有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括：將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入至水中；將含有有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質(zhì)；以及將前述含有氨氣的水進(jìn)行升溫使氨氣逸出；借由上述方法，可將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法制程的廢氣去除氮?dú)?、氫氣以及甲烷等雜質(zhì)后回收生產(chǎn)成可用氨氣，達(dá)到廢氣循環(huán)再使用的目的。
【專利說(shuō)明】有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于一種廢氣回收再利用方法，尤其是有關(guān)于一種利用氨氣溶解度大的特性可溶解于水中與其他廢氣進(jìn)行分離后，再經(jīng)由氣化、加熱以及壓縮降溫的流程，而能達(dá)到有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積的廢氣回收再利用的目的。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法是當(dāng)今最先進(jìn)、最重要的氮化鎵材料和器件大批量制備技術(shù)，隨著它的出現(xiàn)，藍(lán)色發(fā)光材料的制作成本逐漸降低；其主要使用在LED以及DVD雷射二極管、光通訊雷射二極管、紅藍(lán)綠發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池、或是手機(jī)通訊射頻芯片的射頻集成電路等處。然而其所產(chǎn)生的廢氣目前均是透過(guò)廢氣系統(tǒng)吸附及處理所有通過(guò)系統(tǒng)的有毒氣體，以減少對(duì)環(huán)境的污染。常用的廢氣處理系統(tǒng)可分為干式、濕式及燃燒式等種類。雖可有效處理有毒廢氣，卻無(wú)法使廢氣中可用氣體回收再利用。
[0003]因此，如何提供一可有效回收有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣，并達(dá)到循環(huán)再利用的環(huán)保目的，是發(fā)明人急欲解決的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于現(xiàn)有的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣處理法仍存在有不完善處，發(fā)明人經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間不斷的研究開(kāi)發(fā)，終于研發(fā)出此種可以回收生產(chǎn)氨氣以及工業(yè)用液氨的廢氣回收再生方法。
[0005]本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括:(A)將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入至水中；(B)將含有有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質(zhì)；以及(C)將前述含有氨氣的水進(jìn)行升溫使氨氣逸出。
[0006]本發(fā)明的主要目的在于借由上述方法，可將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法制程的廢氣去除氮?dú)?、氫氣以及甲烷等雜質(zhì)后回收生產(chǎn)成可用氨氣，達(dá)到廢氣循環(huán)再使用的目的。
[0007]除此之外，本發(fā)明可于步驟(C)后將所得的氨氣進(jìn)行壓縮降溫，更可進(jìn)一步得到工業(yè)用所需的液氨，使其更具有經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
[0008]為了能讓審查員能更易于了解本發(fā)明的特點(diǎn)，請(qǐng)參閱本發(fā)明實(shí)施方式的說(shuō)明。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法的流程圖。
[0010]圖2為本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法的氨水濃度表。
[0011]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0012](A)將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入至水中
[0013](B)將含有有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣,去除雜質(zhì)[0014]C)將前述含有氨氣的水進(jìn)行升溫使氨氣逸出
[0015](D)將步驟(C)逸出的氨氣進(jìn)行壓縮以及降溫
【具體實(shí)施方式】
[0016]請(qǐng)同時(shí)參閱圖1以及圖2，圖1為本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法流程圖，圖2為本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法的氨水濃度表。本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括:(A)將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入至水中；(B)將含有有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質(zhì)；以及(C)將前述含有氨氣的水進(jìn)行升溫使氨氣逸出；借由上述方法，可將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法制程的廢氣去除氮?dú)狻錃庖约凹淄榈入s質(zhì)后回收生產(chǎn)成可用氨氣，達(dá)到廢氣循環(huán)再使用的目的。
[0017]本發(fā)明有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，可于步驟(C)后再增加步驟(D)，其為將步驟(C)逸出的氨氣進(jìn)行壓縮以及降溫，用以得到工業(yè)級(jí)的液氨。
[0018]由以上詳細(xì)說(shuō)明可使熟知本項(xiàng)技術(shù)人員明白本發(fā)明的確可達(dá)成前述的目的，實(shí)已符合專利法的規(guī)定，故依法提出發(fā)明專利申請(qǐng)。
[0019]總之，雖然本發(fā)明揭示了優(yōu)選實(shí)施例，但不應(yīng)該以此限定本發(fā)明專利實(shí)施的范圍，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍下，相對(duì)所述實(shí)施例進(jìn)行的等同變化和改進(jìn)，都應(yīng)該屬于本發(fā)明所保護(hù)的技術(shù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括: (A)將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入至水中； (B)將含有有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質(zhì)；以及 (C)將前述含有氨氣的水進(jìn)行升溫使氨氣逸出； 借由上述方法，可將有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法制程的廢氣去除氮?dú)狻錃庖约凹淄榈入s質(zhì)后回收生產(chǎn)成可用氨氣，達(dá)到廢氣循環(huán)再使用的目的。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其中，可于步驟(C)后再增加步驟(D)，以將步驟(C)逸出的氨氣進(jìn)行壓縮以及降溫。
【文檔編號(hào)】B01D53/14GK103691255SQ201210528111
【公開(kāi)日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月27日
【發(fā)明者】古明見(jiàn) 申請(qǐng)人:古明見(jiàn)