專利名稱：化學(xué)液存儲(chǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體硅片濕法清洗工藝中會(huì)用到各種化學(xué)液，這些化學(xué)液或呈酸性、堿性或者具有強(qiáng)烈的腐蝕性，又或者粘度較高。某些情況下，化學(xué)液是可以循環(huán)使用的，其工作壽命可以達(dá)到每30L化學(xué)液連續(xù)清洗3天或者可以清洗3000片硅片，因此，化學(xué)液需要存儲(chǔ)在化學(xué)容器中，如槽或罐里面，非工藝時(shí)間可實(shí)現(xiàn)化學(xué)液在管路與容器間的自循環(huán)，而工藝過(guò)后可使化學(xué)液經(jīng)管路回到儲(chǔ)存化學(xué)液的容器中。但是，如果沒(méi)有特殊的引流裝置，工藝過(guò)后回收的舊化學(xué)液因粘度較高無(wú)法與化 學(xué)容器中的自循環(huán)回的相對(duì)新鮮的化學(xué)液混合均勻，就會(huì)使得下次工藝時(shí)所使用的化學(xué)液或者大多為自循環(huán)回的化學(xué)液，也可能大多為回收的舊液，這樣就會(huì)影響工藝效果。目前，對(duì)于自循環(huán)與回收的化學(xué)液間的均勻混合，尚沒(méi)有成熟的措施，通常是化學(xué)液自循環(huán)管路與化學(xué)液回收管路簡(jiǎn)單的、相互獨(dú)立的分布在化學(xué)容器中，造成容器中化學(xué)液混合不均，影響工藝效果。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，通過(guò)化學(xué)液回收管路的特殊布局最終達(dá)到自循環(huán)的化學(xué)液與回收的化學(xué)液的充分混合，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為簡(jiǎn)單。(二)技術(shù)方案本發(fā)明提供一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，包括化學(xué)液回收管路，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學(xué)液循環(huán)管路，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。更好地，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵。更好地，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用焊接封堵。更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器。更好地，所述液位傳感器的數(shù)量至少為一個(gè)。更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，分別位于控制新化學(xué)液注入管、循環(huán)化學(xué)液注入管和回收化學(xué)液注入管上的三個(gè)控制閥門(mén)。更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵。(三)有益效果
本發(fā)明的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，通過(guò)化學(xué)液回收管路的特殊布局最終達(dá)到自循環(huán)的化學(xué)液與回收的化學(xué)液的充分混合，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為簡(jiǎn)單，并且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單有助于裝置的維修和清洗。


圖I為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I的右視圖；圖3為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置工作原理圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施 例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。如圖I并參考圖2所示，本發(fā)明的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，包括化學(xué)液回收管路11，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學(xué)液循環(huán)管路12，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵或者用焊接封堵。如圖3所示，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測(cè)化學(xué)液的傳感器9，所述傳感器9的數(shù)量至少為一個(gè)。所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于控制新化學(xué)液注入管上的控制閥門(mén)(3，6)、循環(huán)化學(xué)液注入管上的控制閥門(mén)(4，7)和回收化學(xué)液注入管上控制閥門(mén)(5，8);用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵(1，2)。如圖4所示，工藝時(shí)首先打開(kāi)控制閥門(mén)(3，6)，向化學(xué)液存儲(chǔ)容器a和化學(xué)液存儲(chǔ)容器b中注入化學(xué)液，直到中間的液位傳感器9感測(cè)到化學(xué)液，然后關(guān)閉控制閥門(mén)(3，6)。此時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)配置泵I將化學(xué)液輸送到相應(yīng)的工藝單元，并打開(kāi)控制閥門(mén)(5，8)回收舊化學(xué)液。本發(fā)明中的化學(xué)液可循環(huán)使用，因此在工藝過(guò)程中可通過(guò)化學(xué)液回收管路11使舊化學(xué)液回到化學(xué)液存儲(chǔ)容器a中，而非工藝時(shí)，化學(xué)液可直接通過(guò)常開(kāi)的控制閥門(mén)(4，7)回到化學(xué)液存儲(chǔ)容器中。由于化學(xué)液粘度較高，工藝后的化學(xué)液和自循環(huán)的化學(xué)液在化學(xué)液存儲(chǔ)容器中不能很好的混合，影響工藝的效果，本發(fā)明的化學(xué)液回收管路11采用特殊的處理做成螺旋狀，并在管的四周均勻打上若干小孔，同時(shí)將管路的出口采用特殊堵頭或者通過(guò)焊接的方式堵嚴(yán)，而化學(xué)液循環(huán)管路12采用穿插的形式貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路11中，同時(shí)也是四周均勻開(kāi)孔，末端同樣堵嚴(yán)，這樣化學(xué)液回收管路11中的化學(xué)液從小孔中流入化學(xué)液存儲(chǔ)容器a中，均勻排放到化學(xué)液存儲(chǔ)容器a的上、中、下層，而化學(xué)液循環(huán)管路貫穿在化學(xué)液回收管路11之間，化學(xué)液循環(huán)管路12中的化學(xué)液可透過(guò)小孔與化學(xué)液回收管路11中透出的化學(xué)液交叉混合，這樣，可使得兩管出來(lái)的化學(xué)液均勻的混合在一起。此外，在工藝過(guò)程中，可以通過(guò)液位標(biāo)簽實(shí)時(shí)觀測(cè)到化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的液位，若化學(xué)液低于所需液位，液位傳感器9通過(guò)控制系統(tǒng)可實(shí)時(shí)自動(dòng)為化學(xué)液存儲(chǔ)容器補(bǔ)充化學(xué)液；若化學(xué)液存儲(chǔ)容器a中的化學(xué)液達(dá)到其使用壽命，則運(yùn)轉(zhuǎn)配置泵2，使用化學(xué)液存儲(chǔ)容器b進(jìn)行工藝。 以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，包括 化學(xué)液回收管路，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵； 化學(xué)液循環(huán)管路，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。
2.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵。
3.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用焊接封堵。
4.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述液位傳感器的數(shù)量至少為一個(gè)。
6.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，分別位于控制新化學(xué)液注入管、循環(huán)化學(xué)液注入管和回收化學(xué)液注入管上的三個(gè)控制閥門(mén)。
7.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，包括化學(xué)液回收管路，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學(xué)液循環(huán)管路，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。本發(fā)明的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，通過(guò)化學(xué)液回收管路的特殊布局最終達(dá)到自循環(huán)的化學(xué)液與回收的化學(xué)液的充分混合，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為簡(jiǎn)單，并且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單有助于裝置的維修和清洗。
文檔編號(hào)B01F5/10GK102895892SQ20121037523
公開(kāi)日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月29日
發(fā)明者王營(yíng)營(yíng) 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司