專利名稱：氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)和相應(yīng)氣體處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及用于化學(xué)氣相沉積工藝的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)、延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的使用壽命的方法和MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法。
背景技術(shù)：
MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種化學(xué)氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長的源材料，以熱分解反應(yīng)方式在石墨盤上進行沉積工藝，生長各種II1-V族、I1-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。在化學(xué)氣相工藝過程中反應(yīng)腔室中氣體需要經(jīng)過過濾系統(tǒng)，將氣體中的顆粒等物質(zhì)過濾，然后經(jīng)過相應(yīng)的化學(xué)處理過后才能向外部排放。具體地，請結(jié)合圖1所示的現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。彎管30的一端與上游反應(yīng)腔室10相連接，另一端與下游過濾器20相連，所述彎管30與過濾器20共同構(gòu)成了 MOCVD設(shè)備的過濾系統(tǒng)。來自上游反應(yīng)腔室10的氣體經(jīng)過彎管30進入過濾器20，經(jīng)過過濾器20過濾后的氣體流向?qū)?yīng)的化學(xué)處理部件。在實際中，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的利用率(uptime)偏低，無法滿足應(yīng)用的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例解決的問題是提供了用于化學(xué)氣相沉積工藝的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)、延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的濾芯的使用壽命的方法和MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，減小了流向下游過濾器的濾芯中的顆粒，從而延長了過濾器以及濾芯的使用周期，減少了化學(xué)氣相沉積設(shè)備(包括MOCVD設(shè)備)因為清洗和或/更換過濾器而產(chǎn)生的停機時間，因而提高了化學(xué)氣相沉積設(shè)備的利用率。為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應(yīng)腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉(zhuǎn)彎處設(shè)置有預(yù)收集過濾部件，所述預(yù)收集過濾部件沿氣體流動的方向設(shè)置，所述預(yù)收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預(yù)收集過濾處理?？蛇x地，所述氣體過濾處理結(jié)構(gòu)用于MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)?？蛇x地，所述彎管上游設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，所述冷卻結(jié)構(gòu)用于對來自反應(yīng)腔室的氣體進行冷卻處理，所述預(yù)收集過濾部件對所述冷卻結(jié)構(gòu)冷卻后的氣體進行預(yù)收集過濾處理?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件與所述彎管結(jié)合為一體或可以相互分離?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件采用一體成型的方式制作?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件為管狀?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件內(nèi)還設(shè)置有過濾網(wǎng)或濾芯。
可選地，所述過濾網(wǎng)或濾芯能夠與所述預(yù)處理過濾部件相互分離?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯(lián)接方式結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端封閉或所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間?？蛇x地，所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的尾氣處理系統(tǒng)，包括所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的濾芯的使用壽命的方法，所述尾氣處理系統(tǒng)包括連接上游反應(yīng)腔室和下游過濾器的彎管，所述過濾器具有濾芯，氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游過濾器時，對氣體進行預(yù)收集處理，將氣體中的顆粒物質(zhì)去除?？蛇x地，所述預(yù)收集處理通過在彎管處設(shè)置預(yù)收集管道進行，所述預(yù)收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉?？蛇x地，在進行所述預(yù)收集處理前，還包括對所述氣體進行冷卻處理，使得氣體中的顆粒凝結(jié)。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，所述方法利用彎管連接上游反應(yīng)腔室和下游帶有濾芯的過濾器，尾氣在經(jīng)過上游流向下游的過程中，在彎管處對尾氣進行預(yù)收集過濾處理，將尾氣中的顆粒去除。可選地，在對尾氣進行預(yù)收集過濾處理前，還包括對尾氣進行冷卻處理的步驟，使得尾氣中的顆粒凝結(jié)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點本發(fā)明提供的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)中設(shè)置的彎管相連接的預(yù)收集過濾部件，氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游的過濾器時，在設(shè)置于轉(zhuǎn)彎處的預(yù)收集過濾部件中進行預(yù)收集處理，氣體中的顆粒物質(zhì)因為自身重力作用沉降于預(yù)收集過濾部件中，從而減少了對下游的過濾器及濾芯的沾污，延長了過濾器的使用壽命，減少了化學(xué)氣相沉積設(shè)備(包括MOCVD設(shè)備)因為清洗或更換過濾器的停機時間，因而提高了化學(xué)氣相沉積設(shè)備的利用率；進一步優(yōu)化地，所述彎管的上游設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，該冷卻結(jié)構(gòu)能夠?qū)怏w進行冷卻，有利于氣體中的顆粒凝結(jié)，從而預(yù)收集過濾部件能夠收集更多的顆粒，進一步減少流向下游的過濾器及濾芯的顆粒，進一步延長過濾器的使用壽命；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件與所述彎管結(jié)合為一體,這樣整個氣體過濾處理結(jié)構(gòu)更加簡化，并且預(yù)收集過濾部件可以與彎管采用一體成型的方式制作，不僅節(jié)約工藝步驟，而且也能夠防止外部對預(yù)收集過濾部件的污染，保證了預(yù)收集過濾部件內(nèi)的真空度和潔凈度；并且當(dāng)預(yù)收集過濾部件與彎管采用一體成型的方式制作的時候，可以在預(yù)收集過濾部件的另一端設(shè)置可拆卸端蓋，該端蓋能夠?qū)㈩A(yù)收集過濾部件封閉，并且該端蓋能夠從預(yù)收集過濾部件上移除，從而實現(xiàn)對預(yù)收集過濾部件的清潔維護；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件與彎管可以相互分離，在預(yù)收集過濾部件使用一段時間后，可以采用干凈的預(yù)收集過濾部件的備件進行替換，操作簡單、方便，也不需要化學(xué)氣相沉積設(shè)備停機；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件中還可以設(shè)置過濾網(wǎng)或濾芯，所述過濾網(wǎng)或濾芯用于對氣體進行進一步的過濾，獲得更好的過濾效果，進一步減少對下游過濾器和濾芯的沾污，延長下游過濾器和濾芯的使用壽命。


圖1是現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明第一實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明第二實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明第三實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的利用率偏低，無法滿足應(yīng)用的要求。經(jīng)過發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，由于需要頻繁停機對過濾器(主要是其中的濾芯)進行清潔維護，占用了 MOCVD設(shè)備原本用于工藝的時間。過濾器的結(jié)構(gòu)通常較為復(fù)雜，其清潔維護的時間很長。但是基于現(xiàn)有的技術(shù)，無法對過濾器的結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化以減小對其清潔維護的時間，因此發(fā)明人考慮延長現(xiàn)有的過濾器的使用壽命，減少對過濾器進行清潔維護的次數(shù)。如圖1所示，在現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)中，上游反應(yīng)腔室10與下游過濾器20通常通過彎管30相連接，反應(yīng)腔室10的水平位置通常高于過濾器20的水平位置，尾氣自反應(yīng)腔室10垂直向下流出，然后經(jīng)過彎管30水平地流向下游過濾器20，過濾器20的濾芯對尾氣中的顆粒進行過濾處理。發(fā)明人考慮在彎管30的轉(zhuǎn)彎處設(shè)置預(yù)收集過濾部件，該預(yù)收集過濾部件應(yīng)沿氣體流動方向設(shè)置，并且設(shè)置在彎管和氣體流動方向的下方，以滿足氣體流經(jīng)轉(zhuǎn)彎處時其中的顆粒因為自身重力作用能夠沉降于預(yù)收集過濾部件中，從而減小流向下游過濾器30的顆粒的數(shù)目，減少對過濾器30及其濾芯的沾污。具體地，本發(fā)明提出的預(yù)收集過濾部件的一端應(yīng)與彎管的轉(zhuǎn)彎相連接，且設(shè)置在氣體流動方向的下方，氣體中的顆粒能夠因為重力沉降于該預(yù)收集過濾部件中，并且該預(yù)收集過濾部件的另一端應(yīng)保持封閉，從而能夠容納沉降的顆粒物質(zhì)。需要說明的是本發(fā)明所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)和尾氣處理系統(tǒng)適用于各種需要對尾氣進行過濾處理的化學(xué)氣相沉積設(shè)備。作為一個實施例，本發(fā)明以應(yīng)用于MOCVD工藝的MOCVD設(shè)備為例進行說明，在其他的實施例中，本發(fā)明所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)和尾氣處理系統(tǒng)也適用于其他的化學(xué)氣相沉積設(shè)備。下面結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行詳細(xì)的說明。為了更好地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，請結(jié)合圖2所示的本發(fā)明第一實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。彎管300的一端與上游反應(yīng)腔室100相連接，另一端與下游過濾器200相連接。如圖所示，圖中反應(yīng)腔室100設(shè)置于過濾器200的上方。在其他的實施例中，反應(yīng)腔室100還可以設(shè)置于過濾器200的下方。但是無論反應(yīng)腔室100與過濾器200的相對位置關(guān)系如何，反應(yīng)腔室100始終作為氣體的上游，過濾器200還作為氣體的下游，即氣體自反應(yīng)腔室100經(jīng)過彎管300流向過濾器200。
本實施例中，彎管300包括第一彎管3001和第二彎管3002，所述第一彎管3001的一端與上游反應(yīng)腔室100相連接，另一端與第二彎管3002的一端相連接，所述第二彎管3002的另一端與下游過濾器200相連接。所述第一彎管3001與第二彎管3002之間具有一定的角度。本實施例中，所述第一彎管3001垂直于所述第二彎管3002，兩者之間的角度為90度，從而所述第一彎管3001沿垂直方向分布，第二彎管3002沿水平方向分布。在其他的實施例中，所述第一彎管3001和第二彎管3002之間的角度還可以為其他角度，比如所述第一彎管3001與第二彎管3002之間角度可以為30度、45度或60度等。本發(fā)明所述的第一彎管3001和第二彎管3002的材質(zhì)可以相同，也可以不同。本實施例中，所述第一彎管3001和第二彎管3002的材質(zhì)相同。比如，所述第一彎管3001和第二彎管3002的材質(zhì)可以為金屬、陶瓷等。作為一個實施例，所述第一彎管3001和第二彎管3002的材質(zhì)為不銹鋼。請繼續(xù)參考圖2，預(yù)收集過濾部件400設(shè)置于彎管300的轉(zhuǎn)彎處，且所述預(yù)收集過濾部件400的方向沿氣體流動的方向設(shè)置，預(yù)收集過濾部件400的一端與彎管300的轉(zhuǎn)彎相連接，另一端封閉。作為一個實施例，預(yù)收集過濾部件400為管狀，從而彎管300與預(yù)收集過濾部件400的結(jié)構(gòu)形成類似三通管道的結(jié)構(gòu)。作為其他的實施例，所述預(yù)收集過濾部件400還可以為立方體、長方體等其他具有一定容積、能夠容納顆粒物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，在此不作
說明。本發(fā)明所述的預(yù)收集過濾部件400沿氣體流動的方向設(shè)置在彎管300的轉(zhuǎn)彎處，主要是為了保證氣體在自上向下沿第一彎管3001流動的過程中，能夠?qū)怏w中因為自身重力而沉降的物質(zhì)沉降于預(yù)收集過濾部件400中，并且在預(yù)收集過濾部件400中停留，然后氣體在轉(zhuǎn)彎處轉(zhuǎn)彎繼續(xù)沿第二彎管3002向前流動，經(jīng)過上述預(yù)收集過濾部件400的過濾作用，減少了流向過濾器200及其濾芯的顆粒，減少對過濾器200及其濾芯的沾污，相應(yīng)延長了過濾器200及其濾芯的使用壽命。作為一個實施例，所述預(yù)收集過濾部件400與彎管300之間的結(jié)合為兩者可以相互分離。預(yù)收集過濾部件400可以與彎管300分別制作，然后通過可拆卸連接方式結(jié)合為一體。本實施例中,所述預(yù)收集過濾部件400通過真空接頭401與彎管300結(jié)合為一體。這樣，在預(yù)收集過濾部件400使用一段時間后，可以方便地更換新的潔凈的預(yù)收集過濾部件。當(dāng)然，在其他的實施例中，所述預(yù)收集過濾部件400還可以與彎管300結(jié)合為一體，即兩者是不可分離的，這樣可以通過一體成型的方式預(yù)收集過濾部件400和彎管300，從而簡化整個尾氣處理系統(tǒng)的制作方法。當(dāng)預(yù)收集過濾部件400與彎管300通過可拆卸聯(lián)接方式結(jié)合為一體時，所述預(yù)收集過濾部件400的另一端為封閉的結(jié)構(gòu)，即該部分不能打開，以便容納顆粒；當(dāng)然，所述預(yù)收集過濾部件400的另一端也可以為可拆卸的端蓋，該端蓋一方面能夠使得預(yù)收集過濾部件400形成容納顆粒的空間，另一方便能夠分離，實現(xiàn)對預(yù)收集過濾部件400的清潔保養(yǎng)。當(dāng)預(yù)收集過濾部件400與彎管300結(jié)合為一體時，可以在預(yù)收集過濾部件400的另一端設(shè)置可拆卸的端蓋，該端蓋用于將預(yù)收集過濾部件400的另一端封閉，并且該端蓋能夠與所述預(yù)收集過濾部件400分離。在預(yù)收集過濾部件400使用一段時間需要清潔處理時,可以通過打開端蓋實現(xiàn)對預(yù)收集過濾部件400的清潔維護。
本發(fā)明所述的預(yù)收集過濾部件400的材質(zhì)應(yīng)可以為金屬、陶瓷等材質(zhì)。作為一個實施例，所述預(yù)收集過濾部件400的材質(zhì)與彎管300的材質(zhì)相同，所述預(yù)收集過濾部件400的材質(zhì)為不銹鋼。作為一個實施例，所述預(yù)收集過濾部件400中還可以額外設(shè)置過濾部件(圖中未示出)，該過濾部件用于對氣體進行進一步的過濾處理，以獲得更好的過濾效果。所述過濾部件可以與預(yù)收集過濾部件400結(jié)合為一體，也可以與所述預(yù)收集過濾部件400保持相對的獨立(即兩者可以分離)。所述過濾部件可以為濾芯，也可以為過濾網(wǎng)。本實施例中，在所述預(yù)收集過濾部件400中設(shè)置濾芯。作為一個可選的實施例，所述預(yù)收集過濾部件400的另一端具有端蓋，該端蓋用于將所述預(yù)收集過濾部件400封閉，且該端蓋能夠與所述預(yù)收集過濾部件400分離，所述過濾部件與所述預(yù)收集過濾部件400可以分離。在需要對預(yù)收集過濾部件400進行清潔維護時,可以將端蓋打開,對預(yù)收集過濾部件400進行清潔，并且更換潔凈的過濾部件。作為本發(fā)明的又一可選實施例，所述過濾部件與預(yù)收集過濾部件400結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件400與所述彎管300可以相互分離，在預(yù)收集過濾部件400需要清潔維護時，只需要直接將預(yù)收集過濾部件400連同過濾器一同更換即可。下面請參考圖3所示的本發(fā)明第二實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。與前一實施例相同的結(jié)構(gòu)采用相同的標(biāo)號表示。彎管300的一端與上游反應(yīng)腔室100相連接，另一端與下游過濾器200相連接。本實施例與前一實施例的區(qū)別在于，彎管300包括自上游向下游依次連接的第一彎管3001、第三彎管3003、第四彎管3004、和第二彎管3002，相鄰的兩個彎管之間具有轉(zhuǎn)彎。本實施例中，相鄰的兩個彎管之間的角度為90度。在其他的實施例中，相鄰的兩個彎管之間的角度可以為其他任意的角度，在此不一一列舉。本實施例中，所述預(yù)收集過濾部件400可以設(shè)置于第三個轉(zhuǎn)彎處(即位于第四彎管3004與第二彎管3002之間的轉(zhuǎn)彎處)，所述預(yù)收集過濾部件400的方向為沿豎直方向。在其他的實施例中，在保證預(yù)收集過濾部件400的方向與氣體流動的方向一致的前提下，所述預(yù)收集過濾部件400還可以位于其他任意一個轉(zhuǎn)彎，比如所述預(yù)收集過濾部件400可以設(shè)置于第二個轉(zhuǎn)彎處(即第三彎管3003與第四彎管3004之間的轉(zhuǎn)彎處)，此時預(yù)收集過濾部件400的方向與所述第三彎管3003的方向相同，即預(yù)收集過濾部件400沿水平方向布局。下面請參考圖4所示的本發(fā)明第三實施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，與第一實施例相同的結(jié)構(gòu)采用相同的標(biāo)號表示。彎管300向下延伸，真空接頭401位于轉(zhuǎn)彎的下方，真空接頭401將第一彎管3001與預(yù)收集過濾部件400相連接，第一彎管3001、第二彎管3002將上游反應(yīng)腔室100與下游過濾器200相連接。本實施例與第一實施例的區(qū)別在于，真空接頭401的位置位于彎管的轉(zhuǎn)彎的下方。本發(fā)明還提供一種延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的濾芯的使用壽命的方法，所述方法在氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游過濾器時，在氣體流動的彎管的轉(zhuǎn)彎處對氣體進行預(yù)收集處理，利用氣體中顆粒的自身重力作用沉降，減少流向過濾器的濾芯中的顆粒，從而延長過濾器的濾芯的使用壽命。作為本發(fā)明的一個實施例，可以在彎管處設(shè)置預(yù)收集管道，所述預(yù)收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉，從而該預(yù)收集管道與彎管結(jié)合，呈三通管道狀。作為本發(fā)明的又一實施例，在氣體自上游流向彎管之前，還可以對氣體進行冷卻，以使得氣體中的更多的顆粒物質(zhì)能夠凝結(jié)，進一步減少流向過濾器的顆粒。利用所述方法對MOCVD設(shè)備的尾氣進行處理，不僅能夠減少對過濾器及其濾芯的沾污，而且具有更好的過濾效果。綜上，本發(fā)明提供的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)中設(shè)置的彎管相連接的預(yù)收集過濾部件，氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游的過濾器時，在設(shè)置于轉(zhuǎn)彎處的預(yù)收集過濾部件中進行預(yù)收集處理，氣體中的顆粒物質(zhì)因為自身重力作用沉降于預(yù)收集過濾部件中，從而減少了對下游的過濾器及濾芯的沾污，延長了過濾器的使用壽命，減少了化學(xué)氣相沉積設(shè)備(包括MOCVD設(shè)備)因為清洗或更換過濾器的停機時間，因而提高了化學(xué)氣相沉積設(shè)備的利用率；進一步優(yōu)化地，所述彎管的上游設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，該冷卻結(jié)構(gòu)能夠?qū)怏w進行冷卻，有利于氣體中的顆粒凝結(jié)，從而預(yù)收集過濾部件能夠收集更多的顆粒，進一步減少流向下游的過濾器及濾芯的顆粒，進一步延長過濾器的使用壽命；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件與所述彎管結(jié)合為一體,這樣整個氣體過濾處理結(jié)構(gòu)更加簡化，并且預(yù)收集過濾部件可以與彎管采用一體成型的方式制作，不僅節(jié)約工藝步驟，而且也能夠防止外部對預(yù)收集過濾部件的污染，保證了預(yù)收集過濾部件內(nèi)的真空度和潔凈度；并且當(dāng)預(yù)收集過濾部件與彎管采用一體成型的方式制作的時候，可以在預(yù)收集過濾部件的另一端設(shè)置可拆卸端蓋，該端蓋能夠?qū)㈩A(yù)收集過濾部件封閉，并且該端蓋能夠從預(yù)收集過濾部件上移除，從而實現(xiàn)對預(yù)收集過濾部件的清潔維護；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件與彎管可以相互分離，在預(yù)收集過濾部件使用一段時間后，可以采用干凈的預(yù)收集過濾部件的備件進行替換，操作簡單、方便，也不需要化學(xué)氣相沉積設(shè)備停機；進一步優(yōu)化地，所述預(yù)收集過濾部件中還可以設(shè)置過濾網(wǎng)或濾芯，所述過濾網(wǎng)或濾芯用于對氣體進行進一步的過濾，獲得更好的過濾效果，進一步減少對下游過濾器和濾芯的沾污，延長下游過濾器和濾芯的使用壽命。雖然本發(fā)明己以較佳實施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應(yīng)腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，其特征在于，所述彎管的轉(zhuǎn)彎處設(shè)置有預(yù)收集過濾部件，所述預(yù)收集過濾部件沿氣體流動的方向設(shè)置，所述預(yù)收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預(yù)收集過濾處理。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述氣體過濾處理結(jié)構(gòu)用于MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彎管上游設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，所述冷卻結(jié)構(gòu)用于對來自反應(yīng)腔室的氣體進行冷卻處理，所述預(yù)收集過濾部件對所述冷卻結(jié)構(gòu)冷卻后的氣體進行預(yù)收集過濾處理。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)收集過濾部件與所述彎管結(jié)合為一體或可以相互分離。
5.如權(quán)利要求4所述的氣體過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)收集過濾部件采用一體成型的方式制作。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)收集過濾部件為管狀。
7.如權(quán)利要求5所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)收集過濾部件內(nèi)還設(shè)置有過濾網(wǎng)或濾芯。
8.如權(quán)利要求7所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述過濾網(wǎng)或濾芯能夠與所述預(yù)處理過濾部件相互分離。
9.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu),其特征在于,所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯(lián)接方式結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端封閉或所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間。
10.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu),其特征在于,所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間。
11.一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)。
12.一種延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的使用壽命的方法，所述尾氣處理系統(tǒng)包括連接上游反應(yīng)腔室和下游過濾器的彎管，所述過濾器具有濾芯，其特征在于，氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游過濾器時，對氣體進行預(yù)收集處理，將氣體中的顆粒物質(zhì)去除。
13.如權(quán)利要求12所述的延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的使用壽命的方法，其特征在于，所述預(yù)收集處理通過在彎管處設(shè)置預(yù)收集管道進行，所述預(yù)收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉。
14.如權(quán)利要求12所述的延長MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的使用壽命的方法，其特征在于，在進行所述預(yù)收集處理前，還包括對所述氣體進行冷卻處理，使得氣體中的顆粒凝結(jié)。
15.一種MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，所述方法利用彎管連接上游反應(yīng)腔室和下游帶有濾芯的過濾器，其特征在于，尾氣在經(jīng)過上游流向下游的過程中，在彎管處對尾氣進行預(yù)收集過濾處理，將尾氣中的顆粒去除。
16.如權(quán)利要求15所述的MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，其特征在于，在對尾氣進行預(yù)收集過濾處理前，還包括對尾 氣進行冷卻處理的步驟，使得尾氣中的顆粒凝結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)、MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法、延長MOCVD設(shè)備的過濾器的使用壽命的方法，其中所述氣體過濾處理結(jié)構(gòu)包括彎管，所述彎管的一端與上游反應(yīng)腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉(zhuǎn)彎處設(shè)置有預(yù)收集過濾部件，所述預(yù)收集過濾部件沿氣體流動的方向設(shè)置，所述預(yù)收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預(yù)收集過濾處理。本發(fā)明延長了MOCVD設(shè)備的過濾器和濾芯的使用壽命，減少了因為清潔和更換過濾器及濾芯的停機時間，提高了MOCVD設(shè)備的利用率。
文檔編號B01D50/00GK103071353SQ20121012152
公開日2013年5月1日 申請日期2012年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月23日
發(fā)明者孫仁君, 田益西 申請人:光達光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司