清洗區(qū)域2b而升溫了的清洗空氣，在通過(guò)第二清洗區(qū)域2d的時(shí)候被冷卻。另一方面，轉(zhuǎn)輪40被加熱。因此，轉(zhuǎn)輪在進(jìn)入接下來(lái)的再生區(qū)域2a之前被加熱，所以，可實(shí)現(xiàn)在再生區(qū)域2a的加熱量的減少。另外，轉(zhuǎn)輪40的溫度，通過(guò)第二清洗區(qū)域2d而上升。轉(zhuǎn)輪40的溫度在再生區(qū)域2a進(jìn)一步上升到規(guī)定的溫度。其后，轉(zhuǎn)輪40，由通過(guò)清洗空氣用冷卻裝置4而降低了溫度的清洗空氣，在從再生區(qū)域2a轉(zhuǎn)移到減氣區(qū)域2c之前，在第一清洗區(qū)域2b被冷卻。因此，在此氣體除去系統(tǒng)中，在減氣區(qū)域2c的水蒸汽或其它的氣體的吸附或吸收能力增加。
在這里，作為本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)的由清洗空氣進(jìn)行的轉(zhuǎn)輪的預(yù)備冷卻方法的變型例，可考慮圖6所示氣體除去系統(tǒng)。圖6所示氣體除去系統(tǒng)，為使清洗空氣與通過(guò)吸氣管道22到達(dá)再生區(qū)域41的 空氣匯合的系統(tǒng)。S卩，轉(zhuǎn)輪40的端面?zhèn)?，被分隔成再生區(qū)域41、減氣區(qū)域42，以及清洗區(qū)域43，由導(dǎo)入管道11及空氣取入用風(fēng)扇12向減氣區(qū)域42導(dǎo)入處理對(duì)象空氣。另外，由再生空氣用風(fēng)扇21導(dǎo)入到了供氣管道22的外氣，在由加熱裝置23加熱成了規(guī)定的溫度后，被導(dǎo)入再生區(qū)域41，對(duì)轉(zhuǎn)輪進(jìn)行再生。并且，清洗區(qū)域43，連接從導(dǎo)入管道11分支的分支管線44。此分支管線44的另一端在清洗區(qū)域43的下游側(cè)，與供氣管道22連接。S卩，處理對(duì)象空氣的一部分，被用作對(duì)轉(zhuǎn)輪40進(jìn)行預(yù)備冷卻的清洗空氣。在圖6所示氣體除去系統(tǒng)中，與冷卻減濕方法相比能夠供給更低露點(diǎn)的空氣。然而，此氣體除去系統(tǒng)消耗許多的能量。低濕度室，基本上是24小時(shí)運(yùn)行，能量的減少對(duì)包含運(yùn)用費(fèi)在內(nèi)的設(shè)備成本產(chǎn)生的影響非常大，所以，能量的減少與設(shè)備成本的降低直接相關(guān)。另一方面，本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)，與此圖6所示氣體除去系統(tǒng)相比，能夠減少清洗空氣的風(fēng)量，另外，因?yàn)檫€具有能夠提高熱效率這一效果，所以，比較理想。另外，雖然在封閉系的循環(huán)路徑使清洗空氣循環(huán)，但也可找到?jīng)]有冷卻裝置4的變型例。在沒(méi)有冷卻裝置4的氣體除去系統(tǒng)中，能量效率良好。然而，此氣體除去系統(tǒng)，難以供給將露點(diǎn)降低到了一 20°C的程度以下的空氣。另一方面，本實(shí)施方式的氣體除去系統(tǒng)，與沒(méi)有冷卻裝置4的氣體除去系統(tǒng)相比，具有能夠提高水蒸汽或其它的氣體的除去率這一效果，所以，比較理想。如這樣按照本實(shí)施方式，能夠更有效地利用清洗空氣，冷卻效率更好，能夠?qū)Ω吐饵c(diǎn)的處理對(duì)象空氣進(jìn)行處理。(I 一 3)第I實(shí)施方式的變型例本實(shí)施方式，不限于上述的結(jié)構(gòu)。例如，有時(shí)在處理后的空氣的供給對(duì)象室內(nèi)的濕分負(fù)荷大，僅是外氣的濕分除去不能滿足在該對(duì)象室內(nèi)的濕度設(shè)定。在此情況下，從低濕度室18排出了的空氣，也可由環(huán)氣管道19導(dǎo)入氣體除去裝置I的減氣區(qū)域2c的上流側(cè)。例如，將環(huán)氣管道19與預(yù)冷卻器13的上流側(cè)或下游側(cè)連接。與上流側(cè)或下游側(cè)的哪一側(cè)連接，根據(jù)該對(duì)象室內(nèi)的濕分負(fù)荷和在氣體除去裝置I及該對(duì)象室內(nèi)必要的空氣的濕分決定。(2 — I)第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)本實(shí)施方式為第I實(shí)施方式的變型例。如圖3所示，在向氣體除去裝置I的再生區(qū)域2a供給外氣的供氣管道22上，設(shè)置第一節(jié)氣閥31。另外，在向氣體除去裝置I的減氣區(qū)域2c供給處理對(duì)象空氣的導(dǎo)入管道11上，在減氣區(qū)域2c的下游側(cè)設(shè)置第二節(jié)氣閥32。這些第一節(jié)氣閥31和第二節(jié)氣閥32的開(kāi)度，由控制器25調(diào)整。控制器25，對(duì)第一節(jié)氣閥31和第二節(jié)氣閥32的開(kāi)度進(jìn)行調(diào)節(jié)。此控制器25的目標(biāo)為Pc > Pb N Pd > Pa。Pa為再生區(qū)域2a的壓力，Pb為第一清洗區(qū)域2b的壓力，Pc為減氣區(qū)域2c的壓力，Pd為第二清洗區(qū)域2d的壓力。更具體地說(shuō)，在再生區(qū)域2a的下游側(cè)設(shè)置第一壓力傳感器33a，在第一清洗區(qū)域2b的下游側(cè)設(shè)置第二壓力傳感器33b，在減氣區(qū)域2c的下游側(cè)設(shè)置第三壓力傳感器33c，以及在第二清洗區(qū)域2d的下游側(cè)設(shè)置第四壓力傳感器33d。這些傳感器的檢測(cè)值，被輸入到控制器25?？刂破?5，以使得設(shè)置在減氣區(qū)域2c的下游側(cè)的第三壓力傳感器33c的檢測(cè)值(Pc)與設(shè)置在再生區(qū)域2a的下游側(cè)的第一壓力傳感器33a的檢測(cè)值(Pa)相比變大的方式進(jìn)行調(diào)整。例如，如控制器25使第一節(jié)氣閥31關(guān)閉下去，則Pa下降，結(jié)果，成為Pc > Pa。但是，在此情況下，也需要確保外氣量及處理對(duì)象空氣量。為了滿足這一需要，可采用在初期測(cè)定風(fēng)量對(duì)第一節(jié)氣閥31的開(kāi)度進(jìn)行調(diào)整的方法。或者，可采用在管道系統(tǒng)中設(shè)置對(duì)風(fēng)量或風(fēng)速進(jìn)行測(cè)定的裝置，由變頻器等對(duì)再生空氣用風(fēng)扇21及空氣取入用風(fēng)扇12進(jìn)行控制的方法。另一方面，設(shè)置在第一清洗區(qū)域2b的下游側(cè)的第二壓力傳感器33b和設(shè)置在第二清洗區(qū)域2d的下游側(cè)的第四壓力傳感器33d的檢測(cè)值為Pb、Pd，如Pc > Pa，則不需要那么嚴(yán)格地進(jìn)行控制。然而，在要求更低濕度的情況下，如圖4所示，在循環(huán)路徑3上追加第二清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇35。或者，依次追加第三節(jié)氣閥36、第四節(jié)氣閥37。并且，控制器25將清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇35、第三節(jié)氣閥36，以及第四節(jié)氣閥37包含在內(nèi)進(jìn)行控制，使得Pc > Pb ^Pd > Pa。(2-2)第2實(shí)施方式的作用、效果在具有上述那樣的結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式中，如圖5所示，因?yàn)橐陨鲜鲈偕鷧^(qū)域2a、第一清洗區(qū)域2b、減氣區(qū)域2。，以及第二清洗區(qū)域
2d的壓力成為減氣區(qū)域 > 第一清洗區(qū)域N第二清洗區(qū)域 >再生區(qū)域
的方式構(gòu)成，所以，能夠構(gòu)成為，使得空氣從對(duì)再生區(qū)域2a、第一清洗區(qū)域2b、減氣區(qū)域2c以及第二清洗區(qū)域2d的各部進(jìn)行劃分的清洗扇形體與轉(zhuǎn)輪部的間隙通過(guò)各個(gè)區(qū)域的泄漏成為一個(gè)方向。其結(jié)果，能夠以更高精度獲得低露點(diǎn)的水蒸汽或其它的氣體含有量更少的處理空氣。
附圖標(biāo)記說(shuō)明I.
2a
2b
2c
2d3.4.5.
3a
氣體除去裝置 再生區(qū)域 第一清洗區(qū)域 減氣區(qū)域 第二清洗區(qū)域循環(huán)路徑
清洗空氣用冷卻裝置清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇.導(dǎo)入管道 空氣取入用風(fēng)扇 預(yù)冷卻器 ·溫度傳感器.冷卻裝置 加熱裝置
16...室內(nèi)空氣循環(huán)用風(fēng)扇17…供給管道18…低濕度室19…環(huán)氣管道20…溫度計(jì) 21…再生空氣用風(fēng)扇22…供氣管道23…加熱裝置23a…溫度傳感器24…排氣管道25…控制器31…第一節(jié)氣閥32…第二節(jié)氣閥33a…第一壓力傳感器33b…第二壓力傳感器33c…第三壓力傳感器33d…第四壓力傳感器35…第二清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇36…第三節(jié)氣閥37…第四節(jié)氣閥40…轉(zhuǎn)輪
權(quán)利要求
1.一種氣體除去系統(tǒng)，為使包含在處理對(duì)象空氣中的水蒸汽或氣體狀物質(zhì)的濃度降低的氣體除去系統(tǒng)，其特征在于，具備 繞軸旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置的轉(zhuǎn)輪，該轉(zhuǎn)輪對(duì)上述水蒸汽或氣體狀物質(zhì)進(jìn)行吸附； 被分配給上述轉(zhuǎn)輪存在的區(qū)域的一部分的再生區(qū)域，對(duì)上述轉(zhuǎn)輪進(jìn)行加熱的空氣通過(guò)該再生區(qū)域； 與上述再生區(qū)域鄰接且被分配給上述轉(zhuǎn)輪存在的區(qū)域的一部分的第一清洗區(qū)域，對(duì)上述轉(zhuǎn)輪進(jìn)行預(yù)備冷卻的清洗空氣通過(guò)該第一清洗區(qū)域； 與上述第一清洗區(qū)域鄰接且被分配給上述轉(zhuǎn)輪存在的區(qū)域的一部分的減氣區(qū)域，上述處理對(duì)象空氣通過(guò)該減氣區(qū)域； 由上述減氣區(qū)域和上述再生區(qū)域夾著且被分配給上述轉(zhuǎn)輪存在的區(qū)域的一部分的第二清洗區(qū)域，對(duì)上述轉(zhuǎn)輪進(jìn)行預(yù)備加熱的上述清洗空氣通過(guò)該第二清洗區(qū)域； 將上述第一清洗區(qū)域與上述第二清洗區(qū)域連結(jié)的封閉系的循環(huán)路徑，上述清洗空氣在該封閉系的循環(huán)路徑流動(dòng)，以及 設(shè)在上述循環(huán)路徑上的一個(gè)部位的冷卻裝置，該冷卻裝置對(duì)在上述第一清洗區(qū)域吸熱、通過(guò)上述第二清洗區(qū)域，并再次流入上述第一清洗空氣之前的上述清洗空氣進(jìn)行冷卻。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體除去系統(tǒng)，其特征在于 上述再生區(qū)域的壓力Pa、第一清洗區(qū)域的壓力Pb、減氣區(qū)域的壓力Pc，以及第二清洗區(qū)域的壓力Pd,為Pc > Pb N Pd > Pa。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體除去系統(tǒng)，其特征在于，還具備 對(duì)上述再生區(qū)域、上述第一清洗區(qū)域、上述減氣區(qū)域，以及上述第二清洗區(qū)域的各壓力進(jìn)行檢測(cè)的各傳感器； 對(duì)通過(guò)上述再生區(qū)域的空氣進(jìn)行限制的第一節(jié)氣閥； 對(duì)通過(guò)上述減氣區(qū)域的上述處理對(duì)象空氣進(jìn)行限制的第二節(jié)氣閥，以及根據(jù)上述各傳感器檢測(cè)出的上述各壓力，對(duì)上述第一節(jié)氣閥和上述第二節(jié)氣閥的開(kāi)度進(jìn)行控制的控制器。
全文摘要
提供一種能量消耗少、能夠以低露點(diǎn)提供高清潔度的空氣的氣體除去系統(tǒng)。將位于干式氣體除去裝置(1)的轉(zhuǎn)輪(40)端面的空氣的通過(guò)區(qū)域，在轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)方向依次分隔成再生區(qū)域(2a)、第一清洗區(qū)域(2b)、減氣區(qū)域(2c)，以及第二清洗區(qū)域(2d)。在第一清洗區(qū)域與第二清洗區(qū)域之間設(shè)置封閉系的循環(huán)路徑(3)。在循環(huán)路徑上設(shè)置清洗空氣用冷卻裝置(4)及清洗空氣循環(huán)用風(fēng)扇(5)。通過(guò)了第一清洗區(qū)域的空氣，在通過(guò)了第二清洗區(qū)域后，由冷卻裝置冷卻，再次通過(guò)第一清洗區(qū)域。因?yàn)槭褂么烁墒綒怏w除去裝置，所以，轉(zhuǎn)輪在從減氣區(qū)域進(jìn)入再生區(qū)域之前被加熱，在從再生區(qū)域轉(zhuǎn)移到減氣區(qū)域之前被冷卻，因此，能夠提供高精度的氣體除去系統(tǒng)。
文檔編號(hào)B01D53/26GK102985158SQ201180033759
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2011年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
發(fā)明者海老根猛 申請(qǐng)人:菱和技術(shù)株式會(huì)社