專(zhuān)利名稱(chēng)：一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬?gòu)U氣處理領(lǐng)域，特別涉及一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法。
背景技術(shù)：
全氟碳化物PFCs，主要包括CF4 ,C2F6和C3H8等，是造成全球溫室效應(yīng)的高潛勢(shì)氣體。其中CF4和C2F6的CO2溫室效應(yīng)等效值分別為6500和9200，噸鋁的CF4和C2F6物排放量相當(dāng)于I. 35噸CO2，超過(guò)生產(chǎn)每噸電解鋁直接產(chǎn)生的I. 22噸C02。即，鋁電解排放煙氣中CF4和C2F6對(duì)溫室效應(yīng)的影響超過(guò)CO2的影響。其中90%的CF4和C2F6來(lái)源于鋁電解工業(yè)，其余的由微電子工業(yè)產(chǎn)生。我國(guó)不僅是鋁生產(chǎn)大國(guó)，而且生產(chǎn)大量的微電子產(chǎn)品，排放大量的PFCs。因此，將CF4、C2F6和C3H8分解或轉(zhuǎn)化，減少溫室氣體的排放，達(dá)到國(guó)家的減排的目標(biāo)，是我國(guó)急需解決的問(wèn)題?！つ壳霸谖㈦娮庸I(yè)采用等離子分解法處理廢氣CF4和C2F6。但該分解方法盡管可以消除PFCs，但在消除分解中產(chǎn)生C02、CO、COF2或HF，需要后繼多工序處理這些氣體，而且由于PFCs性質(zhì)穩(wěn)定，也要消耗相當(dāng)多的能量?？諝馊紵〞?huì)產(chǎn)生有毒的NOx和大量的污染廢水?；瘜W(xué)分解法還未找到一種能高效而且能大量處理PFCs的催化劑。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)已存在處理方法的缺點(diǎn)，利用金屬單質(zhì)，包括鋁、鎂、鈉、鈣等活潑金屬，分解PFCs，如CF4、C2F6、C3F8以及氟里昂(CCl2F2),產(chǎn)生的C和金屬的氟化物或氯化物，可以回收進(jìn)行循環(huán)利用，也實(shí)現(xiàn)了 PFCs的零排放，且分解率可達(dá)到93%-99%。本發(fā)明一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，按照以下步驟進(jìn)行
(1)將固體金屬放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空系統(tǒng)將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱，加熱到預(yù)定溫度；
(2)當(dāng)溫度升至預(yù)定溫度后，通過(guò)真空系統(tǒng)抽出保護(hù)性氣體，并通入待分解的PFCs氣體，密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為30 40分鐘；將反應(yīng)器冷卻到室溫后，取出反應(yīng)物，坩堝內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)物自然分層，得到可回收利用的碳和金屬氟化物、氯化物。所述固體金屬為鋁、鎂、鈉、鈣。所述預(yù)定溫度，當(dāng)固體金屬為鋁時(shí)，預(yù)定溫度大于660°C，當(dāng)固體金屬為鎂時(shí)，預(yù)定溫度大于649°C;當(dāng)固體金屬為鈉時(shí)，預(yù)定溫度大于98°C，當(dāng)固體金屬為鈣時(shí)，預(yù)定溫度大于842。。。所述預(yù)定溫度，當(dāng)固體金屬為鋁時(shí)，預(yù)定溫度為700°C -950°C;當(dāng)固體金屬為鎂時(shí)，預(yù)定溫度為660°C -900°C ;當(dāng)固體金屬為鈉時(shí)，預(yù)定溫度為120°C -450°C ;當(dāng)固體金屬為鈣時(shí)，預(yù)定溫度為860°C -1000°C。所述PFCs氣體為CF4、C2F6、C3F8、CCl2F2或者上述氣體中的一種或幾種按照任意比混合。本發(fā)明中金屬與氣體反應(yīng)后的反應(yīng)產(chǎn)物均為金屬氟化物和碳粉。反應(yīng)過(guò)程金屬和氣體的相對(duì)的加入量按照反應(yīng)產(chǎn)物為金屬氟化物(當(dāng)分解CCl2F2時(shí)產(chǎn)物為氟化物何氯化物)和碳粉的化學(xué)計(jì)量計(jì)算加入。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是反應(yīng)所需要的原料較廉價(jià)易得，特別對(duì)金屬鋁而言，電解產(chǎn)生的鋁液可直接注入反應(yīng)器，減少了把金屬熔化所需要的熱量，此反應(yīng)為放熱反應(yīng)，反應(yīng)過(guò)程中會(huì)放出熱量，可以彌補(bǔ)由于散熱損失的熱量，降低外界向反應(yīng)器提供能量用于維持反應(yīng)。鋁的價(jià)電子為3，分解單位體積的的PFCs所消耗的反應(yīng)物鋁也較少。反應(yīng)后得到的產(chǎn)物由于密度的不同，靜置冷卻后分層，這樣為產(chǎn)物的回收提供了可能。產(chǎn)生的碳送回炭陽(yáng)極廠生產(chǎn)炭陽(yáng)極，金屬的氟化物可作為電解質(zhì)或添加劑加入到電解槽中補(bǔ)充消耗的電解質(zhì)。這樣整個(gè)反應(yīng)過(guò)程的物質(zhì)和能量既得到了高效利用，產(chǎn)物也能完全得到回收再利用，實(shí)現(xiàn)了處理PFCs的零排放，降低了能耗和處理成本。而且整個(gè)處理流程短，過(guò)程簡(jiǎn)單，加上反應(yīng)條件不是很苛刻，對(duì)反應(yīng)器的要求也不是很高，這樣也可以降低設(shè)備的費(fèi)用。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。實(shí)施例I
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到700°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的Al，700°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到95%。實(shí)施例2
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到730°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的Al，700°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到97%。實(shí)施例3
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到830°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的A1，830°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例4
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到914°C°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的A1，830°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例5
將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到700°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的Al，700°C下C2F6的反應(yīng)分解率達(dá)到93%。實(shí)施例6
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到730°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C， 最下面一層為未反應(yīng)的Al，730°C下C2F6的反應(yīng)分解率達(dá)到96%。實(shí)施例7
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到830°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的A1，830°C下C2F6的反應(yīng)分解率達(dá)到96%。實(shí)施例8
本發(fā)明用鋁處理鋁電解槽電解產(chǎn)生的煙氣PFCs。將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到914°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，35分鐘成后，冷卻后產(chǎn)物都分為顏色明顯的三層，第一層為AlF3，中間一層為反應(yīng)產(chǎn)物C，最下面一層為未反應(yīng)的A1，830°C下C2F6的反應(yīng)分解率達(dá)到97%。實(shí)施例9
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到660°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，660°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到96%。實(shí)施例10
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到750°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，750°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例11
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到790°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，790°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例12
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到690°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，690°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例13
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到750°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，750°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例14
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到790°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，790°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例15
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到790°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgF2和C，790°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到99%。實(shí)施例16
將固體鈉放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到450°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到NaF和C，450°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例17
將固體鈉放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到600°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到NaF和C，600°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例18
將固體鈉放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到700°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到NaF和C，700°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例19
將固體鈣放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到860°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到CaF2和C，900°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例20
將固體鈣放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到950°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入C2F6氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到CaF2和C，950°C下C2F6的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例21
將固體鈣放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到1000°c后，抽出保護(hù)性氣體并通入C3H8氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到CaF2和C，1000°C下C3H8的反應(yīng)分解率達(dá)到98%。實(shí)施例22
將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到750°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到A1C13、AlF3和C，750°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到 96%ο實(shí)施例23
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到730°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgCl2、MgF2和C，750°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到 96%ο實(shí)施例24
將固體鈉放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn) 行加熱。加熱到700°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到NaCl、NaF和C，700°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到96%。實(shí)施例24
將固體鈣放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到950°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到CaCl2、CaF2和C，950°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到 96%ο實(shí)施例25
將固體鋁放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到950°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到A1C13、AlF3和C，950°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到 96%ο實(shí)施例26
將固體鎂放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到900°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CCl2F2氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，40分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到MgCl2、MgF2和C，900°C下CCl2F2的反應(yīng)分解率達(dá)到 96%ο實(shí)施例27
將固體鈉放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空泵將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱。加熱到120°C后，抽出保護(hù)性氣體并通入CF4氣體后在密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，30分鐘后，反應(yīng)完成冷卻后產(chǎn)物得到NaF和C，120°C下CF4的反應(yīng)分解率達(dá)到93%。
權(quán)利要求
1.一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于按照以下步驟進(jìn)行 (1)將固體金屬放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空系統(tǒng)將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱，加熱到預(yù)定溫度； (2)當(dāng)溫度升至預(yù)定溫度后，通過(guò)真空系統(tǒng)抽出保護(hù)性氣體，并通入待分解的PFCs氣體，密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為30 40分鐘；將反應(yīng)器冷卻到室溫后，取出反應(yīng)物，坩堝內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)物自然分層，得到可回收利用的碳和金屬氟化物、氯化物。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述固體金屬為鋁、鎂、鈉、鈣。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述預(yù)定溫度，當(dāng)固體金屬為鋁時(shí)，預(yù)定溫度大于660°C，當(dāng)固體金屬為鎂時(shí)，預(yù)定溫度大于649°C;當(dāng)固體金屬為鈉時(shí)，預(yù)定溫度大于98°C，當(dāng)固體金屬為鈣時(shí)，預(yù)定溫度大于 842。。。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述預(yù)定溫度，當(dāng)固體金屬為鋁時(shí)，預(yù)定溫度為700°C -950°C ;當(dāng)固體金屬為鎂時(shí)，預(yù)定溫度為660°C -900°C;當(dāng)固體金屬為鈉時(shí)，預(yù)定溫度為120°C _450°C;當(dāng)固體金屬為鈣時(shí)，預(yù)定溫度為860°C -1000°C。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述PFCs氣體為CF4、C2F6、C3F8、CCl2F2或者上述氣體中的一種或幾種按照任意比混合。
全文摘要
一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法，屬?gòu)U氣處理領(lǐng)域。本發(fā)明按照以下步驟進(jìn)行(1)將固體金屬放入一個(gè)坩堝內(nèi)，通過(guò)真空系統(tǒng)將反應(yīng)器內(nèi)空氣抽盡，通入保護(hù)氣體氬氣后進(jìn)行加熱，加熱到預(yù)定溫度；(2)當(dāng)溫度升至預(yù)定溫度后，通過(guò)真空系統(tǒng)抽出保護(hù)性氣體，并通入待分解的PFCs氣體，密閉反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為30～40分鐘；將反應(yīng)器冷卻到室溫后，取出反應(yīng)物，坩堝內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)物自然分層，得到可回收利用的碳和金屬氟化物、氯化物。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了處理PFCs的零排放，降低了能耗和處理成本。而且整個(gè)處理流程短，過(guò)程簡(jiǎn)單，加上反應(yīng)條件不是很苛刻，對(duì)反應(yīng)器的要求也不是很高，這樣也可以降低設(shè)備的費(fèi)用。
文檔編號(hào)B01D53/68GK102941004SQ201210487460
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月27日
發(fā)明者石忠寧, 唐衛(wèi), 王兆文, 高炳亮, 胡憲偉, 徐君莉 申請(qǐng)人:東北大學(xué)