過濾裝置及應(yīng)用該過濾裝置的真空鍍膜裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種過濾裝置，其包括管道裝置、電磁發(fā)生裝置、一磁吸附裝置及一物理吸附裝置，該管道裝置包括一主體管、分別與主體管連通的第一支管及一第二支管，該電磁發(fā)生裝置套設(shè)在該主體管鄰近該第一支管的一端。該磁吸附裝置可拆卸地容置在該第一支管內(nèi)，該物理吸附裝置可移動地安裝在該主體管內(nèi)。該過濾裝置可大大降低冷卻水中的雜質(zhì)，提高與該過濾裝置連接的冷卻水循環(huán)裝置的冷卻效率，還可延長冷卻水循環(huán)裝置及被冷卻裝置的使用壽命。另外，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置。
【專利說明】過濾裝置及應(yīng)用該過濾裝置的真空鍍膜裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種過濾裝置及應(yīng)用該過濾裝置的真空鍍膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的真空鍍膜裝置，通常設(shè)置有一循環(huán)冷卻裝置，用以對真空鍍膜裝置的真空泵、靶源及反應(yīng)室腔壁等部件進(jìn)行冷卻處理，避免上述部件因過熱而損壞。
[0003]為了降低成本，自來水作為冷卻水被廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝中。雖然循環(huán)冷卻裝置的水管一般為不銹鋼材質(zhì)，但自來水中含有少量Na+、Mg+及Cl—等容易使不銹鋼材質(zhì)發(fā)生腐蝕反應(yīng)的離子，長期使用后，水管的內(nèi)周壁仍會發(fā)生一定的腐蝕反應(yīng)，并在冷卻水中產(chǎn)生褐色或紅色的絮狀物。該絮狀物的主要成分為鐵銹。當(dāng)上述絮狀物積累較多時，將會沉積在待冷卻部件內(nèi)部和水管內(nèi)周壁上，特別是靶源的磁芯上將吸附大量的絮狀物。如此將降低冷卻效率，同時加速水管內(nèi)表面的腐蝕反應(yīng)并產(chǎn)生更多的絮狀物。雖然可通過拆卸、清洗靶源，以去除沉積于靶芯上的絮狀物，但耗費人力成本較大、并容易造成停工損失。另外，無法對循環(huán)冷卻裝置的水管內(nèi)周壁進(jìn)行直接清洗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于此，本發(fā)明提供一種冷卻液過濾裝置。
[0005]另外，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置。
[0006]一種過濾裝置，其包括管道裝置、電磁發(fā)生裝置、一磁吸附裝置及一物理吸附裝置，該管道裝置包括一主體管、分別與主體管連通的第一支管及一第二支管，該電磁發(fā)生裝置套設(shè)在該主體管鄰近該第一支管的一端。該磁吸附裝置可拆卸地容置在該第一支管內(nèi)，該物理吸附裝置可移動地安裝在該主體管內(nèi)。
[0007]—種應(yīng)用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置，該真空鍍膜裝置包括一循環(huán)冷卻裝置，該循環(huán)冷卻裝置包括一進(jìn)水管及一出水管，該過濾裝置的主體管靠近該第一支管的一端與該出水管連接，該主體管遠(yuǎn)離該第一支管的一端與該進(jìn)水管連接。
[0008]該過濾裝置可大大降低冷卻水中的雜質(zhì)，提高與該過濾裝置連接的冷卻水循環(huán)裝置的冷卻效率，還可延長冷卻水循環(huán)裝置及被冷卻裝置的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明較佳實施例的過濾裝置的剖視示意圖。
[0010]圖2為圖1所示電磁發(fā)生裝置套設(shè)于主體管的剖視示意圖。
[0011]圖3為圖1中所示磁吸附裝置的示意圖。
[0012]圖4為圖1中所示電磁發(fā)生裝置產(chǎn)生電磁場的狀態(tài)示意圖。
[0013]圖5為圖1中所示電磁發(fā)生裝置產(chǎn)生電磁場的另一狀態(tài)示意圖。
[0014]圖6為圖1所示過濾裝置的使用狀態(tài)示意圖。
[0015]圖7為應(yīng)用圖1所示過濾裝置的真空鍍膜裝置的示意圖。
【權(quán)利要求】
1.一種過濾裝置，其特征在于:該過濾裝置包括一管道裝置、一電磁發(fā)生裝置及一磁吸附裝置，該管道裝置包括一主體管及與主體管連通的第一支管，該電磁發(fā)生裝置套設(shè)在該主體管鄰近該第一支管的一端，該磁吸附裝置可拆卸地容置在該第一支管內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:該電磁發(fā)生裝置包括一第一電極、與第一電極相對設(shè)置的第二電極、一勵磁線圈，該第一電極、第二電極分別相對地固定在該主體管的內(nèi)周壁，該勵磁線圈套設(shè)在該主體管的外周壁。
3.如權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其特征在于:該第一電極、第二電極分別與一第一電源電連接，該第一電極與第二電極的極性相反。
4.如權(quán)利要求3所述的過濾裝置，其特征在于:該第一電源為直流電源或交流電源。
5.如權(quán)利要求4所述的過濾裝置，其特征在于:該勵磁線圈與一第二電源電連接，該第二電源為直流電源。
6.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其特征在于:所述第一支管與主體管連通并設(shè)置于該主體管的下方。
7.如權(quán)利要求6所述的過濾裝置，其特征在于:當(dāng)勵磁線圈提供的磁場方向與主體管內(nèi)需過濾物質(zhì)的運動方向相反時，第一電極與第二電極之間產(chǎn)生由第二電極指向第一電極的電場；當(dāng)勵磁線圈提供的磁場方向與主體管內(nèi)需過濾物質(zhì)的運動方向相同時，第一電極與第二電極之間產(chǎn)生由第一電極指向第二電極的電場。
8.如權(quán)利要求6所述的過濾裝置，其特征在于:該電磁發(fā)生裝置提供一電磁場，該電磁場中需過濾物質(zhì)所受磁場力的方向垂直于需過濾物質(zhì)運動方向且向下。
9.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:該磁吸附裝置包括一吸附本體及間隔設(shè)置在該吸附本體上的若干永磁體。
10.如權(quán)利要求9所述的過濾裝置，其特征在于:每相鄰的二永磁體的磁性相反。
11.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:該過濾裝置還包括一物理吸附裝置，該物理吸附裝置可移動地安裝在該管道裝置內(nèi)。
12.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:該物理吸附裝置包括一吸附箱，該吸附箱內(nèi)裝有吸附劑。
13.如權(quán)利要求12所述的過濾裝置，其特征在于:該物理吸附裝置還包括一連接桿，該連接桿的一端與吸附箱連接，其相對的另一端可旋轉(zhuǎn)地固定在該管道裝置上。
14.如權(quán)利要求12所述的過濾裝置，其特征在于:該吸附箱為一網(wǎng)狀吸附箱。
15.如權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其特征在于:該電磁發(fā)生裝置還包括一設(shè)置在該主體管與該勵磁線圈之間的軟磁材料。
16.一種應(yīng)用權(quán)利要求1-15中任一項所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置，該真空鍍膜裝置包括一循環(huán)冷卻裝置，其特征在于:該循環(huán)冷卻裝置包括一進(jìn)水管及一出水管，該過濾裝置的主體管靠近該第一支管的一端與該出水管連接，該主體管遠(yuǎn)離該第一支管的一端與該進(jìn)水管連接。
【文檔編號】B01D35/06GK103657228SQ201210329087
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月7日
【發(fā)明者】黃登聰, 彭立全 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司